JP3094110B2 - ２軸独立駆動装置 - Google Patents
２軸独立駆動装置Info
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- JP3094110B2 JP3094110B2 JP03030912A JP3091291A JP3094110B2 JP 3094110 B2 JP3094110 B2 JP 3094110B2 JP 03030912 A JP03030912 A JP 03030912A JP 3091291 A JP3091291 A JP 3091291A JP 3094110 B2 JP3094110 B2 JP 3094110B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば真空シール
ドなどの円筒壁部の内側に配置された２つのロータを独
立に回転させる２軸独立駆動装置に関する。
ドなどの円筒壁部の内側に配置された２つのロータを独
立に回転させる２軸独立駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】２つのロータを独立に回転させる駆動装
置として、第１ロータが磁気継手などの非接触型駆動手
段で回転駆動され、第１ロータに取付けられたモータに
よって第２ロータが回転駆動されるものが知られてい
る。
置として、第１ロータが磁気継手などの非接触型駆動手
段で回転駆動され、第１ロータに取付けられたモータに
よって第２ロータが回転駆動されるものが知られてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来の駆動装置では、第２ロータを駆動するためのモ
ータなどの駆動手段が第１ロータに設けられているた
め、２つのロータとこれらの駆動手段とを完全に分離し
て非接触型にすることはできない。
な従来の駆動装置では、第２ロータを駆動するためのモ
ータなどの駆動手段が第１ロータに設けられているた
め、２つのロータとこれらの駆動手段とを完全に分離し
て非接触型にすることはできない。
【０００４】このため、たとえば、２つのロータが真空
シールドの円筒壁部の内側の真空雰囲気中に入れられる
ような場合など、第１ロータに設けられた第２ロータの
駆動手段も真空雰囲気中に入れなければならなくなり、
種々の不都合が生じる。
シールドの円筒壁部の内側の真空雰囲気中に入れられる
ような場合など、第１ロータに設けられた第２ロータの
駆動手段も真空雰囲気中に入れなければならなくなり、
種々の不都合が生じる。
【０００５】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
２つのロータとこれらの駆動手段とを完全に分離して、
円筒壁部の外側に配置された駆動手段により、円筒壁部
の内側に配置された２つのロータを独立に回転させると
ともに、これらを軸線方向に同期して移動させることが
できる２軸独立駆動装置を提供することにある。
２つのロータとこれらの駆動手段とを完全に分離して、
円筒壁部の外側に配置された駆動手段により、円筒壁部
の内側に配置された２つのロータを独立に回転させると
ともに、これらを軸線方向に同期して移動させることが
できる２軸独立駆動装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明による２軸独立
駆動装置は、円筒壁部と微小隙間をあけてその内側に回
転および軸線方向の移動ができるように配置された円筒
状の第１ロータ、少なくとも一端側が第１ロータの端か
ら突出するように第１ロータの内側に挿入されて第１ロ
ータに対して回転しうるが軸線方向に移動しないように
支持されかつ第１ロータの端から突出した部分に第１ロ
ータと外径のほぼ等しい大径部が形成された第２ロー
タ、ならびに円筒壁部の周囲に配置された第１駆動ユニ
ットおよび第２駆動ユニットを備えており、第１駆動ユ
ニットが、軸線方向に移動できるように円筒壁部の周囲
に配置された第１移動ハウジング、第１移動ハウジング
に設けられて第１ロータを半径方向および軸線方向に保
持する第１磁気軸受、ならびに第１ハウジングに設けら
れて第１ロータに回転力を伝達する駆動部を有する第１
磁気継手を備え、第２駆動ユニットが、第１移動ハウジ
ングと同期して軸線方向に移動できるように円筒壁部の
周囲に配置された第２移動ハウジング、第２移 動ハウジ
ングに設けられて第１ロータを半径方向および軸線方向
に保持する第２磁気軸受、ならびに第２ハウジングに設
けられて第２ロータの大径部に回転力を伝達する駆動部
を有する第２磁気継手を備えているものである。
駆動装置は、円筒壁部と微小隙間をあけてその内側に回
転および軸線方向の移動ができるように配置された円筒
状の第１ロータ、少なくとも一端側が第１ロータの端か
ら突出するように第１ロータの内側に挿入されて第１ロ
ータに対して回転しうるが軸線方向に移動しないように
支持されかつ第１ロータの端から突出した部分に第１ロ
ータと外径のほぼ等しい大径部が形成された第２ロー
タ、ならびに円筒壁部の周囲に配置された第１駆動ユニ
ットおよび第２駆動ユニットを備えており、第１駆動ユ
ニットが、軸線方向に移動できるように円筒壁部の周囲
に配置された第１移動ハウジング、第１移動ハウジング
に設けられて第１ロータを半径方向および軸線方向に保
持する第１磁気軸受、ならびに第１ハウジングに設けら
れて第１ロータに回転力を伝達する駆動部を有する第１
磁気継手を備え、第２駆動ユニットが、第１移動ハウジ
ングと同期して軸線方向に移動できるように円筒壁部の
周囲に配置された第２移動ハウジング、第２移 動ハウジ
ングに設けられて第１ロータを半径方向および軸線方向
に保持する第２磁気軸受、ならびに第２ハウジングに設
けられて第２ロータの大径部に回転力を伝達する駆動部
を有する第２磁気継手を備えているものである。
【０００７】
【作用】磁気継手は非接触型のものであるから、２つの
駆動ユニットの磁気継手の駆動部を２つのロータから完
全に切離し、円筒壁部の外側に配置された第１磁気継手
の駆動部により第１ロータを回転駆動するとともに、円
筒壁部の外側に配置された第２磁気継手の駆動部により
第２ロータを回転駆動することができる。また、磁気軸
受は非接触型のものであるから、２つの駆動ユニットの
磁気軸受を２つのロータから完全に切離し、円筒壁部の
外側に配置された２つの磁気軸受により第１ロータを半
径方向および軸線方向に保持することができる。さら
に、第２ロータが第１ロータに対して軸線方向に移動し
ないように支持されており、磁気軸受は第１ロータを軸
線方向にも保持するものであるから、２つの駆動ユニッ
トの移動ハウジングを互いに同期して軸線方向に移動さ
せることにより、２つのロータを軸線方向に同期して移
動させることができる。
駆動ユニットの磁気継手の駆動部を２つのロータから完
全に切離し、円筒壁部の外側に配置された第１磁気継手
の駆動部により第１ロータを回転駆動するとともに、円
筒壁部の外側に配置された第２磁気継手の駆動部により
第２ロータを回転駆動することができる。また、磁気軸
受は非接触型のものであるから、２つの駆動ユニットの
磁気軸受を２つのロータから完全に切離し、円筒壁部の
外側に配置された２つの磁気軸受により第１ロータを半
径方向および軸線方向に保持することができる。さら
に、第２ロータが第１ロータに対して軸線方向に移動し
ないように支持されており、磁気軸受は第１ロータを軸
線方向にも保持するものであるから、２つの駆動ユニッ
トの移動ハウジングを互いに同期して軸線方向に移動さ
せることにより、２つのロータを軸線方向に同期して移
動させることができる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。なお、以下の説明において、図面の上
下を上下とする。
ついて説明する。なお、以下の説明において、図面の上
下を上下とする。
【０００９】この実施例の２軸独立駆動装置は、真空シ
ールド(1)の中の真空雰囲気(V)中に配置された第１ロー
タ(2)と第２ロータ(3)をシールド(1)の外の大気(A)中か
ら駆動するものである。
ールド(1)の中の真空雰囲気(V)中に配置された第１ロー
タ(2)と第２ロータ(3)をシールド(1)の外の大気(A)中か
ら駆動するものである。
【００１０】シールド(1)は、水平壁部(1a)に形成され
た穴の部分から垂直下向きにのびた有底円筒壁部(1b)を
備えており、この円筒壁部(1b)内の真空雰囲気(V)中に
２つのロータ(2)(3)が回転および上下方向の移動ができ
るようにはめられている。第１ロータ(2)は、垂直円筒
状をなし、シールド円筒壁部(1b)内にわずかな隙間をあ
けてはめられている。第２ロータ(3)は垂直軸状をな
し、上下両端が第１ロータ(2)から突出するように第１
ロータ(2)の中心に挿入されている。そして、第２ロー
タ(3)は、上下２つの軸受(4)(5)により、第１ロータ(2)
に対して上下方向には移動しないが回転はしうるように
支持されている。また、第１ロータ(2)の下端から下方
に突出した第２ロータ(3)の下端に、第１ロータ(2)と外
径がほぼ等しい短円柱状の大径部(3a)が形成されてい
る。
た穴の部分から垂直下向きにのびた有底円筒壁部(1b)を
備えており、この円筒壁部(1b)内の真空雰囲気(V)中に
２つのロータ(2)(3)が回転および上下方向の移動ができ
るようにはめられている。第１ロータ(2)は、垂直円筒
状をなし、シールド円筒壁部(1b)内にわずかな隙間をあ
けてはめられている。第２ロータ(3)は垂直軸状をな
し、上下両端が第１ロータ(2)から突出するように第１
ロータ(2)の中心に挿入されている。そして、第２ロー
タ(3)は、上下２つの軸受(4)(5)により、第１ロータ(2)
に対して上下方向には移動しないが回転はしうるように
支持されている。また、第１ロータ(2)の下端から下方
に突出した第２ロータ(3)の下端に、第１ロータ(2)と外
径がほぼ等しい短円柱状の大径部(3a)が形成されてい
る。
【００１１】シールド円筒壁部(1b)の周囲の大気(A)中
の上部に第１駆動ユニット(6)が、下部に第２駆動ユニ
ット(7)がそれぞれ設けられている。
の上部に第１駆動ユニット(6)が、下部に第２駆動ユニ
ット(7)がそれぞれ設けられている。
【００１２】第１駆動ユニット(6)は、第１移動ハウジ
ング(8)、第１磁気軸受(9)および第１磁気継手(10)の駆
動部(10a)を備えている。第２駆動ユニット(7)は、第２
移動ハウジング(11)、第２磁気軸受(12)および第２磁気
継手(13)の駆動部(13a)を備えている。
ング(8)、第１磁気軸受(9)および第１磁気継手(10)の駆
動部(10a)を備えている。第２駆動ユニット(7)は、第２
移動ハウジング(11)、第２磁気軸受(12)および第２磁気
継手(13)の駆動部(13a)を備えている。
【００１３】上下２つのハウジング(8)(11)は、図示し
ない適宜な駆動手段により、互いに同期して上下方向に
移動させられる。
ない適宜な駆動手段により、互いに同期して上下方向に
移動させられる。
【００１４】第１磁気軸受(9)は第１ハウジング(8)の下
部に、第２磁気軸受(12)は第２ハウジング(11)の上部に
設けられ、それぞれシールド円筒壁部(1b)を挾んで第１
ロータ(2)の外周面と対向している。これらの磁気軸受
(9)(12)は公知のものであり、たとえば円周方向の４箇
所に電磁石(9a)(9b)(12a)(12b)を備え、第１ロータ(2)
を半径方向および軸線方向に保持するようになってい
る。
部に、第２磁気軸受(12)は第２ハウジング(11)の上部に
設けられ、それぞれシールド円筒壁部(1b)を挾んで第１
ロータ(2)の外周面と対向している。これらの磁気軸受
(9)(12)は公知のものであり、たとえば円周方向の４箇
所に電磁石(9a)(9b)(12a)(12b)を備え、第１ロータ(2)
を半径方向および軸線方向に保持するようになってい
る。
【００１５】第１磁気継手(10)の駆動部(10a)は第１ハ
ウジング(8)の上部に設けられ、シールド円筒壁部(1b)
を挾んで第１ロータ(2)の外周面と対向している。第２
磁気継手(13)の駆動部(13a)は第２ハウジング(11)の下
部に設けられ、シールド円筒壁部(1b)を挾んで第２ロー
タ(3)の大径部(3a)の外周面と対向している。これらの
駆動部(10a)(13a)はシールド円筒壁部(1b)と同軸のリン
グ状をなし、軸線を中心に回転しうるように軸受(14)(1
5)(16)(17)によりハウジング(8)(11)に支持されてい
る。図示は省略したが、第１磁気継手(10)の駆動部(10
a)は第１ハウジング(8)に設けられた第１モータによ
り、第２磁気継手(13)の駆動部(13a)は第２ハウジング
(11)に設けられた第２モータにより互いに独立に回転さ
せられる。磁気継手(10)(13)はたとえば特開昭５６−１
５０６５０号公報などに記載されているような公知のも
のであり、第１磁気継手(10)の駆動部(10a)の回転力が
第１ロータ(2)に伝達され、第２磁気継手(13)の駆動部
(13a)の回転力が第２ロータ(3)に伝達される。
ウジング(8)の上部に設けられ、シールド円筒壁部(1b)
を挾んで第１ロータ(2)の外周面と対向している。第２
磁気継手(13)の駆動部(13a)は第２ハウジング(11)の下
部に設けられ、シールド円筒壁部(1b)を挾んで第２ロー
タ(3)の大径部(3a)の外周面と対向している。これらの
駆動部(10a)(13a)はシールド円筒壁部(1b)と同軸のリン
グ状をなし、軸線を中心に回転しうるように軸受(14)(1
5)(16)(17)によりハウジング(8)(11)に支持されてい
る。図示は省略したが、第１磁気継手(10)の駆動部(10
a)は第１ハウジング(8)に設けられた第１モータによ
り、第２磁気継手(13)の駆動部(13a)は第２ハウジング
(11)に設けられた第２モータにより互いに独立に回転さ
せられる。磁気継手(10)(13)はたとえば特開昭５６−１
５０６５０号公報などに記載されているような公知のも
のであり、第１磁気継手(10)の駆動部(10a)の回転力が
第１ロータ(2)に伝達され、第２磁気継手(13)の駆動部
(13a)の回転力が第２ロータ(3)に伝達される。
【００１６】上下２つのハウジング(8)(11)が互いに同
期して上下に移動すると、２つの磁気軸受(9)(12)も上
下に移動し、これらの磁気軸受(9)(12)の軸線方向の保
持力によって２つのロータ(2)(3)が一体となって上下に
移動させられる。
期して上下に移動すると、２つの磁気軸受(9)(12)も上
下に移動し、これらの磁気軸受(9)(12)の軸線方向の保
持力によって２つのロータ(2)(3)が一体となって上下に
移動させられる。
【００１７】第１モータによって第１磁気継手(10)の駆
動部(10a)を回転させると、その回転力が第１ロータ(2)
に伝達され、第１ロータ(2)が第２ロータ(3)とは独立し
て回転させられる。同様に、第２モータによって第２磁
気継手(13)の駆動部(13a)を回転させると、その回転力
が第２ロータ(3)に伝達され、第２ロータ(3)が第１ロー
タ(2)とは独立して回転させられる。
動部(10a)を回転させると、その回転力が第１ロータ(2)
に伝達され、第１ロータ(2)が第２ロータ(3)とは独立し
て回転させられる。同様に、第２モータによって第２磁
気継手(13)の駆動部(13a)を回転させると、その回転力
が第２ロータ(3)に伝達され、第２ロータ(3)が第１ロー
タ(2)とは独立して回転させられる。
【００１８】
【発明の効果】この発明の２軸独立駆動装置によれば、
上述のように、２つのロータをこれらの駆動手段から完
全に切離して、円筒壁部の外側に配置された駆動手段に
より、円筒壁部の内側に配置された２つのロータを独立
に回転させるとともに、これらを軸線方向に同期して移
動させることができる。したがって、たとえば、２つの
ロータだけを円筒壁部の内側の真空雰囲気中に入れて、
これらの駆動手段は円筒壁部の外側の大気中に配置する
ようなことが可能であり、従来のように駆動手段も真空
雰囲気中に入れなければならない場合の問題が解消され
る。
上述のように、２つのロータをこれらの駆動手段から完
全に切離して、円筒壁部の外側に配置された駆動手段に
より、円筒壁部の内側に配置された２つのロータを独立
に回転させるとともに、これらを軸線方向に同期して移
動させることができる。したがって、たとえば、２つの
ロータだけを円筒壁部の内側の真空雰囲気中に入れて、
これらの駆動手段は円筒壁部の外側の大気中に配置する
ようなことが可能であり、従来のように駆動手段も真空
雰囲気中に入れなければならない場合の問題が解消され
る。
【図１】この発明の実施例を示す２軸独立駆動装置の縦
断面図である。
断面図である。
【符号の説明】(1) 真空シールド (1a) 有底円筒壁部 (2) 第１ロータ (3) 第２ロータ (3a) 大径部 (4)(5) 軸受 (6) 第１駆動ユニット (7) 第２駆動ユニット(8) 第１ハウジング (9) 第１磁気軸受 (10) 第１磁気継手 (10a) 駆動部(11) 第２ハウジング (12) 第２磁気軸受 (13) 第２磁気継手 (13a) 駆動部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉本 龍二 東京都府中市四谷５丁目８番１号 日電 アネルバ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−173487（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−97361（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−52289（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−56889（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−214990（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−46006（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−183391（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−109695（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−114385（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16H 49/00 B25J 19/00
Claims (1)
- 【請求項１】円筒壁部と微小隙間をあけてその内側に回
転および軸線方向の移動ができるように配置された円筒
状の第１ロータ、少なくとも一端側が第１ロータの端か
ら突出するように第１ロータの内側に挿入されて第１ロ
ータに対して回転しうるが軸線方向に移動しないように
支持されかつ第１ロータの端から突出した部分に第１ロ
ータと外径のほぼ等しい大径部が形成された第２ロー
タ、ならびに円筒壁部の周囲に配置された第１駆動ユニ
ットおよび第２駆動ユニットを備えており、第１駆動ユ
ニットが、軸線方向に移動できるように円筒壁部の周囲
に配置された第１移動ハウジング、第１移動ハウジング
に設けられて第１ロータを半径方向および軸線方向に保
持する第１磁気軸受、ならびに第１ハウジングに設けら
れて第１ロータに回転力を伝達する駆動部を有する第１
磁気継手を備え、第２駆動ユニットが、第１移動ハウジ
ングと同期して軸線方向に移動できるように円筒壁部の
周囲に配置された第２移動ハウジング、第２移動ハウジ
ングに設けられて第１ロータを半径方向および軸線方向
に保持する第２磁気軸受、ならびに第２ハウジングに設
けられて第２ロータの大径部に回転力を伝達する駆動部
を有する第２磁気継手を備えている２軸独立駆動装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03030912A JP3094110B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | ２軸独立駆動装置 |
| US07/838,696 US5209699A (en) | 1991-02-26 | 1992-02-21 | Magnetic drive device |
| EP92103194A EP0501427B1 (en) | 1991-02-26 | 1992-02-25 | Magnetic drive device |
| DE69201249T DE69201249T2 (de) | 1991-02-26 | 1992-02-25 | Magnetantrieb. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03030912A JP3094110B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | ２軸独立駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04272557A JPH04272557A (ja) | 1992-09-29 |
| JP3094110B2 true JP3094110B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=12316915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03030912A Expired - Fee Related JP3094110B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | ２軸独立駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3094110B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-26 JP JP03030912A patent/JP3094110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04272557A (ja) | 1992-09-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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