JPH0743680Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、被処理物にカーテン状の電子線を照射する電
子線照射装置に関するものである。

〔従来の技術〕 第７図は従来の電子線照射装置の概略正面図、第８図は
その概略平面図である。第７図及び第８図においてＡは
被処理物、50は被処理物Ａが通過する搬送路、60は搬送
路50内の被処理物を移動する搬送部、70は被処理物に電
子線を照射する電子線発生部である。搬送路50の左側端
部は被処理物Ａを送入する搬入路51であり、搬送路50の
右側端部は被処理物Ａを送出する搬出路52である。また
搬送路50の中央部は電子線を照射する中央搬送路53であ
る。搬入路51には入口外側開閉扉54aと入口内側開閉扉5
4bが設けられ、一方搬出路52には出口内側開閉扉55aと
出口外側開閉扉55bが設けられている。搬送路50内の床
部の中央部には後述する搬送用チェーン61の係止片62が
移動自在に嵌入されるスリット56が形成されている。

搬送部60搬送路50の下方に設けられ、搬送路50内のスリ
ット56に沿って被処理物Ａを搬入路51から中央搬送路53
を通って搬出路52へ搬送する搬送用チェーン61と、搬送
用チェーン61に取り付けられた係止片62と、搬送用チェ
ーン61を駆動するためのモーター63とを含むものであ
る。

電子線発生部70は中央搬送路53の上部に設けられ、その
下端部には電子線ビームを被処理物Ａに照射するため
に、チタン箔で形成された窓71が設けられている。

また、搬送路50の周囲、開閉扉54a・54b・55a・55b、搬
送用チェーン61及び電子線発生部70の周囲は電子線照射
時に発生するＸ線が外部へ漏出しないように、鉛遮蔽が
施されている。更に、搬送路50、搬送部60及び電子線発
生部70は外函80内に収納され、外函80の前面81には制御
装置の制御ボタン等を備えた図示しない操作部が設けら
れている。尚、矢印Ｘは被処理物Ａの搬送方向を示す。

本装置により被処理物Ａに電子線を照射するには、操作
部の図示しない制御ボタンを操作し、先ず入口外側開閉
扉54aを開状態とする（このとき、他の開閉扉54b・55a
・55bは閉状態となっている。）。そして、搬入路51内
に被処理物Ａを入れて、入口外側開閉扉54aを閉じる。
次に、入口内側開閉扉54bを開け、モーター63により搬
送用チェーン61を駆動して被処理物Ａを中央搬送路53内
に移動し、入口内側開閉扉54bを閉じて被処理物Ａを搬
送用チェーン61により右に搬送する。被処理物Ａが電子
線発生部70の窓71の下部に達すると、電子線発生部70の
窓71からカーテン状の電子線ビームが被処理物Ａに照射
され、被処理物Ａは電子線照射されながら搬出路52方向
へ搬送される。被処理物Ａが電子線発生部70の下部を通
過し終わると、電子線発生部70は照射を終了する。被処
理物Ａが出口内側開閉扉55aの近傍に達すると図示しな
い制御装置により出口内側開閉扉55aが開き、出口内側
開閉扉55aと出口外側開閉扉55bとの間まで被処理物Ａが
搬送され、出口内側開閉扉55aを閉じる。そして、出口
外側開閉扉55bを開状態とし、被処理物Ａを取り出す。
このように従来の電子線照射装置では、被処理物Ａを出
し入れするときには、搬送路50の左右に設けた二重の開
閉扉54a・54b・55a・55bを順次開閉することによって、
電子線の照射により発生するＸ線の外部への漏出を防止
している。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の電子線照射装置では第７図及び第
８図の矢印Ｘで示すように被処理物Ａの搬送方向Ｘが一
方向であるので、開閉口を左右２ケ所に各々設けなけれ
らばならない。すなわち、搬送路50を直線状とし、搬送
路50の一方の端面に被処理物Ａの入口部57を、他方の端
面に被処理物Ａの出口部58を設け、搬送路50の中央部で
電子線を照射していた。したがって、従来の電子線照射
装置では、操作者は常時は外函80の前面に位置し、電子
線照射量やＸ線漏れ等を監視しているが、被処理物Ａを
搬入するときには、装置の左側面に移動し、また被処理
物Ａを搬出するときには、装置の右側面に移動しなけれ
ばならず、作業性が悪いという欠点があった。

また、従来の電子線照射装置では搬送路50が直線状に形
成され搬送方向Ｘが一方向であったので、開閉扉を左右
２箇所、合計４箇所（54a・54b・55a・55b）に設けなけ
ればならないという欠点があった。更に、搬送路50が直
線状に形成されているので、搬送路50内で発生したＸ線
が出入口の開口部57・58に反射されるため、開閉扉54a
・54b・55a・55bが完全にＸ線遮蔽されていないと、Ｘ
線が外部に漏出するという欠点があった。

本考案は上記事情に基づいてなされたものであり、被処
理物の搬入及び搬出作業を容易に行うことができると共
に、Ｘ線の遮蔽効率の向上を図ることができる電子線照
射装置を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するための本考案は、外函と、前記外
函の正面に配置された、電子線量の制御や被処理物の搬
送等を操作する操作手段とを備える電子線照射装置にお
いて、前記外函の正面に略平行に設けられた被処理物が
通る通路である第１の搬送路と、一方の端部である被処
理物を出し入れする開閉自在な出入口が前記外函の正面
に配置されるとともに、他方の端部が前記第１の搬送路
の一方の端部である受渡部に連通する第２の搬送路と、
前記出入口から搬入された被処理物を前記受渡部まで搬
送する第２の搬送手段と、前記第２の搬送手段により前
記受渡部に搬送された被処理物を、前記第１の搬送路内
で往復搬送した後に前記受渡部に戻す第１の搬送手段
と、前記第１の搬送路内を搬送される被処理物に電子線
を照射する電子線発生手段と、Ｘ線が外部に漏出しない
ように、前記第１の搬送路、前記第２の搬送路、前記第
１の搬送手段、第２の搬送手段及び前記電子線発生手段
をＸ線遮蔽する遮蔽手段と、を設けたことを特徴とする
ものである。

また、前記第１の搬送路の両端面に、常時はＸ線遮蔽の
ための着脱可能な遮蔽蓋が取り付けられた開口部を設け
て構成してもよい。

〔作用〕

本考案は前記の構成により、被処理物は第２の搬送路か
ら第１の搬送路に送られ、第１の搬送路内を第１の搬送
手段により往復した後、再び第２の搬送路から取り出さ
れる。そして、第１の搬送路内を往復する際に、電子線
発生手段により少なくとも１回電子線照射される。とこ
ろで、第２の搬送路の出入口は外函の正面に配置されて
いるので、操作者は外函の正面に位置して、被処理物の
搬入・搬出ができるので、作業性が向上する。また、開
閉自在な出入口が１箇所であるので、従来の装置に比べ
て開口面積が半分になり、しかも電子線が照射される第
１の搬送路の一方の端部の側部に第２の搬送路が設けら
れているので、電子線の照射位置と被処理物の出入口と
が直線上に位置しない。このため、Ｘ線の遮蔽効果が高
くなる。

また、前記第１の搬送路の両端面に、常時はＸ線遮蔽の
ために着脱可能な遮蔽蓋が取り付けられた開口部を設け
ることにより、遮蔽蓋を取り外して使用すれば、シート
状の被処理物に、連続して電子線を照射することもでき
る。

〔実施例〕

以下に本考案の第１の実施例を第１図乃至第４図を参照
して説明する。第１図は本考案の第１の実施例である電
子線照射装置の概略平面図、第２図はその概略正面図、
第３図は第１図のＹ−Ｙ概略拡大断面図、第４図は電子
線照射装置の概略外観正面図である。第１図乃至第４図
において１は外函、10は搬送路、20は搬送部、30は電子
線発生部、Ａは被処理物である。尚、矢印Ｘは被処理物
Ａの搬送方向を示す。搬送路10は第１の搬送路２及び第
２の搬送路３からなり、Ｌ字中空状の通路を形成する。
第１の搬送路２は外函１の正面1aに沿って平行に設けら
れ、その床部の中央部には後述する搬送用チェーン21の
係止片22a・22bが移動自在に嵌入されるスリット４が形
成されている。第２の搬送路３は第１の搬送路２の左端
部（受渡部）に連通して設けられ、トレイＢを載せた被
処理物Ａを搬入・搬出するための開閉扉5a・5bが設けら
れている。

搬送部20は主搬送部（第１の搬送手段）と第２の搬送部
（第２の搬送手段）とからなる。主搬送部は第１の搬送
路２の下方に設けられた搬送用チェーン21と、搬送用チ
ェーン21に取り付けられ、スリット４に沿って被処理物
Ａを移動する係止片22a・22bと、搬送用チェーン21を駆
動するモーター23と、スプロケット24とを含むものであ
る。

第２の搬送部は、被処理物Ａを第１の搬送路２に出し入
れするために第２の搬送路３の床部に設けられた搬送用
ローラー25と、図示しない駆動用のモーターと含むもの
である。また、第３図に示すように第２の搬送路３内に
設けられた搬送用ローラー25は、その上面が第１の搬送
路２の床面と同一平面上に位置するように設けられてい
る。なお、搬送用ローラー25の上面と第１の搬送路の床
面とは段付きにしてもよい。

そして、搬送用チェーン21及び搬送用ローラー25は正転
及び逆転が可能であり、第１の搬送路２内にある被処理
物Ａを左右に、また第２の搬送路３内にある被処理物Ａ
を前方又は後方に移動することができる。

電子線発生部30は第１の搬送路２の上部に設けられ、カ
ーテン状の電子ビームを被処理物Ａに照射する。電子線
発生部30内下部にはチタン箔で形成された電子線照射用
の窓31が設けられている。

尚、第１の搬送路２、第２の搬送路３の周囲、搬送用チ
ェーン21、搬送用ローラー25、開閉扉5a・5b及び電子線
発生部30の周囲は電子線照射時に発生するＸ線が外部へ
漏出しないように、鉛遮蔽が施されている。そして、搬
送路10、搬送部20及び電子線発生部30は外函１内に収納
され、外函１の前面1aには制御装置の制御ボタン等を配
置した操作部1bが設けられている。

上記の構成によれば、被処理物Ａ（試料片等）に電子線
を照射する場合には、図示しない制御装置の制御ボタン
等を操作することにより、外側開閉扉5aを開状態とし
（このとき開閉扉5bは閉状態となっている。）、被処理
物ＡをトレイＢに載せて第２の搬送路３内にいれて、外
側開閉扉5aを閉じる。すると、内側開閉扉5bが開けら
れ、搬送用ローラー25が図示しない駆動用のモーターに
よって駆動され、被処理物Ａを第１の搬送路２の方向に
移動し、被処理物Ａを第２の搬送路３から第１の搬送路
２の左端部に移動する。そして、内側の開閉扉5bを閉じ
て、第１の搬送路２内をＸ線遮蔽状態とした後、搬送用
チェーン21に取り付けられた係止片22aで被処理物Ａを
押して第１の搬送路２内を右方向に移動する。

被処理物Ａが電子線発生部30の下部に送られると、電子
線発生部30内に形成された図示しない線状フィラメント
が熱せられ電子線が放出される。この電子線はコントロ
ールされ電子線発生部30下部の窓31を介して被処理物Ａ
に放射される。被照射物Ａに電子線を照射し終わると、
搬送用チェーン21は逆転し、被処理物Ａは他方の係止片
22bにより押され、もと来た路を通って左に移動する。
このとき、被処理物Ａは電子線発生部30の窓31の下部を
再度通るので、もう一度被処理物Ａに電子線を照射して
もよい。被処理物Ａが第１の搬送路２の左端部に達する
と搬送用チェーン21は停止し、内側開閉扉5bが開く。す
ると、搬送用ローラー25が駆動して被処理物Ａを内側開
閉扉5bと外側開閉扉5aとの間に移動する。そうして、内
側開閉扉5bを閉じたことを確認した後、外側開閉扉5aを
開けて被処理物Ａを取り出す。

このように、外側開閉扉5aから挿入された被処理物Ａ
は、第２の搬送路３を通って、第１の搬送路２に送ら
れ、ここで電子線照射された後、再び外側開閉扉5aから
取り出される。

上記の実施例によれば、搬送路10がＬ字状に形成され、
しかも出入口が１箇所であるので、従来の装置のように
搬送路が直線状に形成され、しかも出入口が２箇所設け
られていたものに比べて、Ｘ線の外部への漏出をより完
全に防止することができる。

また、上記の実施例によれば、正転及び逆転可能な搬送
部20を設け、被処理物Ａの出入口を１箇所とし、しかも
その出入口を外函１の前面1aに設けてあるので、操作者
は装置の前面に位置して、計器の監視等をしながら、被
処理物Ａの出し入れができる。このため、従来の装置よ
りも作業性が良くなる。

また、上記の実施例によれば、搬送路10内を窒素雰囲気
に置換して電子線照射する場合にも、出入口が１箇所で
あるので、搬送路10の気密性を高めることができ、外気
の混入を防止して容易に窒素雰囲気を維持することがで
きる。

更に、上記の実施例によれば、被処理物Ａが搬送路10を
往復するので、電子線の照射量を容易に倍増することが
できる。

尚、本実施例においては、被処理物Ａの出入口を外函の
左前面に設けた場合について説明したが、出入口は外函
の右前面に設けてもよい。この場合には受渡部は第１の
搬送路の右端部となる。

また、本実施例においては第１の搬送路２を装置の右側
端部まで形成した場合について説明したが、被処理物の
大きさによっては、電子線発生部30下部より右側の部分
はなくてもよい。

更に、本実施例においては、被処理物の移動のために第
１の搬送路２では搬送用チェーン21を第２の搬送路３で
は搬送用ローラー25を設けた場合について説明したが、
本考案はこれに限られるものではなく、第１の搬送路２
に搬送用ローラー25を第２の搬送路３に搬送用チェーン
21を設けるようにしてもよいし、また第１の搬送路２と
第２の搬送路３の双方とも搬送用ローラー25又は搬送用
チェーン21を設けるようにしてもよい。

第５図は本考案の第２の実施例である電子線照射装置の
概略平面図であり、第６図はその概略正面図である。第
５図及び第６図において41・41は第１の搬送路２の両端
面に設けられた開口部42・42をＸ線遮蔽する着脱自在な
遮蔽蓋、43・43は遮蔽蓋42・42を取り外した開口部42・
42に取り付けるウエブ処理用の補助搬送路である。補助
搬送路43・43は鉛遮蔽が施されており、Ｘ線の漏出を防
止するために、斜め下方向に傾斜して設けられている。
尚、第５図及び第６図に示す第２の実施例において上記
第１図乃至第４図に示す第１の実施例と同一の機能を有
するものは同一の符号を付すことによりその詳細な説明
を省略する。

第２の実施例が、上記の第１の実施例と異なるのは、第
１の搬送路２の両側端部に開口部42・42を設け、その開
口部42・42に着脱自在な遮蔽蓋41・41を取り付けた点に
ある。その他の構成は第１の実施例と同様である。

本実施例装置は、遮蔽蓋41・41を取り付けたまま使用す
れば、前記の第１の実施例と同様の作用・効果を得るこ
とができる。一方、遮蔽蓋41・41を外し、開口部42・42
にウェブ処理用の補助搬送路43・43を取り付けることに
より、シート状の被処理物にも連続して電子線を照射す
ることができる。ウェブに電子線を照射するときは、第
１の搬送路２の両端部に取り付けた一方の補助搬送路43
にウェブを送入し、他方の補助搬送路43から取り出す。
第１の搬送路２内のウェブは装置の外部又は内部に設け
られた図示しない駆動装置により搬送される。尚、第２
の搬送路３の開閉扉5a・5bは使用しないので、閉状態の
儘とする。また、第１の搬送路２下方の搬送用チェーン
21はウェブの搬送に邪魔にならないように、係止片22a
・22bが水平状態となる位置で停止する。

上記実施例によれば、１台の装置でバッチ処理だけでな
く、連続処理も可能となり、実験・研究装置として便宜
である。その他の作用・効果は第１の実施例と同様であ
る。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によれば、バッチ処理の際の
出入口が１箇所であり、しかもその出入口が外函の正面
であるので、被処理物の搬入・搬出作業が容易になり、
またバッチ処理の際の開口部が１箇所であり、しかも第
２の搬送路が電子線を照射する第１の搬送路の一方の端
部の側面に設けられているので、Ｘ線の遮蔽効率の向上
を図ることができる電子線照射装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１の実施例である電子線照射装置の
概略平面図、第２図はその概略正面図、第３図は第１図
のＹ−Ｙ概略拡大断面図、第４図は電子線照射装置の概
略外観正面図、第５図は本考案の第２の実施例をである
電子線照射装置の概略平面図、第６図はその概略正面
図、第７図は従来の電子線照射装置の概略正面図、第８
図はその概略平面図である。 １……外函、２……第１の搬送路、３……第２の搬送
路、４……スリット、5a・5b……開閉扉、10……搬送
路、20……搬送部、21……搬送用チェーン、22……係止
片、23……モータ、25……搬送用ローラー、30……電子
線発生部、31……窓、41……遮蔽蓋、42……開口部、43
……補助搬送路、Ａ……被処理物、Ｂ……トレイ。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】外函と、前記外函の正面に配置された、電
   子線量の制御や被処理物の搬送等を操作する操作手段と
   を備える電子線照射装置において、 前記外函の正面に略平行に設けられた被処理物が通る通
   路である第１の搬送路と、 一方の端部である被処理物を出し入れする開閉自在な出
   入口が前記外函の正面に配置されるとともに、他方の端
   部が前記第１の搬送路の一方の端部である受渡部に連通
   する第２の搬送路と、 前記出入口から搬入された被処理物を前記受渡部まで搬
   送する第２の搬送手段と、 前記第２の搬送手段により前記受渡部に搬送された被処
   理物を、前記第１の搬送路内で往復搬送した後に前記受
   渡部に戻す第１の搬送手段と、 前記第１の搬送路内を搬送される被処理物に電子線を照
   射する電子線発生手段と、 Ｘ線が外部に漏出しないように、前記第１の搬送路、前
   記第２の搬送路、前記第１の搬送手段、前記第２の搬送
   手段及び前記電子線発生手段をＸ線遮蔽する遮蔽手段
   と、 を設けたことを特徴とする電子線照射装置。
2. 【請求項２】前記第１の搬送路の両端面に、常時はＸ線
   遮蔽のための着脱可能な遮蔽蓋が取り付けられた開口部
   を設けた請求項１記載の電子線照射装置。