JP3095534B2 - 真空蒸着における原料ペレット供給方法 - Google Patents
真空蒸着における原料ペレット供給方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属の蒸着方法に関し、
特にるつぼに収容された原料金属を電子ビームで溶解す
る肩の金属蒸着方法に使用する原料ペレット供給方法に
関する。
特にるつぼに収容された原料金属を電子ビームで溶解す
る肩の金属蒸着方法に使用する原料ペレット供給方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】真空室内において、電子銃から電子ビー
ムを発生させ、これをレンズにより絞ってスポットと
し、るつぼ内に収容された蒸発すべき金属に衝突させて
これを溶解させ、溶解した高温度金属からの金属蒸気を
蒸発させて基体に蒸着させる方法が行われている。この
ような技術は特公平３−４１８９７号、特公平３−３８
３４０号、特開昭５９−１７８６２６、特開平３−１２
６８２３号等に記載されている。
ムを発生させ、これをレンズにより絞ってスポットと
し、るつぼ内に収容された蒸発すべき金属に衝突させて
これを溶解させ、溶解した高温度金属からの金属蒸気を
蒸発させて基体に蒸着させる方法が行われている。この
ような技術は特公平３−４１８９７号、特公平３−３８
３４０号、特開昭５９−１７８６２６、特開平３−１２
６８２３号等に記載されている。
【０００３】このような電子銃を使用する真空蒸着装置
では、電子銃から出た高エネルギー電子ビームをるつぼ
に向けて直進させる。るつぼは通常基体の幅方向に細長
く延びた長方形をしており、電子ビームはるつぼの金属
表面をほぼ均一に加熱する目的で偏向磁界または電界の
作用下にるつぼの長さ方向に走査される。例えば、斜め
配向型の蒸着金属磁気記録媒体を製造する場合には、Ｃ
ｏまたはＣｏ合金を数十ｃｍの長さの高純度マグネシア
（ＭｇＯ）製のるつぼ（ボート）に収容し、電子銃から
最大３０ｋＶ程度の加速電圧で電子ビームをるつぼに向
けて直進させて金属に衝突させる。その際に、電子ビー
ムをるつぼの長さ方向に（場合により更に幅方向にも）
走査させて金属を均一に加熱する。
では、電子銃から出た高エネルギー電子ビームをるつぼ
に向けて直進させる。るつぼは通常基体の幅方向に細長
く延びた長方形をしており、電子ビームはるつぼの金属
表面をほぼ均一に加熱する目的で偏向磁界または電界の
作用下にるつぼの長さ方向に走査される。例えば、斜め
配向型の蒸着金属磁気記録媒体を製造する場合には、Ｃ
ｏまたはＣｏ合金を数十ｃｍの長さの高純度マグネシア
（ＭｇＯ）製のるつぼ（ボート）に収容し、電子銃から
最大３０ｋＶ程度の加速電圧で電子ビームをるつぼに向
けて直進させて金属に衝突させる。その際に、電子ビー
ムをるつぼの長さ方向に（場合により更に幅方向にも）
走査させて金属を均一に加熱する。
【０００４】このような従来の蒸着方法では、蒸着金属
の基体への十分な接着強度が確保できず、十分な耐久性
のある蒸着膜を提供できない。その原因は、電子ビーム
の電力を約１２０〜１５０ｋＷ（３０ｋＶで４〜５Ａ程
度）以上にすると、溶融金属表面から金属蒸気と共に飛
び出す電子と電子銃からの電子が互いに反発して電子の
収束ができず、実効電力を約１００ｋＷ以上には出来
ず、蒸気速度を十分に向上させることができなかったか
らである。なおここに実効電力とは蒸発速度が電子銃の
電力に依存して変化する範囲の電力である（例えば、１
００〜１５０ｋＷ加えても蒸発速度が変化しない場合、
最大実効電力は１００ｋＷである）。
の基体への十分な接着強度が確保できず、十分な耐久性
のある蒸着膜を提供できない。その原因は、電子ビーム
の電力を約１２０〜１５０ｋＷ（３０ｋＶで４〜５Ａ程
度）以上にすると、溶融金属表面から金属蒸気と共に飛
び出す電子と電子銃からの電子が互いに反発して電子の
収束ができず、実効電力を約１００ｋＷ以上には出来
ず、蒸気速度を十分に向上させることができなかったか
らである。なおここに実効電力とは蒸発速度が電子銃の
電力に依存して変化する範囲の電力である（例えば、１
００〜１５０ｋＷ加えても蒸発速度が変化しない場合、
最大実効電力は１００ｋＷである）。
【０００５】電子銃が放出する電子ビームの軸線と前記
るつぼから放出される金属蒸気の軸線とをほぼ直角に交
差して配置し、前記電子ビームを磁界によりほぼ直角に
偏向して前記るつぼ内に結像させると、従来不可能であ
った１５０〜３００ｋＷ（実効電力１２０〜２４０ｋ
Ｗ）で電子銃を駆動することができ、接着強度の高い緻
密な蒸着膜を提供できることが分かった（特願平４−１
７５０３７）。
るつぼから放出される金属蒸気の軸線とをほぼ直角に交
差して配置し、前記電子ビームを磁界によりほぼ直角に
偏向して前記るつぼ内に結像させると、従来不可能であ
った１５０〜３００ｋＷ（実効電力１２０〜２４０ｋ
Ｗ）で電子銃を駆動することができ、接着強度の高い緻
密な蒸着膜を提供できることが分かった（特願平４−１
７５０３７）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】原料金属を高エネルギ
ー電子ビームで溶解させると、溶融金属の粘度が低下
し、供給管を通って供給される原料金属ペレットが溶融
金属表面に衝撃を与えて溶融金属のスプラッシュを生
じ、周囲の部材を汚染しあるいは搬送系等の部材に付着
して蒸着装置の機能を阻害する問題が生じる。例えば特
開平３−１２６８２４号、同３−１２６８２３号等に記
載されているような傾斜の緩い供給路を用い、原料ホッ
パからペレットを一個ずつ取り出して管に一個づつ送り
出すことにより解決できるが、機構部分はできるだける
つぼから離して熱の影響を避けなければならないから、
比較的長い供給路の摩擦に抗して円滑な供給を行うには
ある程度の勢いがつく角度にしなければならない。この
ため上記のスプラッシュを回避することが困難となる。
従って、本発明の目的は、スプラッシュを最小限度に抑
制した原料金属ペレット供給方法を提供することにあ
る。
ー電子ビームで溶解させると、溶融金属の粘度が低下
し、供給管を通って供給される原料金属ペレットが溶融
金属表面に衝撃を与えて溶融金属のスプラッシュを生
じ、周囲の部材を汚染しあるいは搬送系等の部材に付着
して蒸着装置の機能を阻害する問題が生じる。例えば特
開平３−１２６８２４号、同３−１２６８２３号等に記
載されているような傾斜の緩い供給路を用い、原料ホッ
パからペレットを一個ずつ取り出して管に一個づつ送り
出すことにより解決できるが、機構部分はできるだける
つぼから離して熱の影響を避けなければならないから、
比較的長い供給路の摩擦に抗して円滑な供給を行うには
ある程度の勢いがつく角度にしなければならない。この
ため上記のスプラッシュを回避することが困難となる。
従って、本発明の目的は、スプラッシュを最小限度に抑
制した原料金属ペレット供給方法を提供することにあ
る。
【０００７】また、このような供給管では特別な供給装
置を使用しないとペレットが２個以上同時に供給される
可能性があり、供給管が詰まってその後の供給ができな
くなる場合がある。本発明の他の目的はこのような原料
ペレット供給方法において、供給路が詰まることのない
ようにする方法を提供することである。
置を使用しないとペレットが２個以上同時に供給される
可能性があり、供給管が詰まってその後の供給ができな
くなる場合がある。本発明の他の目的はこのような原料
ペレット供給方法において、供給路が詰まることのない
ようにする方法を提供することである。
【０００８】本発明は、原料金属ペレットを傾斜した供
給路を通してるつぼに供給し、該るつぼ内で該原料金属
に電子ビームを照射して加熱することにより該金属を蒸
発させ、蒸発金属を基体に蒸着させる真空蒸着方法にお
いて、前記るつぼ近傍で前記供給路を下方へ湾曲させ次
いで水平方向に湾曲させた部分を設け、前記原料ペレッ
トを、前記下方へ湾曲した部分の壁に衝突させて一旦減
速させてから、前記るつぼに導くことを特徴とする、原
料ペレット供給方法である。これに加えて供給路から出
たペレットをるつぼの周壁の面またはブロックに当てる
工程を追加しても良い。
給路を通してるつぼに供給し、該るつぼ内で該原料金属
に電子ビームを照射して加熱することにより該金属を蒸
発させ、蒸発金属を基体に蒸着させる真空蒸着方法にお
いて、前記るつぼ近傍で前記供給路を下方へ湾曲させ次
いで水平方向に湾曲させた部分を設け、前記原料ペレッ
トを、前記下方へ湾曲した部分の壁に衝突させて一旦減
速させてから、前記るつぼに導くことを特徴とする、原
料ペレット供給方法である。これに加えて供給路から出
たペレットをるつぼの周壁の面またはブロックに当てる
工程を追加しても良い。
【０００９】本発明は更に、供給路を管で構成し、該管
の内径を原料金属ペレットの最大寸法の２．０〜３．０
倍としたことを特徴とする。これにより供給時の詰まり
は生じないことが分かった。
の内径を原料金属ペレットの最大寸法の２．０〜３．０
倍としたことを特徴とする。これにより供給時の詰まり
は生じないことが分かった。
【００１０】本発明に使用する蒸着装置は、蒸発すべき
金属を収容する細長いるつぼ、前記るつぼ内に指向する
電子ビームを発生させるための電子銃、前記るつぼに対
向して設けられた回転ドラム、前記回転ドラムの面に沿
ってプラスチック基体を送るための供給及び巻取り手
段、前記回転ドラムの面に沿って設けられ一部が前記る
つぼに対向した開口を有するマスク、及び前記マスクを
開閉するためのシャッタ部材よりなる真空蒸着装置であ
る。このような蒸着装置は、例えばＣｏまたはＣｏ合金
をポリエステル（ＰＥＴ等）に斜め蒸着して斜めの異方
性を有する磁気記録媒体を製造するのに使用できる。大
電力電子銃では、上記のように接着性の向上のほか、更
に、プラスチック基体の走行速度を従来よりも高速度に
でき、生産性を上げることができる。
金属を収容する細長いるつぼ、前記るつぼ内に指向する
電子ビームを発生させるための電子銃、前記るつぼに対
向して設けられた回転ドラム、前記回転ドラムの面に沿
ってプラスチック基体を送るための供給及び巻取り手
段、前記回転ドラムの面に沿って設けられ一部が前記る
つぼに対向した開口を有するマスク、及び前記マスクを
開閉するためのシャッタ部材よりなる真空蒸着装置であ
る。このような蒸着装置は、例えばＣｏまたはＣｏ合金
をポリエステル（ＰＥＴ等）に斜め蒸着して斜めの異方
性を有する磁気記録媒体を製造するのに使用できる。大
電力電子銃では、上記のように接着性の向上のほか、更
に、プラスチック基体の走行速度を従来よりも高速度に
でき、生産性を上げることができる。
【００１１】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を詳しく
説明する。図１は本発明の蒸着装置１を示す。ただし図
示の部分は図示しない真空チャンバーに収容されてお
り、所定の排気装置を有するものとする。３は矢印の方
向（またはその逆方向）に回転する回転ドラムで、蒸着
基体を構成するポリエステル等の基体フィルム５がその
周りにかけて通され、繰り出しロール９から回転ドラム
３の周面を通って巻き取りロール７に巻き取られる。回
転ドラム３に近接して一部が開口したマスク１１が設け
てあり、蒸着金属が所定の角度以外ではフィルム５に蒸
着しないようにしている。マスク１１の外面（または内
面）に沿ってシャッタ１３が設けてあり、蒸着の初期及
び終期に矢印の方向にスライドしてマスク１１の開口を
遮蔽することにより不要な蒸着を防止する。マスク１１
の開口の寸法は回転ドラム３の軸線方向には、フィルム
５上に所定の蒸着幅が得られるように、回転ドラムの周
方向にはフィルム上に所定の蒸着角度θが得られるよう
に選択する。
説明する。図１は本発明の蒸着装置１を示す。ただし図
示の部分は図示しない真空チャンバーに収容されてお
り、所定の排気装置を有するものとする。３は矢印の方
向（またはその逆方向）に回転する回転ドラムで、蒸着
基体を構成するポリエステル等の基体フィルム５がその
周りにかけて通され、繰り出しロール９から回転ドラム
３の周面を通って巻き取りロール７に巻き取られる。回
転ドラム３に近接して一部が開口したマスク１１が設け
てあり、蒸着金属が所定の角度以外ではフィルム５に蒸
着しないようにしている。マスク１１の外面（または内
面）に沿ってシャッタ１３が設けてあり、蒸着の初期及
び終期に矢印の方向にスライドしてマスク１１の開口を
遮蔽することにより不要な蒸着を防止する。マスク１１
の開口の寸法は回転ドラム３の軸線方向には、フィルム
５上に所定の蒸着幅が得られるように、回転ドラムの周
方向にはフィルム上に所定の蒸着角度θが得られるよう
に選択する。
【００１２】マスク１１の開口に対向して高純度マグネ
シア（ＭｇＯ）製等のるつぼ１５が配置され、その内部
に蒸着すべき原料金属１７が装入されている。るつぼ１
５は必要な蒸着幅を得るのに十分なだけ回転ドラム３の
軸線方向に細長く伸びている。るつぼ１５は所定の蒸着
角度θ（マスクの開口内の位置により若干変動する）が
得られるように配置される。るつぼ１５に装入した原料
金属１７は電子銃１９から放出される電子ビーム２１に
より加熱される。本発明では電子銃１９の電子ビーム２
１の放出方向はるつぼ１５とマスク１１の開口を結ぶ線
に対してほぼ９０度をなす方向に電子ビーム２１を放出
する。この電子ビームは図示しない適当なコンデンサレ
ンズ、収束レンズ、及び偏向コイルによる磁界２３の作
用により約９０度曲げられると同時に小スポット状に収
束されて原料金属１７に衝突する。実験によると、図１
の鎖線位置に配置された従来の直進型電子銃１９’に比
較して、大幅な電力増大が達成できる。
シア（ＭｇＯ）製等のるつぼ１５が配置され、その内部
に蒸着すべき原料金属１７が装入されている。るつぼ１
５は必要な蒸着幅を得るのに十分なだけ回転ドラム３の
軸線方向に細長く伸びている。るつぼ１５は所定の蒸着
角度θ（マスクの開口内の位置により若干変動する）が
得られるように配置される。るつぼ１５に装入した原料
金属１７は電子銃１９から放出される電子ビーム２１に
より加熱される。本発明では電子銃１９の電子ビーム２
１の放出方向はるつぼ１５とマスク１１の開口を結ぶ線
に対してほぼ９０度をなす方向に電子ビーム２１を放出
する。この電子ビームは図示しない適当なコンデンサレ
ンズ、収束レンズ、及び偏向コイルによる磁界２３の作
用により約９０度曲げられると同時に小スポット状に収
束されて原料金属１７に衝突する。実験によると、図１
の鎖線位置に配置された従来の直進型電子銃１９’に比
較して、大幅な電力増大が達成できる。
【００１３】最小入射角度θｍｉｎは用途により最適角
度は異なるが、特に磁気記録媒体としてＣｏ、またはＣ
ｏ−Ｎｉ合金をポリエチレンテレフタレート等のポリエ
ステル等の基体フィルムに斜め蒸着して、磁化容易方向
を基体に対して斜めにしたい場合には、最小入射角θｍ
ｉｎを１０゜〜６０゜、好ましくは２０゜〜５０゜とす
る。
度は異なるが、特に磁気記録媒体としてＣｏ、またはＣ
ｏ−Ｎｉ合金をポリエチレンテレフタレート等のポリエ
ステル等の基体フィルムに斜め蒸着して、磁化容易方向
を基体に対して斜めにしたい場合には、最小入射角θｍ
ｉｎを１０゜〜６０゜、好ましくは２０゜〜５０゜とす
る。
【００１４】電子銃１９を電力が約３００ｋＷまでの値
で駆動した時最大２４０ｋＷ程度の実効電力が得られる
ことが分かった。なお上限３００ｋＷを越えると、るつ
ぼ１５内の溶融金属が激しく踊り、均一な蒸着が期待で
きなくなる。先に述べたように、この値は従来の直進型
電子銃（図１に鎖線で表示した電子銃１９’）では到底
不可能であった。このため、本発明による蒸着膜の基体
への結合力（接着性）が向上し、例えば磁気記録媒体の
磁気ヘッドやガイド部分との接触・摩擦による摩耗、剥
離が減少し、耐久性が向上する。上記のように接着性の
向上のほか、更に、プラスチック基体の走行速度を従来
の１００ｍ／ｍｉｎ程度であったものを、最大２５０ｍ
／ｍｉｎの移動速度に出来、製造を迅速化できる。
で駆動した時最大２４０ｋＷ程度の実効電力が得られる
ことが分かった。なお上限３００ｋＷを越えると、るつ
ぼ１５内の溶融金属が激しく踊り、均一な蒸着が期待で
きなくなる。先に述べたように、この値は従来の直進型
電子銃（図１に鎖線で表示した電子銃１９’）では到底
不可能であった。このため、本発明による蒸着膜の基体
への結合力（接着性）が向上し、例えば磁気記録媒体の
磁気ヘッドやガイド部分との接触・摩擦による摩耗、剥
離が減少し、耐久性が向上する。上記のように接着性の
向上のほか、更に、プラスチック基体の走行速度を従来
の１００ｍ／ｍｉｎ程度であったものを、最大２５０ｍ
／ｍｉｎの移動速度に出来、製造を迅速化できる。
【００１５】具体例を挙げれば、平均の最小入射角θmi
n を３０度、るつぼの液面と回転ドラム３の蒸着面の平
均距離を約３００ｍｍ、マスクの開口幅を５００ｍｍと
し、真空チャンバーを１×１０-5Ｔｏｒｒに排気し、厚
さ７μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥ
Ｔ）を１００〜２５０ｍ／ｍｉｎで走行させ、Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金（８０：２０）のペレットをるつぼ１５に間欠供
給しながら、電子銃１９の駆動電力４０ｋＶ×（３〜５
Ａ）＝１２０〜２００ｋＷで溶解し、蒸着を行う。電子
銃電力を一定に保ちながらフィルム搬送速度を調整して
蒸着膜厚を約１８００Å等とする。また蒸着時に導入す
る酸素主成分のガス量も適宜調整して同等の磁気特性が
得られるように成膜する。
n を３０度、るつぼの液面と回転ドラム３の蒸着面の平
均距離を約３００ｍｍ、マスクの開口幅を５００ｍｍと
し、真空チャンバーを１×１０-5Ｔｏｒｒに排気し、厚
さ７μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥ
Ｔ）を１００〜２５０ｍ／ｍｉｎで走行させ、Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金（８０：２０）のペレットをるつぼ１５に間欠供
給しながら、電子銃１９の駆動電力４０ｋＶ×（３〜５
Ａ）＝１２０〜２００ｋＷで溶解し、蒸着を行う。電子
銃電力を一定に保ちながらフィルム搬送速度を調整して
蒸着膜厚を約１８００Å等とする。また蒸着時に導入す
る酸素主成分のガス量も適宜調整して同等の磁気特性が
得られるように成膜する。
【００１６】実施例１ 図２は図１のるつぼ１５の部分を図１の右から見た図で
あり、本発明の実施例に従って、原料ペレット供給装置
３０が使用される。３２は原料金属ペレットを収容した
ホッパーであり、金属製の傾斜した供給路３４を通して
原料ペレットがるつぼに供給される。供給路３４はペレ
ットが途中で止まらないで円滑に供給できるためにはあ
る程度の傾斜が必要である。供給路３４には先に引用し
た特開平３−１２６８２４号、同３−１２６８２３号等
に記載された送り装置を使用してもよいし、他の任意の
送り装置を使用してもよい。供給路３４はるつぼ１５に
近接した位置に下方に湾曲部３８を有し、その下端には
供給路３４と同様な傾斜の供給路４０が接続されてい
る。供給路４０の出口には好ましくは図４に示すような
出口カラー４６が着脱自在に固着されている。なお、出
口カラー４６は本発明の主題ではないがるつぼの材料で
あるマグネシアまたは原料金属であるＣｏまたはＣｏ−
Ｎｉ合金等のＣｏ合金と同じ組成の材料を使用する。こ
れによりるつぼの汚染を防止し、供給路の溶融毀損を防
止することができる。
あり、本発明の実施例に従って、原料ペレット供給装置
３０が使用される。３２は原料金属ペレットを収容した
ホッパーであり、金属製の傾斜した供給路３４を通して
原料ペレットがるつぼに供給される。供給路３４はペレ
ットが途中で止まらないで円滑に供給できるためにはあ
る程度の傾斜が必要である。供給路３４には先に引用し
た特開平３−１２６８２４号、同３−１２６８２３号等
に記載された送り装置を使用してもよいし、他の任意の
送り装置を使用してもよい。供給路３４はるつぼ１５に
近接した位置に下方に湾曲部３８を有し、その下端には
供給路３４と同様な傾斜の供給路４０が接続されてい
る。供給路４０の出口には好ましくは図４に示すような
出口カラー４６が着脱自在に固着されている。なお、出
口カラー４６は本発明の主題ではないがるつぼの材料で
あるマグネシアまたは原料金属であるＣｏまたはＣｏ−
Ｎｉ合金等のＣｏ合金と同じ組成の材料を使用する。こ
れによりるつぼの汚染を防止し、供給路の溶融毀損を防
止することができる。
【００１７】更に、供給路３４には先に引用した特開平
３−１２６８２４号、同３−１２６８２３号等に記載さ
れた送り装置を使用しないで、端にホッパーから直接供
給路４０にペレットを供給する場合には、供給路を管で
構成し、該管の内径を原料金属ペレットの最大寸法の
２．０〜３．０倍とすると、意外にも原料金属ペレット
が供給路内に詰まることがなくなることが分かった。こ
の実施例は、一個づつペレットを送り出す装置を省略で
きる点で優れている。
３−１２６８２４号、同３−１２６８２３号等に記載さ
れた送り装置を使用しないで、端にホッパーから直接供
給路４０にペレットを供給する場合には、供給路を管で
構成し、該管の内径を原料金属ペレットの最大寸法の
２．０〜３．０倍とすると、意外にも原料金属ペレット
が供給路内に詰まることがなくなることが分かった。こ
の実施例は、一個づつペレットを送り出す装置を省略で
きる点で優れている。
【００１８】以上の構成であるから、原料金属ペレット
はホッパー３２から送り装置３６を経て供給路３４を滑
り落ち、次いで湾曲部３８の壁に当たって減速される。
次いで供給路４０を滑り落ちてるつぼ内に落下する。供
給路４０は短いからほとんど加速されないでるつぼに落
下し、出口が十分溶融金属面に接近していればスプラッ
シュを生じない。
はホッパー３２から送り装置３６を経て供給路３４を滑
り落ち、次いで湾曲部３８の壁に当たって減速される。
次いで供給路４０を滑り落ちてるつぼ内に落下する。供
給路４０は短いからほとんど加速されないでるつぼに落
下し、出口が十分溶融金属面に接近していればスプラッ
シュを生じない。
【００１９】実施例２ 図３は本発明の他の実施例を示す。この実施例では図２
の供給装置をそっくり使用してもよいし、あるいは図２
の湾曲部３８がないものを使用してもよい。しかし、本
例では供給路４２の出口をるつぼ１５よりも後退させ、
供給路から出たペレットを矢印のように一旦るつぼ１５
の縁に当てて減速し、それからるつぼ内に入れるように
する。こうしてスプラッシュを防止することができる。
この例はまた、供給路の出口の溶融を防ぎ、その寿命を
延ばすことができる。
の供給装置をそっくり使用してもよいし、あるいは図２
の湾曲部３８がないものを使用してもよい。しかし、本
例では供給路４２の出口をるつぼ１５よりも後退させ、
供給路から出たペレットを矢印のように一旦るつぼ１５
の縁に当てて減速し、それからるつぼ内に入れるように
する。こうしてスプラッシュを防止することができる。
この例はまた、供給路の出口の溶融を防ぎ、その寿命を
延ばすことができる。
【００２０】
【作用効果】以上の構成であるから、原料金属ペレット
は供給路を滑り落ち、次いで湾曲部３８の壁またはるつ
ぼの壁面に当たって減速され、スプラッシュを防止する
ことができる。また、原料ペレットの最大寸法と供給路
の内径の関係を所定の範囲に納めることによりペレット
の円滑な供給を達成できる。
は供給路を滑り落ち、次いで湾曲部３８の壁またはるつ
ぼの壁面に当たって減速され、スプラッシュを防止する
ことができる。また、原料ペレットの最大寸法と供給路
の内径の関係を所定の範囲に納めることによりペレット
の円滑な供給を達成できる。
【図１】本発明の真空蒸着方法に使用される蒸着装置の
概略図である。
概略図である。
【図２】本発明の実施例の方法を実施する原料金属供給
装置を示す図である。
装置を示す図である。
【図３】本発明の他の実施例による原料供給方法を示す
図である。
図である。
【図４】本発明の更に他の実施例による原料供給路を示
す図である。
す図である。
１ 蒸着装置 ３ 回転ドラム ５ 基体フィルム ７ 巻き取りロール ９ 繰り出しロール １１ マスク １３ シャッタ １５ るつぼ １７ 原料金属 １９ 電子銃 ２１ 電子ビーム ２３ 偏向磁界 ３０ 原料金属ペレット供給装置 ３２ ホッパー ３４、４０、４２ 供給路 ３８ 湾曲部 ４４ るつぼ縁部 ４６ 出口カラー
フロントページの続き (72)発明者 大塚 俊幸 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 比護 政志 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティ ーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−104332（ＪＰ，Ａ) 特公 昭53−24913（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭59−29951（ＪＰ，Ｙ２) 実公 平２−26934（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58
Claims (3)
- 【請求項１】 原料金属ペレットを傾斜した供給路を通
してるつぼに供給し、該るつぼ内で該原料金属に電子ビ
ームを照射して加熱することにより該金属を蒸発させ、
蒸発金属を基体に蒸着させる真空蒸着方法において、前
記るつぼ近傍で前記供給路を下方へ湾曲させ次いで水平
方向に湾曲させた部分を設け、前記原料ペレットを、前
記下方へ湾曲した部分の壁に衝突させて一旦減速させて
から、前記るつぼに導くことを特徴とする、原料ペレッ
ト供給方法。 - 【請求項２】 更に、前記供給路から出たペレットをる
つぼの周壁の面またはブロックに当てることにより更に
減速する工程を含む請求項１に記載の原料ペレット供給
方法。 - 【請求項３】 供給路を管で構成し、該管の内径を原料
金属ペレットの最大寸法の２．０〜３．０倍とした請求
項１に記載の原料ペレット供給方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04175902A JP3095534B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 真空蒸着における原料ペレット供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04175902A JP3095534B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 真空蒸着における原料ペレット供給方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05339716A JPH05339716A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3095534B2 true JP3095534B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=16004236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04175902A Expired - Lifetime JP3095534B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 真空蒸着における原料ペレット供給方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3095534B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115595550B (zh) * | 2022-10-24 | 2024-07-23 | 广东振华科技股份有限公司 | 一种af颗粒膜料自动换料连续蒸发镀膜装置及方法 |
-
1992
- 1992-06-11 JP JP04175902A patent/JP3095534B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05339716A (ja) | 1993-12-21 |
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