JP3098506B2 - 自動搬送方法及び自動搬送システム - Google Patents
自動搬送方法及び自動搬送システムInfo
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- JP3098506B2 JP3098506B2 JP10374359A JP37435998A JP3098506B2 JP 3098506 B2 JP3098506 B2 JP 3098506B2 JP 10374359 A JP10374359 A JP 10374359A JP 37435998 A JP37435998 A JP 37435998A JP 3098506 B2 JP3098506 B2 JP 3098506B2
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、自動搬送車が搬
送してきたカセットを設備のカセットステージ上に移載
する自動搬送方法及び自動搬送システムに関する。
送してきたカセットを設備のカセットステージ上に移載
する自動搬送方法及び自動搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の自動搬送方法の従来例を、図２
を用いて述べると、設備２１に設けられた圧力スイッチ
方式、遮光センサ方式あるいは反射センサ方式などが用
いられたカセットセンサ２２により、設備２１のカセッ
トステージ２３にカセットが無いと判断したら、それを
自動搬送車２５に知らせる。これを受けた自動搬送車２
５は、積んだカセット２４をハンド２６により、設備２
１のカセットステージ２３の上に移載する。
を用いて述べると、設備２１に設けられた圧力スイッチ
方式、遮光センサ方式あるいは反射センサ方式などが用
いられたカセットセンサ２２により、設備２１のカセッ
トステージ２３にカセットが無いと判断したら、それを
自動搬送車２５に知らせる。これを受けた自動搬送車２
５は、積んだカセット２４をハンド２６により、設備２
１のカセットステージ２３の上に移載する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来例にあっては、次のような問題点がある。
来例にあっては、次のような問題点がある。
【０００４】カセットステージ２３上にカセットが有る
のに拘わらず、例えばカセットセンサ２２に異常があっ
たり、カセットの置き方が悪かったり、カセット以外の
物を置いてしまったりすると、カセットセンサ２２はカ
セットが無いと判断するおそれがある。
のに拘わらず、例えばカセットセンサ２２に異常があっ
たり、カセットの置き方が悪かったり、カセット以外の
物を置いてしまったりすると、カセットセンサ２２はカ
セットが無いと判断するおそれがある。
【０００５】設備２１からカセットステージ２３上にカ
セットが無いとの判断を受け取った自動搬送車２５は、
実際には設備２１のカセットステージ２３上にカセット
が有るのに拘わらず、カセット２４を設備２１に移載す
る動作に入る。したがって、カセット２４どうしの衝突
や、カセット２４とそれ以外の物との衝突が発生してし
まうことになる。
セットが無いとの判断を受け取った自動搬送車２５は、
実際には設備２１のカセットステージ２３上にカセット
が有るのに拘わらず、カセット２４を設備２１に移載す
る動作に入る。したがって、カセット２４どうしの衝突
や、カセット２４とそれ以外の物との衝突が発生してし
まうことになる。
【０００６】この発明の目的は、カセットステージ上の
カセットその他の障害物の有無についての誤判断を避
け、もってカセットその他の障害物との衝突を確実に防
止する自動搬送方法及び自動搬送システム又は自動搬送
車を提供することにある。
カセットその他の障害物の有無についての誤判断を避
け、もってカセットその他の障害物との衝突を確実に防
止する自動搬送方法及び自動搬送システム又は自動搬送
車を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明では、設備のカセット検出手段によりカセ
ットステージにカセットが無いと判断されたことに併せ
て、自動搬送車が設備のカセットステージの画像情報を
取り込んで処理することにより、カセットステージにカ
セットその他の障害物が無いと判断すると、自動搬送車
が搬送してきたカセットを設備に移載するようにしてい
る。
め、この発明では、設備のカセット検出手段によりカセ
ットステージにカセットが無いと判断されたことに併せ
て、自動搬送車が設備のカセットステージの画像情報を
取り込んで処理することにより、カセットステージにカ
セットその他の障害物が無いと判断すると、自動搬送車
が搬送してきたカセットを設備に移載するようにしてい
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、この発明の実施の形態を図
１を参照して説明する。
１を参照して説明する。
【０００９】この発明の自動搬送システムの一実施形態
が示されている。
が示されている。
【００１０】この自動搬送システムは、設備１と、この
設備１にカセット１１を移載する自動搬送車２とを備え
ている。
設備１にカセット１１を移載する自動搬送車２とを備え
ている。
【００１１】設備１は、カセットステージ３と、カセッ
ト検出手段としての例えばカセットセンサ４と、マーク
５と、第一の信号伝達手段としての例えば第一の光ＰＩ
Ｏ構成部６とを備えている。
ト検出手段としての例えばカセットセンサ４と、マーク
５と、第一の信号伝達手段としての例えば第一の光ＰＩ
Ｏ構成部６とを備えている。
【００１２】マーク５は、カセットステージ３の位置を
示すように設けられている。
示すように設けられている。
【００１３】第一の光ＰＩＯ構成部６は、自動搬送車２
との間で信号を伝達するために設けられている。
との間で信号を伝達するために設けられている。
【００１４】一方、自動搬送車２は、第二の信号伝達手
段としての例えば第二の光ＰＩＯ構成部７と、撮像手段
としての例えばカメラ８と、画像認識手段としての例え
ば画像認識装置９と、ハンド１０と、制御手段としての
例えば制御装置（図示省略）とを備えている。
段としての例えば第二の光ＰＩＯ構成部７と、撮像手段
としての例えばカメラ８と、画像認識手段としての例え
ば画像認識装置９と、ハンド１０と、制御手段としての
例えば制御装置（図示省略）とを備えている。
【００１５】自動搬送車２と設備１とは、第二の光ＰＩ
Ｏ構成部７と第一のＰＩＯ構成部６との間で光信号を発
・受信することにより、相互に情報を伝達し合うものと
なっている。
Ｏ構成部７と第一のＰＩＯ構成部６との間で光信号を発
・受信することにより、相互に情報を伝達し合うものと
なっている。
【００１６】カメラ８は、カセットステージ３の画像情
報を取り込むためのものである。カメラ８は、カセット
ステージ３の画像情報を取り込む前に、設備１のマーク
５を検出して、カセットステージ３の位置を確認するよ
うになっている。
報を取り込むためのものである。カメラ８は、カセット
ステージ３の画像情報を取り込む前に、設備１のマーク
５を検出して、カセットステージ３の位置を確認するよ
うになっている。
【００１７】画像認識装置９は、カメラ８からの画像情
報を処理することにより、カセットステージ３にカセッ
トが有るか無いかを判断するためのものである。
報を処理することにより、カセットステージ３にカセッ
トが有るか無いかを判断するためのものである。
【００１８】ハンドラ１０は、搬送してきたカセット１
１を設備１のカセットステージ３上に移載するものであ
る。
１を設備１のカセットステージ３上に移載するものであ
る。
【００１９】制御装置は、設備１のカセットセンサ４に
よりカセットステージ３にカセットが無いと判断された
ことと併せて、自動搬送車２の画像認識装置９がカセッ
トステージ３にカセットその他の障害物が無いと判断す
ると、ハンド１０に対して自動搬送車２が搬送してきた
カセット１１を設備１に移載するべく指示するように設
定されている。
よりカセットステージ３にカセットが無いと判断された
ことと併せて、自動搬送車２の画像認識装置９がカセッ
トステージ３にカセットその他の障害物が無いと判断す
ると、ハンド１０に対して自動搬送車２が搬送してきた
カセット１１を設備１に移載するべく指示するように設
定されている。
【００２０】上述のように構成された自動搬送システム
にあっては、次のように、カセットステージ３上のカセ
ット１１の有無を確認する。
にあっては、次のように、カセットステージ３上のカセ
ット１１の有無を確認する。
【００２１】カセット１１を積んだ自動搬送車２は、カ
セット１１移載のための定位置に達すると、その第二の
光ＰＩＯ構成部７から設備１の第一の光ＰＩＯ構成部６
に対して光信号を伝達し、移載動作に入りたいことを設
備１に宣言する。
セット１１移載のための定位置に達すると、その第二の
光ＰＩＯ構成部７から設備１の第一の光ＰＩＯ構成部６
に対して光信号を伝達し、移載動作に入りたいことを設
備１に宣言する。
【００２２】この宣言を受けた設備１は、カセットセン
サ４により、カセットステージ３上にカセットが有るか
無いかを調べ、無いと判断すると、その第一の光ＰＩＯ
構成部６から自動搬送車２の第二の光ＰＩＯ構成部７に
対して光信号を伝達し、移載動作が可能であることを自
動搬送車２に知らせる。
サ４により、カセットステージ３上にカセットが有るか
無いかを調べ、無いと判断すると、その第一の光ＰＩＯ
構成部６から自動搬送車２の第二の光ＰＩＯ構成部７に
対して光信号を伝達し、移載動作が可能であることを自
動搬送車２に知らせる。
【００２３】これを受けて、自動搬送車２は、カメラ８
により、設備１のマーク５を検出して、カセットステー
ジ３の位置を確認した後、カセットステージ３の画像情
報を取り込み、この画像情報を画像認識装置９に取り込
んで処理し、カセットステージ３にカセットその他の障
害物が有るか無いか調べる。
により、設備１のマーク５を検出して、カセットステー
ジ３の位置を確認した後、カセットステージ３の画像情
報を取り込み、この画像情報を画像認識装置９に取り込
んで処理し、カセットステージ３にカセットその他の障
害物が有るか無いか調べる。
【００２４】画像認識装置９により、カセットステージ
３にカセットその他の障害物が無いことを確認したら、
自動搬送車２の制御装置は、ハンド１０に指示を出し
て、カセット１１を把持して、設備１のカセットステー
ジ３に移載させる。
３にカセットその他の障害物が無いことを確認したら、
自動搬送車２の制御装置は、ハンド１０に指示を出し
て、カセット１１を把持して、設備１のカセットステー
ジ３に移載させる。
【００２５】一方、画像認識装置９が、カセットステー
ジ３にカセットその他の障害物が有ることを確認した
ら、カセット１１の移載を停止し、カセット１１の衝突
を防止する。
ジ３にカセットその他の障害物が有ることを確認した
ら、カセット１１の移載を停止し、カセット１１の衝突
を防止する。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による
と、設備がカセットステージ上にカセットが無いと判断
した場合であっても、さらに自動搬送車が画像認識によ
り、設備のカセットステージ上のカセットその他の障害
物の有無を確認する。
と、設備がカセットステージ上にカセットが無いと判断
した場合であっても、さらに自動搬送車が画像認識によ
り、設備のカセットステージ上のカセットその他の障害
物の有無を確認する。
【００２７】したがって、カセットステージ上のカセッ
トその他の障害物の有無についての誤判断を避けること
ができ、もってカセットの衝突を確実に防止できる。
トその他の障害物の有無についての誤判断を避けること
ができ、もってカセットの衝突を確実に防止できる。
【００２８】また、仮に設備に撮像手段や画像認識手段
を設けた場合には、複数の設備があるとき、全数の設備
に撮像手段や画像認識手段を設けなければならないが、
この発明によると、自動搬送車に撮像手段や画像認識手
段を設けたので、そのような問題がない。
を設けた場合には、複数の設備があるとき、全数の設備
に撮像手段や画像認識手段を設けなければならないが、
この発明によると、自動搬送車に撮像手段や画像認識手
段を設けたので、そのような問題がない。
【図１】この発明の自動搬送システムの一実施形態を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
【図２】従来の自動搬送システムを示す概略構成図であ
る。
る。
１ 設備 ２ 自動搬送車 ３ カセットステージ ４ カセットセンサ（カセット検出手段） ５ マーク ６ 第一の光ＰＩＯ構成部（信号伝達手段） ７ 第二の光ＰＩＯ構成部（信号伝達手段） ８ カメラ（撮像手段） ９ 画像認識装置（画像認識手段） １０ ハンド １１ カセット
Claims (5)
- 【請求項１】撮像手段と画像認識手段とが設けられてい
る自動搬送車で搬送するカセットを、設備に設けられて
いるカセットステージに移載する自動搬送方法におい
て、 前記設備は、前記設備に設けられているカセット検出手
段により、前記カセットステージにカセットが無いとの
判断をし、前記判断を前記搬送車に伝達し、前記搬送車は、前記判断を受け、かつ、 前記撮像手段に
より前記カセットステージの画像情報を取り込み、前記
画像認識手段により前記画像情報を処理し、前記カセッ
トステージにカセットや他の障害物が無いと判断した場
合、前記カセットを前記カセットステージに移載し、前
記カセットステージにカセットや他の障害物が有ると判
断した場合、前記カセットステージへの前記カセットの
移載を停止することを特徴とする自動搬送方法。 - 【請求項２】前記撮像手段により、前記カセットステー
ジの位置を示すように前記設備に設けられたマークを検
出し、前記カセットステージの位置を確認した後、前記
撮像手段に前記カセットステージの画像情報を取り込む
ことを特徴とする請求項１に記載の自動搬送方法。 - 【請求項３】撮像手段と画像認識手段とが設けられてい
る自動搬送車で搬送するカセットを、設備に設けられて
いるカセットステージに移載する自動搬送方法におい
て、前記設備は、前記設備に設けられているカセット検出手
段により、前記 カセットステージにカセットが無いこと
を検出し、カセットを前記カセットステージに移載可能
であるとの判断をし、前記設備に設けられている第一信
号伝達手段を介して、前記判断を前記搬送車に伝達し、 前記搬送車は、前記搬送車に設けられている第二信号伝
達手段を介して前記判断を受けると、前記撮像手段によ
り前記カセットステージの画像情報を取り込み、前記画
像認識手段により前記画像情報を処理し、前記カセット
ステージにカセットや他の障害物が無いと判断した場
合、前記カセットを前記カセットステージに移載し、前
記カセットステージにカセットや他の障害物が有ると判
断した場合、前記カセットステージへの前記カセットの
移載を停止することを特徴とする自動搬送方法。 - 【請求項４】カセットステージと、前記カセットステー
ジの位置を示すマークと、カセットの有無を検出するカ
セット検出手段と、前記カセット検出手段で検出したカ
セット無しの情報を伝達する第一信号伝達手段とを備え
た設備と、 前記カセット無しの情報を受ける第二信号伝達手段と、
前記設備の前記マークの位置を検出して前記カセットス
テージの画像情報を取り込む撮像手段と、取り込んだ前
記画像情報を処理する画像認識手段と、制御手段とを備
えた自動搬送車から構成される自動搬送システムであっ
て、 前記設備は、前記カセット検出手段により、前記カセッ
トステージのカセット無しを検出し、前記第一信号伝達
手段を介して、前記検出結果を前記搬送車に伝達し、 前記搬送車は、前記第二信号伝達手段を介して前記検出
結果を受けると、前記撮像手段により前記カセットステ
ージの画像情報を取り込み、前記画像認識手段により前
記画像情報を処理し、前記カセットステージにおける前
記カセットその他の障害物の有無を判断し、 前記制御手段は、前記画像認識手段が、前記カセットス
テージにカセットや他の障害物が無いと判断した場合、
前記カセットを前記カセットステージに移載し、前記カ
セットステージにカセットや他の障害物が有ると判断し
た場合、前記カセットステージへの移載を停止するよう
に、前記搬送車を制御する ことを特徴とする自動搬送シ
ステム。 - 【請求項５】カセットステージと、前記カセットステー
ジのカセットの有無を検出するカセット検出手段と、前
記カセット検出手段で検出したカセット無しの検出情報
を伝達する第一信号伝達手段とを備えた設備に対して、
前記カセットを搬送し、かつ搬送した前記カセットを前
記カセットステージに移載する自動搬送車であって、 前記設備の第一信号伝達手段を介して伝達される前記カ
セット無しの検出情報を受ける第二信号伝達手段と、 前記第二信号伝達手段から前記カセット無しの検出情報
を受けると、前記カセットステージの画像情報を取り込
む撮像手段と、 取り込まれた前記画像情報を処理し、前記カセットステ
ージにおける前記カセットその他の障害物の有無を判断
する画像認識手段と、 前記画像認識手段が、前記カセットステージにカセット
や他の障害物が無いと判断した場合、前記カセットを前
記カセットステージに移載し、前記カセットステージに
カセットや他の障害物が有ると判断した場合、前記カセ
ットステージへの移載を停止するように制御する制御手
段とを備えた ことを特徴とする自動搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10374359A JP3098506B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 自動搬送方法及び自動搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10374359A JP3098506B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 自動搬送方法及び自動搬送システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000195924A JP2000195924A (ja) | 2000-07-14 |
| JP3098506B2 true JP3098506B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=18503718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10374359A Expired - Fee Related JP3098506B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 自動搬送方法及び自動搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3098506B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4342923B2 (ja) * | 2003-12-09 | 2009-10-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
| JP2006120820A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Hitachi Sci Syst Ltd | 薄型基板処理装置及び薄型基板搬送装置 |
| US10549427B1 (en) | 2018-08-31 | 2020-02-04 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transfer robot |
-
1998
- 1998-12-28 JP JP10374359A patent/JP3098506B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000195924A (ja) | 2000-07-14 |
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