JP3049618B2 - 水切り用エアーナイフ装置 - Google Patents
水切り用エアーナイフ装置Info
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- JP3049618B2 JP3049618B2 JP3052594A JP5259491A JP3049618B2 JP 3049618 B2 JP3049618 B2 JP 3049618B2 JP 3052594 A JP3052594 A JP 3052594A JP 5259491 A JP5259491 A JP 5259491A JP 3049618 B2 JP3049618 B2 JP 3049618B2
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- slit
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体、ＬＣＤなどの基
板の表面に付着した水分を除去するエアーナイフ装置に
関する。例えばシリコンウェハ、ＬＣＤ用ガラス基板な
どの製造において、これら基板（含む、ウェハ）の湿式
処理（エッチング、洗浄、レジスト剥離など）後に、そ
の表面に付着した水分（含む、薬液）を除去することが
必要である。本発明はこのような水切り作業に用いられ
るエアーナイフに関するものである。
板の表面に付着した水分を除去するエアーナイフ装置に
関する。例えばシリコンウェハ、ＬＣＤ用ガラス基板な
どの製造において、これら基板（含む、ウェハ）の湿式
処理（エッチング、洗浄、レジスト剥離など）後に、そ
の表面に付着した水分（含む、薬液）を除去することが
必要である。本発明はこのような水切り作業に用いられ
るエアーナイフに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から水切り（乾燥）用として図８に
示す如きエアーナイフが用いられている。同図におい
て、例えばころ（ローラ）１１により湿式処理ステーシ
ョンから水切りステーションＳに運ばれてきた基板１０
（板状部品）は水切りステーションＳに設けられたエア
ーナイフ１３により表面に付着した水分を取り除かれ
る。即ち、エアーナイフ１３は板状部品１０の幅に略相
当する幅のスリット状ノズル１５を有し、このノズル１
５からエアーが高速で板状部品１０の表面に吹きつけら
れ、その結果板状部品１０の表面に残っていた水分が吹
き飛ばされる。
示す如きエアーナイフが用いられている。同図におい
て、例えばころ（ローラ）１１により湿式処理ステーシ
ョンから水切りステーションＳに運ばれてきた基板１０
（板状部品）は水切りステーションＳに設けられたエア
ーナイフ１３により表面に付着した水分を取り除かれ
る。即ち、エアーナイフ１３は板状部品１０の幅に略相
当する幅のスリット状ノズル１５を有し、このノズル１
５からエアーが高速で板状部品１０の表面に吹きつけら
れ、その結果板状部品１０の表面に残っていた水分が吹
き飛ばされる。
【０００３】水切りを不活性ガス雰囲気中で行う必要が
ある場合には、エアーの代わりに例えば窒素ガス
（Ｎ2 ）が用いられる。水切りステーションは搬送路の
途中に設けられる板状部品１０の入口２１、出口２３を
有する筺体２５により形成され、この筺体２５内におい
て板状部品１０にエアーがエアーナイフ１３から強く吹
き付けられる。
ある場合には、エアーの代わりに例えば窒素ガス
（Ｎ2 ）が用いられる。水切りステーションは搬送路の
途中に設けられる板状部品１０の入口２１、出口２３を
有する筺体２５により形成され、この筺体２５内におい
て板状部品１０にエアーがエアーナイフ１３から強く吹
き付けられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】而るに、上述の如き、
従来のエアーナイフ構造にあっては板状部品１０の表面
から吹き飛ばされた水分はミストとなって筺体２５内に
飛散する。この飛沫はエアーノズル１５から吹き出され
たエアーが板状部品１０に衝突することにより生じる強
い乱気流に乗り、エアーナイフ１３の下流に周りこみ、
水分を除去された板状部品１０の表面に再付着する可能
性がある。
従来のエアーナイフ構造にあっては板状部品１０の表面
から吹き飛ばされた水分はミストとなって筺体２５内に
飛散する。この飛沫はエアーノズル１５から吹き出され
たエアーが板状部品１０に衝突することにより生じる強
い乱気流に乗り、エアーナイフ１３の下流に周りこみ、
水分を除去された板状部品１０の表面に再付着する可能
性がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の目的はこのよう
な板状部品への飛沫の再付着を防止して完全な水切りを
行うことにある。係る目的を達成するために、搬送路を
送られてくる板状部品の少なくとも一方の板面上にスリ
ット状ノズルから噴出される気体を吹き付けて基板面に
付着している液分を除去する水切り用エアーナイフ装置
において、該スリット状ノズルの上流において搬送路上
が開放されてなると共に、該スリット状ノズルの下流に
おいて搬送路上の前記板状部品の板面を覆うカバー板を
設けてなることを構成上の特徴とする。
な板状部品への飛沫の再付着を防止して完全な水切りを
行うことにある。係る目的を達成するために、搬送路を
送られてくる板状部品の少なくとも一方の板面上にスリ
ット状ノズルから噴出される気体を吹き付けて基板面に
付着している液分を除去する水切り用エアーナイフ装置
において、該スリット状ノズルの上流において搬送路上
が開放されてなると共に、該スリット状ノズルの下流に
おいて搬送路上の前記板状部品の板面を覆うカバー板を
設けてなることを構成上の特徴とする。
【０００６】好ましくは、上記スリット状ノズル下流に
おいてカバー板の下方には搬送路上の板状部品を乾燥す
る加熱気体雰囲気が形成される。
おいてカバー板の下方には搬送路上の板状部品を乾燥す
る加熱気体雰囲気が形成される。
【０００７】上記カバー板には加熱気体源に連結される
開口が形成され、該開口を介してカバー板の下方に加熱
気体雰囲気用の加熱気体が導入される。更に、上記カバ
ー板に加熱気体雰囲気用の気体を加熱するヒータを設け
てもよい。
開口が形成され、該開口を介してカバー板の下方に加熱
気体雰囲気用の加熱気体が導入される。更に、上記カバ
ー板に加熱気体雰囲気用の気体を加熱するヒータを設け
てもよい。
【０００８】本発明の別の実施例によれば、搬送路を送
られてくる板状部品の出入り口を備えた筺体を搬送路内
に設けると共に、該筺体内に板状部品の少なくとも一方
の板面上に気体を吹き付けて基板面に付着している液分
を除去するスリット状ノズルを設けた水切りステーショ
ンにおいて、板状部品の進行方向に見て、上記スリット
状ノズルを筺体の上部並びに左右側面に隙間無く取り付
けると共に、該スリット状ノズルの上流において搬送路
上が開放されてなることを構成上の特徴とする。
られてくる板状部品の出入り口を備えた筺体を搬送路内
に設けると共に、該筺体内に板状部品の少なくとも一方
の板面上に気体を吹き付けて基板面に付着している液分
を除去するスリット状ノズルを設けた水切りステーショ
ンにおいて、板状部品の進行方向に見て、上記スリット
状ノズルを筺体の上部並びに左右側面に隙間無く取り付
けると共に、該スリット状ノズルの上流において搬送路
上が開放されてなることを構成上の特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明によれば、エアーナイフの下流には例え
ばカバー板の形状をした再付着防止手段が設けられるの
で、エアーノズルから噴出されたエアーが板状部品に衝
突して飛沫となって飛散しても、その飛沫が水切りの済
んだ板状部品表面に再付着する恐れはない。
ばカバー板の形状をした再付着防止手段が設けられるの
で、エアーノズルから噴出されたエアーが板状部品に衝
突して飛沫となって飛散しても、その飛沫が水切りの済
んだ板状部品表面に再付着する恐れはない。
【００１０】エアーノズルの下流域に加熱手段を設ける
ことにより、板状部品の水切り（乾燥）を一層完全なも
のとすることができる。加熱手段としてはカバー板にヒ
ーターを設けてその雰囲気を直接加熱したり、あるいは
この雰囲気中に加熱気体を送り込むようにしてもよい。
また、エアノズルを筐体に隙間なく取り付けることによ
り、飛沫はエアノズルの下流に最早周り込むことは出来
なくなる。
ことにより、板状部品の水切り（乾燥）を一層完全なも
のとすることができる。加熱手段としてはカバー板にヒ
ーターを設けてその雰囲気を直接加熱したり、あるいは
この雰囲気中に加熱気体を送り込むようにしてもよい。
また、エアノズルを筐体に隙間なく取り付けることによ
り、飛沫はエアノズルの下流に最早周り込むことは出来
なくなる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の好ましい幾つかの実施例につ
き図１乃至図７を参照して詳細に説明する。図１は本発
明の第１の実施例を示す。同図において、矢印Ａで示す
搬送路は例えば多数のころ（ローラ）１１により形成さ
れ、その途中に本発明に係る水切りステーションＳが設
けられる。
き図１乃至図７を参照して詳細に説明する。図１は本発
明の第１の実施例を示す。同図において、矢印Ａで示す
搬送路は例えば多数のころ（ローラ）１１により形成さ
れ、その途中に本発明に係る水切りステーションＳが設
けられる。
【００１２】この水切りステーションは中空の筐体２５
により形成され、その前方には板状部品１０の入口２１
が形成され、またその後方には板状部品１０の出口２３
が形成される。従って、板状部品１０は湿式ステーショ
ン（図示せず）から矢印Ａ方向に送られてこの水切りス
テーション（筐体２５）を通過する。
により形成され、その前方には板状部品１０の入口２１
が形成され、またその後方には板状部品１０の出口２３
が形成される。従って、板状部品１０は湿式ステーショ
ン（図示せず）から矢印Ａ方向に送られてこの水切りス
テーション（筐体２５）を通過する。
【００１３】筐体２５には板状部品１０の表面に斜め方
向から清浄エア（またはＮ2 等) を噴出するスリット状
ノズル１５を有するエアーナイフ１３が設けられる。エ
アーナイフ１３はその下方に向かって幅が狭まりその先
端でスリット状のノズル１５を形成する。エアーナイフ
１３はチューブ３１を介して清浄エア源（図示せず）に
連結される。尚、特に図示はしないが、一般にはエアー
ナイフ１３は板状部品１０の上下表面を同時に水切り
（乾燥）すべく板状部品１０を挟んで対称的に２箇所設
けられる。また、筐体２５にはノズル１５から吹き出さ
れたエアを排出するための１個または適当な数のダクト
穴３３が設けられている。
向から清浄エア（またはＮ2 等) を噴出するスリット状
ノズル１５を有するエアーナイフ１３が設けられる。エ
アーナイフ１３はその下方に向かって幅が狭まりその先
端でスリット状のノズル１５を形成する。エアーナイフ
１３はチューブ３１を介して清浄エア源（図示せず）に
連結される。尚、特に図示はしないが、一般にはエアー
ナイフ１３は板状部品１０の上下表面を同時に水切り
（乾燥）すべく板状部品１０を挟んで対称的に２箇所設
けられる。また、筐体２５にはノズル１５から吹き出さ
れたエアを排出するための１個または適当な数のダクト
穴３３が設けられている。
【００１４】以上の構成は公知である。本発明によれ
ば、エアーナイフ１３の下流には再付着防止手段を形成
するカバー板３５が設けられる。カバー板３５は好まし
くは筐体２５の両側面に固着され、板状部品１０と平行
な平面内に横たわる。その結果、エアーノズル１５から
吹き出されたエアーにより板状部品１０の表面に付着し
ていた水分（含む、薬液）が吹き飛ばされ、それがミス
トとなって飛散してエアーナイフ１３の下流に周り込ん
でも、カバー板３５により板状部品１０の表面に再付着
することはない。
ば、エアーナイフ１３の下流には再付着防止手段を形成
するカバー板３５が設けられる。カバー板３５は好まし
くは筐体２５の両側面に固着され、板状部品１０と平行
な平面内に横たわる。その結果、エアーノズル１５から
吹き出されたエアーにより板状部品１０の表面に付着し
ていた水分（含む、薬液）が吹き飛ばされ、それがミス
トとなって飛散してエアーナイフ１３の下流に周り込ん
でも、カバー板３５により板状部品１０の表面に再付着
することはない。
【００１５】カバー板３５には図２に示す如く適当な数
（少なくとも１つ）の開口３７を形成し、これら開口を
チューブ３９を介して図示しない加熱気体源（加熱エ
ア、加熱窒素ガス等）に連結する。その結果、カバー板
３５の下方には加熱気体による加熱雰囲気が形成され、
従って、ここを通過する板状部品１０の乾燥が更に促進
される。
（少なくとも１つ）の開口３７を形成し、これら開口を
チューブ３９を介して図示しない加熱気体源（加熱エ
ア、加熱窒素ガス等）に連結する。その結果、カバー板
３５の下方には加熱気体による加熱雰囲気が形成され、
従って、ここを通過する板状部品１０の乾燥が更に促進
される。
【００１６】図３、図４、図５は加熱雰囲気を形成する
ための３つの異なる実施例を示すもので、図３において
はチューブ３９の途中にヒーター４１が巻装され、チュ
ーブ３９内を通過するエア又は窒素ガスを加熱する。
又、図４においてはヒーター４３がカバー板３５の上に
設けられ、このヒーターによりカバー板３５の下方雰囲
気を加熱する。
ための３つの異なる実施例を示すもので、図３において
はチューブ３９の途中にヒーター４１が巻装され、チュ
ーブ３９内を通過するエア又は窒素ガスを加熱する。
又、図４においてはヒーター４３がカバー板３５の上に
設けられ、このヒーターによりカバー板３５の下方雰囲
気を加熱する。
【００１７】更に、図５においては、ヒーターとして赤
外線セラミックヒーター４５が用いられ、これをカバー
板３５の下面に固着してある。尚、図３、図４における
ヒーター４１、４３は通常のニクロム線ヒーターを想定
しているが、ヒーターの構成自体はこれに何ら限定され
ない。要は、エアーノズル１３の下流域に加熱雰囲気を
設けることにより板状部品１０の水切り（乾燥）を一層
促進できればよい。
外線セラミックヒーター４５が用いられ、これをカバー
板３５の下面に固着してある。尚、図３、図４における
ヒーター４１、４３は通常のニクロム線ヒーターを想定
しているが、ヒーターの構成自体はこれに何ら限定され
ない。要は、エアーノズル１３の下流域に加熱雰囲気を
設けることにより板状部品１０の水切り（乾燥）を一層
促進できればよい。
【００１８】図６、図７は本発明の更に別の実施例を示
すもので、この実施例は、エアーナイフ１３を筐体２５
に隙間なく取付けるという構想に立脚するものである。
即ち、エアーノズル１３の上端を筐体２５の上面２５ａ
に密着させるとともに、板状部品１０の送り方向からみ
てエアーノズル１３の左右両側を同様に筐体２５の左右
両側面２５ｂ、２５ｂに密着させる。
すもので、この実施例は、エアーナイフ１３を筐体２５
に隙間なく取付けるという構想に立脚するものである。
即ち、エアーノズル１３の上端を筐体２５の上面２５ａ
に密着させるとともに、板状部品１０の送り方向からみ
てエアーノズル１３の左右両側を同様に筐体２５の左右
両側面２５ｂ、２５ｂに密着させる。
【００１９】エアーノズル１３は一般に図１あるいは図
７に示す如く進行方向Ａに対して傾斜して設けられる
が、エアーノズル１３の幅が筐体２５の幅より小さい場
合には図７に示す如くエアーノズル１３の両側面と筐体
２５の両側面の間にスペーサ５０を介在させるようにし
てもよい。要は、エアーノズルと筐体との間に隙間をな
くすことにより前述の飛沫ミストがエアーノズル１３の
下流域に入り込むのを防止することが出来ればよい。
７に示す如く進行方向Ａに対して傾斜して設けられる
が、エアーノズル１３の幅が筐体２５の幅より小さい場
合には図７に示す如くエアーノズル１３の両側面と筐体
２５の両側面の間にスペーサ５０を介在させるようにし
てもよい。要は、エアーノズルと筐体との間に隙間をな
くすことにより前述の飛沫ミストがエアーノズル１３の
下流域に入り込むのを防止することが出来ればよい。
【００２０】
【発明の効果】以上に記載した如く、本発明によれば、
エアーノズルの下流又は近傍に飛沫ミストが乾燥（水切
り）後の板状部品に再付着するのを防止する手段を設け
たので、一旦乾燥（水切り）された板状部品に飛沫ミス
トが再び付着することはなくなる。
エアーノズルの下流又は近傍に飛沫ミストが乾燥（水切
り）後の板状部品に再付着するのを防止する手段を設け
たので、一旦乾燥（水切り）された板状部品に飛沫ミス
トが再び付着することはなくなる。
【図１】本発明の一実施例を示す図解的斜視図である。
【図２】図１に示す実施例の図解的正面図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す要部図解図である。
【図４】本発明の第３実施例を示す要部図解図である。
【図５】本発明の第４実施例を示す要部図解図である。
【図６】本発明の第５実施例を示す要部図解図である。
【図７】図６の平面図である。
【図８】従来の問題点を説明する図である。
１０…板状部品 １３…エアナイフ １５…スリット状ノズル ２１…板状部品入口 ２３…板状部品出口 ２３…筐体 ３５…カバー板 ３７…開口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304 F26B 13/18
Claims (5)
- 【請求項１】 搬送路を送られてくる板状部品（１０）
の少なくとも一方の板面上にスリット状ノズル（１５）
から噴出される気体を吹き付けて基板面に付着している
液分を除去する水切り用エアーナイフ装置において、該スリット状ノズルの上流において搬送路上が開放され
てなると共に、該スリット状ノズルの下流において搬送
路上の前記板状部品の板面を覆うカバー板（３５）を設
けてなる ことを特徴とする水切り用エアーナイフ装置。 - 【請求項２】 上記スリット状ノズル下流においてカバ
ー板の下方には搬送路上の板状部品の周囲に加熱気体雰
囲気が形成されることを特徴とする請求項１に記載の水
切り用エアーナイフ装置。 - 【請求項３】 上記カバー板（３５）には加熱気体源に
連結される開口（３７）が形成され、該開口を介してカ
バー板の下方に加熱気体雰囲気用の加熱気体が導入され
ることを特徴とする請求項２に記載の水切り用エアーナ
イフ装置。 - 【請求項４】 上記カバー板（３５）には気体源に連結
される開口（３７）が形成され、該開口を介してカバー
板の下方に加熱気体雰囲気用の気体が導入され、更に、
上記カバー板にはこの加熱気体雰囲気用の気体を加熱す
るヒータ（４３、４５）が付設されることを特徴とする
請求項２に記載の水切り用エアーナイフ装置。 - 【請求項５】 搬送路を送られてくる板状部品（１０）
の出入り口（２１、２３）を備えた筺体（２５）を搬送
路内に設けると共に、該筺体内に板状部品の少なくとも
一方の板面上に気体を吹き付けて基板面に付着している
液分を除去するスリット状ノズル（１５）を設けた水切
りステーションにおいて、 板状部品の進行方向に見て、上記スリット状ノズルを筺
体の上部並びに左右側面に隙間無く取り付けると共に、
該スリット状ノズルの上流において搬送路上が開放され
てなることを特徴とする水切りステーション。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3052594A JP3049618B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 水切り用エアーナイフ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3052594A JP3049618B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 水切り用エアーナイフ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04288830A JPH04288830A (ja) | 1992-10-13 |
| JP3049618B2 true JP3049618B2 (ja) | 2000-06-05 |
Family
ID=12919112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3052594A Expired - Lifetime JP3049618B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 水切り用エアーナイフ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3049618B2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-18 JP JP3052594A patent/JP3049618B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04288830A (ja) | 1992-10-13 |
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