JP3066165B2 - 液晶パネル搬送装置 - Google Patents
液晶パネル搬送装置Info
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- JP3066165B2 JP3066165B2 JP4016436A JP1643692A JP3066165B2 JP 3066165 B2 JP3066165 B2 JP 3066165B2 JP 4016436 A JP4016436 A JP 4016436A JP 1643692 A JP1643692 A JP 1643692A JP 3066165 B2 JP3066165 B2 JP 3066165B2
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- lubricating film
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネル製造設備に
おいて、液晶パネルの搬送を行う搬送装置に関する。
おいて、液晶パネルの搬送を行う搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルは、ラップトップパソコンの
ディスプレイ装置、液晶テレビ等に使用されているが、
現在、その主流はＴＦＴ（薄膜トランジスタ）方式であ
り、サイズ拡大から素子数も増大してきている。
ディスプレイ装置、液晶テレビ等に使用されているが、
現在、その主流はＴＦＴ（薄膜トランジスタ）方式であ
り、サイズ拡大から素子数も増大してきている。
【０００３】液晶パネルは、高い清浄度が要求される密
封真空下で製造処理されるため、その製造設備に用いら
れる軸受の潤滑には、一般に、二硫化モリブデン等の層
状物質、金、銀、鉛等の軟質金属、ＰＴＦＥ、ポリイミ
ド等の高分子材料などの固体潤滑剤が用いられている。
しかしながら、近時、素子数の増大傾向が顕著になるに
つれてパターンの線幅が微細化しており、軸受から排出
される固体潤滑剤の摩耗粉がパターン上に付着すると種
々の弊害を引き起こす可能性があることから、固体潤滑
剤の特性として、本来の潤滑性・耐久性の他に、非導電
性、低発塵性が要求されるようになってきた。また、処
理工程のインライン化に伴い、大気・真空両用性、耐熱
性、さらには耐蝕性といった特性も要求されている。
封真空下で製造処理されるため、その製造設備に用いら
れる軸受の潤滑には、一般に、二硫化モリブデン等の層
状物質、金、銀、鉛等の軟質金属、ＰＴＦＥ、ポリイミ
ド等の高分子材料などの固体潤滑剤が用いられている。
しかしながら、近時、素子数の増大傾向が顕著になるに
つれてパターンの線幅が微細化しており、軸受から排出
される固体潤滑剤の摩耗粉がパターン上に付着すると種
々の弊害を引き起こす可能性があることから、固体潤滑
剤の特性として、本来の潤滑性・耐久性の他に、非導電
性、低発塵性が要求されるようになってきた。また、処
理工程のインライン化に伴い、大気・真空両用性、耐熱
性、さらには耐蝕性といった特性も要求されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、本出願人は
転がり軸受として、転がり軸受を構成する部品のうち少
なくとも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、平
均分子量が５０００以下のポリテトラフルオロエチレン
（以下、簡単のため、低分子量ＰＴＦＥと称す。）から
なる潤滑皮膜を形成した固体潤滑転がり軸受について既
に出願している（特願平３−１９０１５０号等）。従来
より、転がり軸受の固体潤滑剤として用いられているＰ
ＴＦＥは平均分子量が１×１０5 以上、主に、１×１０
6 〜１×１０7 のものであるが、低分子量ＰＴＦＥを用
いて潤滑皮膜を形成することにより、非導電性、大気・
真空両用性、耐熱性、耐蝕性を有し、かつ、潤滑性、耐
久性、低発塵性に優れた潤滑皮膜を得ることができるこ
とを上記出願において示した。これらの効果は、低分子
量ＰＴＦＥが、従来より固体潤滑剤として用いられてい
るＰＴＦＥに比べて、剪断強度が著しく小さく、また、
転着性に優れていること等によるものであった。
転がり軸受として、転がり軸受を構成する部品のうち少
なくとも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、平
均分子量が５０００以下のポリテトラフルオロエチレン
（以下、簡単のため、低分子量ＰＴＦＥと称す。）から
なる潤滑皮膜を形成した固体潤滑転がり軸受について既
に出願している（特願平３−１９０１５０号等）。従来
より、転がり軸受の固体潤滑剤として用いられているＰ
ＴＦＥは平均分子量が１×１０5 以上、主に、１×１０
6 〜１×１０7 のものであるが、低分子量ＰＴＦＥを用
いて潤滑皮膜を形成することにより、非導電性、大気・
真空両用性、耐熱性、耐蝕性を有し、かつ、潤滑性、耐
久性、低発塵性に優れた潤滑皮膜を得ることができるこ
とを上記出願において示した。これらの効果は、低分子
量ＰＴＦＥが、従来より固体潤滑剤として用いられてい
るＰＴＦＥに比べて、剪断強度が著しく小さく、また、
転着性に優れていること等によるものであった。
【０００５】本発明は、上記転がり軸受を用いた液晶パ
ネル搬送装置を提供しようとするものである。
ネル搬送装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶パネルを
支持するテーブルと、前記テーブルに回転自在に設けら
れ、レールに案内される車輪と、前記車輪の回転を支持
する転がり軸受と、前記テーブルを走行駆動する駆動部
とを備え、前記転がり軸受を構成する部品のうち少なく
とも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、低分子
量ＰＴＦＥからなる潤滑皮膜が形成されている液晶パネ
ル搬送装置を提供する。
支持するテーブルと、前記テーブルに回転自在に設けら
れ、レールに案内される車輪と、前記車輪の回転を支持
する転がり軸受と、前記テーブルを走行駆動する駆動部
とを備え、前記転がり軸受を構成する部品のうち少なく
とも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、低分子
量ＰＴＦＥからなる潤滑皮膜が形成されている液晶パネ
ル搬送装置を提供する。
【０００７】
【作用】低分子量ＰＴＦＥを用いて潤滑皮膜を形成する
ことにより、非導電性、大気・真空両用性、耐熱性、耐
蝕性を有し、かつ、潤滑性、耐久性、低発塵性に優れた
潤滑皮膜を得ることができる。
ことにより、非導電性、大気・真空両用性、耐熱性、耐
蝕性を有し、かつ、潤滑性、耐久性、低発塵性に優れた
潤滑皮膜を得ることができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【０００９】図１は、本発明の実施例に係わる深溝玉軸
受を示している。この軸受は、内輪１、外輪２、内・外
輪１、２間に介在する複数の転動体３、転動体３を円周
等間隔に保持する保持器４といった軸受部品で構成され
る。そして、内・外輪１、２の転走面および転動体３の
表面にはそれぞれ平均分子量が５０００以下のＰＴＦＥ
（低分子量ＰＴＦＥ）の潤滑皮膜１ａ、２ａ、３ａが形
成されている。これらの潤滑皮膜は、低分子量ＰＴＦＥ
（例えば、日本アチソン製ＡＲＣ７）を、２５ｃｍ離れ
た位置から皮膜形成面にスプレーして付着させたもの
で、この場合の平均皮膜厚さは０．６μｍ程度であっ
た。ただし、同図では皮膜厚さをかなり誇張してある。
皮膜形成材料である低分子量ＰＴＦＥとしては上記ＡＲ
Ｃ７の他、デュポン社製のＶＹＤＡＸＡＲ等、セントラ
ルガラス社製のＤー１等を用いることができ、また、皮
膜形成面への付着方法として上記スプレー法による他、
浸漬法によることもでき、いずれの場合でも同様の効果
が得られる。
受を示している。この軸受は、内輪１、外輪２、内・外
輪１、２間に介在する複数の転動体３、転動体３を円周
等間隔に保持する保持器４といった軸受部品で構成され
る。そして、内・外輪１、２の転走面および転動体３の
表面にはそれぞれ平均分子量が５０００以下のＰＴＦＥ
（低分子量ＰＴＦＥ）の潤滑皮膜１ａ、２ａ、３ａが形
成されている。これらの潤滑皮膜は、低分子量ＰＴＦＥ
（例えば、日本アチソン製ＡＲＣ７）を、２５ｃｍ離れ
た位置から皮膜形成面にスプレーして付着させたもの
で、この場合の平均皮膜厚さは０．６μｍ程度であっ
た。ただし、同図では皮膜厚さをかなり誇張してある。
皮膜形成材料である低分子量ＰＴＦＥとしては上記ＡＲ
Ｃ７の他、デュポン社製のＶＹＤＡＸＡＲ等、セントラ
ルガラス社製のＤー１等を用いることができ、また、皮
膜形成面への付着方法として上記スプレー法による他、
浸漬法によることもでき、いずれの場合でも同様の効果
が得られる。
【００１０】尚、本実施例では内・外輪１、２の転走面
および転動体３の表面に潤滑皮膜を形成するようにした
が、潤滑皮膜は少なくとも転動体３の表面に形成すれば
良い。また、同図ａでは内・外輪１、２の外表面全体に
潤滑皮膜１ａ、２ａが形成されているが、同図ｂに示す
ように、嵌合面等の潤滑皮膜が本来不要な部分について
は、マスキングによって皮膜処理を施さない、あるい
は、最終製品となる前に除去するようにすると良い。さ
らに、軸受の形式は、同図に示すような深溝玉軸受に限
らず、広く転がり軸受一般に適用することができる。
および転動体３の表面に潤滑皮膜を形成するようにした
が、潤滑皮膜は少なくとも転動体３の表面に形成すれば
良い。また、同図ａでは内・外輪１、２の外表面全体に
潤滑皮膜１ａ、２ａが形成されているが、同図ｂに示す
ように、嵌合面等の潤滑皮膜が本来不要な部分について
は、マスキングによって皮膜処理を施さない、あるい
は、最終製品となる前に除去するようにすると良い。さ
らに、軸受の形式は、同図に示すような深溝玉軸受に限
らず、広く転がり軸受一般に適用することができる。
【００１１】図２は、液晶パネル製造設備におけるイン
ライン装置の概念図である。インライン装置のチャンバ
ーは複数の槽からなり、同図に示すものでは、大気・真
空槽２１、加熱槽２２、処理槽２３、冷却槽２４の４つ
の槽が設けられている。各槽はゲート弁（図示省略）等
で開閉自在に仕切られており、各槽内を一対のレール２
５が走っている。同図ｂに示すように、このレール２５
は搬送装置２６の車輪２６ａを案内するためのもので、
適当な駆動手段で駆動される搬送装置２６が、レール２
５に案内されて各槽内を下流側へ移動してゆくようにな
っている。搬送装置２６のテーブル２６ｂには処理前の
液晶パネル２７が吊下されており、これが搬送装置２６
に伴って各槽内を通過してゆく間に所定の処理がなされ
る。この実施例の搬送装置２６では、例えば、駆動部、
車輪２６ａの回転支持部等に上述の転がり軸受が使用さ
れる。搬送装置２６及びその転がり軸受は各槽内を通過
してゆく間に、大気、真空、高温真空といった種々の雰
囲気下におかれることになるが、前述したように、転が
り軸受に形成された低分子量ＰＴＦＥの潤滑皮膜はこれ
らの雰囲気下においても優れた潤滑性を発揮するので、
軸受の耐久性について特に心配する必要はない。また、
パターンの微細化した近時では発塵等による製品不良が
懸念されるため、現在、処理後に全品を検査し、発塵等
の付着したものについてはリペア装置を用いて再生する
ようにしているが、低発塵性のきわめて良好な本発明の
搬送装置２６を用いることで、このような懸念を処理段
階で低減することができる。
ライン装置の概念図である。インライン装置のチャンバ
ーは複数の槽からなり、同図に示すものでは、大気・真
空槽２１、加熱槽２２、処理槽２３、冷却槽２４の４つ
の槽が設けられている。各槽はゲート弁（図示省略）等
で開閉自在に仕切られており、各槽内を一対のレール２
５が走っている。同図ｂに示すように、このレール２５
は搬送装置２６の車輪２６ａを案内するためのもので、
適当な駆動手段で駆動される搬送装置２６が、レール２
５に案内されて各槽内を下流側へ移動してゆくようにな
っている。搬送装置２６のテーブル２６ｂには処理前の
液晶パネル２７が吊下されており、これが搬送装置２６
に伴って各槽内を通過してゆく間に所定の処理がなされ
る。この実施例の搬送装置２６では、例えば、駆動部、
車輪２６ａの回転支持部等に上述の転がり軸受が使用さ
れる。搬送装置２６及びその転がり軸受は各槽内を通過
してゆく間に、大気、真空、高温真空といった種々の雰
囲気下におかれることになるが、前述したように、転が
り軸受に形成された低分子量ＰＴＦＥの潤滑皮膜はこれ
らの雰囲気下においても優れた潤滑性を発揮するので、
軸受の耐久性について特に心配する必要はない。また、
パターンの微細化した近時では発塵等による製品不良が
懸念されるため、現在、処理後に全品を検査し、発塵等
の付着したものについてはリペア装置を用いて再生する
ようにしているが、低発塵性のきわめて良好な本発明の
搬送装置２６を用いることで、このような懸念を処理段
階で低減することができる。
【００１２】図３は、低分子量ＰＴＦＥを用いた上記構
成の転がり軸受（軸受Ａとする）と、ＰＴＦＥ（ポリマ
ー）を用いた転がり軸受（軸受Ｂとする）とについて行
なった耐久性試験の結果を示す。耐久性試験は、軸を支
承させた２個の試験軸受を、室温、真空度１０-6Ｔｏｒ
ｒ以下、スラスト荷重１０Ｎ、回転数２５００ｒｐｍの
条件下に回転させ、２個の試験軸受の摩擦トルクの総和
が１０-2Ｎｍに達した時点を寿命とした。同図に示すよ
うに、軸受Ａは軸受Ｂに比べ、平均分子量が１０００〜
３０００の潤滑皮膜を形成したものでは４倍以上、平均
分子量が３０００〜５０００の潤滑皮膜を形成したもの
では３〜４倍の耐久性を示した。
成の転がり軸受（軸受Ａとする）と、ＰＴＦＥ（ポリマ
ー）を用いた転がり軸受（軸受Ｂとする）とについて行
なった耐久性試験の結果を示す。耐久性試験は、軸を支
承させた２個の試験軸受を、室温、真空度１０-6Ｔｏｒ
ｒ以下、スラスト荷重１０Ｎ、回転数２５００ｒｐｍの
条件下に回転させ、２個の試験軸受の摩擦トルクの総和
が１０-2Ｎｍに達した時点を寿命とした。同図に示すよ
うに、軸受Ａは軸受Ｂに比べ、平均分子量が１０００〜
３０００の潤滑皮膜を形成したものでは４倍以上、平均
分子量が３０００〜５０００の潤滑皮膜を形成したもの
では３〜４倍の耐久性を示した。
【００１３】図４は、上記軸受ＡとＢとについて行なっ
た発塵試験の結果を示す。発塵試験は、真空度：１０-6
Ｔｏｒｒ、温度：室温の雰囲気下に、液晶パネルの搬送
条件に近い回転数：５０ｒｐｍ、スラスト荷重：１０Ｎ
で試験軸受を回転させ、試験軸受の直下に配置した発塵
検出器により発塵を検出することにより行なった。同図
に示すように、軸受Ａは軸受Ｂに比べ、平均分子量が１
０００〜３０００の潤滑皮膜を形成したものでは１／１
００程度、平均分子量が３０００〜５０００の潤滑皮膜
を形成したものでは１／１０程度の低発塵性を示した。
た発塵試験の結果を示す。発塵試験は、真空度：１０-6
Ｔｏｒｒ、温度：室温の雰囲気下に、液晶パネルの搬送
条件に近い回転数：５０ｒｐｍ、スラスト荷重：１０Ｎ
で試験軸受を回転させ、試験軸受の直下に配置した発塵
検出器により発塵を検出することにより行なった。同図
に示すように、軸受Ａは軸受Ｂに比べ、平均分子量が１
０００〜３０００の潤滑皮膜を形成したものでは１／１
００程度、平均分子量が３０００〜５０００の潤滑皮膜
を形成したものでは１／１０程度の低発塵性を示した。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、低分子量ＰＴＦＥ
を固体潤滑剤として用いることにより、非導電性で、か
つ潤滑性および耐久性に優れた潤滑皮膜が得られる。し
たがって、少なくとも転がり摩擦または滑り摩擦を生じ
る表面に低分子量ＰＴＦＥからなる潤滑皮膜を形成した
転がり軸受は、従来の固体潤滑転がり軸受に比べて耐久
性が大幅に向上する。しかも、この潤滑皮膜は、低発
塵性、大気・真空両用性、低トルク性（二硫化モリ
ブデンのスパッタリング皮膜と同程度）、耐熱性（潤
滑皮膜の軟化点は３２０°Ｃ以上）、耐蝕性（化学的
に安定）といった諸特性を有しているので、この転がり
軸受を車輪の回転支持部に用いた本発明の搬送装置は液
晶パネル製造設備用として好適である。特に、パターン
の微細化した近時では発塵等による製品不良が懸念され
るため、現在、処理後に全品を検査し、発塵等の付着し
たものについてはリペア装置を用いて再生するようにし
ているが、低発塵性のきわめて良好な本発明の搬送装置
を用いることで、このような懸念を処理段階で低減し
て、製造工程の効率化、簡略化を図ることができるとい
う顕著な効果が得られる。
を固体潤滑剤として用いることにより、非導電性で、か
つ潤滑性および耐久性に優れた潤滑皮膜が得られる。し
たがって、少なくとも転がり摩擦または滑り摩擦を生じ
る表面に低分子量ＰＴＦＥからなる潤滑皮膜を形成した
転がり軸受は、従来の固体潤滑転がり軸受に比べて耐久
性が大幅に向上する。しかも、この潤滑皮膜は、低発
塵性、大気・真空両用性、低トルク性（二硫化モリ
ブデンのスパッタリング皮膜と同程度）、耐熱性（潤
滑皮膜の軟化点は３２０°Ｃ以上）、耐蝕性（化学的
に安定）といった諸特性を有しているので、この転がり
軸受を車輪の回転支持部に用いた本発明の搬送装置は液
晶パネル製造設備用として好適である。特に、パターン
の微細化した近時では発塵等による製品不良が懸念され
るため、現在、処理後に全品を検査し、発塵等の付着し
たものについてはリペア装置を用いて再生するようにし
ているが、低発塵性のきわめて良好な本発明の搬送装置
を用いることで、このような懸念を処理段階で低減し
て、製造工程の効率化、簡略化を図ることができるとい
う顕著な効果が得られる。
【図１】本発明の実施例に係わる深溝玉軸受を示す断面
図（ａ）、嵌合面等の潤滑皮膜を除去等した状態を示す
断面図（図ｂ）である。
図（ａ）、嵌合面等の潤滑皮膜を除去等した状態を示す
断面図（図ｂ）である。
【図２】液晶パネル製造設備におけるインライン装置の
概念図（図ａおよびｂ）である。
概念図（図ａおよびｂ）である。
【図３】耐久性試験の結果を示す図である。
【図４】発塵試験の結果を示す図である。
１ 内輪 １ａ 潤滑皮膜 ２ 外輪 ２ａ 潤滑皮膜 ３ 転動体 ３ａ 潤滑皮膜 ４ 保持器 ２５ レール２６ 搬送装置 ２６ａ 車輪 ２６ｂ テーブル ２７ 液晶パネル
Claims (1)
- 【請求項１】 液晶パネルを支持するテーブルと、前記
テーブルに回転自在に設けられ、レールに案内される車
輪と、前記車輪の回転を支持する転がり軸受と、前記テ
ーブルを走行駆動する駆動部とを備え、前記 転がり軸受を構成する部品のうち少なくとも転がり
摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、低分子量ＰＴＦＥ
からなる潤滑皮膜が形成されている液晶パネル搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4016436A JP3066165B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 液晶パネル搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4016436A JP3066165B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 液晶パネル搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05209626A JPH05209626A (ja) | 1993-08-20 |
| JP3066165B2 true JP3066165B2 (ja) | 2000-07-17 |
Family
ID=11916187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4016436A Expired - Lifetime JP3066165B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 液晶パネル搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3066165B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011086933A1 (de) * | 2011-11-23 | 2013-05-23 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Wälzlager |
-
1992
- 1992-01-31 JP JP4016436A patent/JP3066165B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05209626A (ja) | 1993-08-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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