JP3083535B2

JP3083535B2 - 導電性微粒子及び導電性接着剤

Info

Publication number: JP3083535B2
Application number: JP02144638A
Authority: JP
Inventors: 和彦神吉
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 1990-06-01
Filing date: 1990-06-01
Publication date: 2000-09-04
Anticipated expiration: 2015-09-04
Also published as: JPH0436902A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、導電性接着剤に用いられる導電性微粒子
に関するものであり、また、そのような導電性微粒子を
含んだ導電性接着剤に関するものである。

（従来の技術）導電性接着剤は、液晶表示装置における電極間の接
続、電子機器における基板と半導体チップとの接続など
に広く利用されている。

導電性接着剤は、非導電性の樹脂中に導電性微粒子を
分散させて作られている。導電性接着剤は、非導電性の
樹脂によって接着し、導電性微粒子が電極間に介在し、
導電性微粒子が電極に接触することによって電気を導く
作用をし、また導電性微粒子相互の接触によって電気を
導く作用をする。従って電極間の接続の場合には、導電
性微粒子は接着剤の中にあって、しかも接着剤の表面上
に頭を表して電極などに接触することが必要とされ、ま
た基板と半導体チップとの接続の場合には導電性微粒子
同志が互いに接触していることが必要とされる。

導電性接着剤に用いられる導電性微粒子としては、初
めニッケル粉末、金メッキを施したニッケル粉末などの
金属粉末が使用された。しかし、金属粉末を使用した導
電性接着剤は、一様な導電性を発揮し難い、という欠点
があった。それは、金属粉末が樹脂よりも格段に大きな
密度を持つので、樹脂中で沈降しやすいからである。

そこで、金属よりも密度の小さい非金属材料で微粒子
を作り、その表面に金属メッキを施して、導電性微粒子
とすることが提案された。この場合、非金属材料として
はガラス、プラスチックなどが用いられた。ところが、
このような非金属材料で作られている導電性微粒子を非
導電性の樹脂中に分散させて、導電性接着剤としたもの
は、これを２個の電極間の接続に用いると、時々良好な
導電接合を示さないことがあった。とくに、加熱と冷却
とのサイクルを繰り返すと、導電接合が劣化することが
多かった。そこで、この点を改良する必要が生じた。

（発明が解決しようとする課題）この発明は、上述のような欠点を改良しようとしてな
されたものである。すなわち、この発明は、導電性接着
剤用微粒子を改良することにより、均一で良好な導電性
を確実に示し、また加熱と冷却とを繰り返しても導電性
が劣化しないような、導電性接着剤を提供しようとして
なされたものである。

（課題解決のための手段）この発明者は、非金属材料製の微粒子に、金属メッキ
を施してこれを導電性微粒子とした場合、良好な導電接
合を示さない場合があるのは、その原因が微粒子の形状
にあると考えた。

すなわち、ガラスやプラスチックを材料として微粒子
を作る場合には、これを溶融又は液状にして微粒子にす
ることとして来たので、非金属材料で作られた微粒子
は、殆どすべてが球形又は球形に近い形状のものとなっ
た。言いかえると、これまでの非金属材料製の微粒子
は、その表面が凹凸のない平滑面で構成された来た。

他方、電極は、その表面に絶縁性の薄膜の形成されて
いることが多い。例えば、アルミ電極の場合には、その
表面が通常酸化アルミニウムの薄膜で覆われている。

この発明者は、これまでの導電性接着剤では、その中
に用いられている導電性微粒子が球形であるため、これ
を電極表面に押しつけた場合に、微粒子が電極表面にあ
る絶縁性の薄膜を突き破ることができず、従って良好な
導電性が得られないことになる、と考えた。そこでこの
発明者は、これまで球形とされて来た導電性微粒子の形
状を改めて、その表面に突起を設けた形状にすることを
試みた。すると、良好な電導性の得られることが確認さ
れた。この発明は、このような知見に基づいて完成され
たものである。

（発明要旨）この発明は、母粒子の表面に子粒子を付着させて作ら
れ、表面に突起を持った非電導性微粒子の表面に、金属
メッキを施してなる導電性接着剤用微粒子を要旨とする
ものである。

（各要件の説明）この発明に係る微粒子は、内部が非導電性の材料で作
られている。非導電性の材料としては、これまで用いら
れて来た種々のものを用いることができる、大きく分け
て、有機物でも無機物でも使用することができる。有機
物としては各種プラスチックを用いることができ、無機
物としてはガラスを用いることができる。これらの材料
は、これまで提案されたように、その中に気泡を含むも
のであっても、また表面に気孔が開口しているものであ
ってもよい。プラスチックとしては、線状重合体から成
るものも、架橋された重合体から成るものも、何れも使
用できる。

これまで用いられて来た非導電性の微粒子は、上述の
ように、凹凸のない平滑面で表面が構成されていた。表
面に気孔が開口している場合でも、その表面はところど
ころに凹みがあるだけで、突起のあるものではなかっ
た。この発明の微粒子は、表面に突起を持っていること
を特徴としている。そこで、この発明の微粒子を作るに
は、従来の微粒子の表面に突起を設ける必要がある。そ
れには、色々な方法が採用できるが、１つの方法は、従
来の微粒子を母粒子としてこの表面に子粒子を付着させ
る方法である。付着させるには、接着剤を用いてもよい
し、また接着剤を用いないで直接融着させてもよい。

母粒子に子粒子を付着させて突起のある微粒子を作る
には、子粒子を母粒子と同じ材料で作ってもよいが、ま
た異なった材料で作ってもよい。異なった材料で作る場
合には、子粒子の方が母粒子よりも柔らかくて、変形し
やすいものとしてもよい。例えば母粒子を架橋結合され
たポリスチレンで作り、子粒子を架橋されていない線状
のポリスチレンで作ってもよい。このようにすると、子
粒子の方が軟化点が低いから、加熱して子粒子を軟化さ
せ、母粒子に融着させやすいこととなる。また、これと
は逆に母粒子の方を子粒子よりも柔らかくしてもよい。

この発明において用いられる非導電性の微粒子は、金
平糖を作るような方法によっても作ることができる。す
なわち、母粒子を回転する容器に入れて、粒子表面に子
粒子の溶液を付着させ、容器を回転させながら溶媒を蒸
発させて、母粒子表面に溶質を角状に析出させて、突起
を持った微粒子とすることもできる。

この発明において、非導電性の微粒子を構成する材料
として用いることのできるものを列挙すると、次のとお
りである。プラスチックとしては、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリテトラフルオロエチ
レン、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレー
ト、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリフ
ェニレンオキサイド、ポリアセタール等の線状又は架橋
高分子、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹
脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジビニルベンゼン重合
体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体、ジビニルベ
ンゼン−アクリル酸エステル共重合体、ジアリルフタレ
ート重合体、トリアリルイソシアネート重合体、ベンゾ
グアナミン重合体等の網目構造を有する樹脂を用いるこ
とができる。これらのうちで、好ましいものは、ジビニ
ルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合
体、ジビニルベンゼン−アクリル酸エステル共重合体、
ジアリルフタレート重合体等の網目構造を有する樹脂で
ある。

無機質としては、ケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、
鉛ガラス、ソーダ石灰ガラス、アルミナ、アルミナシリ
ケート等を用いることができる。これらのうちで、好ま
しいのは、ケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラスである。

母粒子の形状は、とくに限定するわけではないが、例
えば眞球状、楕円球状、円柱状のものを用いることがで
きる。眞球状の場合、直径は0.1−1000μｍの範囲がよ
く、とくに好ましい直径は１−100μｍである。楕円球
状の場合、短径は0.1−1000μｍの範囲がよく、好まし
い範囲は１−100μｍである。長径対短径の比は１−10
の範囲であるのがよく、好ましい範囲は１−５である。

突起を構成する材質としても、色々なものを使用する
ことができる。すなわち、有機質も無機質も使用するこ
とができる。突起を構成する有機質としては、高密度ポ
リエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリアミド、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリブチレンテレフタレート、ポリスルフォ
ン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール、エポ
キシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリ
エステル樹脂、ジビニルベンゼン共重合体、ジビニルベ
ンゼン−スチレン共重合体、ジビニルベンゼン−アクリ
ル酸エステル共重合体、ジアリルフタレート重合体、ト
リアリルイソシアネート重合体、ベンゾグアナミン重合
体等を用いることができる。無機質としては、ケイ酸ガ
ラス、ホウケイ酸ガラス、鉛ガラス、ソーダ石灰ガラ
ス、アルミナ、アルミナシリケート等を用いることがで
きる。

突起を構成する材質としては、適当な硬さを持つもの
を用いるのが好ましい。具体的には、弾性率が0.3ニュ
ートン/m²以上、10ニュートン/m²以下の範囲のものを用
いるのが好ましい。その理由は、弾性率が0.3ニュート
ン/m²以下では、突起が柔軟となって、微粒子を電極表
面に押しつけた場合に、突起が電極表面に形成されてい
る絶縁性皮膜を突き破ることができなくなるからであ
り、逆に弾性率が10ニュートン/m²以上では、突起が硬
過ぎて、例えばITO（インジュウム・錫酸化物）ガラス
表面を傷つけたりする弊害があらわれるからである。

突起の形状は、とくに限定されない。その形状は、角
錐状、円錐状、ドーム状等の何れであってもよい。突起
の高さは、母粒子の平均直径の200分の１以上、５分の
１以下であることが望ましい。突起の高さが、母粒子の
平均直径の200分の１以下であると、突起としての効果
がなくなり、また突起の高さが上記直径の５分の１以上
になると、突起が折れ易くなるからである。そのうちで
は、突起の高さは微粒子本体の直径の100分の１以上、
８分の１以下が望ましく、50の１以上、10分の１以下が
最適である。

上述の突起は、母粒子の表面に多数形成されているこ
とが必要である。母粒子は、すなわち微粒子本体である
から、突起は微粒子本体の表面上に多数形成されていな
ければならない。多数の程度は、微粒子の表面を８等分
した場合、等分された各部分の何れもが、１個以上の突
起を持つこととなる、という位であるのが望ましい。そ
のうちでは、８等分した場合に、各部分に少なくとも１
個の突起が存在している、という程度であるのが好まし
い。

この発明に係る微粒子は、上述の非導電性微粒子に金
属メッキを施して得られる。すなわち、この発明の微粒
子は、非導電性微粒子の持つ突起をそのまま残して、表
面に金属メッキを施して作られたものである。

非導電性微粒子の表面にメッキを施すには、既に提案
されている色々な方法を用いることができる。一般的に
言えば、メッキの操作は、前処理工程とメッキ工程とか
ら成り立っている。前処理工程は、例えばエッチング工
程であり、またアクチベーション工程である。メッキ工
程は、無電解メッキ法、真空蒸着法、イオンスパッタリ
ング法等によって行うことができる。

エッチング工程は、非導電性微粒子の表面に小さな凹
凸を形成させ、これによってメッキ層の密着を良くする
ための工程である。エッチング工程は、苛性ソーダ、濃
塩酸、濃硫酸、無水クロム酸などの水溶液に、微粒子を
接触させることによって行う。

アクチベーション工程は、エッチングした微粒子の表
面に触媒層を形成するとともに、形成した触媒層を活性
化させる工程である。触媒層の活性化により、後述の化
学メッキ工程又は無電解メッキ工程において、金属の析
出が促進される。触媒としては、Pd²⁺及びSn²⁺を含んだ
水溶液が用いられる。これに濃硫酸又は濃塩酸を作用さ
せると、Sn²⁺が除かれ、あとにPdが残る。Pdは、また苛
性ソーダ濃厚溶液により活性化され、増感される。

化学メッキ工程は、触媒層が形成された微粒子表面
に、導電性の金属層を形成する工程である。これは、金
属イオンが含まれた化学メッキ液内に、微粒子を浸漬す
ることによって行うことができる。例えば、硫酸ニッケ
ルの水溶液に、次亜リン酸ナトリウムやピロリン酸ナト
リウムなどの還元剤を溶解しておき、この中に微粒子を
浸漬すると、硫酸ニッケルが還元されて微粒子表面上に
ニッケルの金属を析出させるので、これによってメッキ
を行うことができる。同様の原理により、金、銀、銅、
コバルトなどの金属層を形成することができる。

金属メッキの層は、0.02μｍないし５μｍとするのが
好ましい。0.02μｍ以下では、望ましい導電性が得られ
ないからであり、逆に５μｍ以上となると、粒子を構成
する非導電性材料と、メッキによって形成された金属と
が、熱膨張率を異にするために、その間で剥離を起こ
し、従って金属メッキ層が剥がれやすくなるからであ
る。

金属メッキを施して得られた微粒子は、表面に金属メ
ッキ層を持っているために、導電性を持っている。しか
も、この微粒子は表面に突起を持っているので、これを
電極間に挟んで押圧すれば、突起の先が電極に接触する
ので、突起が電極表面に形成されている非導電性の薄膜
を突き破って、電極に接触することとなり、従って平滑
な表面を持った微粒子よりも、良好な接続を形成する。
とくに、微粒子表面を８等分した場合に、何れの部分に
も１個以上の突起が存在するようにすれば、微粒子がど
のような方向に向いていても、まず突起が電極又は隣接
する微粒子と接触することとなるから、確実に良い接続
状態を現出する。また、突起の高さを微粒子直径の200
分の１以上、５分の１以下とすれば、突起が、電極又は
他の粒子に接触することが確実となり、しかも折損のお
それも少ない。従って、この発明の微粒子は、導電性微
粒子として大きな利益をもたらすものである。

この発明は、他面において、上述の導電性微粒子を用
いた導電性接着剤を提供する。その導電性接着剤は、表
面に突起を持った非導電性微粒子の表面に金属メッキを
施してなる微粒子を、液状又は固状の非導電性樹脂の中
に分散させることによって、作られたものである。

液状又は固状の非導電性樹脂としては、各種のものを
用いることができる。固状の樹脂としては、加熱すると
溶融する樹脂を用いることができ、液状の樹脂として
は、熱硬化性のプレポリマーや、光硬化型のプレポリマ
ーを用いることができる。これら非導電性樹脂に対し
て、導電性微粒子の添加量は、樹脂100重量部に対して
微粒子を0.1ないし50重量部とする。

このうち、加熱溶融性の樹脂としては、下記のものを
用いることができる。エチレン−酢酸ビニル共重合体、
エチレン−アクリル酸エステル共重合体、エチレン−酢
酸ビニル−アクリル酸三元共重合体、スルフォン化ポリ
エチレン、ポリブタジエン−スチレンブロック共重合
体、水添ポリブタジエン−スチレンブロック共重合体、
水添ポリイソプレン−スチレンブロック共重合体等を単
独又は混合して用いることができる、これらに粘着付与
剤として、ロジン、エナメルガム、マレイン酸変性ロジ
ン等のロジン系樹脂や、石油樹脂、キシレン樹脂、クマ
ロンインデン樹脂等を添加することもできる。

熱硬化性の液状プレポリマーとしては、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂等を用いることがで
きるが、それらのうちではエポキシ樹脂が好ましい。エ
ポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡとエピクロルヒ
ドリンとを反応させて得られるビスフェノールＡ型エポ
キシ樹脂、ビスフェノールＦとエピクロルヒドリンとを
反応させて得られるビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、
ビスフェノールADとエピクロルヒドリンとを反応させて
得られるビスフェノールAD型エポキシ樹脂、フェノール
ノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂を用いることができる。

光硬化型の液状プレポリマーとしては、アクリレート
プレポリマー、ウレタンアクリレートプレポリマー、エ
ポキシアクリレートプレポリマー、エンチオール型プレ
ポリマー等を用いることができる。これらは、希釈剤と
して、ブチルアクリレート、ブチルメタクリレート、ド
デシルアクリレート、ドデシルメタクリレート、２−エ
チルヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルメタク
リレート等の単量体を混合して用いることができる。

光硬化型の液状プレポリマーには、光増感剤として、
２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２
−モルホリノプロパン−１、２、２′−ジメトキシ−２
−フェニルアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキ
シルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１
−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピ
ルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−
オン等のベンゾフェノン等、ベンゾインイソプロピルエ
ーテル等のベンゾイン系化合物を混合して使用すること
ができる。光増感剤の添加量は、前述のプレポリマーと
希釈剤の合計量100重量部に対して0.1ないし10重量部と
する。

この発明に係る導電性接着剤は、色々な形に加工して
使用に供することができる。例えば、ペースト状、印刷
インキ状、フィルム状に加工して使用に供する。

ペースト状のものは、例えば非導電性樹脂として熱硬
化性の液状プレポリマーを用いて、ペースト状の導電性
接着剤とし、これを適当なディスペンサーに入れて保存
し、必要なとき、ディスペンサーから取り出して、接着
すべき電極上に所望の厚みに塗り、この上に対向電極を
重ね合わせ、加熱するとともに加圧して樹脂を硬化さ
せ、こうして接着を完了させる。

印刷インキ状のものは、例えば、非導電性樹脂として
加熱溶融性の樹脂を用いて、これに適当な溶媒を加えて
印刷に適した粘度を持たせ、これを接着すべき電極上に
スクリーン印刷し、その後溶媒を蒸発させ、この上に対
向する電極を重ねて加熱加圧して、接着を完了させる。

フィルム状のものは、例えば非導電性樹脂として加熱
溶融性の樹脂を用いた導電性接着剤に、溶媒を加えて溶
液状にし、この溶液を離型フィルム上に流延して皮膜を
作り、皮膜から溶媒を蒸発させたものをロール状に巻き
取って作られる。使用の場合には、ロール状に巻かれた
ものから皮膜を離型フィルムとともに巻き戻して、皮膜
を接着すべき電極上に置き、この上に対向電極を重ねて
加熱加圧して、接着を完了させる。

（発明の効果）この発明によれば、導電性微粒子が、非導電性微粒子
の表面に金属メッキを施して作られているから、微粒子
が電導性を持ちながら、密度が小さいものとなってい
る。従って、この微粒子を非電導性の樹脂中に分散させ
た場合にも、微粒子が樹脂中で沈降することがなく、従
って均一な導電性を示す導電性接着剤が得られる。しか
も、非導電性の微粒子は、母粒子の表面に子粒子を付着
させて作られるので、確実に表面に突起を持った粒子と
なり、従って導電性微粒子も表面に突起を持ったものと
なるので、樹脂表面から突起を突出させやすく、また樹
脂の内部では隣接する粒子間で突起同志が接触しやす
く、従ってこれを押圧した場合、突起が電極表面に存在
する絶縁性の薄膜を突破ることとなり、また微粒子同志
が確実に接触して充分な導電性を発揮することとなる。
だから、この発明は、良好な導電性が得られないことが
ある、という従来品の欠点を改良したことになり、さら
に加熱と冷却とを繰り返しても良好な導電性が変わらな
いという効果をもたらし、従って工業上大きな利益をも
たらすものである。

以下に実施例と比較例とを挙げて、この発明の構成と
効果とをさらに具体的に説明する。

実施例１ジビニルベンゼンを懸濁重合することにより得られた
プラスチックビーズを分級して、平均粒径が10μｍ、標
準偏差値0.4μｍの微球体を作成して、これを母粒子と
した。他方、スチレン75重量％、ジビニルベンゼン25重
量％のモノマー組成物を懸濁重合したのち、分級して平
均粒径が1.2μｍ、標準偏差が0.2μｍの小粒子を作成
し、これを子粒子とした。

奈良機械社製のハイブリダイザにより、母粒子の表面
に子粒子を付着させて、表面に突起を持った非導電性微
粒子を得た。この微粒子はコブ状の突起を有し、突起の
高さは母粒子の平均直径のおよそ10分の１ないし８分の
１となっていた。

この微粒子の表面に、以下に述べるようにして、まず
無電解メッキを施した。上記の非導電性微粒子10gを粉
末メッキ用プリディップ液（奥野製薬社製）に室温で30
分間浸漬してエッチングした。その後、水洗し、キャタ
リストＣ液（奥野製薬社製）10ml、37％塩酸10ml、メタ
ノール10mlに室温で30分間浸漬して活性化した。その後
この微粒子を５％硫酸で洗浄し、充分に水洗した。次い
で。硫酸ニッケル17g/100ml、次亜リン酸ナトリウム17g
/100ml、ピロリン酸ナトリウム34g/100mlの組成から成
るpH9.4の無電解ニッケルメッキ液に、上記の微粒子を
投入し、70℃で10分間浸漬して、ニッケルメッキ層を形
成した。

次いで、この微粒子の表面に以下に述べるようにし
て、金メッキ層を施した、ムデンゴールド液（奥野製薬
社製）75mlのpHを6.0に調整したのち、85℃まで昇温し
て金置換メッキを行った。これを水洗した後、乾燥して
導電性微粒子を得た。

この導電性微粒子を分析したところ、金含有率が24.5
重量％、ニッケル含有率が23.2重量％であった。また、
この導電性微粒子では、突起の高さが微粒子本体の平均
直径の10分の１ないし８分の１となって、そのまま残っ
ていた。

この導電性微粒子をエポキシ接着剤（吉川化工社製、
SE−4500）に10重量％の割合で混合して、導電性接着剤
とした。

この導電性接着剤を、200μｍピッチ幅でITO電極が形
成されたガラス板上にスクリーン印刷により塗布した。
同じく200μｍのピッチで35μｍのポリイミド上に表面
がアルミからなる電極を形成したフレキシブルプリント
電極を、上記電極に重ね合わせたのち、30kg/cm²の圧力
を加え、150℃で１時間加熱して圧着した。

この物の接合部の接触抵抗は0.5Ωであった。また、7
0℃に１時間保持し、次いで−40℃に１時間保持すると
いう熱サイクルを50回かけた後に、接触抵抗値を測定し
たところ、抵抗値は0.7Ωであり、極めて安定した性能
を示した。

実施例２母粒子として平均粒径が15.0μｍ、標準偏差値が0.7
μｍのシリカ微粒体を使用することとした以外は、実施
例１と同様に実施して、表面に突起を持った非導電性微
粒子を得た。

メッキ条件は、ムデンゴールド液を53ml用いることと
した以外は、実施例１と同様に実施して導電性微粒子を
得た。

この導電性微粒子を分析したところ、金含有率が10.2
重量％、ニッケル含有率が11.0重量％であった。この微
粒子では、突起の高さが微粒子本体の平均直径の15分の
１ないし12分の１であった。

この導電性微粒子をクロロプレン（旭電化社製、Ａ−
90）のイソホロン溶液からなる非導電性樹脂中に分散さ
せて、ペースト状の導電性接着剤を作った。このとき、
樹脂に対する導電性微粒子の混合割合を15重量％とし
た。20μｍの厚みのポリエステルフィルム上に、400μ
ｍのピッチ幅でカーボン粉末を樹脂で固めた電極線の形
成されたものの上に、上記ペースト状接着剤をスクリー
ン印刷により塗布した。同じく400μｍのピッチ幅のITO
電極を形成したガラス板上に、上記塗布物を重ね合わ
せ、30kg/cm²の圧力で140℃に10秒間圧着した。

このものの接合部の抵抗値は10Ωであり、70℃で１時
間、次いで−40℃で１時間の熱サイクルを50回かけた後
の抵抗値は12Ωであり、極めて安定した性能を示した。

比較例１ジビニルベンゼンを懸濁重合させて得られた微球体を
分級して、平均粒径が10μｍ、標準偏差値が0.4μｍの
微球体を得て、これを微粒子とした。この微粒子に実施
例１と同様に実施してメッキを行った。その結果、金含
有率が26.0重量％、ニッケル含有率が19.5重量％の導電
性微粒子を得た。

この導電性微粒子を用いて、実施例１と同じ手順でペ
ースト状にして導電性接着剤を得た。

実施例１で使用したのと同じ電極材料に、上記導電性
接着剤を塗布し、実施例１と同様に処理して接合し、接
合部の抵抗を測定した。接合直後の接触抵抗は7.8Ωで
あり、70℃と−40℃との熱サイクルを50回かけた後の抵
抗値は35Ωであって、抵抗が次第に増加することが確認
された。

比較例２平均粒径が15.0μｍ、標準偏差値が0.7μｍのシリカ
微球体を用いて、実施例２と同様な条件下でメッキを行
った。その結果、金含有率が11.5重量％。ニッケル含有
率が9.8重量％の導電性微粒子を得た。

この導電性微粒子を用いて、実施例と同様に処理して
ペースト状の導電性接着剤を得た。この接着剤を用い
て、実施例２で用いたのと同じ電極材料を加熱圧着して
接合した。

この接合部の抵抗値は78Ωであり、70℃と−40℃との
熱サイクルを50回かけた後の抵抗値は280Ωであって、
次第に抵抗が増加することを確認した。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＨ０１Ｂ 1/22 Ｈ０１Ｂ 1/22 Ｄ (56)参考文献特開昭60−121604（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−198206（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−195568（ＪＰ，Ａ) 特開昭59−115370（ＪＰ，Ａ) 特公昭63−31905（ＪＰ，Ｂ２) 特公昭63−43435（ＪＰ，Ｂ２)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】母粒子の表面に子粒子を付着させて作ら
れ、表面に突起を持った非導電性微粒子の表面に、金属
メッキを施してなる導電性微粒子。
【請求項２】母粒子の表面に子粒子を付着させて作ら
れ、表面に突起を持った非導電性微粒子の表面に、金属
メッキを施してなる微粒子を液状又は固状の非導電性樹
脂中に分散させてなる、導電性接着剤。
【請求項３】固状の樹脂として、粘着付与剤を含んだ加
熱溶融性の樹脂を用いた、特許請求の範囲第２項に記載
の導電性接着剤。
【請求項４】液状の樹脂として熱硬化性のプレポリマー
を用いた特許請求の範囲第２項に記載の導電性接着剤。
【請求項５】液状の樹脂として、光増感剤を含んだ光硬
化型のプレポリマーを用いた、特許請求の範囲第２項に
記載の導電性接着剤。