JPH0730681Y2 - スパッタリングカソード - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、スパッタリングカソードに関する。

（従来の技術） 従来から使用されているスパッタリングカソードを第２
図に示す。当該スパッタリングカソードは、裏板２に固
着されたターゲット１とアース電位であるシールド３と
を備えている。シールド３は、図に示すように、裏板２
の端部をプラズマ空間８のプラズマから遮蔽するように
して設けられている。また、更に上記ターゲット１と裏
板２とを保護するための保護材４がターゲット１及び裏
板２とシールド３間に設置されている。当該保護材４の
ターゲット側の端部５は突出形状をしており、この突出
形状をした端部５がターゲット１と裏板２の固着部分７
の周部を外側から覆うように配設されている。これによ
って、ターゲット１と裏板２との固着部分７から接着材
が基板側に出て来ることを防止している。

一方、保護材４の他端部は、裏板２を固定しているボル
ト６のヘッド部分を覆いカバーすることによって、この
部分で異常放電が起こることを防止している。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来の構造では、保護材４のターゲ
ット側の端部５がプラズマ空間８に近い部分に露出する
ため、当該端部５の表面にスパッタ粒子が付着する。し
かし当該スパッタ粒子の付着力は弱いため、剥離しやす
く、それがコンタミネーションとして基板に混入し、純
度の高い安定な薄膜作成を行うことができなかった。

（考案の目的） 本考案の目的は、高純度な薄膜を作成するために、コン
タミネーションの発生しないスパッタ放電を行えるよう
にしたスパッタリングカソードを提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、上記目的を達成するために次のように構成さ
れている。すなわち、ターゲットと、当該ターゲットを
固着した裏板と、ターゲットと裏板との固着部分の周部
を塞ぐようにして設けた保護材と、裏板の端部をプラズ
マから遮蔽するようにして設けたシールドとを備えたス
パッタリングカソードにおいて、ターゲットに向かい合
う裏板の表面はターゲットの裏面よりも小さくて固着部
分の周部はターゲットの端面の下縁から所定距離内側に
位置し、前記保護材は、そのターゲット側の端部の先端
が、当該内側位置の周部を塞ぐようターゲットの裏側に
配置されることによってターゲットの端面が保護材で被
われていない構造にしたことを特徴としている。

（作用） ターゲットと裏板の固着部分の周部はターゲットの端面
の下縁から所定距離内側に位置し、保護材は、そのター
ゲット側の端部の先端が、当該内側位置の周部を塞ぐよ
うターゲットの裏側に配置されているので、ターゲット
の端面が保護材で被われていない構造になり、従って、
保護材の端部表面にスパッタ粒子が付着することがな
い。

（実施例） 第１図に本考案の実施例を示す。なお、スパッタリング
カソードの構成において、従来と同一の構成部材には同
一の符号を使用する。

本考案に係るスパッタリングカソードは、裏板２に固着
されたターゲット１とアース電位であるシールド３とを
備えている。また、更に上記ターゲット１と裏板２とを
保護するための保護材４がターゲット１及び裏板２とシ
ールド３間に設置されている。図に示すように、ターゲ
ット１に向かい合う裏板２の表面はターゲット１の裏面
よりも小さくて固着部分の周部はターゲット１の端面の
下縁から所定距離内側に位置している。そして、保護材
４は、そのターゲット側の端部５の先端が、当該内側位
置の周部を塞いだ状態でターゲット１の裏側に配置され
ている。

これによって、この保護材４は、ターゲット１と裏板２
との固着部分７をカバーし、この部分から接着材が基板
側に出て来ることを防止している。更に、ターゲット１
を固着した裏板２はボルト６によって固定されている
が、保護材４でこのボルト６のヘッド部分を覆いカバー
することによって、この部分で異常放電が起こることを
防止している。

ここで、上述したように、固着部分７の周部はターゲッ
ト１の端面の下縁から所定極内側に位置し、保護材４の
ターゲット側の端部５がターゲット１の裏側で当該周部
を塞いでいるので、ターゲット１の端面は保護材４で被
われていない構造になっている。従って、スパッタリン
グが行われたとき、保護材４のターゲット側の端部５
は、プラズマ８に晒されることがないため、スパッタ粒
子が付着するようなことはない。そのため付着したッス
パッタ粒子が剥離してそれがコンタミネーションとして
基板に混入することもない。

（考案の効果） 本願考案によれば、コンタミネーションの発生を防止し
高純度な薄膜作成を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示したスパッタリングカソー
ドの部分概略断面図、第２図は、従来のスパッタリング
カソードの部分概略断面図である。 １……ターゲット、２……裏板、３……シールド、４…
…保護材、５……ターゲット側の端部、７……固着部
分。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ターゲットと、当該ターゲットを固着した
   裏板と、ターゲットと裏板との固着部分の周部を塞ぐよ
   うにして設けた保護材と、裏板の端部をプラズマから遮
   蔽するようにして設けたシールドとを備えたスパッタリ
   ングカソードにおいて、ターゲットに向かい合う裏板の
   表面はターゲットの裏面よりも小さくて固着部分の周部
   はターゲットの端面の下縁から所定距離内側に位置し、
   前記保護材は、そのターゲット側の端部の先端が、当該
   内側位置の周部を塞ぐようターゲットの裏側に配置され
   ることによってターゲットの端面が保護材で被われてい
   ない構造にしたことを特徴とするスパッタリングカソー
   ド。