JP3091893B2 - 流量計 - Google Patents
流量計Info
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- JP3091893B2 JP3091893B2 JP04151120A JP15112092A JP3091893B2 JP 3091893 B2 JP3091893 B2 JP 3091893B2 JP 04151120 A JP04151120 A JP 04151120A JP 15112092 A JP15112092 A JP 15112092A JP 3091893 B2 JP3091893 B2 JP 3091893B2
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- Japan
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- dust
- flow
- gas
- mass flow
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はゴミの浮遊や温度差の
激しい厨房または屋外に設置された給湯器等の燃焼空気
量の長期にわたる正確な測定に適した流量計に関するも
のである。
激しい厨房または屋外に設置された給湯器等の燃焼空気
量の長期にわたる正確な測定に適した流量計に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えばガス給湯器等の燃焼用空気
量の測定は、ブロックやファンモータの回転数によって
測定していた。しかし、ファンモータの回転数は体積流
量を測定しているにすぎず、高度差による圧力の影響、
外界の気象状況により正確な測定ができないため、通常
は安全サイドで空気を必要空気量より多く供給してい
る。その結果、器具自体も大型化したり、ＮＯX の発生
等の問題があり、最適燃焼ができない。
量の測定は、ブロックやファンモータの回転数によって
測定していた。しかし、ファンモータの回転数は体積流
量を測定しているにすぎず、高度差による圧力の影響、
外界の気象状況により正確な測定ができないため、通常
は安全サイドで空気を必要空気量より多く供給してい
る。その結果、器具自体も大型化したり、ＮＯX の発生
等の問題があり、最適燃焼ができない。
【０００３】そこで、この問題を防ぐために、図９に示
すように、空気の流れる方向に直交させて二本の筒体１
０１，１０２をダクト１０３内に並設し、このダクト１
０３の外部に突出した筒体端部をセンサ本体１０４の貫
通穴１０５とをチューブ１０６，１０７で接続し、その
貫通穴１０５内に熱線式質量流量センサ１０８を設けて
いる。
すように、空気の流れる方向に直交させて二本の筒体１
０１，１０２をダクト１０３内に並設し、このダクト１
０３の外部に突出した筒体端部をセンサ本体１０４の貫
通穴１０５とをチューブ１０６，１０７で接続し、その
貫通穴１０５内に熱線式質量流量センサ１０８を設けて
いる。
【０００４】上記熱線式質量流量センサ１０８は、高度
差や外界の影響を受けにくいようにするとともに、ガス
給湯器等の全体形状を小型化するため小型であることが
必要である。そこで、図１０に示すような１．７ｍｍ角
の半導体チップ１１１上に厚さ２０μｍ以下のダイヤフ
ラム１１２を設け、かつ該ダイヤフラム上に発熱抵抗パ
ターン１１３と感温抵抗パターン１１４，１１５を配設
して構成している。
差や外界の影響を受けにくいようにするとともに、ガス
給湯器等の全体形状を小型化するため小型であることが
必要である。そこで、図１０に示すような１．７ｍｍ角
の半導体チップ１１１上に厚さ２０μｍ以下のダイヤフ
ラム１１２を設け、かつ該ダイヤフラム上に発熱抵抗パ
ターン１１３と感温抵抗パターン１１４，１１５を配設
して構成している。
【０００５】上記構成により、一方の筒体１０１に穴１
０１ａから流入した空気を、チューブ１０６，貫通穴１
０５，チューブ１０７を経て筒体１０２の穴１０２ａか
ら流入させ、この流れる空気量に基づく熱線式質量流量
センサ１０８の出力を駆動回路１０９に供給して、燃焼
用空気量を正確に測定することが行なわれている。
０１ａから流入した空気を、チューブ１０６，貫通穴１
０５，チューブ１０７を経て筒体１０２の穴１０２ａか
ら流入させ、この流れる空気量に基づく熱線式質量流量
センサ１０８の出力を駆動回路１０９に供給して、燃焼
用空気量を正確に測定することが行なわれている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の流量計は上記の
ように構成されているので、熱線式質量流量センサは例
えば１．７ｍｍ角と非常に小さく、感度が非常によく、
常に正確な測定ができる反面、空気中のゴミの付着や結
露水に対して信頼性が悪く、長期使用に耐えない。特
に、ガス給湯器を設置する台所や厨房は、使用時と不使
用時の温度差がはげしく、ゴミ等が付着しやすく結露水
も生じやすいという問題点があった。また、熱線式質量
流量計は結露水で濡れると、抵抗パターンの抵抗値が著
しく変化して、正確な流量測定ができなくなるという問
題点があった。
ように構成されているので、熱線式質量流量センサは例
えば１．７ｍｍ角と非常に小さく、感度が非常によく、
常に正確な測定ができる反面、空気中のゴミの付着や結
露水に対して信頼性が悪く、長期使用に耐えない。特
に、ガス給湯器を設置する台所や厨房は、使用時と不使
用時の温度差がはげしく、ゴミ等が付着しやすく結露水
も生じやすいという問題点があった。また、熱線式質量
流量計は結露水で濡れると、抵抗パターンの抵抗値が著
しく変化して、正確な流量測定ができなくなるという問
題点があった。
【０００７】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたものであり、熱線式質量流量センサへ
の粉塵の侵入を防止し、熱線式質量流量センサの精度が
長期間にわたり安定し、さらに低コストで粉塵の除去を
実現できる流量計を得ることを目的とする。
るためになされたものであり、熱線式質量流量センサへ
の粉塵の侵入を防止し、熱線式質量流量センサの精度が
長期間にわたり安定し、さらに低コストで粉塵の除去を
実現できる流量計を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る流量計
は、測定対象となる気体を導入する導入路と、この導入
路の気体流路の途中に設けた熱線式質量流量センサと、
上記導入路の内壁断面の一部を塞ぐように内壁に一方を
固定されて垂設される第１の粉塵捕獲壁、およびこの第
１の粉塵捕獲壁と上記導入路の内壁との間の開口よりも
高く形成されるとともに、他方の内壁に一方を固定さ
れ、上記第１の粉塵捕獲壁に対し、所定の間隔を有し、
上記第１の粉塵捕獲壁とは反対側の位置に垂設される第
２の粉塵捕獲壁からなり、上記熱線式質量流量センサよ
り上流側の導入路内壁に少なくとも一組以上形成したも
のである。
は、測定対象となる気体を導入する導入路と、この導入
路の気体流路の途中に設けた熱線式質量流量センサと、
上記導入路の内壁断面の一部を塞ぐように内壁に一方を
固定されて垂設される第１の粉塵捕獲壁、およびこの第
１の粉塵捕獲壁と上記導入路の内壁との間の開口よりも
高く形成されるとともに、他方の内壁に一方を固定さ
れ、上記第１の粉塵捕獲壁に対し、所定の間隔を有し、
上記第１の粉塵捕獲壁とは反対側の位置に垂設される第
２の粉塵捕獲壁からなり、上記熱線式質量流量センサよ
り上流側の導入路内壁に少なくとも一組以上形成したも
のである。
【０００９】
【作用】この発明における流量計は、第１の粉塵捕獲壁
の壁面に衝突した導入路内を流れる気体中の粉塵を壁面
に付着し捕獲する。そして、第１の粉塵捕獲壁の下方に
形成された流通部を流れた気体は、流速を早めながら第
２の粉塵捕獲壁の上方を迂回して流れるが、気体中の粉
塵はその質量による慣性で第２の粉塵捕獲壁の壁面に衝
突し、捕獲される。
の壁面に衝突した導入路内を流れる気体中の粉塵を壁面
に付着し捕獲する。そして、第１の粉塵捕獲壁の下方に
形成された流通部を流れた気体は、流速を早めながら第
２の粉塵捕獲壁の上方を迂回して流れるが、気体中の粉
塵はその質量による慣性で第２の粉塵捕獲壁の壁面に衝
突し、捕獲される。
【００１０】
【実施例】第１実施例 図１はこの発明に係る流量計の第１実施例における粉塵
捕獲壁の構成を示す構造断面図である。この図におい
て、１は導入管である。気体はこの導入管１を左方向よ
り右方向に流れる。図示していない流量測定部は、導入
管１の右方向に配置されている。２は第１の粉塵捕獲壁
である。この粉塵捕獲壁２の下方にはノズル部３が形成
されている。粉塵捕獲壁２は導入管１の円形断面を塞ぐ
ように導入管１の内壁面に垂設されている。４は第２の
粉塵捕獲壁であり、前記ノズル部３に所定の距離をおい
て対面した状態で導入管１の内面に垂設されており、こ
の第２の粉塵捕獲壁４では上方部が気体流路となる。そ
して、これら第１の粉塵捕獲壁２と第２の粉塵捕獲壁４
とにより一つの粉塵捕獲部５が構成される。粉塵捕獲壁
６および粉塵捕獲壁７は、前記粉塵捕獲壁２および粉塵
捕獲壁４と同一の構成であり、これら粉塵捕獲壁６およ
び粉塵捕獲壁７とにより一つの粉塵捕獲部８を構成して
いる。従って、粉塵捕獲部５および８が、導入管１内に
直列に配置された構造となっている。
捕獲壁の構成を示す構造断面図である。この図におい
て、１は導入管である。気体はこの導入管１を左方向よ
り右方向に流れる。図示していない流量測定部は、導入
管１の右方向に配置されている。２は第１の粉塵捕獲壁
である。この粉塵捕獲壁２の下方にはノズル部３が形成
されている。粉塵捕獲壁２は導入管１の円形断面を塞ぐ
ように導入管１の内壁面に垂設されている。４は第２の
粉塵捕獲壁であり、前記ノズル部３に所定の距離をおい
て対面した状態で導入管１の内面に垂設されており、こ
の第２の粉塵捕獲壁４では上方部が気体流路となる。そ
して、これら第１の粉塵捕獲壁２と第２の粉塵捕獲壁４
とにより一つの粉塵捕獲部５が構成される。粉塵捕獲壁
６および粉塵捕獲壁７は、前記粉塵捕獲壁２および粉塵
捕獲壁４と同一の構成であり、これら粉塵捕獲壁６およ
び粉塵捕獲壁７とにより一つの粉塵捕獲部８を構成して
いる。従って、粉塵捕獲部５および８が、導入管１内に
直列に配置された構造となっている。
【００１１】この実施例では、導入管１内を流れる気体
中の粉塵は、粉塵捕獲壁２の壁面２ａにまず衝突して、
壁面２ａに付着し捕獲される。また、粉塵捕獲壁２に形
成されたノズル部３の開口面積は導入管１の断面積より
小さく構成されているので、ノズル部３を流れる気体の
流速は大きくなり、この気体中の粉塵の速度も大きくな
る。粉塵捕獲部５では気体が粉塵捕獲壁４の上方を迂回
して流れるのに対し、気体中の粉塵はその質量による慣
性で粉塵捕獲壁４の壁面４ａに衝突し、捕獲されること
になる。粉塵捕獲部８においても前記同様に壁面６ａ，
７ａにより気体中の粉塵が捕獲される。
中の粉塵は、粉塵捕獲壁２の壁面２ａにまず衝突して、
壁面２ａに付着し捕獲される。また、粉塵捕獲壁２に形
成されたノズル部３の開口面積は導入管１の断面積より
小さく構成されているので、ノズル部３を流れる気体の
流速は大きくなり、この気体中の粉塵の速度も大きくな
る。粉塵捕獲部５では気体が粉塵捕獲壁４の上方を迂回
して流れるのに対し、気体中の粉塵はその質量による慣
性で粉塵捕獲壁４の壁面４ａに衝突し、捕獲されること
になる。粉塵捕獲部８においても前記同様に壁面６ａ，
７ａにより気体中の粉塵が捕獲される。
【００１２】さらに、この実施例では、導入管１の気体
流入側より水等少量の液体Ｗが侵入した場合でも、粉塵
捕獲壁４および７が流体阻止壁となり、図２に示すよう
に、熱線式質量流量センサへの液体Ｗの侵入を防ぐこと
が出来る。
流入側より水等少量の液体Ｗが侵入した場合でも、粉塵
捕獲壁４および７が流体阻止壁となり、図２に示すよう
に、熱線式質量流量センサへの液体Ｗの侵入を防ぐこと
が出来る。
【００１３】なお、従来一般に用いられるフィルター
を、熱線式質量流量センサと粉塵捕獲部との間に設けて
もよく、この場合にはフィルターの交換頻度を小さくす
ることが出来る。
を、熱線式質量流量センサと粉塵捕獲部との間に設けて
もよく、この場合にはフィルターの交換頻度を小さくす
ることが出来る。
【００１４】第２実施例図３は気体流路の壁面に総圧孔が形成される改良型ピト
ー管に、粉塵捕獲壁を設けた場合の、第２実施例の構成
を示す構造断面図である。 この実施例では、粉塵捕獲壁
１４，１５，１６，１７により構成される粉塵捕獲部が
ピトー管１８内面に構成されている。
ー管に、粉塵捕獲壁を設けた場合の、第２実施例の構成
を示す構造断面図である。 この実施例では、粉塵捕獲壁
１４，１５，１６，１７により構成される粉塵捕獲部が
ピトー管１８内面に構成されている。
【００１５】図４は、フローピックアップタイプの流量
計における流量ピックアップ部１９の断面図である。 こ
のフローピックアップタイプの流量計では、気体を負圧
方式で孔２２より取り入れて孔２１より排出し、粉塵対
策とするものである。この流量計では気体流 路３５内の
パイプ２０に形成する孔２１，２２の開口位置に厳しい
精度が要求される。また、発生する負圧も小さい。
計における流量ピックアップ部１９の断面図である。 こ
のフローピックアップタイプの流量計では、気体を負圧
方式で孔２２より取り入れて孔２１より排出し、粉塵対
策とするものである。この流量計では気体流 路３５内の
パイプ２０に形成する孔２１，２２の開口位置に厳しい
精度が要求される。また、発生する負圧も小さい。
【００１６】第３実施例図５は、第３実施例の構成を示す構造断面図である。こ
の実施例では、図４に示したフローピックアップタイプ
の流量計における流量ピックアップ部１９の一方の気体
流入通路に、粉塵捕獲壁２３，２４，２５，２６を構成
する。 この結果、流量ピックアップ部１９の孔２１は、
気体の流入方向に向けて形成することが出来、粉塵捕獲
機能を有すると共に、負圧方式ではないので感度を向上
させることが可能となり、孔を形成する際の位置精度が
要求されず、製作が容易となる。
の実施例では、図４に示したフローピックアップタイプ
の流量計における流量ピックアップ部１９の一方の気体
流入通路に、粉塵捕獲壁２３，２４，２５，２６を構成
する。 この結果、流量ピックアップ部１９の孔２１は、
気体の流入方向に向けて形成することが出来、粉塵捕獲
機能を有すると共に、負圧方式ではないので感度を向上
させることが可能となり、孔を形成する際の位置精度が
要求されず、製作が容易となる。
【００１７】さらに、図６に示すように、気体流入通路
側に設けられた粉塵捕獲壁２７，２８，２９，３０以外
に、気体流出通路側にも粉塵捕獲壁３１，３２，３３，
３４を構成すると、流量ピックアップ部１９を流れる気
体が逆流入し、孔２２から粉塵が侵入しても、熱線式質
量流量センサへの粉塵の侵入を防止できる。
側に設けられた粉塵捕獲壁２７，２８，２９，３０以外
に、気体流出通路側にも粉塵捕獲壁３１，３２，３３，
３４を構成すると、流量ピックアップ部１９を流れる気
体が逆流入し、孔２２から粉塵が侵入しても、熱線式質
量流量センサへの粉塵の侵入を防止できる。
【００１８】また、図４で説明した負圧方式フローピッ
クアップタイプの流量計における流量ピックアップ部１
９内部に、図８に示すように、粉塵捕獲壁２７〜３４を
構成してもよい。
クアップタイプの流量計における流量ピックアップ部１
９内部に、図８に示すように、粉塵捕獲壁２７〜３４を
構成してもよい。
【００１９】第４実施例 図８は、第４実施例の構成を示す斜視図である。 この実
施例では、図において、５０は組み立て作業が容易なフ
ローピックアップタイプの流量ピックアップ部、５１は
蓋部５１ａを有する板状基板５１ｂに粉塵捕獲壁５２，
５３および５４を形成し、その下端部に基台５１ｃを形
成する内部ピックアップ部である。 この粉塵捕獲壁５２
と粉塵捕獲壁５３との長さの関係は、上記の第１の粉塵
捕獲壁２と第１の粉塵捕獲壁４と同一であり、粉塵捕獲
壁５３の長さは粉塵捕獲壁 ５２とパイプ部５５ａの内壁
との間の開口よりも高く形成される。５５は板状基板５
１ｂに嵌合するパイプ部５５ａと基台５１ｃに嵌合する
外嵌部５５ｂとからなる外部ピックアップ部、５６は内
部ピックアップ部５１の基台５１ｃの底面に固定される
流量検出部におけるセンサーチップ基板である。
施例では、図において、５０は組み立て作業が容易なフ
ローピックアップタイプの流量ピックアップ部、５１は
蓋部５１ａを有する板状基板５１ｂに粉塵捕獲壁５２，
５３および５４を形成し、その下端部に基台５１ｃを形
成する内部ピックアップ部である。 この粉塵捕獲壁５２
と粉塵捕獲壁５３との長さの関係は、上記の第１の粉塵
捕獲壁２と第１の粉塵捕獲壁４と同一であり、粉塵捕獲
壁５３の長さは粉塵捕獲壁 ５２とパイプ部５５ａの内壁
との間の開口よりも高く形成される。５５は板状基板５
１ｂに嵌合するパイプ部５５ａと基台５１ｃに嵌合する
外嵌部５５ｂとからなる外部ピックアップ部、５６は内
部ピックアップ部５１の基台５１ｃの底面に固定される
流量検出部におけるセンサーチップ基板である。
【００２０】このような流量ピックアップ部５０におい
て、吸入口６ａから流入した気体は、粉塵捕獲壁５２，
５３および５４を形成する板状基板５１ｂを通過し、通
路５１ｄを通過するとともに、センサーチップ基板５６
上を通過した後、通路５１ｅから上がり、再び板状基板
５１ｂを通過した後に排出口７ａから排出されるもので
ある。以上のように、粉塵捕獲壁５３の長さは粉塵捕獲
壁５２とパイプ部５５ａの内壁との間の開口よりも高く
形成されているため、そのオーバーラップさせる構造に
より、蓄積粉塵量が増加しても、目詰りをおこさず流量
抵抗をほぼ一定に保った状態で通過する粉塵を効率よく
除去することができる効果が得られる。また、この内部
ピックアップ部５１および外部ピックアップ部５５は量
産成形が可能であるため、コストを低減できるととも
に、組み立て作業も容易であるという効果がある。
て、吸入口６ａから流入した気体は、粉塵捕獲壁５２，
５３および５４を形成する板状基板５１ｂを通過し、通
路５１ｄを通過するとともに、センサーチップ基板５６
上を通過した後、通路５１ｅから上がり、再び板状基板
５１ｂを通過した後に排出口７ａから排出されるもので
ある。以上のように、粉塵捕獲壁５３の長さは粉塵捕獲
壁５２とパイプ部５５ａの内壁との間の開口よりも高く
形成されているため、そのオーバーラップさせる構造に
より、蓄積粉塵量が増加しても、目詰りをおこさず流量
抵抗をほぼ一定に保った状態で通過する粉塵を効率よく
除去することができる効果が得られる。また、この内部
ピックアップ部５１および外部ピックアップ部５５は量
産成形が可能であるため、コストを低減できるととも
に、組み立て作業も容易であるという効果がある。
【００２１】
【発明の効果】この発明に係る流量計によれば、粉塵捕
獲壁を測定対象となる気体を導入する導入路の気体流路
の一部に設けた熱線式質量流量センサより上流側の導入
路内壁に少なくとも一組以上形成したので、蓄積粉塵量
が増加しても、目詰まりをおこさず流量抵抗をほぼ一定
に保った状態で、通過する粉塵を効率よく除去すること
ができるとともに、熱線式質量流量センサへの粉塵の侵
入を防止し、熱線式質量流量センサの精度が長期間にわ
たり安定し、さらに低コストで粉塵の除去を実現できる
という効果がある。
獲壁を測定対象となる気体を導入する導入路の気体流路
の一部に設けた熱線式質量流量センサより上流側の導入
路内壁に少なくとも一組以上形成したので、蓄積粉塵量
が増加しても、目詰まりをおこさず流量抵抗をほぼ一定
に保った状態で、通過する粉塵を効率よく除去すること
ができるとともに、熱線式質量流量センサへの粉塵の侵
入を防止し、熱線式質量流量センサの精度が長期間にわ
たり安定し、さらに低コストで粉塵の除去を実現できる
という効果がある。
【図１】この発明に係る流量計の第１実施例における粉
塵捕獲壁の構成を示す構造断面図である。
塵捕獲壁の構成を示す構造断面図である。
【図２】流量検出部への液体の侵入を防止している構造
断面図である。
断面図である。
【図３】改良型ピトー管に粉塵捕獲壁を設けた場合の第
２実施例の構成を示す構造断面図である。
２実施例の構成を示す構造断面図である。
【図４】流量ピックアップ部の断面図である。
【図５】この発明に係る流量計の第３実施例の構成を示
す構造断面図である。
す構造断面図である。
【図６】気体流入側および気体流出側に粉塵捕獲壁を構
成した場合の流量ピックアップ部の断面図である。
成した場合の流量ピックアップ部の断面図である。
【図７】負圧方式フローピックアップタイプの流速計の
流量ピックアップ部１９内部に粉塵捕獲壁を構成した場
合の斜視断面図である。
流量ピックアップ部１９内部に粉塵捕獲壁を構成した場
合の斜視断面図である。
【図８】この発明に係る流量計の第４実施例の構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図９】従来の流量計の正面図である。
【図１０】熱線式質量流量センサを示す斜視図である。
１ 導入管 ２，６，１４，１６，２３，２５，２７，２９，３２，
３４ 第１の粉塵捕獲壁 ４，７，１５，１７，２４，２６，２８，３０，３１，
３３ 第２の粉塵捕獲壁 １０８ 熱線式質量流量センサ
３４ 第１の粉塵捕獲壁 ４，７，１５，１７，２４，２６，２８，３０，３１，
３３ 第２の粉塵捕獲壁 １０８ 熱線式質量流量センサ
フロントページの続き (72)発明者 青島 滋 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山 武ハネウエル株式会社 藤沢工場内 (56)参考文献 特開 昭58−28622（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−109921（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−190624（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−243721（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−182820（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 測定対象となる気体を導入する導入
路と、この導入路の気体流路の途中に設けた熱線式質量
流量センサと、上記導入路の内壁断面の一部を塞ぐよう
に内壁に一方を固定されて垂設される第１の粉塵捕獲
壁、およびこの第１の粉塵捕獲壁と上記導入路の内壁と
の間の開口よりも高く形成されるとともに、他方の内壁
に一方を固定され、上記第１の粉塵捕獲壁に対し、所定
の間隔を有し、上記第１の粉塵捕獲壁とは反対側の位置
に垂設される第２の粉塵捕獲壁からなり、上記熱線式質
量流量センサより上流側の導入路内壁に少なくとも一組
以上形成した粉塵捕獲壁とを備えた流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04151120A JP3091893B2 (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04151120A JP3091893B2 (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322624A JPH05322624A (ja) | 1993-12-07 |
| JP3091893B2 true JP3091893B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=15511809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04151120A Expired - Lifetime JP3091893B2 (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3091893B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005121718A1 (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Yamatake Corporation | 流量計 |
| WO2006003717A1 (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-12 | Hitachi, Ltd. | 空気流量測定装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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