JP3041770B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
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- JP3041770B2 JP3041770B2 JP9021679A JP2167997A JP3041770B2 JP 3041770 B2 JP3041770 B2 JP 3041770B2 JP 9021679 A JP9021679 A JP 9021679A JP 2167997 A JP2167997 A JP 2167997A JP 3041770 B2 JP3041770 B2 JP 3041770B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は走査型プローブ顕微
鏡に係り、特に、走査型原子間力顕微鏡（ＡＦＭ： Ato
mic Force Microscope）に代表される走査型プローブ顕
微鏡のように、試料表面でのプローブ走査速度がモニタ
装置での陰極線等の走査速度に比較して著しく遅い場合
でも、プローブ走査によって得られた試料像を高画質で
表示できるようにした走査型プローブ顕微鏡に関する。
鏡に係り、特に、走査型原子間力顕微鏡（ＡＦＭ： Ato
mic Force Microscope）に代表される走査型プローブ顕
微鏡のように、試料表面でのプローブ走査速度がモニタ
装置での陰極線等の走査速度に比較して著しく遅い場合
でも、プローブ走査によって得られた試料像を高画質で
表示できるようにした走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）では、
片持ち梁式に支持された梁部の自由端に探針を設けたカ
ンチレバーが走査プローブとして利用される。このよう
な構成のカンチレバーでは、探針を試料表面で走査する
と試料表面と探針との間に原子間力に基づく引力または
斥力が発生するので、この原子間力をカンチレバーの撓
み量として検出し、これを画像信号としてモニタ装置へ
出力すれば試料表面の形状観察が可能になる。
片持ち梁式に支持された梁部の自由端に探針を設けたカ
ンチレバーが走査プローブとして利用される。このよう
な構成のカンチレバーでは、探針を試料表面で走査する
と試料表面と探針との間に原子間力に基づく引力または
斥力が発生するので、この原子間力をカンチレバーの撓
み量として検出し、これを画像信号としてモニタ装置へ
出力すれば試料表面の形状観察が可能になる。
【０００３】図３は、従来の走査型プローブ顕微鏡に用
いられる画像データ表示装置の主要部の構成を示した図
である。走査型プローブ顕微鏡１０における試料表面で
の探針のラスタ走査周波数は１ないし１００Ｈｚ程度で
あるのに対して、テレビモニタ等のＣＲＴ表示装置にお
ける走査周波数は数１０ｋＨｚであり、両者の走査周波
数には大きな差がある。このため、走査型プローブ顕微
鏡１０から出力される画像信号をモニタ装置５４へ直接
出力することができず、両者の間には走査速度差を吸収
するための一時記憶手段５１および画像メモリ５２が必
要になる。
いられる画像データ表示装置の主要部の構成を示した図
である。走査型プローブ顕微鏡１０における試料表面で
の探針のラスタ走査周波数は１ないし１００Ｈｚ程度で
あるのに対して、テレビモニタ等のＣＲＴ表示装置にお
ける走査周波数は数１０ｋＨｚであり、両者の走査周波
数には大きな差がある。このため、走査型プローブ顕微
鏡１０から出力される画像信号をモニタ装置５４へ直接
出力することができず、両者の間には走査速度差を吸収
するための一時記憶手段５１および画像メモリ５２が必
要になる。
【０００４】このような構成では、走査型プローブ顕微
鏡１０から出力された画像信号Ｓは、デジタル信号に変
換されて一時記憶手段５１に画像データＤとして一時記
憶される。予定量（例えば、１走査ライン分）の画像デ
ータＤX が蓄積されると、当該画像データＤX は画像メ
モリ５２へ転送される。画像メモリ５２では、転送され
た画像データＤX を順次蓄積して１フレーム分の画像デ
ータＤを完成させる。
鏡１０から出力された画像信号Ｓは、デジタル信号に変
換されて一時記憶手段５１に画像データＤとして一時記
憶される。予定量（例えば、１走査ライン分）の画像デ
ータＤX が蓄積されると、当該画像データＤX は画像メ
モリ５２へ転送される。画像メモリ５２では、転送され
た画像データＤX を順次蓄積して１フレーム分の画像デ
ータＤを完成させる。
【０００５】これと並行して、画像データ読出手段５３
は、モニタ装置５４へ供給される水平および垂直同期信
号ＳＨ，ＳＶに同期して画像メモリ５２から画像データ
Ｄを順次かつ繰り返し読み出し、これをアナログ信号の
映像信号Ｖに変換してモニタ装置５４へ転送させる。し
たがって、モニタ装置５４には走査型プローブ顕微鏡１
０での走査が完了した部分の映像から次々と表示される
ことになり、走査が完了した時点で完全な映像が表示さ
れることになる。
は、モニタ装置５４へ供給される水平および垂直同期信
号ＳＨ，ＳＶに同期して画像メモリ５２から画像データ
Ｄを順次かつ繰り返し読み出し、これをアナログ信号の
映像信号Ｖに変換してモニタ装置５４へ転送させる。し
たがって、モニタ装置５４には走査型プローブ顕微鏡１
０での走査が完了した部分の映像から次々と表示される
ことになり、走査が完了した時点で完全な映像が表示さ
れることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来技術の構
成では、一時記憶手段５１および画像データ読出手段５
３が同時には画像メモリ５２へアクセスできない、換言
すれば、一時記憶手段５１から画像メモリ５２へ画像デ
ータＤが転送されている期間は、画像データ読出手段５
３は画像メモリ５２から画像データＤを読み出すことが
できない。このため、一時記憶手段５１が画像メモリ５
２へ画像データＤを転送している間はモニタ装置５４上
の映像が欠けてしまうという問題がある。
成では、一時記憶手段５１および画像データ読出手段５
３が同時には画像メモリ５２へアクセスできない、換言
すれば、一時記憶手段５１から画像メモリ５２へ画像デ
ータＤが転送されている期間は、画像データ読出手段５
３は画像メモリ５２から画像データＤを読み出すことが
できない。このため、一時記憶手段５１が画像メモリ５
２へ画像データＤを転送している間はモニタ装置５４上
の映像が欠けてしまうという問題がある。
【０００７】このような問題点を解決するためには、一
時記憶手段５１から画像メモリ５２への画像データの転
送を、モニタ装置用の水平および垂直同期信号ＳＨ，Ｓ
Ｖのブランク期間を利用して実行する方式が考えられ
る。しかしながら、一時記憶手段５１から画像メモリ５
２へのデータ転送がプローブ走査信号の帰線期間以外に
行われてしまうと、前記と同様の理由から、このデータ
転送中は走査型プローブ顕微鏡１０から一時記憶手段５
１へのデータ転送が中断されて当該タイミングでの画像
データが欠落してしまうことから、モニタ装置５４上で
は当該画像データの欠落が画像のチラツキとなって現れ
るという問題があった。
時記憶手段５１から画像メモリ５２への画像データの転
送を、モニタ装置用の水平および垂直同期信号ＳＨ，Ｓ
Ｖのブランク期間を利用して実行する方式が考えられ
る。しかしながら、一時記憶手段５１から画像メモリ５
２へのデータ転送がプローブ走査信号の帰線期間以外に
行われてしまうと、前記と同様の理由から、このデータ
転送中は走査型プローブ顕微鏡１０から一時記憶手段５
１へのデータ転送が中断されて当該タイミングでの画像
データが欠落してしまうことから、モニタ装置５４上で
は当該画像データの欠落が画像のチラツキとなって現れ
るという問題があった。
【０００８】本発明の目的は、上記した従来技術の問題
点を解決し、画像信号を取り込む際のプローブ等の走査
速度と画像を表示する際の陰極線等の走査速度とが大き
く異なる場合でも、画像を途切れる事なくリアルタイム
で、かつモニタ装置上でチラツキなく表示できるように
した走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。
点を解決し、画像信号を取り込む際のプローブ等の走査
速度と画像を表示する際の陰極線等の走査速度とが大き
く異なる場合でも、画像を途切れる事なくリアルタイム
で、かつモニタ装置上でチラツキなく表示できるように
した走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明では、プローブ走査用の走査信号を発生
する手段と、モニタ表示用の同期信号を発生する手段
と、前記プローブ走査信号の帰線期間および同期信号の
ブランク期間を検出する検出手段と、プローブ走査に応
答して得られる画像信号を画像データに変換して一時記
憶するデータメモリと、前記データメモリから転送され
る画像データを順次蓄積する画像メモリと、前記画像メ
モリから画像データを読み出して映像信号に変換し、こ
れを前記各モニタ用同期信号に同期してモニタ装置へ出
力する手段とを設け、前記データメモリから画像メモリ
への画像データの転送は、プローブ走査信号の帰線期間
とモニタ用同期信号のブランク期間とが重なる期間内に
行われるようにした点に特徴がある。
ために、本発明では、プローブ走査用の走査信号を発生
する手段と、モニタ表示用の同期信号を発生する手段
と、前記プローブ走査信号の帰線期間および同期信号の
ブランク期間を検出する検出手段と、プローブ走査に応
答して得られる画像信号を画像データに変換して一時記
憶するデータメモリと、前記データメモリから転送され
る画像データを順次蓄積する画像メモリと、前記画像メ
モリから画像データを読み出して映像信号に変換し、こ
れを前記各モニタ用同期信号に同期してモニタ装置へ出
力する手段とを設け、前記データメモリから画像メモリ
への画像データの転送は、プローブ走査信号の帰線期間
とモニタ用同期信号のブランク期間とが重なる期間内に
行われるようにした点に特徴がある。
【００１０】上記した構成によれば、データメモリから
画像メモリへの画像データの転送はプローブ走査信号の
帰線期間内に行われるので、画像信号のデータメモリへ
の一時記憶が中断されない。しかも、この帰線期間はモ
ニタ用同期信号のブランク期間でもあるので、画像メモ
リからの画像データの読み出しが中断させることもな
い。
画像メモリへの画像データの転送はプローブ走査信号の
帰線期間内に行われるので、画像信号のデータメモリへ
の一時記憶が中断されない。しかも、この帰線期間はモ
ニタ用同期信号のブランク期間でもあるので、画像メモ
リからの画像データの読み出しが中断させることもな
い。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。図１は、本発明の一実施形態である走査
型プローブ顕微鏡の画像データ表示装置のブロック図で
ある。図２(a) は、画像データ表示装置のプローブ走査
用の水平および垂直走査信号Ｓｈ，Ｓｖと後述するブラ
ンクタイミング信号ＳＢとの同期関係を示した図であ
り、同図(b) は、前記ブランクタイミング信号ＳＢを含
む画像データ表示装置の主要部の信号波形を示した図で
ある。なお、図２(a) 、(b) は、それぞれのブランクタ
イミング信号ＳＢを比較すれば明らかなように、時間軸
に関する尺度が異なる。
細に説明する。図１は、本発明の一実施形態である走査
型プローブ顕微鏡の画像データ表示装置のブロック図で
ある。図２(a) は、画像データ表示装置のプローブ走査
用の水平および垂直走査信号Ｓｈ，Ｓｖと後述するブラ
ンクタイミング信号ＳＢとの同期関係を示した図であ
り、同図(b) は、前記ブランクタイミング信号ＳＢを含
む画像データ表示装置の主要部の信号波形を示した図で
ある。なお、図２(a) 、(b) は、それぞれのブランクタ
イミング信号ＳＢを比較すれば明らかなように、時間軸
に関する尺度が異なる。
【００１２】Ａ／Ｄ変換器３１は、走査型プローブ顕微
鏡１０から順次出力される画像信号Ｓをデジタル信号に
変換し、これを画像データＤとしてデータバスＤＢ１上
へ順次送出する。同期信号発生部３６は、画像メモリコ
ントローラ３４から出力される基準クロックＣＬＫに基
づいて、これに同期するモニタ用水平および垂直同期信
号ＳＨ、ＳＶならびに当該水平同期信号ＳＨをｎ倍した
基準同期信号ｎＳＨを生成して出力する。さらに、同期
信号発生部３６はモニタ用垂直同期信号ＳＶのブランク
期間を表す垂直ブランク信号ＳＶＢを出力する。
鏡１０から順次出力される画像信号Ｓをデジタル信号に
変換し、これを画像データＤとしてデータバスＤＢ１上
へ順次送出する。同期信号発生部３６は、画像メモリコ
ントローラ３４から出力される基準クロックＣＬＫに基
づいて、これに同期するモニタ用水平および垂直同期信
号ＳＨ、ＳＶならびに当該水平同期信号ＳＨをｎ倍した
基準同期信号ｎＳＨを生成して出力する。さらに、同期
信号発生部３６はモニタ用垂直同期信号ＳＶのブランク
期間を表す垂直ブランク信号ＳＶＢを出力する。
【００１３】ＣＰＵ３２は、走査型プローブ顕微鏡１０
の例えば１走査ライン分の画像データＤX を記憶できる
データメモリ３２ａを備え、走査期間Ｔs 中にデータバ
スＤＢ１を介して入力される画像データＤをデータメモ
リ３２ａに順次記憶する。また、ＣＰＵ３２の走査信号
発生部３２ｂは、前記基準同期信号ｎＳＨに基づいて、
これに同期するプローブ走査用の水平および垂直走査信
号Ｓｈ、Ｓｖに関するデジタル信号を生成し、それぞれ
Ｄ／Ａ変換器３８、３９へ出力する。すなわち、プロー
ブ用の各走査信号Ｓｈ、Ｓｖとモニタ用の各同期信号Ｓ
Ｈ、ＳＶとは同期することになる。 さらに、ＣＰＵ３
２のブランクタイミング検出部３２ｃは、図２に示した
ように、モニタ用垂直同期信号ＳＶのブランク期間ＴB
のうち、プローブ走査用の水平走査信号Ｓｈの帰線期間
Ｔb の最初に表れる期間を前記垂直ブランク信号ＳＶＢ
に基づいて検出し、このブランク期間ＴB に同期したブ
ランクタイミング信号ＳＢを発生する。
の例えば１走査ライン分の画像データＤX を記憶できる
データメモリ３２ａを備え、走査期間Ｔs 中にデータバ
スＤＢ１を介して入力される画像データＤをデータメモ
リ３２ａに順次記憶する。また、ＣＰＵ３２の走査信号
発生部３２ｂは、前記基準同期信号ｎＳＨに基づいて、
これに同期するプローブ走査用の水平および垂直走査信
号Ｓｈ、Ｓｖに関するデジタル信号を生成し、それぞれ
Ｄ／Ａ変換器３８、３９へ出力する。すなわち、プロー
ブ用の各走査信号Ｓｈ、Ｓｖとモニタ用の各同期信号Ｓ
Ｈ、ＳＶとは同期することになる。 さらに、ＣＰＵ３
２のブランクタイミング検出部３２ｃは、図２に示した
ように、モニタ用垂直同期信号ＳＶのブランク期間ＴB
のうち、プローブ走査用の水平走査信号Ｓｈの帰線期間
Ｔb の最初に表れる期間を前記垂直ブランク信号ＳＶＢ
に基づいて検出し、このブランク期間ＴB に同期したブ
ランクタイミング信号ＳＢを発生する。
【００１４】画像メモリコントローラ３４は、ＣＰＵ３
２から出力される前記ブランクタイミング信号ＳＢに同
期して画像メモリ３３へライト信号ＷＲを出力する一
方、モニタ用の水平および垂直同期信号ＳＨ，ＳＶに同
期して画像メモリ３３へリード信号ＲＤを出力する。画
像メモリ３３は少なくとも１フレーム（１画面）分の記
憶容量を備え、画像メモリコントローラ３４から出力さ
れるリード信号ＲＤに同期して、記憶した画像データＤ
をＲＡＭ・ＤＡＣ（データテーブルが登録されたＲＡＭ
を備えたＤ／Ａ変換器）３５へ転送する。ＲＡＭ・ＤＡ
Ｃ３５は、転送された画像データＤを映像信号ＶにＤ／
Ａ変換し、同期信号発生部３６から出力される前記モニ
タ用水平および垂直同期信号ＳＨ、ＳＶに同期してモニ
タ装置３７へ出力する。
２から出力される前記ブランクタイミング信号ＳＢに同
期して画像メモリ３３へライト信号ＷＲを出力する一
方、モニタ用の水平および垂直同期信号ＳＨ，ＳＶに同
期して画像メモリ３３へリード信号ＲＤを出力する。画
像メモリ３３は少なくとも１フレーム（１画面）分の記
憶容量を備え、画像メモリコントローラ３４から出力さ
れるリード信号ＲＤに同期して、記憶した画像データＤ
をＲＡＭ・ＤＡＣ（データテーブルが登録されたＲＡＭ
を備えたＤ／Ａ変換器）３５へ転送する。ＲＡＭ・ＤＡ
Ｃ３５は、転送された画像データＤを映像信号ＶにＤ／
Ａ変換し、同期信号発生部３６から出力される前記モニ
タ用水平および垂直同期信号ＳＨ、ＳＶに同期してモニ
タ装置３７へ出力する。
【００１５】このような構成において、走査型プローブ
顕微鏡１０の探針（プローブ）１０ａが試料表面で前記
プローブ用の水平および垂直走査信号Ｓｈ、Ｓｖに同期
してラスタ走査されると、試料の表面形状に応答した画
像信号Ｓが当該走査タイミングに同期して出力される。
この画像信号Ｓは、プローブ走査用の水平走査信号Ｓｈ
の走査期間Ｔs 内であれば、Ａ／Ｄ変換器３１によって
デジタル信号の画像データＤに変換されてＣＰＵ３２の
データメモリ３２ａに一時記憶される。
顕微鏡１０の探針（プローブ）１０ａが試料表面で前記
プローブ用の水平および垂直走査信号Ｓｈ、Ｓｖに同期
してラスタ走査されると、試料の表面形状に応答した画
像信号Ｓが当該走査タイミングに同期して出力される。
この画像信号Ｓは、プローブ走査用の水平走査信号Ｓｈ
の走査期間Ｔs 内であれば、Ａ／Ｄ変換器３１によって
デジタル信号の画像データＤに変換されてＣＰＵ３２の
データメモリ３２ａに一時記憶される。
【００１６】一方、ＣＰＵ３２のブランクタイミング検
出部３２ｃは、走査信号発生部３２ｂから出力されるプ
ローブ水平走査信号Ｓｈの帰線期間Ｔｂと、同期信号発
生部３６から出力されるモニタ用の垂直ブランク信号Ｓ
ＶＢとに基づいて、帰線期間Ｔb の最初に現れるブラン
ク期間ＴB に同期したブランクタイミング信号ＳＢを発
生する。
出部３２ｃは、走査信号発生部３２ｂから出力されるプ
ローブ水平走査信号Ｓｈの帰線期間Ｔｂと、同期信号発
生部３６から出力されるモニタ用の垂直ブランク信号Ｓ
ＶＢとに基づいて、帰線期間Ｔb の最初に現れるブラン
ク期間ＴB に同期したブランクタイミング信号ＳＢを発
生する。
【００１７】ＣＰＵ３２は、ブランクタイミング信号Ｓ
Ｂの発生（例えば、図２に示した例では立ち下がり）タ
イミングで割込処理を開始し、データメモリ３２ａに一
時記憶されている画像データＤX を、この帰線期間Ｔb
の特にブランク期間ＴB 中にデータバスＤＢ２上へ送出
する。このとき、画像メモリコントローラ３４も前記ブ
ランクタイミング信号ＳＢに同期して画像メモリ３３へ
ライト信号ＷＲを出力する。このため、データメモリ３
２ａからデータバスＤＢ２上へ送出された画像データＤ
X は、このブランク期間ＴB 中に画像メモリ３３に転送
されて順次記憶されることになる。なお、当該画像デー
タＤX の画像メモリ３３上での記憶アドレスは、ＣＰＵ
３２からＣＰＵアドレスバスＡＢ１を介して画像メモリ
コントローラ３４へ通知され、さらにメモリアドレスバ
スＡＢ２を介して画像メモリ３３へ通知される。
Ｂの発生（例えば、図２に示した例では立ち下がり）タ
イミングで割込処理を開始し、データメモリ３２ａに一
時記憶されている画像データＤX を、この帰線期間Ｔb
の特にブランク期間ＴB 中にデータバスＤＢ２上へ送出
する。このとき、画像メモリコントローラ３４も前記ブ
ランクタイミング信号ＳＢに同期して画像メモリ３３へ
ライト信号ＷＲを出力する。このため、データメモリ３
２ａからデータバスＤＢ２上へ送出された画像データＤ
X は、このブランク期間ＴB 中に画像メモリ３３に転送
されて順次記憶されることになる。なお、当該画像デー
タＤX の画像メモリ３３上での記憶アドレスは、ＣＰＵ
３２からＣＰＵアドレスバスＡＢ１を介して画像メモリ
コントローラ３４へ通知され、さらにメモリアドレスバ
スＡＢ２を介して画像メモリ３３へ通知される。
【００１８】一方、画像メモリコントローラ３４がモニ
タ用の各同期信号ＳＨ、ＳＶに同期してリード信号ＲＤ
を出力すると、画像メモリ３３は、記憶した画像データ
ＤをＲＡＭ・ＤＡＣ３５へ転送する。ＲＡＭ・ＤＡＣ３
５は、転送された画像データＤに基づいて既登録のデー
タテーブルを参照し、当該画像データに応じた階調デー
タを検索する。そして、この階調データをＤ／Ａ変換し
て映像信号Ｖを生成し、これをモニタ用の各同期信号Ｓ
Ｈ、ＳＶに同期してモニタ装置３７へ出力する。モニタ
装置３７では、入力された映像信号Ｖが各同期信号Ｓ
Ｈ、ＳＶに応答した走査タイミングでモニタ画面上に可
視表示される。
タ用の各同期信号ＳＨ、ＳＶに同期してリード信号ＲＤ
を出力すると、画像メモリ３３は、記憶した画像データ
ＤをＲＡＭ・ＤＡＣ３５へ転送する。ＲＡＭ・ＤＡＣ３
５は、転送された画像データＤに基づいて既登録のデー
タテーブルを参照し、当該画像データに応じた階調デー
タを検索する。そして、この階調データをＤ／Ａ変換し
て映像信号Ｖを生成し、これをモニタ用の各同期信号Ｓ
Ｈ、ＳＶに同期してモニタ装置３７へ出力する。モニタ
装置３７では、入力された映像信号Ｖが各同期信号Ｓ
Ｈ、ＳＶに応答した走査タイミングでモニタ画面上に可
視表示される。
【００１９】このように、本実施形態によれば、データ
メモリ３２ａから画像メモリ３３へのデータ転送が、プ
ローブ走査信号の帰線期間を利用して行われるので、デ
ータメモリ３２ａへの画像データの書き込み動作と当該
データメモリ３２ａから画像メモリ３３へのデータ転送
動作とが時分割的に行われることになる。したがって、
データメモリ３２ａ上には画像データを完全な状態で記
憶できるようになる。
メモリ３２ａから画像メモリ３３へのデータ転送が、プ
ローブ走査信号の帰線期間を利用して行われるので、デ
ータメモリ３２ａへの画像データの書き込み動作と当該
データメモリ３２ａから画像メモリ３３へのデータ転送
動作とが時分割的に行われることになる。したがって、
データメモリ３２ａ上には画像データを完全な状態で記
憶できるようになる。
【００２０】さらに、本実施形態によれば、データメモ
リ３２ａから画像メモリ３３へのデータ転送がプローブ
走査信号の帰線期間を利用して行われるのみならず、こ
の帰線期間がモニタ用同期信号のブランク期間とも一致
するので、表示画面のチラツキや表示欠が防止される。
リ３２ａから画像メモリ３３へのデータ転送がプローブ
走査信号の帰線期間を利用して行われるのみならず、こ
の帰線期間がモニタ用同期信号のブランク期間とも一致
するので、表示画面のチラツキや表示欠が防止される。
【００２１】なお、上記した実施形態では、モニタ用垂
直同期信号ＳＶのブランク期間ＴBのうち、プローブ用
の水平走査信号Ｓｈの帰線期間Ｔb の最初に表れる期間
にデータ転送を行うものとして説明したが、本発明はこ
れのみに限定されるものではなく、モニタ用垂直同期信
号ＳＶのブランク期間ＴB とプローブ用水平走査信号Ｓ
ｈの帰線期間Ｔb とが重なる期間であれば、２番目以降
の期間や複数の期間を利用してデータ転送が行われるよ
うにしても良い。
直同期信号ＳＶのブランク期間ＴBのうち、プローブ用
の水平走査信号Ｓｈの帰線期間Ｔb の最初に表れる期間
にデータ転送を行うものとして説明したが、本発明はこ
れのみに限定されるものではなく、モニタ用垂直同期信
号ＳＶのブランク期間ＴB とプローブ用水平走査信号Ｓ
ｈの帰線期間Ｔb とが重なる期間であれば、２番目以降
の期間や複数の期間を利用してデータ転送が行われるよ
うにしても良い。
【００２２】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、以下
のような効果が達成される。 (1) 試料表面を走査して得られる画像データが順次記憶
されるデータメモリから画像メモリへのデータ転送が、
プローブ走査信号の帰線期間を利用して行われるように
したので、データメモリへの画像データの書き込み動作
が当該データメモリから画像メモリへのデータ転送動作
によって妨げられてしまうことがない。したがって、デ
ータメモリ上には画像データを完全な状態で記憶でき
る。(2) データメモリから画像メモリへのデータ転送が
プローブ走査信号の帰線期間を利用して行われるのみな
らず、この帰線期間がモニタ用同期信号のブランク期間
とも一致するようにしたので、表示画面のチラツキや表
示欠が防止される。
のような効果が達成される。 (1) 試料表面を走査して得られる画像データが順次記憶
されるデータメモリから画像メモリへのデータ転送が、
プローブ走査信号の帰線期間を利用して行われるように
したので、データメモリへの画像データの書き込み動作
が当該データメモリから画像メモリへのデータ転送動作
によって妨げられてしまうことがない。したがって、デ
ータメモリ上には画像データを完全な状態で記憶でき
る。(2) データメモリから画像メモリへのデータ転送が
プローブ走査信号の帰線期間を利用して行われるのみな
らず、この帰線期間がモニタ用同期信号のブランク期間
とも一致するようにしたので、表示画面のチラツキや表
示欠が防止される。
【図１】本発明の一実施形態のブロック図である。
【図２】図１の主要部の信号波形図である。
【図３】従来技術の主要部のブロック図である。
１０ 走査型プローブ顕微鏡 ３１ Ａ／Ｄ変換器 ３２ ＣＰＵ ３２ａ データメモリ ３３ 画像メモリ ３４ 画像メモリコントローラ ３５ ＲＡＭ・ＤＡＣ ３６ 同期信号発生部 ３７ モニタ装置 ３８，３９ Ｄ／Ａ変換器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G01B 21/30 G01B 7/34 H01J 37/252 - 37/295 G01N 23/00 - 23/227 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 プローブに設けられた探針を試料表面で
ラスタ走査して得られる画像情報をモニタ装置上に表示
する走査型プローブ顕微鏡において、 プローブ走査用の水平および垂直走査信号を発生するプ
ローブ走査信号発生手段と、 モニタ装置へ供給する水平および垂直同期信号を発生す
るモニタ用同期信号発生手段と、 前記走査信号の帰線
期間および前記同期信号のブランク期間を検出する検出
手段と、 プローブ走査に応答して得られる画像信号を画像データ
に変換して一時記憶するデータメモリと、 前記データメモリから転送される画像データを順次蓄積
する画像メモリと、 前記画像メモリから画像データを読み出して映像信号に
変換し、これを前記各モニタ用同期信号に同期してモニ
タ装置へ出力する手段とを具備し、 前記データメモリから画像メモリへの画像データの転送
は、プローブ走査信号の帰線期間内であって、かつモニ
タ用同期信号のブランク期間内に行われることを特徴と
する走査型プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】 前記プローブ走査信号はモニタ用同期信
号に同期することを特徴とする請求項１に記載の走査型
プローブ顕微鏡。 - 【請求項３】 前記データメモリから画像メモリへの画
像データの転送は、プローブ走査信号の水平帰線期間内
であって、かつモニタ用同期信号の垂直ブランク期間内
に行われることを特徴とする請求項１または２に記載の
走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9021679A JP3041770B2 (ja) | 1996-10-08 | 1997-02-04 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26754996 | 1996-10-08 | ||
| JP8-267549 | 1996-10-08 | ||
| JP9021679A JP3041770B2 (ja) | 1996-10-08 | 1997-02-04 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10170526A JPH10170526A (ja) | 1998-06-26 |
| JP3041770B2 true JP3041770B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=26358770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9021679A Expired - Fee Related JP3041770B2 (ja) | 1996-10-08 | 1997-02-04 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3041770B2 (ja) |
-
1997
- 1997-02-04 JP JP9021679A patent/JP3041770B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10170526A (ja) | 1998-06-26 |
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