JP3083047U - 加熱ヒーターの端子金具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】製造工程が簡単である上に、発熱面の平面性に
優れ、しかも滑り止めの機能を備える加熱ヒーターの端
子金具を提供する。 【解決手段】互いに隣合い左右方向へ突出する前後二組
の突出部７，９と、各突出部７，９の間の位置に、各突
出部７，９よりも突出幅が小さく形成された絞り状のワ
イヤ巻き付け部１３と、各突出部７，９に形成される平
坦の抜け止め突起１１と、一方の突出部９側に形成され
るリード線接続用の端子部１５とを備え、一方の下方側
となり発熱用のワイヤ３から成る所定のヒーターパター
ンを有するシリコンラバー層１と上方側となるシリコン
ラバー層１７との間に挟持されて、ヒーターパターンを
構成するワイヤ３がワイヤ巻き付け部１３に巻き付けら
れる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、産業機器に使用される面状発熱体に用いて好適な加熱ヒーターの端 子金具に関し、詳しくは、例えば半導体製造装置における半導体ウエハーの被処 理基板加熱用等として使用される加熱ヒーターの端子金具に係り、特に抜け防止 を図った端子金具の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

第１には、実公昭６３−４８０７８号公報に開示されるように、ゴム状弾性体 よりなる枠状流れ止めが基板に粘着され、流れ止め内に室温で弾性をもつシリコ ン樹脂層が充填され、シリコン樹脂層内に、接続金具の一端部が埋め込まれると いうものがある。この従来例では、接続導体片としての端子に２個の孔が貫通形 成されており、接続金具が挿通されて、端子は、基板を挟む形で基板に取り付け られている。しかる状態で、端子上にシリコン樹脂が充填されるという構造であ る。

【０００３】 第２には、特公平第２９４９５０４号公報に開示されるように、左右の周辺部 に面状抵抗体側に突出する鋸歯状部を備え、中央部に圧着用突起部を備えるとい うものがある。この従来例の端子は、中央に面状発熱体に圧着するハトメを挿入 する孔を有する端子板を備え、端子板の一端側にリード線が接続される接続部を 備えており、端子をハトメで基板に固定する。また、端子板の両脇には、基板方 向へ突出する鋸歯状部を備えており、鋸歯状部が基板の絶縁フィルムを突き抜け 、基板内の電極に接触する。

【０００４】 第３には、実公平１−３４８６６号公報に開示されるように、中間部が絞られ 、他端部は表面積が大きく形成された良導体から構成されるというものがある。 この従来例の電気端子は、中間部が絞られており、中間部の一端側にはリード線 が接続される平板状の一端部を備え、他端側には導線に接続される平板状で、横 に表面積が大きく、横の中央に沿って切り欠きを有する他端部を備えている。ま た、この従来例には、両端部間に補強を備える技術思想が開示されている。

【０００５】 第４には、特開昭６０−１０９１９７号公報に開示されるように、ヒーターエ レメントの電力取り出し端子部を凸状に形成したものがある。この従来例では、 凸部の平面部をリード線固定部として基板上に露出させたものである。凸部の周 囲には基板に接触する平板状の周辺部が形成されている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

第１の従来例では、接続導体片としての端子が、２個の孔に接続金具を通して 基板を挟む形となるので、製造工程が複雑になる。しかも端子を流れ止めで囲っ てシリコン樹脂を充填するという構造であるので、この点、基板から流れ止めが 上方へ突出する形態となり、面状発熱体として、発熱面側の平面性に劣り、加熱 作業の邪魔になる場合を否定できない。

【０００７】 第２の従来例では、やはり端子をハトメで基板に固定する工程があるので、製 造工程が複雑であり、しかもハトメを使用する分、基板から突出する部分が大き くなり、基板の発熱面側の平面性に劣る。また、端子板の両脇の鋸歯状部を基板 を突き抜け、基板内の電極に接触させるのに、大きな押圧力が必要になるばかり か、鋸歯の先端で電極を破損させる場合があり得る。

【０００８】 第３の従来例の電気端子には、中間部を含む一端部と、他端部とに補強を備え る技術思想が開示されているが、少なくとも一端部を上下の基板で挟むという態 様については開示されておらず、従って補強が端子の滑り止めの機能を果すとい うことは期待できない。

【０００９】 第４の従来例では、ヒーターエレメントの電力取り出し端子部を凸状に形成し ているが、これも発熱面の平面性に劣るばかりでなく、凸部の周囲にある平板状 の周辺部も、端子部の滑り止めを意図したものというより、端子部の形状を保つ 目的で構成されたものであり、構成も複雑になるので、製造工程が複雑になる。

【００１０】 本考案の目的は、製造工程が簡単である上に、発熱面の平面性に優れ、しかも 端子金具を上下の基板で挟む際に端子金具の滑り止めの機能をも備える加熱ヒー ターの端子金具を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案にあっては、所定間隔を有して互いに隣合い 左右方向へ突出する前後二組の突出部と、上記各突出部の間の上記所定間隔分の 位置に、上記各突出部よりも突出幅が小さく形成された絞り状のワイヤ巻き付け 部と、上記各突出部に形成される平坦の抜け止め突起と、上記一方の突出部側に 形成されるリード線接続用の端子部とを備える加熱ヒーターの端子金具であって 、一方の下方側となり発熱用のワイヤから成る所定のヒーターパターンを有する シリコンラバー層と上方側となるシリコンラバー層との間に挟持されて、上記ヒ ーターパターンを構成するワイヤが上記ワイヤ巻き付け部に巻き付けられるもの としてある。

【００１２】 抜け止め突起は、上記突出部の底面側における縁に沿って形成されることとし てある。

【００１３】 また、抜け止め突起は、屈曲幅が０．２ｍｍ乃至０．３ｍｍ程度で構成される こととしてある。

【００１４】 端子部は、一部が曲げ加工されて、上記ワイヤの先端側を沿わせつつ先端側が 上記下方側のシリコンラバー層に形成された開口へ挿通されることとしてある。

【００１５】 所定間隔を有して互いに隣合い左右方向へ突出する前後二組の突出部と、上記 各突出部の間の上記所定間隔分の位置に、上記各突出部よりも突出幅が小さく形 成された絞り状のワイヤ巻き付け部と、上記各突出部の下面側の縁に形成される 平坦の抜け止め突起と、上記一方の突出部側の中央側に形成されて、一部が曲げ 加工され、先端側が下方側となるシリコンラバー層に形成された開口内へ挿通さ れるリード線接続用の端子部とを備える加熱ヒーターの端子金具であって、一方 の上記下方側となり発熱用のワイヤから成る所定のヒーターパターンを有するシ リコンラバー層と上方側となるシリコンラバー層との間に挟持されて、上記ヒー ターパターンを構成するワイヤが上記ワイヤ巻き付け部に巻き付けられることと している。

【００１６】 以上のように構成された本考案の過熱ヒーターの端子金具にあって、各突出部 の底面側の縁に抜け止め突起を設け、各突出部の間の絞り状のワイヤ巻き付け部 にワイヤを巻き付けてから、先端側がシリコンラバー層の開口へ挿通されるリー ド線接続用の端子部にワイヤを沿わせリード線と接続するようにしたので、端子 金具は基本的に肉厚が薄い構成であり、突出する部分が殆ど無く、従って上下の シリコンラバー層で挟む際に接合性が良い上に発熱面の平面性に優れる。また、 抜け止め突起がシリコンラバー層に食い込むため、端子金具が抜けてしまうこと が無く、しかも抜け止め突起の下に配線物が置かれることもなく、配線が傷つく 心配が全く無い。また製造工数も少なく、生産が極めて簡単である。

【００１７】

【考案の実施の形態】

以下、図面を参照して本考案の一実施の形態を説明する。図１において、符号 １は、シリコンラバー層であり、例えばシリコンゴムを約５０μから１００μの 範囲の厚さに設けて構成されている。シリコンラバー層１には２箇所の位置に開 口３Ａ，３Ｂが形成されており、図示の状態では、端子金具５Ａ，５Ｂの一端が 係止されている。また、シリコンラバー層１の表面上には、ワイヤ３が搭載され てヒーターパターンが形成されており、ワイヤ３の一端側は、端子金具５Ａにお いて詳しくは後述するワイヤ巻き付け部１３に巻き付けられてから、端子金具５ Ａの一端側に沿って開口３Ａ内へと導かれている。ワイヤ３のもう一方の他端側 は、端子金具５Ｂにおいて同様に詳しくは後述するワイヤ巻き付け部１３に巻き つけられてから、端子金具５Ｂの一端側に沿って開口３Ｂ内へと導かれている。

【００１８】 図２に示すように、端子金具５Ａ，５Ｂは、双方共に同様の構成であり、所定 間隔をあけて互いに隣合い左右方向へ突出する二組の突出部７，７，９，９を備 えており、各突出部７，７，９，９の底面側の縁には、当該縁に沿う形態の平坦 の抜け止め突起１１を備えている。本実施の形態では、抜け止め突起１１の屈曲 幅は例えば０．２ｍｍ、乃至０．３ｍｍ程度であり、その形成位置は、突出部７ ，７の場合、左右の先端側の縁３１，３１と、左右の先端側の縁３１，３１を繋 ぐ側辺の縁３３とであり、突出部９，９の場合は、左右の先端側の縁３５である 。この場合、後述する端子部１５に約１０Ｋｇ程度の引き抜く力が加わっても、 端子金具５Ａ，５Ｂが引き抜かれてしまうことはない。

【００１９】 また、各突出部７，７，９，９の間の上記所定間隔分の位置には、各突出部７ ，７，９，９よりも突出幅が小さく形成された絞り状のワイヤ巻き付け部１３、 換言すると、各突出部７，７，９，９間を切り欠いて形成された絞り状のワイヤ 巻き付け部１３を備えている。

【００２０】 図３に示すように、突出部９，９側には、一直線状に伸びてから一部が曲げ加 工されて、先端側が基板１の開口３Ａまたは３Ｂへ挿通されるリード線接続用の 端子部１５を備えている。尚、端子部１５は、曲げ加工されずに一直線状に伸び て、シリコンラバー層１，１７間に挟持される図示しないリード線に接続される ようにしても良く、あるいはシリコンラバー層１，１７から外部へと伸びて、こ こでリード線に接続されるようにしても良い。

【００２１】 図４に示すように、シリコンラバー層１上にワイヤ３でヒーターパターンを構 成すると共に、ワイヤ３と端子金具５Ａ，５Ｂとが接続された状態が完了すると 、シリコンラバー層１上には、同じくシリコンラバー層１７として、シリコンラ バー溶液が例えば約３０μ程度の厚さにオーバコーティングされる。

【００２２】 端子金具５Ａ，５Ｂを、シリコンラバー層１とシリコンラバー層１７とで挟持 して接合した場合、端子金具５Ａ，５Ｂは基本的に肉厚が薄い構成であるため、 突出する部分が殆ど無く、従って接合性が良い。また、シリコンラバー層１側に 抜け止め突起１１がシリコンラバー層１に食い込むため、端子金具５Ａ，５Ｂが 抜けてしまうことが無く、使用性が良い。しかも抜け止め突起１１の下に配線物 が置かれることもなく、配線が傷つく心配も全く無い。勿論、製造工数も少なく 、生産が極めて簡単である。

【００２３】 尚、抜け止め突起１１の形成位置としては、上述の位置に限定されるものでは なく、端子金具５Ａ，５Ｂの裏面側、即ちシリコンラバー層１側の面であれば任 意の位置に構成することも可能である。また、抜け止め突起１１は端子金具５Ａ ，５Ｂの上面側に構成しても目的を達成できる。

【００２４】 図５に示すように、端子金具５Ａ，５Ｂを、基板１とシリコンラバー層１７と で挟持して接合した場合、端子金具５Ａ，５Ｂの端子部１５にリード線１９が例 えばスポット溶接される。さらに収縮チューブ２１で、リード線１９と端子部１ ５を覆いつつ、基板１の開口３Ａまたは３Ｂ内において、端子部１５とワイヤ３ を覆う形態がとられる。しかる状態で、開口３Ａ，３Ｂ内には例えば絶縁性接着 剤２３が充填される。

【００２５】 また、本考案は、上記実施の形態に限定されるものではなく、本考案の目的を 達成できる範囲での改良、変形等は本考案に包含されるものである。

【００２６】

【発明の効果】

以上説明したように、本考案によれば、端子金具の各突出部の底面側の縁に抜 け止め突起を設け、しかも、各突出部の間の絞り状のワイヤ巻き付け部にワイヤ を巻き付けてから、一方の突出部側に一部が曲げ加工されて、先端側がシリコン ラバー層の開口へ挿通されるリード線接続用の端子部にワイヤを沿わせ、リード 線と接続するようにした。これにより、端子金具は基本的に肉厚が薄い構成であ り、突出する部分が殆ど無く、従って上下のシリコンラバー層で挟む際に接合性 が良い上に発熱面の平面性に優れる。また、抜け止め突起がシリコンゴムのシリ コンラバー層に食い込むため、端子金具が抜けてしまうことが無く、しかも抜け 止め突起の下に配線物が置かれることもなく、配線が傷つく心配が全く無い。ま た製造工数も少なく、生産が極めて簡単である。

【００２７】 抜け止め突起は、上記突出部の下面側における縁に沿って形成されることとし てあるので、摩擦係数を大きくすることができ、抜け止めの機能として信頼性が 高い。

【００２８】 また、抜け止め突起は、肉厚が０．２ｍｍ乃至０．３ｍｍ程度で構成されるこ ととしてあるので、シリコンラバー層との間の摩擦係数をこの点からも大きくす ることが可能である。

【００２９】 端子部は、一部が曲げ加工されて、上記ワイヤの先端側を沿わせつつ先端側が 上記下方側のシリコンラバー層に形成された開口へ挿通されることとしてあるの で、加熱ヒーターとして薄型に構成することが容易であり、平面性に優れる。

【００３０】 一方、所定間隔を有して互いに隣合い左右方向へ突出する前後二組の突出部と 、上記各突出部間で、各突出部よりも突出幅が小さく形成された絞り状のワイヤ 巻き付け部と、上記各突出部の下面側の縁に形成される平坦の抜け止め突起と、 上記一方の突出部側の中央側に形成されて、一部が曲げ加工され、先端側が下方 側となるシリコンラバー層に形成された開口内へ挿通されるリード線接続用の端 子部とを備える加熱ヒーターの端子金具であって、一方の上記下方側となり発熱 用のワイヤから成る所定のヒーターパターンを有するシリコンラバー層と上方側 となるシリコンラバー層との間に挟持されて、上記ヒーターパターンを構成する ワイヤが上記ワイヤ巻き付け部に巻き付けられることとしている。従って、間隙 空気層のない均一でかつバラ付きが無く、しかも薄くて機械的強度と熱伝導性の 高い絶縁体層を形成させることができ、この観点からも、製造工数も少なく、生 産が極めて簡単である加熱ヒーターを構成することができる。

【提出日】平成１３年７月３日（２００１．７．３）

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１６】 以上のように構成された本考案の加熱ヒーターの端子金具にあって、各突出部 の底面側の縁に抜け止め突起を設け、各突出部の間の絞り状のワイヤ巻き付け部 にワイヤを巻き付けてから、先端側がシリコンラバー層の開口へ挿通されるリー ド線接続用の端子部にワイヤを沿わせリード線と接続するようにしたので、端子 金具は基本的に肉厚が薄い構成であり、突出する部分が殆ど無く、従って上下の シリコンラバー層で挟む際に接合性が良い上に発熱面の平面性に優れる。また、 抜け止め突起がシリコンラバー層に食い込むため、端子金具が抜けてしまうこと が無く、しかも抜け止め突起の下に配線物が置かれることもなく、配線が傷つく 心配が全く無い。また製造工数も少なく、生産が極めて簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施を示す全体像の一部を説明する
説明図である。

【図２】本考案の一実施を示す端子金具の構成を説明す
る平面図である。

【図３】本考案の一実施を示す端子金具の構成を説明す
る要部断面図ある。

【図４】本考案の一実施を示す製造過程の一部を説明す
る要部断面図である。

【図５】本考案の一実施を示す製造過程の最終的段階を
説明する要部断面図である。

【符号の説明】

１ シリコンラバー層 ３ ワイヤ ３Ａ，３Ｂ 開口 ５Ａ，５Ｂ 端子金具 ７ 突出部 ９ 突出部 １１ 抜け止め突起 １３ ワイヤ巻き付け部 １５ 端子部 １７ シリコンラバー層 １９ リード線 ２１ 収縮チューブ

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【手続補正書】

【提出日】平成１３年７月３日（２００１．７．３）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項３

【補正方法】変更

【補正内容】

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】所定間隔を有して互いに隣合い左右方向へ
   突出する前後二組の突出部と、記各突出部の間の上記所
   定間隔分の位置に、上記各突出部よりも突出幅が小さく
   形成された絞り状のワイヤ巻き付け部と、上記各突出部
   に屈曲形成される抜け止め突起と、上記一方の突出部側
   に形成されるリード線接続用の端子部とを備える加熱ヒ
   ーターの端子金具であって、一方の下方側となり発熱用
   のワイヤから成る所定のヒーターパターンを有するシリ
   コンラバー層と上方側となるシリコンラバー層との間に
   挟持されて、上記ヒーターパターンを構成するワイヤが
   上記ワイヤ巻き付け部に巻き付けられることを特徴とす
   る加熱ヒーターの端子金具。
2. 【請求項２】上記抜け止め突起は、上記突出部の底面又
   は表面側における縁に沿って形成されることを特徴とす
   る請求項１記載の加熱ヒーターの端子金具。
3. 【請求項３】上記抜け止め突起は、屈曲幅が０．２ｍｍ
   乃至０．３ｍｍ程度で構成されることを特徴とする請求
   項１または２記載の過熱ヒーターの端子金具。
4. 【請求項４】上記端子部は、一部が曲げ加工されて、上
   記ワイヤの先端側を沿わせつつ先端側が上記下方側のシ
   リコンラバー層に形成された開口へ挿通されることを特
   徴とする請求項１乃至３のうち何れか記載の加熱ヒータ
   ーの端子金具。
5. 【請求項５】所定間隔を有して互いに隣合い左右方向へ
   突出する前後二組の突出部と、上記各突出部の間の上記
   所定間隔分の位置に、上記各突出部よりも突出幅が小さ
   く形成された絞り状のワイヤ巻き付け部と、上記各突出
   部の下面側の縁に形成される平坦の抜け止め突起と、上
   記一方の突出部側の中央側に形成されて、一部が曲げ加
   工され、先端側が下方側となるシリコンラバー層に形成
   された開口内へ挿通されるリード線接続用の端子部とを
   備える加熱ヒーターの端子金具であって、一方の上記下
   方側となり発熱用のワイヤから成る所定のヒーターパタ
   ーンを有するシリコンラバー層と上方側となるシリコン
   ラバー層との間に挟持されて、上記ヒーターパターンを
   構成するワイヤが上記ワイヤ巻き付け部に巻き付けられ
   ることを特徴とする加熱ヒーターの端子金具。