JP3069816B2 - １−（１′−シアノエテニル）アダマンタン及びレジスト材料 - Google Patents
１−（１′−シアノエテニル）アダマンタン及びレジスト材料Info
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Description
【０００１】本発明は、新規なアダマンタン化合物であ
る１−（１′−シアノエテニル）アダマンタンに関す
る。この新規化合物は重合性を有し、電子材料、光学材
料、医薬、農薬等の有機合成の原料、あるいは機能性高
分子材料等の原料として有用である。
る１−（１′−シアノエテニル）アダマンタンに関す
る。この新規化合物は重合性を有し、電子材料、光学材
料、医薬、農薬等の有機合成の原料、あるいは機能性高
分子材料等の原料として有用である。
【０００２】
【従来の技術】アダマンタン骨格を有する化合物は数多
く知られているが、本発明のアダマンタン化合物はこれ
まで知られていなかった。この新規化合物に類似の化合
物としては、１−ビニルアダマンタン、１−イソプロペ
ニルアダマンタンが知られている。
く知られているが、本発明のアダマンタン化合物はこれ
まで知られていなかった。この新規化合物に類似の化合
物としては、１−ビニルアダマンタン、１−イソプロペ
ニルアダマンタンが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】現在までに知られてい
る１−ビニルアダマンタンや１−イソプロペニルアダマ
ンタンでは、重合性が乏しいため、所望の重合体を思い
通りに得ることが必ずしもできるとは限らなかった。例
えば、１−ビニルアダマンタンや１−イソプロペニルア
ダマンタンではカチオン触媒によってそれらの単一重合
体が得られているが、カチオン触媒によってアクリレー
ト系モノマーやメタクリレート系モノマーとの共重合体
を得ることはできなかった。また、ラジカル開始剤ある
いはアニオン開始剤を用いて、これらの化合物とアクリ
レート系モノマーやメタクリレート系モノマーとの共重
合体を得ることもできなかった。
る１−ビニルアダマンタンや１−イソプロペニルアダマ
ンタンでは、重合性が乏しいため、所望の重合体を思い
通りに得ることが必ずしもできるとは限らなかった。例
えば、１−ビニルアダマンタンや１−イソプロペニルア
ダマンタンではカチオン触媒によってそれらの単一重合
体が得られているが、カチオン触媒によってアクリレー
ト系モノマーやメタクリレート系モノマーとの共重合体
を得ることはできなかった。また、ラジカル開始剤ある
いはアニオン開始剤を用いて、これらの化合物とアクリ
レート系モノマーやメタクリレート系モノマーとの共重
合体を得ることもできなかった。
【０００４】本発明の目的は、高分子材料、医薬、農薬
等の有機合成の原料として実用性が高い、アダマンタン
骨格を備えた高重合性の化合物を提供することである。
等の有機合成の原料として実用性が高い、アダマンタン
骨格を備えた高重合性の化合物を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の新規化合物の１
−（１′−シアノエテニル）アダマンタンは、下記構造
式で示される。
−（１′−シアノエテニル）アダマンタンは、下記構造
式で示される。
【０００６】
【化２】
【０００７】この化合物は、アクリレート誘導体やメタ
クリレート誘導体といったような他のモノマーと容易に
共重合させることができ、側鎖としてアダマンチル基が
主鎖に直接結合した新規な共重合体を提供することがで
きる。
クリレート誘導体といったような他のモノマーと容易に
共重合させることができ、側鎖としてアダマンチル基が
主鎖に直接結合した新規な共重合体を提供することがで
きる。
【０００８】本発明の１−（１′−シアノエテニル）ア
ダマンタンは、知られている様々な方法を応用して製造
することが可能である。例えば、この新しいアダマンタ
ン化合物は、アダマンチルメチルケトンを出発原料とし
て、次の三段階の反応からたやすく製造することができ
る。
ダマンタンは、知られている様々な方法を応用して製造
することが可能である。例えば、この新しいアダマンタ
ン化合物は、アダマンチルメチルケトンを出発原料とし
て、次の三段階の反応からたやすく製造することができ
る。
【０００９】（１）アダマンチルメチルケトンへのシア
ノトリメチルシランの付加反応
ノトリメチルシランの付加反応
【００１０】
【化３】
【００１１】このシアノトリメチルシリル化反応は、例
えば、窒素雰囲気下に乾燥塩化メチレンを溶媒とし、ヨ
ウ化亜鉛の存在下でシアノトリメチルシランをアダマン
チルメチルケトンに作用させることにより容易に行わせ
ることができ、当該付加体（トリメチルシリルエーテ
ル）を高収率で得ることができる。反応終了後、溶媒を
除去し、残留物を精製して高純度の付加体が得られる。
えば、窒素雰囲気下に乾燥塩化メチレンを溶媒とし、ヨ
ウ化亜鉛の存在下でシアノトリメチルシランをアダマン
チルメチルケトンに作用させることにより容易に行わせ
ることができ、当該付加体（トリメチルシリルエーテ
ル）を高収率で得ることができる。反応終了後、溶媒を
除去し、残留物を精製して高純度の付加体が得られる。
【００１２】（２）トリメチルシリルエーテルの加水分
解反応
解反応
【００１３】
【化４】
【００１４】トリメチルシリルエーテルの加水分解反応
は、例えば、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）中で塩酸を
用い、加熱して行わせることができる。反応終了後、反
応溶液をアルカリ水溶液で中和し、反応生成物をエーテ
ル等の有機溶媒で水層から抽出して水分を除去し、更に
有機溶媒を除去することによって、対応するヒドロキシ
ル体を容易に且つ高収率で得ることができる。
は、例えば、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）中で塩酸を
用い、加熱して行わせることができる。反応終了後、反
応溶液をアルカリ水溶液で中和し、反応生成物をエーテ
ル等の有機溶媒で水層から抽出して水分を除去し、更に
有機溶媒を除去することによって、対応するヒドロキシ
ル体を容易に且つ高収率で得ることができる。
【００１５】（３）ヒドロキシル体の脱水反応
【００１６】
【化５】
【００１７】ヒドロキシル体をピリジンに溶解させ、還
流下に過剰量のオキシ塩化リンを作用させる。反応終了
後、反応溶液をエーテルで希釈し、氷を加えて冷却しな
がら過剰のオキシ塩化リンを加水分解し、水層からエー
テル等で抽出した後の抽出液をもとの油層と一緒にし、
これを希アルカリ水溶液で洗い、水分を除去し、更に有
機溶媒を除去してから残留物を精製して、１−（１′−
シアノエテニル）アダマンタンが得られる。
流下に過剰量のオキシ塩化リンを作用させる。反応終了
後、反応溶液をエーテルで希釈し、氷を加えて冷却しな
がら過剰のオキシ塩化リンを加水分解し、水層からエー
テル等で抽出した後の抽出液をもとの油層と一緒にし、
これを希アルカリ水溶液で洗い、水分を除去し、更に有
機溶媒を除去してから残留物を精製して、１−（１′−
シアノエテニル）アダマンタンが得られる。
【００１８】本発明の１−（１′−シアノエテニル）ア
ダマンタンは上に例示したような方法によって容易に製
造することができるが、この新しいアダマンタン化合物
の製造方法はこれだけに限定されるものではなく、この
ほかに知られている種々の方法を利用して適宜製造する
ことが可能であることは言うまでもない。従って、どの
ような製造方法で調製されたものでも上記構造式で表さ
れるものである限り、全て本発明の範囲内に含まれる。
ダマンタンは上に例示したような方法によって容易に製
造することができるが、この新しいアダマンタン化合物
の製造方法はこれだけに限定されるものではなく、この
ほかに知られている種々の方法を利用して適宜製造する
ことが可能であることは言うまでもない。従って、どの
ような製造方法で調製されたものでも上記構造式で表さ
れるものである限り、全て本発明の範囲内に含まれる。
【００１９】
【作用】本発明の１−（１′−シアノエテニル）アダマ
ンタンは、その分子中にシアノエテニル基を有する。こ
のシアノエテニル基は、従来のアダマンタン化合物であ
る１−ビニルアダマンタンや１−イソプロペニルアダマ
ンタンにおけるビニル基やイソプロペニル基と異なり、
重合活性が高く、そのため本発明のアダマンタン化合物
を他の共重合性モノマーと容易に重合して共重合体を得
ることができるものにする。これらの重合体は、側鎖と
してアダマンチル基が主鎖に直接結合した新規の重合体
となる。
ンタンは、その分子中にシアノエテニル基を有する。こ
のシアノエテニル基は、従来のアダマンタン化合物であ
る１−ビニルアダマンタンや１−イソプロペニルアダマ
ンタンにおけるビニル基やイソプロペニル基と異なり、
重合活性が高く、そのため本発明のアダマンタン化合物
を他の共重合性モノマーと容易に重合して共重合体を得
ることができるものにする。これらの重合体は、側鎖と
してアダマンチル基が主鎖に直接結合した新規の重合体
となる。
【００２０】更に、本発明の１−（１′−シアノエテニ
ル）アダマンタンでは、アダマンチル基の水素原子を他
の原子又は原子団で置換する反応や、シアノ基の位置で
の様々な反応等も期待できることから、この化合物は高
分子材料、医薬、農薬等の有機合成の原料としての広い
用途を提供する。
ル）アダマンタンでは、アダマンチル基の水素原子を他
の原子又は原子団で置換する反応や、シアノ基の位置で
の様々な反応等も期待できることから、この化合物は高
分子材料、医薬、農薬等の有機合成の原料としての広い
用途を提供する。
【００２１】
【実施例】本発明の１−（１′−シアノエテニル）アダ
マンタンの製造を、以下の実施例でもって更に詳しく説
明する。
マンタンの製造を、以下の実施例でもって更に詳しく説
明する。
【００２２】（１）１−（１′−シアノ−１′−トリメ
チルシロキシエチル）アダマンタンの調製 十分に乾燥させた１００mlの三つ口フラスコに、ラバー
セプタム、塩化カルシウム管及びジムロート冷却器を取
付け、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）でコー
ティングされたスターラーバーを入れ、そしてアダマン
チルメチルケトン１７．１１５ｇ（９６mmol）、ヨウ化
亜鉛５００mg及び無水塩化メチレン２０mlを入れて、窒
素雰囲気下に１０℃で攪拌した。この混合溶液へ、ＰＴ
ＦＥチューブのキャヌラーを使ってシアノトリメチルシ
ラン１０ｇ（１００．８mmol）をゆっくりと滴下導入し
た。１時間後、反応溶液を室温に戻し、更に４時間攪拌
した。薄層クロマトグラフィーで反応終了を確認した
後、減圧下で溶媒を除去し、そして残留物をシリカゲル
カラムクロマトグラフィーで精製して、２／９８〜４／
９６の酢酸エチル／ヘキサンで溶出されたフラクション
を集めた。
チルシロキシエチル）アダマンタンの調製 十分に乾燥させた１００mlの三つ口フラスコに、ラバー
セプタム、塩化カルシウム管及びジムロート冷却器を取
付け、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）でコー
ティングされたスターラーバーを入れ、そしてアダマン
チルメチルケトン１７．１１５ｇ（９６mmol）、ヨウ化
亜鉛５００mg及び無水塩化メチレン２０mlを入れて、窒
素雰囲気下に１０℃で攪拌した。この混合溶液へ、ＰＴ
ＦＥチューブのキャヌラーを使ってシアノトリメチルシ
ラン１０ｇ（１００．８mmol）をゆっくりと滴下導入し
た。１時間後、反応溶液を室温に戻し、更に４時間攪拌
した。薄層クロマトグラフィーで反応終了を確認した
後、減圧下で溶媒を除去し、そして残留物をシリカゲル
カラムクロマトグラフィーで精製して、２／９８〜４／
９６の酢酸エチル／ヘキサンで溶出されたフラクション
を集めた。
【００２３】得られた１−（１′−シアノ−１′−トリ
メチルシロキシエチル）アダマンタンは白色結晶であ
り、その収量は２６．４ｇ（定量的）であった。また、
この化合物の赤外分光分析の結果（ＫＢｒ、ディスク、
cm-1）は次に示すとおりであった。２９０５，２６５９
（vw），２２２７（vw），１４４９，１２５２，１１２
７，１００２，８６６，８４３，７６４，６２７
メチルシロキシエチル）アダマンタンは白色結晶であ
り、その収量は２６．４ｇ（定量的）であった。また、
この化合物の赤外分光分析の結果（ＫＢｒ、ディスク、
cm-1）は次に示すとおりであった。２９０５，２６５９
（vw），２２２７（vw），１４４９，１２５２，１１２
７，１００２，８６６，８４３，７６４，６２７
【００２４】（２）１−（１′−シアノ−１′−ヒドロ
キシエチル）アダマンタンの調製 ２００mlのナス型フラスコに、ＰＴＦＥコーティングさ
れたスターラーバーを入れ、９．１１ｇ（３２．９mmo
l）の１−（１′−シアノ−１′−トリメチルシロキシ
エチル）アダマンタン、１５mlのテトラヒドロフラン及
び１５mlの２規定塩酸水溶液を入れ、そしてジムロート
冷却器を取付けて８０℃で激しく攪拌した。１０時間
後、薄層クロマトグラフィーで原料の消失していること
を確認してから、反応溶液を０℃に冷却し、激しく攪拌
しながら炭酸水素カリウム水溶液をゆっくり加えて中和
した。
キシエチル）アダマンタンの調製 ２００mlのナス型フラスコに、ＰＴＦＥコーティングさ
れたスターラーバーを入れ、９．１１ｇ（３２．９mmo
l）の１−（１′−シアノ−１′−トリメチルシロキシ
エチル）アダマンタン、１５mlのテトラヒドロフラン及
び１５mlの２規定塩酸水溶液を入れ、そしてジムロート
冷却器を取付けて８０℃で激しく攪拌した。１０時間
後、薄層クロマトグラフィーで原料の消失していること
を確認してから、反応溶液を０℃に冷却し、激しく攪拌
しながら炭酸水素カリウム水溶液をゆっくり加えて中和
した。
【００２５】次いで、分液ロートで油層を分離し、水層
をジエチルエーテルで３回抽出してから得られた抽出液
をもとの油層と合わせ、その結果得られた溶液を飽和食
塩水で洗い、再び油層と水層とを分離して、油層溶液を
無水硫酸ナトリウムで乾燥させた。硫酸ナトリウムをろ
別後、減圧下で溶媒を除去して、粗生成物の１−（１′
−シアノ−１′−ヒドロキシエチル）アダマンタンを白
色結晶として得た。
をジエチルエーテルで３回抽出してから得られた抽出液
をもとの油層と合わせ、その結果得られた溶液を飽和食
塩水で洗い、再び油層と水層とを分離して、油層溶液を
無水硫酸ナトリウムで乾燥させた。硫酸ナトリウムをろ
別後、減圧下で溶媒を除去して、粗生成物の１−（１′
−シアノ−１′−ヒドロキシエチル）アダマンタンを白
色結晶として得た。
【００２６】このアダマンタン化合物の収量は６．７１
ｇ（定量的）であった。赤外分光分析の結果（ＫＢｒ、
ディスク、cm-1）は次に示すとおりであった。３５０
６，２９０９，２６７８（vw），２２２６（ｗ），１４
５１，１３５５，１１３４，９１９，８１９
ｇ（定量的）であった。赤外分光分析の結果（ＫＢｒ、
ディスク、cm-1）は次に示すとおりであった。３５０
６，２９０９，２６７８（vw），２２２６（ｗ），１４
５１，１３５５，１１３４，９１９，８１９
【００２７】複生成物は認められなかったので、調製し
た化合物を未精製のまま次の反応のために使用した。
た化合物を未精製のまま次の反応のために使用した。
【００２８】（３）１−（１′−シアノエテニル）アダ
マンタンの製造 ＰＴＦＥでコーティングされたスターラーバーを入れた
２００mlのナス型フラスコに、８．８０ｇ（４２．９mm
ol）の１−（１′−シアノ−１′−ヒドロキシエチル）
アダマンタンを入れ、窒素雰囲気下に無水ピリジン６０
ml、オキシ塩化リン１１．７ml（１２９mmol）を加え、
攪拌しながら還流させた。１０時間後、薄層クロマトグ
ラフィーで原料の消失を確認してから室温に放冷した。
この反応溶液をジエチルエーテルで希釈し、この希釈反
応溶液を、４規定塩酸２００mlと氷を入れて０℃で攪拌
している１リットルの三角フラスコにゆっくりと注い
だ。溶液の温度が上がらないように適時氷を加え、希釈
反応溶液を全て注ぎ終わったらそのまま１時間攪拌を続
けた。
マンタンの製造 ＰＴＦＥでコーティングされたスターラーバーを入れた
２００mlのナス型フラスコに、８．８０ｇ（４２．９mm
ol）の１−（１′−シアノ−１′−ヒドロキシエチル）
アダマンタンを入れ、窒素雰囲気下に無水ピリジン６０
ml、オキシ塩化リン１１．７ml（１２９mmol）を加え、
攪拌しながら還流させた。１０時間後、薄層クロマトグ
ラフィーで原料の消失を確認してから室温に放冷した。
この反応溶液をジエチルエーテルで希釈し、この希釈反
応溶液を、４規定塩酸２００mlと氷を入れて０℃で攪拌
している１リットルの三角フラスコにゆっくりと注い
だ。溶液の温度が上がらないように適時氷を加え、希釈
反応溶液を全て注ぎ終わったらそのまま１時間攪拌を続
けた。
【００２９】次いで、三角フラスコの内容液を分液ロー
トにあけて油層を分離し、水層をジエチルエーテルで３
回抽出してから得られた抽出液をもとの油層と一緒に
し、この混合溶液を希炭酸水素カリウム溶液で、次いで
飽和食塩水で洗った。油層と水層とを分離後、油層溶液
を無水硫酸ナトリウムで乾燥させた。次に、硫酸ナトリ
ウムをろ別し、減圧下で溶媒を除去し、そして残留物を
シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製して、４／
９６のジエチルエーテル／ヘキサンで溶出されたフラク
ションを集めた。
トにあけて油層を分離し、水層をジエチルエーテルで３
回抽出してから得られた抽出液をもとの油層と一緒に
し、この混合溶液を希炭酸水素カリウム溶液で、次いで
飽和食塩水で洗った。油層と水層とを分離後、油層溶液
を無水硫酸ナトリウムで乾燥させた。次に、硫酸ナトリ
ウムをろ別し、減圧下で溶媒を除去し、そして残留物を
シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製して、４／
９６のジエチルエーテル／ヘキサンで溶出されたフラク
ションを集めた。
【００３０】得られた１−（１′−シアノエテニル）ア
ダマンタンは無色透明の液体で、その収量は７．６２ｇ
（９４．８％）であった。また、この化合物の赤外分光
分析（ＩＲ）の結果（ＫＢｒ、ニート、cm-1）、 1Ｈ
ＮＭＲ及び13Ｃ ＮＭＲ分析の結果（ＣＤＣｌ3 ，δ、
内部標準ＴＭＳ）は、次に示すとおりであった。
ダマンタンは無色透明の液体で、その収量は７．６２ｇ
（９４．８％）であった。また、この化合物の赤外分光
分析（ＩＲ）の結果（ＫＢｒ、ニート、cm-1）、 1Ｈ
ＮＭＲ及び13Ｃ ＮＭＲ分析の結果（ＣＤＣｌ3 ，δ、
内部標準ＴＭＳ）は、次に示すとおりであった。
【００３１】ＩＲ：２９０６，２６８０，２２２０
（ｍ），１６１４，１４５２，９３１，６２７1 Ｈ ＮＭＲ：５．８１（１Ｈ、一重線）、５．６３
（１Ｈ、一重線）、２．０８（３Ｈ、一重線）、１．７
７〜１．６３（１２Ｈ、多重線）13 Ｃ ＮＭＲ：１３４．１（ｓ），１２６．１（ｔ），
１１７．８（ｓ），４０．５（ｔ），３６．８（ｓ），
３６．３（ｔ），２８．１（ｄ）
（ｍ），１６１４，１４５２，９３１，６２７1 Ｈ ＮＭＲ：５．８１（１Ｈ、一重線）、５．６３
（１Ｈ、一重線）、２．０８（３Ｈ、一重線）、１．７
７〜１．６３（１２Ｈ、多重線）13 Ｃ ＮＭＲ：１３４．１（ｓ），１２６．１（ｔ），
１１７．８（ｓ），４０．５（ｔ），３６．８（ｓ），
３６．３（ｔ），２８．１（ｄ）
【００３２】ＩＲデータのうち、２２２０cm-1のピーク
はα, β不飽和ニトリルに由来し、１６１４cm-1のピー
クは共役二重結合に由来する。 1Ｈ ＮＭＲデータのう
ち、５．８１，５．６３ppm のピークはシアノエテニル
基のメチレンプロトンに由来し、２．０８ppm のピーク
はアダマンタン環のメチレンプロトンに由来する。13Ｃ
ＮＭＲデータのうち、１１７．８ppm のピークはシア
ノ基の炭素に由来する。
はα, β不飽和ニトリルに由来し、１６１４cm-1のピー
クは共役二重結合に由来する。 1Ｈ ＮＭＲデータのう
ち、５．８１，５．６３ppm のピークはシアノエテニル
基のメチレンプロトンに由来し、２．０８ppm のピーク
はアダマンタン環のメチレンプロトンに由来する。13Ｃ
ＮＭＲデータのうち、１１７．８ppm のピークはシア
ノ基の炭素に由来する。
【００３３】こうして得られた本発明のアダマンタン化
合物をエッチング耐性に優れたメタクリレート系などの
他の重合性モノマーと共重合させて作られた共重合体を
ベースポリマーとしてレジスト材料を製造すれば、エッ
チング耐性の強いレジスト材料を提供することができ
る。
合物をエッチング耐性に優れたメタクリレート系などの
他の重合性モノマーと共重合させて作られた共重合体を
ベースポリマーとしてレジスト材料を製造すれば、エッ
チング耐性の強いレジスト材料を提供することができ
る。
【００３４】
【発明の効果】本発明の１−（１′−シアノエテニル）
アダマンタンは、重合活性のあるシアノエテニル基を分
子中に有し、更にアダマンチル基の水素原子を他の原子
又は原子団で置換する反応やシアノ基の位置での反応等
も期待できるため、高分子材料、医薬、農薬等の有機合
成の原料として実用性が高い。
アダマンタンは、重合活性のあるシアノエテニル基を分
子中に有し、更にアダマンチル基の水素原子を他の原子
又は原子団で置換する反応やシアノ基の位置での反応等
も期待できるため、高分子材料、医薬、農薬等の有機合
成の原料として実用性が高い。
【００３５】最も実用性が高いのは、その重合活性を利
用した重合性モノマーとしての用途であり、機能性高分
子材料の合成原料として有利に用いることができる。す
なわち、本発明の１−（１′−シアノエテニル）アダマ
ンタンは、例えば金属アルコキシド、金属アルキル、グ
リニヤール試薬等のアニオン触媒、あるいはアゾ系ラジ
カル発生剤等の存在下で、共重合性モノマーと重合して
共重合体を与えることができる。また、用途や目的に応
じて相手の共重合性モノマーを選択することによって、
物性のより改善された共重合体を得ることができる。
用した重合性モノマーとしての用途であり、機能性高分
子材料の合成原料として有利に用いることができる。す
なわち、本発明の１−（１′−シアノエテニル）アダマ
ンタンは、例えば金属アルコキシド、金属アルキル、グ
リニヤール試薬等のアニオン触媒、あるいはアゾ系ラジ
カル発生剤等の存在下で、共重合性モノマーと重合して
共重合体を与えることができる。また、用途や目的に応
じて相手の共重合性モノマーを選択することによって、
物性のより改善された共重合体を得ることができる。
【００３６】更に、現在までに知られている１−ビニル
アダマンタンや１−イソプロペニルアダマンタンではカ
チオン触媒によって単一重合体が得られてはいるが、カ
チオン触媒でもってこれらの化合物のモノマーとアクリ
レート系あるいはメタクリレート系モノマーとの共重合
体を得ることはできず、重合体の改質を図ることが難し
いため、汎用性が低かったのとは違って、本発明の１−
（１′−シアノエテニル）アダマンタンを利用すること
によって重合体を用途や目的に合わせて設計することが
可能になり、汎用性を高めることができる。
アダマンタンや１−イソプロペニルアダマンタンではカ
チオン触媒によって単一重合体が得られてはいるが、カ
チオン触媒でもってこれらの化合物のモノマーとアクリ
レート系あるいはメタクリレート系モノマーとの共重合
体を得ることはできず、重合体の改質を図ることが難し
いため、汎用性が低かったのとは違って、本発明の１−
（１′−シアノエテニル）アダマンタンを利用すること
によって重合体を用途や目的に合わせて設計することが
可能になり、汎用性を高めることができる。
【００３７】また、重合体の主鎖に直接アダマンチル基
が側鎖として結合した新規の重合体が得られるため、新
材料への適用が期待できる。
が側鎖として結合した新規の重合体が得られるため、新
材料への適用が期待できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C07C 255/31 C08F 20/50 G03F 7/027 G03F 7/033 H01L 21/027 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (2)
- 【請求項１】 下記構造式で表される１−（１′−シア
ノエテニル）アダマンタン。 【化１】 - 【請求項２】 請求項１記載の１−（１′−シアノエテ
ニル）アダマンタンと他の共重合性有機化合物との共重
合体をベースポリマーとするレジスト材料。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4150645A JP3069816B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | １−（１′−シアノエテニル）アダマンタン及びレジスト材料 |
| DE4319178A DE4319178C2 (de) | 1992-06-10 | 1993-06-09 | Resist-Zusammensetzung enthaltend ein Polymermaterial und einen Säuregenerator |
| US08/275,360 US5399647A (en) | 1992-06-10 | 1994-07-15 | Photoresist composition of 1-(1'-cyanoethenyl)adamantane |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4150645A JP3069816B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | １−（１′−シアノエテニル）アダマンタン及びレジスト材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05339225A JPH05339225A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3069816B2 true JP3069816B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=15501383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4150645A Expired - Fee Related JP3069816B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | １−（１′−シアノエテニル）アダマンタン及びレジスト材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3069816B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| EP1586944A1 (en) * | 2004-03-09 | 2005-10-19 | Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. | Cyanoadamantyl compounds and polymers |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP4150645A patent/JP3069816B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH05339225A (ja) | 1993-12-21 |
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