JPH10312536A - 磁気記録媒体の製造装置及び同装置用るつぼ - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置及び同装置用るつぼInfo
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- JPH10312536A JPH10312536A JP9137549A JP13754997A JPH10312536A JP H10312536 A JPH10312536 A JP H10312536A JP 9137549 A JP9137549 A JP 9137549A JP 13754997 A JP13754997 A JP 13754997A JP H10312536 A JPH10312536 A JP H10312536A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 一定の特性を有する磁気記録媒体を長時間に
わたって確実に製造し、また、幅方向の磁性膜の膜厚を
一定の範囲で形成する。 【解決手段】 るつぼ１６の側面断面は、上方が開口し
た略コの字形で形成され、るつぼ１６の上端部１６ａは
るつぼ１６の側壁の内面から内側に突出するように形成
されている。電子ビーム１３が斜め方向からるつぼ１６
の開口を介して走査されると、スラグ１１４はるつぼ１
６の側壁１６ｂの内面の近傍に移動して多く浮遊し、る
つぼ１６の側壁１６ｂの内面の近傍の表面からの蒸発量
は不安定になるが、その上の上端部１６ａによりスラグ
１１４の蒸気がベースフィルム６に達しない。
わたって確実に製造し、また、幅方向の磁性膜の膜厚を
一定の範囲で形成する。 【解決手段】 るつぼ１６の側面断面は、上方が開口し
た略コの字形で形成され、るつぼ１６の上端部１６ａは
るつぼ１６の側壁の内面から内側に突出するように形成
されている。電子ビーム１３が斜め方向からるつぼ１６
の開口を介して走査されると、スラグ１１４はるつぼ１
６の側壁１６ｂの内面の近傍に移動して多く浮遊し、る
つぼ１６の側壁１６ｂの内面の近傍の表面からの蒸発量
は不安定になるが、その上の上端部１６ａによりスラグ
１１４の蒸気がベースフィルム６に達しない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性基体上に磁
性膜を成膜するための磁気記録媒体の製造装置及びその
るつぼに関する。
性膜を成膜するための磁気記録媒体の製造装置及びその
るつぼに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気テープの記録密度は近年急速に高密
度化が図られている。この過程で、磁気テープは高抗磁
力、高磁束密度を有する酸化鉄テープ、メタルテープ及
び薄膜テープへと高性能なものに移行している。この磁
気テープの応用として、ＶＴＲ分野では、今後、デジタ
ル化、高精細化を達成するために特に薄膜テープが注目
されている。
度化が図られている。この過程で、磁気テープは高抗磁
力、高磁束密度を有する酸化鉄テープ、メタルテープ及
び薄膜テープへと高性能なものに移行している。この磁
気テープの応用として、ＶＴＲ分野では、今後、デジタ
ル化、高精細化を達成するために特に薄膜テープが注目
されている。
【０００３】この薄膜テープとしては、磁性膜が斜方蒸
着法により形成された、いわゆる蒸着テープが実用化さ
れている。これは、具体的にはピアス型電子銃を用いて
真空中で電子ビームをルツボ内のＣｏ、ＣｏＮｉなどの
磁性材料に照射し、これらの材料を溶融、蒸発させ、酸
素を導入しながら、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＰＩ（ポリイミ
ド）、ＰＡ（ポリアミド）などのベースフィルム上にＣ
ｏＯ、ＣｏＮｉＯよりなる薄膜を形成することにより製
造される。
着法により形成された、いわゆる蒸着テープが実用化さ
れている。これは、具体的にはピアス型電子銃を用いて
真空中で電子ビームをルツボ内のＣｏ、ＣｏＮｉなどの
磁性材料に照射し、これらの材料を溶融、蒸発させ、酸
素を導入しながら、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＰＩ（ポリイミ
ド）、ＰＡ（ポリアミド）などのベースフィルム上にＣ
ｏＯ、ＣｏＮｉＯよりなる薄膜を形成することにより製
造される。
【０００４】この斜方蒸着法を使用した一般的な成膜装
置を図３に示す。図３において、真空槽１内に、巻出し
ロール２、巻取りロール３、ガイドロール４、５及び冷
却キャンロール７がそれぞれ配置されており、非磁性基
体すなわちベースフィルム６が矢印方向で示すように巻
出しロール２→ガイドロール４→冷却キャンロール７→
ガイドロール５→巻取りロール３の方向に走行する。冷
却キャンロール７の内部には、上記ベースフィルム６へ
の蒸着時に温度上昇によるベースフィルム６の変形など
を防止するために、図示しない冷却装置が設けられてい
る。
置を図３に示す。図３において、真空槽１内に、巻出し
ロール２、巻取りロール３、ガイドロール４、５及び冷
却キャンロール７がそれぞれ配置されており、非磁性基
体すなわちベースフィルム６が矢印方向で示すように巻
出しロール２→ガイドロール４→冷却キャンロール７→
ガイドロール５→巻取りロール３の方向に走行する。冷
却キャンロール７の内部には、上記ベースフィルム６へ
の蒸着時に温度上昇によるベースフィルム６の変形など
を防止するために、図示しない冷却装置が設けられてい
る。
【０００５】また、冷却キャンロール７の下方には、磁
性材料１１が収容されたルツボ８が配置され、真空槽１
の側壁には、この磁性材料１１を溶融、蒸発させるため
の加熱装置として、例えばピアス型電子銃１２が配設さ
れている。ピアス型電子銃１２から放出される電子ビー
ム１３の制御は、ルツボ８に近接して配置され電子ビー
ム１３の軌道で偏向磁界を印加する偏向マグネット１４
と、電子銃１２内の偏向マグネット１５により行われ
る。電子ビーム１３の照射位置はルツボ８の中央部で、
ベースフィルム６の幅方向に所定の周期で走査され、ル
ツボ８内の磁性材料１１を溶解し、蒸発させる。また、
ルツボ８に近接した偏向マグネットを設置せずに、電子
銃１２から放出された直進電子ビームを、電子銃１２内
の偏向マグネット１５のみを用いてルツボ８内で走査さ
せる方法もある。
性材料１１が収容されたルツボ８が配置され、真空槽１
の側壁には、この磁性材料１１を溶融、蒸発させるため
の加熱装置として、例えばピアス型電子銃１２が配設さ
れている。ピアス型電子銃１２から放出される電子ビー
ム１３の制御は、ルツボ８に近接して配置され電子ビー
ム１３の軌道で偏向磁界を印加する偏向マグネット１４
と、電子銃１２内の偏向マグネット１５により行われ
る。電子ビーム１３の照射位置はルツボ８の中央部で、
ベースフィルム６の幅方向に所定の周期で走査され、ル
ツボ８内の磁性材料１１を溶解し、蒸発させる。また、
ルツボ８に近接した偏向マグネットを設置せずに、電子
銃１２から放出された直進電子ビームを、電子銃１２内
の偏向マグネット１５のみを用いてルツボ８内で走査さ
せる方法もある。
【０００６】冷却キャンロール７の外周面近傍には、ベ
ースフィルム６に対する磁性材料１１の蒸気流の最大入
射角θmax（一般には、９０°）及び最小入射角θmin
（一般には、４０°）を規制するためのマスク９及び１
０が配設されている。そして、ベースフィルム６が冷却
キャンロール７の外周を走行している間に、所定の角度
に設定された最大及び最小入射角の範囲（この範囲を、
蒸着開口部という）で蒸発した磁性材料１１がベースフ
ィルム６の表面に付着し、磁性膜が形成される。このと
き、得られる磁性膜の磁気特性は、磁性材料の蒸気流の
最大入射角θmax及び最小入射角θminにより決定され
る。
ースフィルム６に対する磁性材料１１の蒸気流の最大入
射角θmax（一般には、９０°）及び最小入射角θmin
（一般には、４０°）を規制するためのマスク９及び１
０が配設されている。そして、ベースフィルム６が冷却
キャンロール７の外周を走行している間に、所定の角度
に設定された最大及び最小入射角の範囲（この範囲を、
蒸着開口部という）で蒸発した磁性材料１１がベースフ
ィルム６の表面に付着し、磁性膜が形成される。このと
き、得られる磁性膜の磁気特性は、磁性材料の蒸気流の
最大入射角θmax及び最小入射角θminにより決定され
る。
【０００７】また、図４及び図５に示すようにるつぼ８
の側面断面は、上方が開口したコの字形で形成され、こ
の開口を介して内部の磁性材料１１が電子ビーム１３に
より走査されて蒸発する。
の側面断面は、上方が開口したコの字形で形成され、こ
の開口を介して内部の磁性材料１１が電子ビーム１３に
より走査されて蒸発する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、るつぼ８内
の磁性材料１１が電子ビーム１３により溶解する場合、
成膜時間の経過と共にＣｏが導入酸素により酸化し、図
４及び図５に示すように溶解面に酸化物いわゆるスラグ
１１４が浮遊する。また、磁性材料１１は成膜時間の経
過と共に減少するので補給する必要があるが、この補給
材料の表面には酸化膜が形成されているので、溶解によ
りスラグ１１４が発生する。また、磁性材料１１に含ま
れる不純物によりスラグ１１４が発生する。スラグ１１
４は磁性材料１１より融点が高いので、固体状態で溶解
した磁性材料１１の表面を浮遊し、スラグ１１４が存在
する溶融面からの磁性材料１１の蒸発量はスラグ１１４
が存在しない面より少なくなる。
の磁性材料１１が電子ビーム１３により溶解する場合、
成膜時間の経過と共にＣｏが導入酸素により酸化し、図
４及び図５に示すように溶解面に酸化物いわゆるスラグ
１１４が浮遊する。また、磁性材料１１は成膜時間の経
過と共に減少するので補給する必要があるが、この補給
材料の表面には酸化膜が形成されているので、溶解によ
りスラグ１１４が発生する。また、磁性材料１１に含ま
れる不純物によりスラグ１１４が発生する。スラグ１１
４は磁性材料１１より融点が高いので、固体状態で溶解
した磁性材料１１の表面を浮遊し、スラグ１１４が存在
する溶融面からの磁性材料１１の蒸発量はスラグ１１４
が存在しない面より少なくなる。
【０００９】このため、スラグ１１４が多く発生する
と、溶融表面の蒸発量が不安定になり、一定の特性を有
する磁気記録媒体を長時間にわたって確実に製造するこ
とができないという問題点がある。特にベースフィルム
６の幅方向の磁性膜の膜厚を一定の範囲で形成すること
が困難になる。
と、溶融表面の蒸発量が不安定になり、一定の特性を有
する磁気記録媒体を長時間にわたって確実に製造するこ
とができないという問題点がある。特にベースフィルム
６の幅方向の磁性膜の膜厚を一定の範囲で形成すること
が困難になる。
【００１０】本発明は上記従来の問題点に鑑み、一定の
特性を有する磁気記録媒体を長時間にわたって確実に製
造することができ、また、幅方向の磁性膜の膜厚を一定
の範囲で形成することができる磁気記録媒体の製造装置
及びそのるつぼを提供することを目的とする。
特性を有する磁気記録媒体を長時間にわたって確実に製
造することができ、また、幅方向の磁性膜の膜厚を一定
の範囲で形成することができる磁気記録媒体の製造装置
及びそのるつぼを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、るつぼの上方開口部を狭めるべく、るつぼ
の上端部近傍において側壁の内面から内側に突出する淵
部により開口部を形成するか、あるいは、開口部を実質
的に狭める遮断手段を設けるようにしたものである。す
なわち本発明によれば、上方に開口部を有するるつぼ内
の磁性材料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性基体上に蒸
着させることにより磁性膜を成膜する磁気記録媒体の製
造装置において、前記るつぼの開口部が前記るつぼを形
成する側壁の上端部近傍で内面から内側に突出する淵部
により形成されていることを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置が提供される。
するために、るつぼの上方開口部を狭めるべく、るつぼ
の上端部近傍において側壁の内面から内側に突出する淵
部により開口部を形成するか、あるいは、開口部を実質
的に狭める遮断手段を設けるようにしたものである。す
なわち本発明によれば、上方に開口部を有するるつぼ内
の磁性材料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性基体上に蒸
着させることにより磁性膜を成膜する磁気記録媒体の製
造装置において、前記るつぼの開口部が前記るつぼを形
成する側壁の上端部近傍で内面から内側に突出する淵部
により形成されていることを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置が提供される。
【００１２】また、本発明によれば上方に開口部を有す
るるつぼ内の磁性材料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性
基体上に蒸着させることにより磁性膜を成膜する磁気記
録媒体の製造装置において、前記るつぼ内の前記磁性材
料を前記開口部を通して上方から見たとき、前記るつぼ
を形成する側壁の内面近傍の前記磁性材料が見えなくな
るよう実質的に前記開口部の幅及び／又は奥行を狭める
遮断手段を設けたことを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置が提供される。
るるつぼ内の磁性材料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性
基体上に蒸着させることにより磁性膜を成膜する磁気記
録媒体の製造装置において、前記るつぼ内の前記磁性材
料を前記開口部を通して上方から見たとき、前記るつぼ
を形成する側壁の内面近傍の前記磁性材料が見えなくな
るよう実質的に前記開口部の幅及び／又は奥行を狭める
遮断手段を設けたことを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置が提供される。
【００１３】また、本発明によれば上方に開口部を有す
るるつぼ内の磁性材料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性
基体上に蒸着させることにより磁性膜を成膜する磁気記
録媒体の製造装置に用いる前記るつぼにおいて、前記る
つぼの開口部が前記るつぼを形成する側壁の上端部近傍
で内面から内側に突出する淵部により形成されているこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造装置用るつぼが提供
される。
るるつぼ内の磁性材料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性
基体上に蒸着させることにより磁性膜を成膜する磁気記
録媒体の製造装置に用いる前記るつぼにおいて、前記る
つぼの開口部が前記るつぼを形成する側壁の上端部近傍
で内面から内側に突出する淵部により形成されているこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造装置用るつぼが提供
される。
【００１４】また、本発明によれば上方に開口部を有す
るるつぼ内の磁性材料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性
基体上に蒸着させることにより磁性膜を成膜する磁気記
録媒体の製造装置に用いる前記るつぼにおいて、前記る
つぼ内の前記磁性材料を前記開口部を通して上方から見
たとき、前記るつぼを形成する側壁の内面近傍の前記磁
性材料が見えなくなるよう実質的に前記開口部の幅及び
／又は奥行を狭める遮断手段を設けたことを特徴とする
磁気記録媒体の製造装置用るつぼが提供される。
るるつぼ内の磁性材料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性
基体上に蒸着させることにより磁性膜を成膜する磁気記
録媒体の製造装置に用いる前記るつぼにおいて、前記る
つぼ内の前記磁性材料を前記開口部を通して上方から見
たとき、前記るつぼを形成する側壁の内面近傍の前記磁
性材料が見えなくなるよう実質的に前記開口部の幅及び
／又は奥行を狭める遮断手段を設けたことを特徴とする
磁気記録媒体の製造装置用るつぼが提供される。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る磁気記録媒体
の製造装置の一実施形態の要部であるるつぼを示す側面
断面図、図２は図１のるつぼを示す斜視図である。
施の形態を説明する。図１は本発明に係る磁気記録媒体
の製造装置の一実施形態の要部であるるつぼを示す側面
断面図、図２は図１のるつぼを示す斜視図である。
【００１６】図１及び図２に示すようにるつぼ１６の側
面断面は、上方が開口した略コの字形で形成され、ま
た、るつぼ１６の上端部１６ａは、るつぼ１６の側壁１
６ｂの内面から内側に突出する淵部として形成されてい
る。かかるるつぼ１６を用いた本発明の磁気記録媒体の
製造装置は次のように動作する。電子ビーム１３が図の
ように斜め方向からるつぼ１６の開口部１８を介して走
査されると、スラグ１１４はるつぼ１６の側壁１６ｂの
内面の近傍に移動し、多く浮遊する。このため、るつぼ
１６の側壁１６ｂの内面の近傍の表面からの蒸発量は不
安定になるが、その上の上端部１６ａによりスラグ１１
４の蒸気がベースフィルム６に達しないので、一定の特
性を有する磁気記録媒体を長時間にわたって確実に製造
することができ、また、幅方向の磁性膜の膜厚を一定の
範囲で形成することができる。
面断面は、上方が開口した略コの字形で形成され、ま
た、るつぼ１６の上端部１６ａは、るつぼ１６の側壁１
６ｂの内面から内側に突出する淵部として形成されてい
る。かかるるつぼ１６を用いた本発明の磁気記録媒体の
製造装置は次のように動作する。電子ビーム１３が図の
ように斜め方向からるつぼ１６の開口部１８を介して走
査されると、スラグ１１４はるつぼ１６の側壁１６ｂの
内面の近傍に移動し、多く浮遊する。このため、るつぼ
１６の側壁１６ｂの内面の近傍の表面からの蒸発量は不
安定になるが、その上の上端部１６ａによりスラグ１１
４の蒸気がベースフィルム６に達しないので、一定の特
性を有する磁気記録媒体を長時間にわたって確実に製造
することができ、また、幅方向の磁性膜の膜厚を一定の
範囲で形成することができる。
【００１７】なお、図１、図２に示した実施の形態で
は、るつぼ１６自体の上端部１６ａが内側に突出して淵
部を形成しているが、るつぼ１６内の磁性材料１１を開
口部１８を通して上方から見たとき、るつぼ１６を形成
する側壁１６ｂの内面近傍の磁性材料１１が見えなくな
るよう実質的に開口部１８の幅及び／又は奥行を狭める
遮断手段をるつぼ１６自体とは別体のものとして設けて
もよい。この場合、開口部１８の幅及び／又は奥行を狭
める遮断手段は中央に開口部を有する板状部材とするこ
とができ、その材質はるつぼ１６と同様ＭｇＯを用いる
ことも、他の金属を用いることもできる。なお、必要に
応じて、遮断手段には冷却手段を設けて温度上昇による
変形・溶融を防止する。
は、るつぼ１６自体の上端部１６ａが内側に突出して淵
部を形成しているが、るつぼ１６内の磁性材料１１を開
口部１８を通して上方から見たとき、るつぼ１６を形成
する側壁１６ｂの内面近傍の磁性材料１１が見えなくな
るよう実質的に開口部１８の幅及び／又は奥行を狭める
遮断手段をるつぼ１６自体とは別体のものとして設けて
もよい。この場合、開口部１８の幅及び／又は奥行を狭
める遮断手段は中央に開口部を有する板状部材とするこ
とができ、その材質はるつぼ１６と同様ＭｇＯを用いる
ことも、他の金属を用いることもできる。なお、必要に
応じて、遮断手段には冷却手段を設けて温度上昇による
変形・溶融を防止する。
【００１８】
【実施例】次に、実施例について説明する。 ＜実施例１＞図１〜図３に示す装置において、直径１０
００ｍｍ、幅４００ｍｍの冷却キャンロール７を用い、
真空槽１内に酸素を導入しながらベースフィルム６とし
て長さ１００００ｍ、幅３００ｍｍ、厚み６μｍのＰＥ
Ｔフィルムを５０ｍ／ｍｉｎで冷却キャンロール７上を
走行させてＰＥＴフィルム６上に０．２μｍのＣｏＯを
蒸着した。蒸気流の成膜時の入射角は、初期入射角が９
０°、最小入射角が４０°である。るつぼ１６の開口は
１５０×５００ｍｍである。
００ｍｍ、幅４００ｍｍの冷却キャンロール７を用い、
真空槽１内に酸素を導入しながらベースフィルム６とし
て長さ１００００ｍ、幅３００ｍｍ、厚み６μｍのＰＥ
Ｔフィルムを５０ｍ／ｍｉｎで冷却キャンロール７上を
走行させてＰＥＴフィルム６上に０．２μｍのＣｏＯを
蒸着した。蒸気流の成膜時の入射角は、初期入射角が９
０°、最小入射角が４０°である。るつぼ１６の開口は
１５０×５００ｍｍである。
【００１９】＜比較例１＞図３〜図５に示す装置におい
て、開口が１５０×５００ｍｍのるつぼ８を用い、同一
の条件で成膜を行った。
て、開口が１５０×５００ｍｍのるつぼ８を用い、同一
の条件で成膜を行った。
【００２０】表１は実施例１、比較例１共に成膜開始か
ら２０００ｍおきに、ベースフィルム６の中央と中央か
ら左右に１００ｍｍ離れた位置に成膜されたＣｏＯ磁性
膜のＨｃ、Ｒｓ及び膜厚を測定した結果を示している。
表１に示すように、比較例１では、スラグ１１４の影響
を受けるので、Ｈｃ、Ｒｓ及び膜厚は成膜距離が長くな
るにつれて悪化したが、実施例１ではスラグ１１４の影
響を受けないので、Ｈｃ、Ｒｓ及び膜厚は成膜距離が長
くなっても殆ど悪化しなかった。なお、上記説明では成
膜法として、蒸気流の入射角度を所定値内に規制する斜
方蒸着法を例にしたが、規制しない一般的な蒸着法にも
適用することができる。
ら２０００ｍおきに、ベースフィルム６の中央と中央か
ら左右に１００ｍｍ離れた位置に成膜されたＣｏＯ磁性
膜のＨｃ、Ｒｓ及び膜厚を測定した結果を示している。
表１に示すように、比較例１では、スラグ１１４の影響
を受けるので、Ｈｃ、Ｒｓ及び膜厚は成膜距離が長くな
るにつれて悪化したが、実施例１ではスラグ１１４の影
響を受けないので、Ｈｃ、Ｒｓ及び膜厚は成膜距離が長
くなっても殆ど悪化しなかった。なお、上記説明では成
膜法として、蒸気流の入射角度を所定値内に規制する斜
方蒸着法を例にしたが、規制しない一般的な蒸着法にも
適用することができる。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、る
つぼの上方開口部を狭めるべく、るつぼの上端部近傍に
おいて側壁の内面から内側に突出する淵部により開口部
を形成するか、あるいは、開口部を実質的に狭める遮断
手段を設けるようにしたので、るつぼの側壁面の近傍の
表面からの蒸気がベースフィルムに達しなくなり、した
がって、一定の特性を有する磁気記録媒体を長時間にわ
たって確実に製造することができ、また、幅方向の磁性
膜の膜厚を一定の範囲で形成することができる。
つぼの上方開口部を狭めるべく、るつぼの上端部近傍に
おいて側壁の内面から内側に突出する淵部により開口部
を形成するか、あるいは、開口部を実質的に狭める遮断
手段を設けるようにしたので、るつぼの側壁面の近傍の
表面からの蒸気がベースフィルムに達しなくなり、した
がって、一定の特性を有する磁気記録媒体を長時間にわ
たって確実に製造することができ、また、幅方向の磁性
膜の膜厚を一定の範囲で形成することができる。
【図１】本発明に係る磁気記録媒体の製造装置の一実施
形態の要部であるるつぼを示す側面断面図である。
形態の要部であるるつぼを示す側面断面図である。
【図２】図１のるつぼを示す斜視図である。
【図３】本発明に係る磁気記録媒体の製造装置を示す構
成図である。
成図である。
【図４】従来のるつぼを示す斜視図である。
【図５】従来のるつぼを示す側面断面図である。
６ ベースフィルム ７ 冷却キャンロール １１ 磁性材料 １３ 電子ビーム １６ るつぼ １６ａ 上端部（淵部） １６ｂ 側壁 １８ 開口部 １１４ スラグ
Claims (7)
- 【請求項１】 上方に開口部を有するるつぼ内の磁性材
料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性基体上に蒸着させる
ことにより磁性膜を成膜する磁気記録媒体の製造装置に
おいて、 前記るつぼの開口部が前記るつぼを形成する側壁の上端
部近傍で内面から内側に突出する淵部により形成されて
いることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項２】 上方に開口部を有するるつぼ内の磁性材
料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性基体上に蒸着させる
ことにより磁性膜を成膜する磁気記録媒体の製造装置に
おいて、 前記るつぼ内の前記磁性材料を前記開口部を通して上方
から見たとき、前記るつぼを形成する側壁の内面近傍の
前記磁性材料が見えなくなるよう実質的に前記開口部の
幅及び／又は奥行を狭める遮断手段を設けたことを特徴
とする磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項３】 前記蒸着法として斜方蒸着法を用いたこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の磁気記録媒体の製
造装置。 - 【請求項４】 前記磁性材料としてＣｏ系を用いたこと
を特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の
磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項５】 真空槽内に酸素を導入した状態で前記磁
性膜を成膜することを特徴とする請求項１ないし４のい
ずれか１つに記載の磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項６】 上方に開口部を有するるつぼ内の磁性材
料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性基体上に蒸着させる
ことにより磁性膜を成膜する磁気記録媒体の製造装置に
用いる前記るつぼにおいて、 前記るつぼの開口部が前記るつぼを形成する側壁の上端
部近傍で内面から内側に突出する淵部により形成されて
いることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置用るつ
ぼ。 - 【請求項７】 上方に開口部を有するるつぼ内の磁性材
料を蒸発させて蒸気流を得て非磁性基体上に蒸着させる
ことにより磁性膜を成膜する磁気記録媒体の製造装置に
用いる前記るつぼにおいて、 前記るつぼ内の前記磁性材料を前記開口部を通して上方
から見たとき、前記るつぼを形成する側壁の内面近傍の
前記磁性材料が見えなくなるよう実質的に前記開口部の
幅及び／又は奥行を狭める遮断手段を設けたことを特徴
とする磁気記録媒体の製造装置用るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9137549A JPH10312536A (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 磁気記録媒体の製造装置及び同装置用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9137549A JPH10312536A (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 磁気記録媒体の製造装置及び同装置用るつぼ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10312536A true JPH10312536A (ja) | 1998-11-24 |
Family
ID=15201307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9137549A Pending JPH10312536A (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 磁気記録媒体の製造装置及び同装置用るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10312536A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5740758A (en) * | 1980-08-22 | 1982-03-06 | Sekisui Chem Co Ltd | Method and device for manufacturing magnetic recording medium |
| JPH01246359A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 誘導加熱るつぼ |
-
1997
- 1997-05-13 JP JP9137549A patent/JPH10312536A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5740758A (en) * | 1980-08-22 | 1982-03-06 | Sekisui Chem Co Ltd | Method and device for manufacturing magnetic recording medium |
| JPH01246359A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 誘導加熱るつぼ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020614 |