JP3097884B2 - リニア多極磁石着磁装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リニア多極磁石に着磁
して、その着磁状況を検査するためのリニア多極磁石着
磁装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、多くの民生用機器はその軽薄短小
化が進んでおり、従来回転モータを使用しボール螺子と
ナットを使用して直線移動させていたものについても、
リニアモータを用いてダイレクトに直線駆動させる機構
も多く使われるようになってきている。かかる状況にお
いて、そのリニアモータを動作させるにはリニア多極磁
石が必須のものであり、この量産手法の確立が期待され
ている。

【０００３】従来は、図１４に示す着磁装置によって、
試料であるリニア多極磁石１に対して着磁を行ってい
た。以下にこの従来の着磁装置の構成について説明す
る。リニア多極磁石１は図１４に示される状況では未だ
磁化がなされていない。ワーク台８はその底部にナット
８ａが取り付けられており、このワーク台８はボール螺
子７の回転に従って直線移動できるようになっている。
また、ワーク台８自体には、試料１を暫定的に固定しう
るように固定手段９が取り付けられており、ワーク台８
の移動によっても試料１がずれないようになっている。
モータ２のボール螺子７は、モータ２により回転するよ
うになっている。モータ２はサーボアンプ３により駆動
される。そのサーボアンプ３は、モータ２の動作が定速
で動作するような信号源４に接続されている。

【０００４】一方、着磁ヘッド５は着磁信号源６に接続
され、着磁信号に応じた磁界を発生するようになってい
る。着磁信号源６は着磁ヘッド５の下を通過する試料１
の速度に応じて適当な多極が発生するような周波数の電
力を供給するようになっている。次に、この着磁装置の
動作を簡単に説明する。試料１がワーク台８上に固定さ
せられると、サーボアンプ３により発生する信号により
モータ２が回転され、試料１の移動が開始する。着磁ヘ
ッド５の下を通過する際、着磁信号源６の発生する交流
信号によって試料１に磁界がかけられる。その結果、試
料には多極が発生し、多極磁石が生成される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例に
よると、着磁信号を単に一定周波数の信号源に接続して
いるので、ワーク台８の移動が高い精度で定速を保たな
ければ、多極磁石のＮＳＮＳ…の繰り返しにムラが生
じ、安定した着磁ができたとは言い難いこととなる。ま
た、試料１と着磁ヘッド５とのギャップは高々数十μｍ
程度である。このため、試料１の公差・ワレ・欠け等を
充分に目視検査したあとでなければ、試料１を移動する
際に試料１と着磁ヘッド５が当たり、着磁ヘッド５を破
損することがあった。

【０００６】さらに試料１を複数個まとめて着磁するこ
とは困難があり、高速にしかも大量の多極磁石を生産す
ることは不可能であった。本発明は上記問題点を解消す
るためになされたものであって、本発明は、リニア多極
磁石の着磁を確実に行いしかも短時間で大量の多極磁石
の良否判定を確実に行うことができるリニア多極磁石着
磁装置を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、直線移動可能な移動台と、この移動台の位置を
検出する位置検出手段と、移動台に複数の試料を保持す
るための試料保持手段と、各試料を磁化するための着磁
手段と、着磁された試料の着磁状況を確認する着磁確認
手段と、移動台の移動と、着磁手段の着磁電流出力と、
着磁確認手段の着磁確認出力と、の同期をとるために、
移動台が直線移動する際に、移動台の移動量に対応する
信号を発生する信号発生手段と、を備えるリニア多極磁
石着磁装置により、達成される。

【０００８】前記試料保持手段は、好ましくは試料を着
脱自在に保持するための吸着手段を含む、請求項１また
は請求項２に記載のリニア多極磁石着磁装置。前記移動
台が移動する際に、好ましくは前記試料保持手段に保持
された試料と前記着磁手段とが当たるのを回避するため
に、前記試料の異常を検出する異常検出手段を備える、
請求項１または請求項２に記載のリニア多極磁石着磁装
置。上記目的は、本発明にあっては、移動台により複数
の試料を直線移動する際に、移動台の移動量に対応する
信号を発生し、移動台の試料と、この試料を磁化するた
めの着磁手段と、が当たるのを回避するために、着磁手
段に対する試料の状態を確認し、移動台の移動量に対応
する信号に同期して、着磁手段により試料を磁化し、移
動台の移動量に対応する信号に同期して、着磁確認手段
により試料の着磁状況の確認を行うリニア多極磁石着磁
方法により、達成される。

【０００９】

【作用】上記構成によれば、移動台の移動と、着磁手段
の着磁電流出力と、着磁確認手段の着磁確認出力と、の
同期をとることにより、位置的に正確に着磁とその確認
作業を行える。試料を吸着することにより、試料の設定
を簡単に行える。試料に着磁するまえに、試料が着磁手
段に当たらないことを確認する。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、本
発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々
の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明
において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、こ
れらの態様に限られるものではない。

【００１１】図１は、本発明のリニア多極磁石着磁装置
の好ましい実施例を示す斜視図である。このリニア多極
磁石着磁装置は、図１と図２に示すようなリニア多極磁
石１４を着磁するためのものである。この複数のリニア
多極磁石１４が、試料保持手段２２に設定することがで
きるようになっている。このリニア多極磁石１４は試料
とも言う。リニア多極磁石着磁装置は、移動台としての
ワーク台１３、位置検出手段としてのリニアスケール５
８、試料保持手段２２、着磁手段５１、着磁確認手段５
２、異常検出手段７７、移動手段９９、制御監視手段１
０１を備えている。

【００１２】リニア多極磁石１４は、図１と図２に示す
ような形状のものであり、例えば縦１０ｍｍ、横２．５
ｍｍ、奥行２ｍｍ程度の小さいものである。このような
リニア多極磁石１４に対して、図４に示すような着磁手
段５１の着磁ヘッド５１ａにより、図５に示すようなリ
ニアに着磁領域が形成されるようになっている。この極
幅Ｌは、例えば高々２００ないし３００μｍ程度のもの
であるが、本発明で対象とするリニア多極磁石１４はこ
れに限定されるものではない。図１に示すように、架台
２３の内部には、上述した移動手段９９と位置検出手段
であるリニアスケール５８を内蔵している。

【００１３】この移動手段９９は、モータ４２とボール
螺子１１等を備えている。このボール螺子１１はモータ
４２により正逆回転可能である。位置検出手段５８は、
このボール螺子１１と平行に配置されている。この位置
検出手段５８は、従来使用されているリニアスケールと
もいう直線型の位置を検出する装置である。例えば、こ
の位置検出手段５８は、ワーク台１３が矢印Ｘ方向、即
ちボール螺子１１の軸方向に関して移動することによ
り、そのワーク台１３の移動量に対応するパルス数を発
生して、制御監視手段１０１に対してその数のパルスを
送ることができるようになっている。

【００１４】ナット４６はワーク台１３に対して固定さ
れている。このナット４６は上記ボール螺子１１にかみ
合っている。このため、ボール螺子１１の正逆回転によ
り、ワーク台１３は矢印Ｘ方向＋および−方向に移動可
能である。ワーク台１３の上には、試料保持手段２２が
着脱可能に吸着して保持することができるようになって
いる。しかも、この試料保持手段２２の上には、複数の
リニア多極磁石１４を着脱可能に吸着して位置決めして
配置することができるようになっている。そのワーク台
１３と試料保持手段２２の構造を、図６ないし図８にお
いて説明する。特に、図７に示すように、ワーク台１３
の中には真空引きもしくはバキューム形成をするための
横孔１３ａが形成されている。この横孔１３ａはバキュ
ーム形成手段１３ｂに接続されている。この横孔１３ａ
は別の接続孔１３ｃに接続されている。

【００１５】一方、ワーク固定治具としての試料保持手
段２２は、やはり横孔２２ａおよび複数の孔２２ｄを有
している。この孔２２ｄは固定しようとするリニア多極
磁石１４の数に対応して設けられている。横孔２２ａは
孔２２ｃに接続されている。この孔２２ｃは孔１３ｃと
つながっていて、バキューム装置１３ｂを作動すること
により、図６に示すように、複数のリニア多極磁石１４
を試料保持手段２２に対して吸引すると共に、試料保持
手段２２をワーク台１３に対しても吸着することができ
るようになっている。

【００１６】図８に示すように、試料保持手段２２は、
クランパー２２ａと固定部２２ｂおよび位置決めピン２
２ｃを有している。クランパー２２ａはバネ２２ｅによ
り矢印Ｒ方向に移動して、リニア多極磁石１４を固定部
２２ｂに対して付勢して固定できるようになっている。
位置決めピン２２ｃはリニア多極磁石１４の両側の位置
決めを行えるようになっている。これにより、リニア多
極磁石１４は試料保持手段２２の上面において移動する
ことはない。

【００１７】図１に示している着磁手段５１は、着磁ヘ
ッド５１ａと、この着磁ヘッド５１ａを架台２３に対し
て固定する固定台２０を有している。着磁ヘッド５１ａ
は従来用いられている上述した形式のものを採用するこ
とができる。着磁ヘッド５１ａは例えば珪素鋼板を張り
合せた一般的なコアにコイルが巻かれたもので構成され
ている。例えば図４に示すように、着磁ヘッド５１ａの
下端の設定高さもしくは設定位置は、試料保持手段２２
の上に設定されている各リニア多極磁石１４の上面の高
さに対して、必要なギャップ長３２を有するように設定
しなければならない。このようにしないと、着磁ヘッド
５１ａの下端とリニア多極磁石１４が衝突していまう恐
れがある。

【００１８】図１に示している着磁確認手段５２は、固
定台２０により架台２３に対して固定されている。着磁
確認手段５２は、いわゆるＭＲヘッド（磁気抵抗素子）
であり、着磁確認の際に、この着磁確認手段５２の下を
通る各リニア多極磁石１４に対して、適当な間隔を保つ
ような高さに設定されている。また図４に示す着磁ヘッ
ド５１ａの下端と試料１４との間に設定されているギャ
ップ長３２は、例えば２０＋／−１０μｍ程度に設定す
るのが好ましい。

【００１９】図１に示している異常検出手段ともいう寸
法検出手段７７は、レーザ投光部４８とレーザ受光部４
９を備えている。レーザ投光部４８は、架台２３の着磁
ヘッド５１ａの横の位置に設定されている。レーザ受光
部４９は、架台２３のレーザ投光部４８と対向する位置
に配置されている。これにより、試料保持手段２２が矢
印Ｘ−方向に移動する時に、図４に示すようなレーザ光
のスポット光３１を投光できるようになっている。この
スポット光３１は、その直径が例えば約１ｍｍ程度であ
る。好ましくはそのスポット光３１のほぼ下半分がリニ
ア多極磁石１４の通過により隠れるような高さに設定さ
れている。レーザ受光部４９は、レーザ投光部４８から
のレーザ光を受光してその出力を電気信号に変換する
が、その受光した光の量に応じて電気出力が変化するよ
うになっている。近接センサ２１は、ワーク１３の上に
試料保持手段２２がのっているかどうかを検出するもの
である。

【００２０】次に図９を参照する。この図９において
は、上述した各要素の電気的接続が示されている。図９
においては理解を容易にするために、ＤＣモータ４２お
よびボール螺子１１、着磁ヘッド５１ａ、近接センサ２
１は、その機械的位置関係と同じになるように記載して
いる。制御監視手段１０１は、制御・検査処理部５６、
アンプ５３、Ａ／Ｄ変換器５０、５４、を有している。
制御・検査処理部５６は、ほとんど全ての構成部分と接
続されていて、動作の開始および終了の制御ならびに検
査情報分の収集およびこれに対する情報処理を行う部分
である。ここでは、例えば制御検査処理部５６としてパ
ーソナルコンピュータを用いているが、これに限らずシ
ーケンサやワンボードマイクロコンピュータもしくはこ
れらの組合せにより構成しても良い。

【００２１】位置検出手段５８は、ワーク台１３の移動
があると、その移動距離に従ってパルスを発生するもの
である。例えばリニアスケールであるともいう位置検出
手段５８は、０．２μｍごとに１パルスを発生すること
ができるようになっている。ＤＣモータ４２は、サーボ
アンプ４３によって速度制御され動作する。この動作の
開始および終了ならびに方向の指示も、制御・検査処理
部５６によってされるように構成されている。そして本
実施例においては、ワーク台１３は、約１０ｍｍ／ｓｅ
ｃ程度の動作をするように制御される。

【００２２】上述したバキューム手段１３ｂは、図９に
おいては真空圧検出部４５と負圧発生駆動部４４を有し
ている。この負圧発生駆動部４４とワーク台１３がチュ
ーブ４４ａにより接続されている。負圧発生部４４は適
当な真空状態を発生する。ここでワーク台１３はその内
部が中空になっていることは既に述べた通りである。真
空圧検出部４５は、隣接された空間の空気圧を検査し
て、その情報が電気的に制御・検査処理部５６に転送で
きるようになっている。ここで、真空圧検出部４５は、
図示してはいないが、ワーク台１３の内部に連通した空
間に連設されているので、ワーク台１３の中空部の空気
圧を測定していることになっている。レーザ受光部４９
は、その出力がＡ／Ｄ変換部５０によりデジタル情報に
変換されて、受光した光の量がどの程度なのかを、制御
・検査処理部５６で管理できるようになっている。

【００２３】着磁ヘッド５１ａは、直接制御、検査処理
部５６と接続されている。この制御・検査処理部５６か
らの指示により、その直下を通りすぎるリニア多極磁石
１４に対して着磁ができるようになっている。着磁確認
手段５２の出力は、アンプ５３を介してＡ／Ｄ変換器５
４においてＡ／Ｄ変換されて、制御・検査処理部５６で
情報の収集と記憶が行われるようになっている。なお、
この着磁確認時のサンプリングタイミングは、時間によ
って行うのではなく、位置検出手段５８の出力パルスに
よって行うようになっている。

【００２４】図１０を参照する。この図１０では上述し
た制御・検査処理部５６の内部構造の一例を示してい
る。バスＢに対してインターフェース１００、着磁ヘッ
ドドライバー１３１、インターフェース１０２，１０
３，１０４およびＣＰＵ１０５、マンマシンインターフ
ェース１０６、収集値メモリ１０７、ＤＭＡ１０８およ
びインターフェース１０９が接続されている。マンマシ
ンインターフェース１０６に対してはキーボード１０６
ａおよび表示装置１０６ｂが接続されている。インター
フェース１０９に対してはレーザ受光部４９がＡ／Ｄ変
換器５０を介して接続されている。

【００２５】インターフェース１００に対してはＡ／Ｄ
変換器５４およびアンプ５３を介して着磁確認手段５２
が接続されている。着磁ヘッドドライバ１３１には着磁
ヘッド５１ａが接続されている。インターフェース１０
２には負圧発生駆動部４４と真空圧検出部４５が接続さ
れている。インターフェース１０３にはサーボアンプ４
３が接続されている。インターフェース１０４には近接
センサ４１が接続されている。

【００２６】次に上記構成における概略の動作を説明す
る。図１を参照すると、リニア多極磁石１４が試料保持
手段２２およびワーク台１３を介して吸着される。この
ワーク台１３が当初位置から矢印Ｘ−方向に移動する時
に、異常検出手段７７によりリニア多極磁石１４の高さ
の検出をする。これにより、着磁ヘッド５１ａの下端と
各リニア多極磁石１４が衝突するのを未然に防ぐ。着磁
ヘッド５１ａの下に各リニア多極磁石１４が通り、各リ
ニア多極磁石１４に対して着磁が順次行われる。そし
て、着磁確認手段５２により各リニア多極磁石１４の着
磁状況の検査が順次行われる。なお、ワーク台１３の位
置検出のための分解能は、０．２μｍの位置検出手段５
８により行うことができる。即ち、図９において、自動
運転中において、モータ４２のコントロール、着磁ヘッ
ド５１ａの着磁電流出力、それから着磁確認手段５２の
ＭＲ出力との同期を、位置検出手段５８の発生パルスに
より取ることができる。

【００２７】次に、上記動作をさらに詳しく説明する。
まず、ワーク台１３の上に試料保持手段２２をのせて、
しかもその上に複数のリニア多極磁石１４をのせる。そ
して負圧をかけて、試料保持手段２２とリニア多極磁石
１４をワーク１３に対して固定する。そして図９の制御
・検査処理部５６は、人間が操作パネルのスイッチを押
すことにより動作指示があると、モータ４２等の動作を
開始する。ただしこの時に負圧が充分になっていなけれ
ばその動作を開始しない。これはリニア多極磁石１４の
ズレを防止するためである。試料保持手段２２をワーク
台１３にのせた時に、ワーク台１３の中空部と連通する
ようになっていて、リニア多極磁石１４の吸着と共に試
料保持手段２２のワーク台１３への固定をも合わせて実
現するようになっていることは言うまでもない。

【００２８】図４に示した、高さ検出手段ともいう異常
検出手段７７のレーザ投光部４８から出力されるレーザ
光のスポット３１は、正常なリニア多極磁石１４によっ
てその半分が隠れるようになっているために、もしリニ
ア多極磁石１４に欠けやワレ等の異常がある場合には、
その欠けやワレを検出し、制御・検査処理部５６に対し
てそれに対応する信号を送る。

【００２９】詳細には、図４に示した要求されるリニア
多極磁石１４と、着磁ヘッド５１ａとのエアギャップ長
３２は、２０＋／−１０μｍであるので、着磁を行う前
にリニア多極磁石１４の高さを、たとえば分解能１μｍ
で検出する。なお、隣接するリニア多極磁石１４は、図
８で示したように、位置決めピン２２ｃにより２ｍｍ以
上離されているので、どのリニア多極磁石１４が異常な
状態にあるのかを確実に判別することができる。ここ
で、リニア多極磁石１４が移動してきたことも、位置検
出手段５８の情報とは別にこのレーザ受光部４９からの
信号により検出している。

【００３０】仮にこのレーザ受光情報によってエラーが
検出された時には、即時に装置動作全てを停止する。こ
れにより着磁ヘッド５１ａとリニア多極磁石１４との衝
突を防止する。従って着磁ヘッドの破壊を防止できると
共に、その停止したことを制御・検査処理部５６はオペ
レータに対して通知するようになっている。

【００３１】位置検出手段５８の発生するパルスに基づ
いて、制御・検査処理部５６は着磁ヘッド５１ａに対し
て着磁を指示する。着磁ピッチ、通電幅ともに位置検出
手段５８のパルスをカウントして出力している。図３の
パルスに基づいて着磁を指示するのは、ワーク台１３の
移動に伴なう空間的な着磁の位置精度を向上させるため
である。図３のパルス例は、通電幅がＦで表され、ピッ
チはＤで表されている。これにより、移動台のスピード
にかかわらず、一定のデューティ比の安定した着磁出力
が出せる。

【００３２】各リニア多極磁石１４に対して着磁作業が
なされると、そのままリニア多極磁石１４は着磁確認手
段５２の直下に移動してくる。ここで着磁確認手段５２
によって、制御・検査処理部５６は着磁検査のための情
報を収集する。情報は、この時に発生している位置検出
手段５８の発生するパルスごとに、即ち、ここでは移動
台が０．２μｍ移動するごとに、一旦制御・検査処理部
５６の内部のメモリに蓄積することができる。 このよ
うにして制御・検査処理部５６のメモリ中に蓄えられた
情報については、以下の点について検査を行う。 （ａ）着磁確認手段５２の出力が所定以上出ているこ
と。 （ｂ）注目している磁極での着磁確認手段５２の出力
と、他の磁極での着磁確認手段５２の出力との比が所定
以上でないこと。 （ｃ）図５に示す極幅Ｌが所定の範囲以内に入っている
こと。 （ｄ）所定の数の多極着磁が全て終了した位置での累積
距離誤差が所定以内に収まっていること。 これらの検査を合格しないリニア多極磁石は、例えばリ
ニアモータの固定磁石としてモータに組込んだ場合に
は、モータの回転のムラ等の不都合を生じることにな
る。ここで着磁確認手段５２の出力は、図１１に示すよ
うに、各極ごとに正弦波状の出力が得られる。

【００３３】１つのリニア多極磁石１４についての情報
量は膨大であり、たとえば４個のリニア多極磁石１４を
着磁したときには、およそ２６０キロバイト（Ｋワー
ド）程度にまで及ぶものである。従ってこのままでは、
データ処理においてはその大量の情報量ゆえに処理時間
を無視することができない。しかし、データ処理に大局
的な検査法、局所的な検査法を用いることにより、デー
タ量は、たとえは５０キロバイト（Ｋワード）となり、
約３秒で着磁結果を判別できる。

【００３４】上述したメモリ中に蓄えた情報における検
査は、それぞれのピーク点情報にゼロクロス点情報を取
り出して、これをたとえばパーソナルコンピュータで処
理することにほかならない。そこで、この性質を積極的
に使用して、高速の処理を実現することにする。具体的
には、図１２に示すように、まずたとえば１μｍ毎に情
報を検査して、暫定的にピーク点およびゼロクロス点を
検出する。ここで１μｍごとの情報の抽出は、蓄積され
た全データが０．２μｍごとに連続して記憶されている
ので、これに対し５つごとに飛ばして参照すれば達成す
ることができる。

【００３５】次に図１３に示すように、その暫定ピーク
点または暫定ゼロクロス点を中心に＋／−１μｍ範囲
で、真のピーク点もしくはゼロクロス点を検索する。こ
れによって必要な点を容易にしかも高速に検索できたこ
とになる。上述したようにリニア多極磁石１４に着磁し
て検査した結果、たとえば高精度（＋／−１０μｍ）
で、微少ピッチ（２６４μｍ）の着磁、高分解能（０．
２μｍ）の着磁状態の検査が可能である。本発明は上記
実施例に限定されるものではない。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１と４の発
明によれば、着磁電流出力の通電幅を、従来のように時
間でなく、移動台が移動する際に発生する移動量に対応
した信号に同期して与えることができる。このため、高
精度で、微少ピッチの着磁を安定して行なうことができ
る。また、着磁確認出力を、信号発生手段の発生する信
号に同期して高い位置精度で確認することができ、これ
を例えばコンピュータ処理することにより高速で高分解
能な着磁状態の分析をすることができる。請求項２の発
明によれば、試料を壊すことなくしかも確実に保持する
ことができる。さらに試料の着脱もしくは投排を短時間
ですることができる。請求項３の発明によれば試料と着
磁手段とのエアーギャップがかなり微少なものであって
も、試料の公差やワレあるいは欠け等によって試料の位
置がずれていたり突出していたとしても、着磁手段や試
料を破損する恐れがなくなる。従って作業者がこのよう
な破損防止を目視で監視する必要がなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のリニア多極磁石着磁装置の好適な実施
例を示す斜視図。

【図２】本発明における試料としてのリニア多極磁石１
４を示す斜視図。

【図３】着磁手段における通電幅およびピッチを例示す
る図。

【図４】着磁ヘッドとスポット光およびリニア多極磁石
の位置関係を示す図。

【図５】図２のリニア多極磁石の磁化領域を例示する
図。

【図６】ワーク台、試料保持手段、リニア多極磁石の吸
着を示す図。

【図７】図６におけるワーク台と試料保持手段の断面を
示す図。

【図８】図６における試料保持手段を示す斜視図。

【図９】図１のリニア多極磁石着磁装置の電気的構成を
示す図。

【図１０】図９における制御・検査処理部の内部の構成
例を示す図。

【図１１】着磁確認手段の出力波形例を示す図。

【図１２】図１１におけるピーク点と０クロス位置を探
索することを示す図。

【図１３】真のピークと暫定ピークを例示する図。

【図１４】従来のリニア多極磁石着磁装置の例を示す斜
視図。

【符号の説明】

１３ ワーク台（移動台） １４ リニア多極磁石（試料） ２１ 近接センサ ２２ 試料保持手段 ５１ 着磁手段 ５２ 着磁確認手段 ５６ 制御・検出手段 ５８ 位置検出手段 ７７ 異常検出手段（高さ検出手段） ９９ 移動手段 １０１制御監視手段

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直線移動可能な移動台と、 この移動台の位置を検出する位置検出手段と、 移動台に複数の試料を保持するための試料保持手段と、 各試料を磁化するための着磁手段と、 着磁された試料の着磁状況を確認する着磁確認手段と、 移動台の移動と、着磁手段の着磁電流出力と、着磁確認
   手段の着磁確認出力と、の同期をとるために、移動台が
   直線移動する際に、移動台の移動量に対応する信号を発
   生する信号発生手段と、を備えることを特徴とする、リ
   ニア多極磁石着磁装置。
2. 【請求項２】 前記試料保持手段は、試料を着脱自在に
   保持するための吸着手段を含む、請求項１または請求項
   ２に記載のリニア多極磁石着磁装置。
3. 【請求項３】 前記移動台が移動する際に前記試料保持
   手段に保持された試料と前記着磁手段とが当たるのを回
   避するために、前記試料の異常を検出する異常検出手段
   を備える、請求項１または請求項２に記載のリニア多極
   磁石着磁装置。
4. 【請求項４】 移動台により複数の試料を直線移動する
   際に、移動台の移動量に対応する信号を発生し、 移動台の試料と、この試料を磁化するための着磁手段
   と、が当たるのを回避するために、着磁手段に対する試
   料の状態を確認し、 移動台の移動量に対応する信号に同期して、着磁手段に
   より試料を磁化し、 移動台の移動量に対応する信号に同期して、着磁確認手
   段により試料の着磁状況の確認を行うことを特徴とす
   る、リニア多極磁石着磁方法。