JP3044637B2 - 電子線照射装置のトレー搬送機構 - Google Patents

電子線照射装置のトレー搬送機構

Info

Publication number
JP3044637B2
JP3044637B2 JP3206285A JP20628591A JP3044637B2 JP 3044637 B2 JP3044637 B2 JP 3044637B2 JP 3206285 A JP3206285 A JP 3206285A JP 20628591 A JP20628591 A JP 20628591A JP 3044637 B2 JP3044637 B2 JP 3044637B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tray
transport path
electron beam
path
transport
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP3206285A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0527099A (ja
Inventor
末年 大泉
雅光 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Iwasaki Denki KK
Original Assignee
Iwasaki Denki KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=16520781&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3044637(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Iwasaki Denki KK filed Critical Iwasaki Denki KK
Priority to JP3206285A priority Critical patent/JP3044637B2/ja
Publication of JPH0527099A publication Critical patent/JPH0527099A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3044637B2 publication Critical patent/JP3044637B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Relays Between Conveyors (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被処理物にカーテン状
の電子線を照射する電子線照射装置のトレー搬送機構に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、あるものの表面に電子線を照
射して化学変化を生じさせ所望の性質を得るという処理
が知られている。このような処理方法は、例えば、飲料
容器として使用する紙の印刷物の表面に特殊な塗料を塗
布し、これに電子線を照射することによってその塗料を
硬化させる処理などに使用されている。
【0003】このような処理を行うための電子線照射装
置として従来から使用されているものは、被処理物が載
置されたトレーを搬送路の一端から送り出し、このトレ
ーを搬送路の途中に設けられた電子線照射部に搬送し、
ここで電子線の照射を行い、その後再び同じ方向に搬送
して搬送路の他端からトレーを取り出すという構成とな
っている。すなわち、トレーの送出口、電子線照射部、
及びトレーの取り出し口が単一の搬送路でつながれてお
り、トレーの送出口と取り出し口とが、それぞれ搬送路
の両端部に設けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに単一の経路で送出口と取り出し口とを結ぶと、搬送
路の一方の端部においてオペレーターがトレーを送り出
す操作を行い、他方の端部ではトレーを取り出す操作を
行わなければならない。したがって、搬送路自体が長く
なるだけでなく、電子線照射装置を設置する際に両端部
においてオペレーターがこれらの作業を行うスペースを
確保しなければならず、全体としてかなりのスペースが
必要になるという欠点がある。また電子線照射装置に
は、その動作を制御するためのスイッチ類を一箇所に集
めた操作パネルが設けられる。したがって、オペレータ
ーは送出口、取り出し口、それに操作パネルの3箇所に
おいて作業を行わなければならず、操作性が悪いという
問題点がある。なお、特願昭63−119178号にお
いて、搬送方向が直角な2つの搬送路を備え、トレーを
前面から送りだし、電子線を照射した後に再び前面から
トレーを取り出すという構成の装置が提案されている
が、具体的な構造は明記されていない。
【0005】更に、高い電圧で加速した電子が金属など
と衝突するとX線が発生するので、人体をX線から防護
するための遮蔽手段が必要となる。しかし、従来の装置
のように搬送経路が単一のものでは、X線が遮蔽用の鉛
などにおける複数回にわたる反射によって広がることか
ら、電子線照射部から離れた位置にある開口部からも漏
洩する危険があり、したがって送出口から取り出し口ま
での搬送路全体を遮蔽しなければならない。このため、
遮蔽に要する鉛などの金属が大量に必要となり、装置全
体の重量が大きくなるだけでなく、コスト的にも不利に
なるという欠点がある。
【0006】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、2つの搬送路を備える電子線照射装置におい
て、両搬送路間のトレーの移動を容易に行い、しかもX
線遮蔽用の材料を少なくすることができる電子線照射装
置のトレー搬送機構を提供することを目的とするもので
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明は、一端にトレー出し入れ部が設けられ、被
処理物が載置されたトレーを搬送するための第1の搬送
路と、電子線照射部が設けられ、前記第1の搬送路とは
異なる高さで前記トレーを搬送するための第2の搬送路
と、前記トレーを上昇又は下降させて第1の搬送路から
第2の搬送路へ、又は第2の搬送路から第1の搬送路へ
と前記トレーを上下に移動させる昇降手段とを備え、前
記トレー出し入れ部から前記トレーを送り出し、前記第
1の搬送路、前記昇降手段を経て、前記第2の搬送路に
前記トレーを搬送し、前記電子線照射部にて電子線を照
射し、電子線の照射が終了した後は、逆の経路を経て前
記トレー出し入れ部に前記トレーを搬送することを特徴
とするものである。
【0008】上記の目的を達成するための第2の発明
は、前記第1の発明の第1の搬送路には遮蔽手段を設け
ず、第2の搬送路には電子線の照射によって発生する放
射線を遮蔽するための遮蔽手段を設けたことを特徴とす
る。
【0009】
【作用】第1の発明は前記の構成によって、搬送路を第
1及び第2の搬送路に分け、例えば第1の搬送路を第2
の搬送路の搬送路よりも低い位置に設け、第1の搬送路
と第2の搬送路の間におけるトレーの搬送を昇降手段に
よって行うことにより、各搬送路内でトレーを搬送する
ために、例えば枠体状のキャリアを設けて、昇降手段に
より枠体状のキャリア内保持されたトレーを、第1の搬
送路から第2の搬送路に、或いは第2の搬送路から第1
の搬送路へ、容易に搬送することができる。
【0010】第2の発明は前記の構成により、搬送路を
昇降手段を介して第1の搬送路と第2の搬送路とを分離
したため、電子線照射部が設けられた第2の搬送路で多
くのX線が発生しても、第1の搬送路にそのX線が達す
ることはほとんどない。したがって、第2の搬送路につ
いてのみX線遮蔽すれば十分であり、第1の搬送路につ
いては遮蔽を施す必要がなくなり、遮蔽に必要な鉛など
の金属の使用量が少なくなる。
【0011】
【実施例】以下に図面を参照しつつ本発明の実施例につ
いて説明する。図1は本発明の一実施例である電子線照
射装置の搬送機構の電子線発生部を省略して示した斜視
図、図2は図1に示す搬送機構の正面図、図3は図1に
示す搬送機構の左側面図、図4は主搬送路に沿って移動
する第2キャリアの平面図、図5は2つの搬送路の間で
昇降する昇降装置だけを示す側面図である。
【0012】本実施例の電子線照射装置の搬送機構は、
第1搬送路である副搬送路2と第2搬送路である主搬送
路4と、副搬送路2と主搬送路4との間のトレー8の搬
送を行う昇降装置6とを備えている。図1に示すように
副搬送路2と主搬送路4は、その高さが異なるととも
に、両者の搬送方向がほぼ直角になるように配置されて
いる。主搬送路4の途中にあるビームコレクタ16の上
部には、本来は図2及び図3に示すような円柱状の電子
加速管18が設けてある。この加速管18によって発生
させ加速した電子線を、チタン箔などによって加速管と
外部の雰囲気を仕切った照射窓(図示せず)を通して、
後述する手順でビームコレクタ16の上部まで搬送され
て来る被処理物に照射する。副搬送路2の前端部近傍に
は図示しない操作パネルが設けてあり、このパネル上の
ボタン操作により電子線照射装置全体の動作を制御でき
るようになっている。
【0013】副搬送路2内にはモーター20により駆動
される第1キャリア14が設けられ、主搬送路4にはパ
ルスモーター32により駆動される第2キャリア30が
設けられている。第2キャリア30は図4に示すように
トレー8を保持する枠体31と、枠体31を支持するロ
ーラ34とロール36とを含んで構成されている。第1
キャリア14も同様に枠体状に形成されている。昇降装
置6は、昇降板24と、シリンダ26とを備えて構成さ
れる。尚、10は高圧発生装置である。
【0014】次に、本実施例の動作を順を追って説明す
る。まず、開閉扉22を開けて、副搬送路2の前端部に
ある第1キャリア14内にトレー8を載置する。そして
操作パネルのスイッチにより動作を開始すると、第1キ
ャリア14は図3に示すモーター20により副搬送路2
に沿って奥の方へと移動し、それとともに開閉扉22が
閉じる。このときまで昇降板24は、主搬送路4の床と
同じ高さにあって主搬送路の昇降板用の開口部12をふ
さぎ、X線を遮蔽しているが、動作開始の指示があると
シリンダ26によって副搬送路2の床の高さまで下降す
る。そして奥へ移動する第1キャリア14は、副搬送路
2の床の高さまで下降した昇降板24の上に位置し、図
5に示す状態となる。
【0015】昇降板24上に第1キャリア14が移動す
ると、昇降板24はシリンダ26によって上昇し、第1
キャリア14をそのままにして、内部に保持されたトレ
ー8だけを持ち上げる。昇降板24が主搬送路4の床の
高さまで達すると、トレー8は第2キャリア30の枠体
31内に保持される。トレー8が第2キャリア30の枠
体31内に保持されたことが確認されると、パルスモー
ター32が予め設定された速度で駆動され、トレー8が
保持された第2キャリア30を主搬送路4に沿ってビー
ムコレクタ16の方向へと搬送する。このとき昇降板2
4はこの位置に待機し、電子線の照射によって発生する
X線が副搬送路2の方へ漏れるのを防ぐ。第2キャリア
30とともに搬送されるトレー8が加速管18の下部を
通過すると、加速管によって加速されたカーテン状の電
子線がトレー8の中の被処理物に照射され、被処理物の
表面に所定の処理が施される。加速管18を通過した第
2キャリア30は主搬送路4の端部に到達し、パルスモ
ーター32が所定数のパルスを計数した時点で停止す
る。
【0016】その後、加速電圧を、電子線が加速管18
の照射窓箔を通過できない程度(約100KV以下)に
まで下げてから、パルスモーター32を駆動して第2キ
ャリア30をトレーとともに反対方向に移動させ、昇降
板24まで搬送する。トレーが昇降板上に載置されたこ
とを確認した後で、シリンダ26により昇降板24を副
搬送路2の床の高さまで下降させ、待機していた第1キ
ャリア14内にトレーを移動する。そして、モーター2
0を駆動し第1キャリア14を副搬送路2に沿ってその
前端部の方向へ搬送する。この際、第1キャリア14が
移動して昇降板24上から外れると、昇降板24はX線
を遮蔽するために再び上昇し、主搬送路4の昇降板用の
開口部12を塞ぐ。昇降板24が上昇し第1キャリア1
4が副搬送路2の前端部に達すると、開閉扉22が開い
てトレー及びその中の被処理物を第1キャリア14から
取り出すことができる。
【0017】以上のようにして被処理物に電子線を照射
することができるが、上の説明から明らかなようにオペ
レーターは副搬送路2の前端部において必要な操作をす
ればよく、またトレーの送り出し及び取り出しが同じ場
所で行えるので操作性が向上する。
【0018】また、図には示していないが、主搬送路4
は電子線の照射によって発生するX線を外部に漏らさな
いための遮蔽が施されている。具体的には鉛によって周
囲全体を覆い、その内壁を複雑な形状とし、X線が何回
か反射するあいだに吸収されるようにしてある。ところ
で、図1に示すように搬送路を主搬送路4と副搬送路2
に分離し、かつ、通常は昇降板24によって主搬送路4
の開口部をふさいでおくことによって、主搬送路4の部
分だけ遮蔽すればX戦の外部への漏洩を防ぐことがで
き、副搬送路2には遮蔽の必要がない。このため従来の
主搬送路と副搬送路とを設けたものに比べて、使用する
鉛の量が減り、コストが低下するとともに装置全体の重
量も削減される。
【0019】尚、上記の実施例では、副搬送路と主搬送
路とが互いに直角になるように配置された場合について
説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、
副搬送路と主搬送路とは、例えば45度の角度をなすよ
うに配置してもよい。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、高
さが異なる2つの搬送路を設け、これらの搬送路の間を
昇降手段でつなぐ構成としたことにより、両搬送路間の
トレーの搬送を容易に行うことができ、また遮蔽に必要
な鉛の量が少なくて済むので、全体のコスト及び重量を
低下させることができる電子線照射装置のトレー搬送機
構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である電子線照射装置の搬送
機構の電子線発生部を省略して示した斜視図である。
【図2】図1に示す搬送機構の正面図である。
【図3】図1に示す搬送機構の左側面図である。
【図4】主搬送路に沿って移動する第2キャリアの平面
図である。
【図5】2つの搬送路の間で昇降する昇降装置の側面図
である。
【符号の説明】
2 副搬送路 4 主搬送路 6 昇降装置 8 トレー 14 第1キャリア 16 ビームコレクタ 18 電子加速管 20 モーター 22 開閉扉 24 昇降板 26 シリンダ 30 第2キャリア 32 パルスモーター 34 ローラ 36 ロール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G21K 5/10 B01J 19/12 B05C 9/12 B65G 47/53

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一端にトレー出し入れ部が設けられ、被
    処理物が載置されたトレーを搬送するための第1の搬送
    路と、 電子線照射部が設けられ、前記第1の搬送路とは異なる
    高さで前記トレーを搬送するための第2の搬送路と、 前記トレーを上昇又は下降させて第1の搬送路から第2
    の搬送路へ、又は第2の搬送路から第1の搬送路へと前
    記トレーを上下に移動させる昇降手段とを備え、 前記トレー出し入れ部から前記トレーを送り出し、前記
    第1の搬送路、前記昇降手段を経て、前記第2の搬送路
    に前記トレーを搬送し、前記電子線照射部にて電子線を
    照射し、電子線の照射が終了した後は、逆の経路を経て
    前記トレー出し入れ部に前記トレーを搬送することを特
    徴とする電子線照射装置のトレー搬送機構。
  2. 【請求項2】 前記第1の搬送路には遮蔽手段を設け
    ず、前記第2の搬送路には電子線の照射によって発生す
    る放射線を遮蔽するための遮蔽手段を設けたことを特徴
    とする請求項1記載の電子線照射装置のトレー搬送機
    構。
JP3206285A 1991-07-23 1991-07-23 電子線照射装置のトレー搬送機構 Expired - Lifetime JP3044637B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3206285A JP3044637B2 (ja) 1991-07-23 1991-07-23 電子線照射装置のトレー搬送機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3206285A JP3044637B2 (ja) 1991-07-23 1991-07-23 電子線照射装置のトレー搬送機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0527099A JPH0527099A (ja) 1993-02-05
JP3044637B2 true JP3044637B2 (ja) 2000-05-22

Family

ID=16520781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3206285A Expired - Lifetime JP3044637B2 (ja) 1991-07-23 1991-07-23 電子線照射装置のトレー搬送機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3044637B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108466795B (zh) * 2018-03-21 2024-01-19 苏州康克莱自动化科技有限公司 一种压铸机用x光探伤自动化装置及工艺
EP3988128A1 (de) * 2019-06-14 2022-04-27 Framatome GmbH Anlage zum sterilisieren von sterilisationseinheiten und verfahren zum betrieb einer derartigen anlage

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0527099A (ja) 1993-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4826360A (en) Transfer system in a clean room
JP3664897B2 (ja) 縦型熱処理装置
US5772386A (en) Loading and unloading station for semiconductor processing installations
JP2002512446A (ja) ウエハ処理装置とともに使用するための自動化ウエハバッファ
JPH09176857A (ja) ワークピースを表面処理するための真空装置
GB2066570A (en) Wafer transfer system
US20060186350A1 (en) Installation and method for sterilising objects by low-energy electron bombardment
US5818508A (en) Imaging device and media handling apparatus
JP3044637B2 (ja) 電子線照射装置のトレー搬送機構
US6609875B1 (en) Plate material carrying apparatus
JP4048074B2 (ja) 処理装置
JP3118681B2 (ja) 処理装置及び処理方法
JPH1179388A (ja) ガラス類枚葉処理装置
JP3211493B2 (ja) X線検査車両
JPH0587998A (ja) 電子線照射装置
JP2584921Y2 (ja) 電子線照射装置
JP3699686B2 (ja) ターゲット搬送装置
CN219267321U (zh) 一种具有取放靶功能的同位素生产设备
JPH0712960Y2 (ja) 電子線照射装置の搬送装置
JP3371164B2 (ja) 枚葉処理式イオン注入装置
JPH08184700A (ja) 電子線照射装置
JPH0713911Y2 (ja) 電子ビーム溶接機
CN115579168A (zh) 一种具有取放靶功能的同位素生产设备
JP2682795B2 (ja) 電子ビーム溶接装置
JPH0743680Y2 (ja) 電子線照射装置