JP3070305B2 - フェイルメモリ - Google Patents

フェイルメモリ

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JP3070305B2
JP3070305B2 JP4316146A JP31614692A JP3070305B2 JP 3070305 B2 JP3070305 B2 JP 3070305B2 JP 4316146 A JP4316146 A JP 4316146A JP 31614692 A JP31614692 A JP 31614692A JP 3070305 B2 JP3070305 B2 JP 3070305B2
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守弘 山部
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の技術分野】この発明は、スキャンパス構造をも
つメモリを測定する場合に、このメモリのデータビット
方向にシリアルなパス/フェイル情報の出力を、パラレ
ルなデータビットごとのフェイルマップとしてリアルタ
イムに記憶するフェイルメモリについてのものである。
【0002】
【従来の技術】次に、従来技術によるフェイルメモリの
構成を図2に示す。図2の1Aはピンセレクタ回路、1
Bはフェイルマップメモリ回路である。ピンセレクタ回
路1Aは、1ピンごとのリアルタイムパス/フェイル情
報である全テスタピン数分のピンフェイル信号を入力と
し、任意のピンのピンフェイル信号を、DF0〜DFn
の任意のビットフェイル信号として出力する。フェイル
マップメモリ回路1Bは、ピンセレクタ回路1Aから出
力されるビットフェイル信号を、図示を省略したアルゴ
リズミックパターンジェネレータ等のアドレス・データ
発生器からのアドレスにより、リアルタイムに記憶す
る。
【0003】フェイルマップメモリ回路1Bは、ピンセ
レクタ回路1Aより入力されるビットフェイル信号DF
0〜DFnのうちの必要なデータビットを選択抽出し、
データビットごとのフェイルマップとして、図示を省略
したアドレス・データ発生器からのアドレスにより、リ
アルタイムに記憶する。フェイルマップメモリ回路1B
は、選択抽出するデータビットのビット幅に応じて構成
変換され、持っているメモリ容量を最大限に生かすこと
ができる。
【0004】次に、測定されるメモリのデータビットの
ビット幅が4ビットであった場合の、フェイルマップの
取り込み例を図3と図4を参照して説明する。図4で、
アドレス空間はXアドレス:5ビット、Yアドレス:5
ビットで表される領域とする。
【0005】図3は測定されるメモリのパラレル出力デ
ータに対する判定結果例であり、図4は図3におけるフ
ェイルマップである。測定されるメモリのデータ出力が
パラレル出力であれば、図4に示すように、ビットごと
のフェイルマップを取ることができる。しかし、測定さ
れるメモリがスキャンパス構造をもつメモリで、そのデ
ータ出力がシリアル出力であった場合、図4に示すよう
にビットごとのフェイルマップとして判定結果を記憶さ
せる事はできない。
【0006】図2のフェイルメモリで、測定されるメモ
リからのシリアル出力データに対する判定結果をフェイ
ルマップに取ろうとした場合、シリアルのパス/フェイ
ル情報をフェイルメモリの各ビットラインに振り分けら
れないために、例えばピンセレクタ回路1AのDF0の
フェイルマップ領域上で、各データビットの判定結果
を、アドレスの深さ方向に区分して記憶させる。例とし
て、1kW×4ビットのスキャンパス構造をもつ測定さ
れるメモリでの、シリアルパス/フェイル情報に対する
フェイルマップ取り込み例を図5と図6に示す。
【0007】図5は、スキャンパス構造を持つメモリの
シリアル出力データに対する判定結果の例であり、アは
測定されるメモリに印加するアドレス、イはアのアドレ
スによって出力されたシリアル出力データに対するシリ
アルのパス/フェイル情報、ウはパス/フェイル情報の
フェイルマップ上での書き込みアドレスの例を示してい
る。図6は、図5におけるフェイルマップである。
【0008】アドレス空間はXアドレス:5ビット、Y
アドレス:5ビットで表される領域とするが、測定され
るメモリのデータビットD0〜D3に対する判定結果を
全て、データビットDF0のフェイルマップ領域上に取
り込むので、アドレスの深さ方向で、各データビットに
対する判定結果の書き込み位置を区別しなくてはならな
い。この例では、図6に示すようにYアドレスを7ビッ
トとし、Yアドレスの上位2ビットによって、データビ
ットD0〜D3に対する各判定結果の書き込み位置を区
分するようにしている。
【0009】シリアル出力データに対する判定結果は、
1ビットのシリアルのパス/フェイル情報として、DF
0のビットフェイルラインに入力されている。図6で、
データビットDF1〜DF3のフェイルマップの領域に
はフェイルは書き込まれず、データビットDF0のフェ
イルマップ領域上にデータビットD0〜D3に対するフ
ェイル情報が全て書き込まれる。また、測定されるメモ
リに加えるアドレスと、フェイルメモリに与えるアドレ
スとを意図的にかえる必要がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】従来技術によるフェイ
ルメモリでは、スキャンパス構造をもつ測定されるメモ
リからのシリアル出力データに対する判定結果をデータ
ビットごとのフェイルマップに取ろうとしても、書き込
まれた個々のフェイルがどのデータビットに対応するも
のなのか、又、実際にどのアドレスで発生したものなの
かが容易に判断のつかないようなフェイルマップになっ
てしまい、データビットごとのフェイルマップをとるた
めには、図6のようにして取ったフェイルマップを、C
PUからの読み出し時に、ソフトウェアの演算によって
データビットごとのフェイルマップになるように並びか
え、表示出力させる等の方法が取られていたが、これを
実行させるために膨大な時間がかかるという問題があ
る。
【0011】この発明は、シリアル出力データに対する
シリアルなパス/フェイル情報を、リアルタイムに、か
つ、データビットごとのフェイルマップとして記憶させ
ることができるフェイルメモリを提供する事を目的とす
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明では、1ピンごとのリアルタイムパス/フ
ェイル情報である全テスタピン数分のピンフェイル信号
のうちの任意のピンフェイル信号を、DF0〜DFnの
うちの任意のビットフェイル信号に接続するためのピン
セレクタ回路1Aと、ピンセレクタ回路1Aの出力を入
力とし、ピンセレクタ回路1Aの出力がパラレルの時は
そのまま出力し、ピンセレクタ回路1Aの出力がシリア
ルの時はシリアル/パラレル変換して出力するシリアル
/パラレル変換回路1Cと、シリアル/パラレル変換回
路1Cの出力を入力とするフェイルマップメモリ回路1
Bを備える。シリアル/パラレル変換回路1Cは、ラッ
チ回路2aとシフトレジスタ2bとビットセレクタ2c
と2to1セレクタ2dとラッチ回路2eとクロック制
御回路2fを備え、ラッチ回路2aの出力は1対1で2
to1セレクタ2dに接続するとともに、1ビットがシ
フトレジスタ2bに接続し、シフトレジスタ2bの出力
は並列にビットセレクタ2cに接続し、ビットセレクタ
2cの出力は1対1で2to1セレクタ2dに接続し、
ピンセレクタ回路1aの出力がシリアルのとき、2to
1セレクタ2dとクロック制御回路2fはシリアルモー
ドになり、ラッチ回路2aの出力がシフトレジスタ2b
に入力してクロック制御回路2fのシフトクロックによ
り順次シフトし、パラレルにビットセレクタ2cに入力
し、2to1セレクタ2dはビットセレクタ2cの出力
を選択してラッチ回路2eに出力する。
【0013】
【作用】つぎに、この発明によるファイルメモリの構成
を図1により説明する。図1の1Aはピンフェイル信号
を入力とし、ビットフェイル信号DF0〜DFnとして
出力するピンセレクタ回路、1Cはビットフェイル信号
DF0〜DFnを入力とし、同じくビットフェイル信号
D0〜Dnを出力とするシリアル/パラレル変換回路、
1Bはビットフェイル信号D0〜Dnを入力とし、それ
らをリアルタイムに記憶するフェイルマップメモリ回路
である。
【0014】ピンセレクタ回路1Aは、1ピンごとのリ
アルタイムパス/フェイル情報である全テスタピン数分
のピンフェイル信号を入力とし、これらピンフェイル信
号群のうち、任意の1ピンのピンフェイル信号をDF0
〜DFnのうちの任意の1ビットと接続し、ビットフェ
イル信号として出力する。このとき、ピンフェイル信号
群のうち、任意の(n+1)ピン分のピンフェイル信号
を選択し、それぞれを任意の別々のビットに接続する事
により、最大ビット幅である(n+1)ビットのビット
フェイル信号をとしてDF0〜DFn全てを出力するこ
とができる。
【0015】シリアル/パラレル変換回路1Cはピンセ
レクタ回路1Aから出力されるビットフェイル信号DF
0〜DFnを入力とし、測定されるメモリのデータ出力
がパラレル出力である場合は、入力されるビットフェイ
ル信号DF0〜DFnについて、DF0→D0、DFn
→Dnのように1対1対応の接続で、ビットフェイル信
号DF0〜DFnをそのままD0〜Dnとして出力す
る。
【0016】フェイルマップメモリ回路1Bは、シリア
ル/パラレル変換回路1Cから出力されるビットフェイ
ル信号D0〜Dnを入力とし、それらビットフェイル信
号D0〜Dnのうち必要なビット数を、D0側から順の
並びで選択抽出し、データビットごとのフェイルマップ
として、図示を省略したアルゴリズミックパターンジェ
ネレータ等のアドレス・データ発生器からのアドレスに
より、リアルタイムに記憶する。また、フェイルマップ
メモリ回路1Bは、選択抽出するデータビットのビット
幅に応じて、メモリ構成を自動的に構成変換している。
【0017】つぎに、シリアル/パラレル変換回路1C
の作用を図7に示す。図7のアは測定されるメモリのデ
ータ出力がパラレル出力であった場合のシリアル/パラ
レル変換回路1C内の信号接続処理の状態図であり、図
7のイは測定されるメモリのデータ出力がシリアル出力
であった場合のシリアル/パラレル変換回路1C内の信
号接続処理の状態図である。
【0018】測定されるメモリのデータ出力がパラレル
出力であった場合、シリアル/パラレル変換回路1Cへ
入力されるビットフェイル信号もパラレル入力となり、
DF0〜DFnは、図7アで示すように、1対1対応で
ビットフェイル信号D0〜Dnとして出力される。測定
されるメモリのデータ出力がシリアル出力であった場
合、シリアル/パラレル変換回路1Cへのビットフェイ
ル信号はシリアルの信号であり、DF0に入力される。
【0019】入力されたシリアルパス/フェイル信号
は、図7イに示すように、サイクルごとに入力されてく
る各データビットのパス/フェイル信号をそれぞれ、対
応するビットフェイルラインに振り分け、D0〜Dnの
ビットフェイル信号として出力する。これにより、例と
して、図5で示される1kW×4ビットのスキャンパス
構造をもつ測定されるメモリのシリアル出力データに対
する判定結果例におけるシリアルパス/フェイル情報
(DF0)が、図3に示す1kW×4ビットの測定され
るメモリのパラレル出力データに対する判定結果例にお
けるDF0〜DF3の4ビットのパス/フェイル情報と
同様の信号に変換され、D0〜D3のビットフェイル信
号として出力することになる。
【0020】
【実施例】つぎに、この発明による実施例の構成図を図
8に示す。図8の1Aはピンフェイル信号を入力とし、
ビットフェイル信号DF0〜DFnとして出力するピン
セレクタ回路、2はビットフェイル信号DF0〜DFn
を入力とし、同じくビットフェイル信号D0〜Dnを出
力とするシリアル/パラレル変換回路、1Bはビットフ
ェイル信号D0〜Dnを入力とし、それらを図示を省略
したアルゴリズミックパターンジェネレータ等のアドレ
ス・データ発生器からのアドレスにより、リアルタイム
に記憶するフェイルマップメモリ回路である。
【0021】シリアル/パラレル変換回路2は図1のシ
リアル/パラレル変換回路1Cに相当するものであり、
2a〜2fの各回路ブロックにより構成される。2aは
入力されるビットフェイル信号DF0〜DFnをラッチ
するラッチ回路、2bは測定されるメモリのシリアル出
力データに対する判定結果をフェイルマップに取ろうと
するシリアルモードの場合に、シリアルパス/フェイル
情報をシリアル入力とし、測定されるメモリのデータビ
ット数分だけシフトして、パラレルデータ信号をP0〜
Pnとして出力するシフトレジスタである。
【0022】2cはシフトレジスタ2bの出力P0〜P
nを入力とし、それらのビット位置を入れかえ、ビット
フェイル信号B0〜Bnとして出力するビットセレク
タ、2dはラッチ回路2aより出力されるビットフェイ
ル信号と、ビットセレクタ2cより出力されるビットフ
ェイル信号B0〜Bnとをシリアルモードか否かにより
選択し、ビットフェイル信号DS0〜DSnとして出力
する2to1セレクタである。
【0023】2eは2to1セレクタ2dから出力され
るビットフェイル信号DS0〜DSnをラッチし、ビッ
トフェイル信号D0、Dnとして、フェイルマップメモ
リ回路1Bに出力するラッチ回路、2fはシフトレジス
タ2bに加えるシフトクロックとラッチ回路2eに加え
るラッチクロック及びフェイルマップメモリ回路1Bへ
のWE制御クロックを発生するためのクロック制御回路
である。ピンセレクタ回路1Aおよびフェイルマップメ
モリ回路1Bは、図2に示したものと同じである。
【0024】次に、この発明によるシリアル/パラレル
変換回路の動作を図8を参照して説明する。図8で、測
定されるメモリのデータ出力がパラレル出力である場
合、ピンセレクタ回路1Aから入力されるビットフェイ
ル信号DF0〜DFnを、ラッチ回路2aで通常にテス
トレートクロックに同期したクロックによりラッチす
る。
【0025】ラッチ回路2aの出力は2to1セレクタ
2dに入力され、2to1セレクタ2dには、セレクト
信号であるシリアルモード信号が入力していないため、
ラッチ回路2aからの入力がそのまま選択され、ビット
フェイル信号DS0〜DSnとして出力される。ビット
フェイル信号DS0〜DSnはラッチ回路2eに入力さ
れ、クロック制御回路2fより通常のテストレートクロ
ックに同調したクロックとして出力されるラッチクロッ
クによってラッチされ、フェイルマップメモリ回路1B
のビットフェイル信号D0〜Dnとして出力する。
【0026】測定されるメモリのデータ出力がシリアル
出力である場合、ピンセレクタ回路1Aからのシリアル
パス/フェイル信号はDF0としてラッチ回路2aに入
力され、通常のテストレートクロックに同期したテスト
レートクロックによってラッチされる。ラッチ回路2a
におけるDF0入力に対する出力は、シフトレジスタ2
bのシリアル入力端子に入力される。
【0027】シフトレジスタ2bは、図示を省略したア
ドレス・データ発生器よりシリアルデータ発生中を表す
シフトモード信号を入力し、シフト動作を行うモードと
なり、テストレートクロックに同期したクロックのうち
シリアルモードで、かつシフトモード信号が入力してい
る間のみ、クロック制御回路2fより出力されるシフト
クロックにより、入力されるシリアルのパス/フェイル
情報をシフトし、格納していく。
【0028】そして、測定されるメモリのデータビット
分数のパス/フェイル情報を格納し、P0〜Pnとして
パラレルに出力する。シフトレジスタ2bから出力され
るパラレルパス/フェイル情報P0〜Pnは、ビットセ
レクタ2cに入力される。ビットセレクタ2cは、入力
されるP0〜Pn信号の(n+1)ビットのビット配列
を任意のビット配列に並びかえることができる。
【0029】これにより、シリアルなパス/フェイル信
号のビットシーケンスが任意に、もしくは、測定される
メモリのデータビット幅が(n+1)ビットより小さい
場合でも、常にB0には、データビット0(DATA
0)のパス/フェイル情報、B1にはデータビット1
(DATA1)のパス/フェイル情報と言うように、B
0側から順次対応するデータビットのパス/フェイル情
報がつまる形で、ビットフェイル信号B0〜Bnが出力
される。
【0030】2to1セレクタ2dは、セレクト信号で
あるシリアルモードが設定されているので、ビットセレ
クタ2cの出力B0〜Bnが選択され、そのままビット
フェイル信号DS0〜DSnとして出力される。ビット
フェイル信号DS0〜DSnは、ラッチ回路2eに入力
され、クロック制御回路2fよりシフトレジスタ2bに
格納されるデータビット数分のパス/フェイル情報う
ち、最後尾のパス/フェイル情報を格納するときのシフ
トクロックを遅延したクロックをラッチクロックとし
て、ラッチする。ラッチ回路2eは、ビットフェイル信
号D0〜Dnをフェイルマップメモリ回路1Bに出力す
る。
【0031】クロック制御回路2fは、ラッチクロック
と同様に、シリアルモードか否かによって、出力クロッ
クを切り換え、ラッチクロックと同じクロックをWE制
御クロックとして、フェイルマップメモリ回路1Bに出
力する。
【0032】
【発明の効果】この発明によれば、ピンセレクタ回路
と、フェイルマップメモリ回路との間にシリアルパラレ
ル変換回路を搭載しているので、測定されるメモリのデ
ータ出力がシリアル出力であった場合でも、その判定結
果をリアルタイムに、かつ、データビットごとのフェイ
ルマップとして取得する事ができ、高速な不良解析を行
うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明によるフェイルメモリの構成図であ
る。
【図2】従来技術のフェイルメモリの構成図である。
【図3】測定されるメモリのパラレル出力データに対す
る判定結果例である。
【図4】図3におけるフェイルマップである。
【図5】スキャンパス構造を持つメモリのシリアル出力
データに対する判定結果例である。
【図6】図5におけるフェイルマップである。
【図7】シリアル/パラレル変換回路1Cの作用説明図
である。
【図8】この発明による実施例の構成図である。
【符号の説明】
1A ピンセレクタ回路 1B フェイルマップメモリ回路 1C シリアル/パラレル変換回路 2a・2e ラッチ回路 2b シフトレジスタ 2c ビットセレクタ 2d 2to1セレクタ 2f クロック制御回路

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1ピンごとのリアルタイムパス/フェイ
    ル情報である全テスタピン数分のピンフェイル信号のう
    ちの任意のピンフェイル信号を、DF0〜DFnのうち
    の任意のビットフェイル信号に接続するためのピンセレ
    クタ回路(1A)と、 ピンセレクタ回路(1A)の出力を入力とし、ピンセレクタ
    回路(1A)の出力がパラレルの時はそのまま出力し、ピン
    セレクタ回路(1A)の出力がシリアルの時はシリアル/パ
    ラレル変換して出力するシリアル/パラレル変換回路(1
    C)と、 シリアル/パラレル変換回路(1C)の出力を入力とするフ
    ェイルマップメモリ回路(1B)を備えることを特徴とする
    フェイルメモリ。
  2. 【請求項2】 シリアル/パラレル変換回路(1C)は、第
    1のラッチ回路(2a)とシフトレジスタ(2b)とビットセレ
    クタ(2c)と2to1セレクタ(2d)と第2のラッチ回路(2
    e)とクロック制御回路(2f)を備え、第1のラッチ回路(2
    a)の出力は1対1で2to1セレクタ(2d)に接続すると
    ともに、1ビットがシフトレジスタ(2b)に接続し、シフ
    トレジスタ(2b)の出力は並列にビットセレクタ(2c)に接
    続し、ビットセレクタ(2c)の出力は1対1で2to1セ
    レクタ(2d)に接続し、ピンセレクタ回路(1a)の出力がシ
    リアルのとき、2to1セレクタ(2d)とクロック制御回
    路(2f)はシリアルモードになり、第1のラッチ回路(2a)
    の出力がシフトレジスタ(2b)に入力してクロック制御回
    路(2f)のシフトクロックにより順次シフトし、パラレル
    にビットセレクタ(2c)に入力し、2to1セレクタ(2d)
    はビットセレクタ(2c)の出力を選択して第2のラッチ回
    路(2e)に出力する事を特徴とする請求項1に記載のフェ
    イルメモリ。
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US6536005B1 (en) * 1999-10-26 2003-03-18 Teradyne, Inc. High-speed failure capture apparatus and method for automatic test equipment
KR20070090142A (ko) * 2004-12-07 2007-09-05 주식회사 아도반테스토 시험 장치

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