JP3036368B2 - 超音波センサ - Google Patents
超音波センサInfo
- Publication number
- JP3036368B2 JP3036368B2 JP6196910A JP19691094A JP3036368B2 JP 3036368 B2 JP3036368 B2 JP 3036368B2 JP 6196910 A JP6196910 A JP 6196910A JP 19691094 A JP19691094 A JP 19691094A JP 3036368 B2 JP3036368 B2 JP 3036368B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- matching layer
- acoustic matching
- piezoelectric element
- ultrasonic sensor
- radiation surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波センサに関し、超
音波の送波又は送受波を行う超音波センサに関する。
音波の送波又は送受波を行う超音波センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より超音波を利用して物体の検知や
距離の測定を行う超音波センサがある。例えば、特開平
５−２４４６９２号公報には圧電素子と振動ケースと共
振体と基台及び防振体からなり、圧電素子により振動ケ
ースを駆動して超音波を送波する超音波センサが記載さ
れている。この公報のものは圧電素子の外周縁部に溝を
形成して圧電素子を振動ケースに接着する際の余分な接
着材を上記溝で吸収する構成として安定した出力を得る
ことを目的としている。
距離の測定を行う超音波センサがある。例えば、特開平
５−２４４６９２号公報には圧電素子と振動ケースと共
振体と基台及び防振体からなり、圧電素子により振動ケ
ースを駆動して超音波を送波する超音波センサが記載さ
れている。この公報のものは圧電素子の外周縁部に溝を
形成して圧電素子を振動ケースに接着する際の余分な接
着材を上記溝で吸収する構成として安定した出力を得る
ことを目的としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波センサは
安定した出力音圧を得られるものの、車載等で使用する
ための更なる出力音圧の増強については開示がない。
安定した出力音圧を得られるものの、車載等で使用する
ための更なる出力音圧の増強については開示がない。
【０００４】車両の対地速度や車高を測定する車載用の
超音波センサでは路面が濡れたアスファルト等の場合
は、路面による超音波の反射が小さくなるため、出力音
圧を大きくする必要があり、従来の超音波センサではま
だ出力音圧が不足であるという問題があった。
超音波センサでは路面が濡れたアスファルト等の場合
は、路面による超音波の反射が小さくなるため、出力音
圧を大きくする必要があり、従来の超音波センサではま
だ出力音圧が不足であるという問題があった。
【０００５】本発明は上記の点に鑑みなさたもので、音
響整合層を加熱する等により、出力音圧を増大させる超
音波センサを提供することを目的とする。
響整合層を加熱する等により、出力音圧を増大させる超
音波センサを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ガラスバルーンを混合した樹脂からなる音響整合層
に圧電素子を固定した超音波センサにおいて、上記音響
整合層を加熱する加熱手段を設ける。
は、ガラスバルーンを混合した樹脂からなる音響整合層
に圧電素子を固定した超音波センサにおいて、上記音響
整合層を加熱する加熱手段を設ける。
【０００７】請求項２に記載の発明は、樹脂からなる音
響整合層に圧電素子を固定した超音波センサにおいて、
上記音響整合層の放射面に沿う方向の力を放射面と直角
方向の力に変換するよう配向された繊維を上記音響整合
層に設ける。
響整合層に圧電素子を固定した超音波センサにおいて、
上記音響整合層の放射面に沿う方向の力を放射面と直角
方向の力に変換するよう配向された繊維を上記音響整合
層に設ける。
【０００８】
【０００９】請求項３に記載の発明は、ガラスバルーン
を混合した樹脂からなる音響整合層に圧電素子を固定し
た超音波センサにおいて、ガラスバルーンを上記音響整
合層の放射面で高密度となるよう分布させる。
を混合した樹脂からなる音響整合層に圧電素子を固定し
た超音波センサにおいて、ガラスバルーンを上記音響整
合層の放射面で高密度となるよう分布させる。
【００１０】
【作用】請求項１に記載の発明においては、音響整合層
を加熱することにより、音響整合層の弾性率を最適な状
態として出力音圧を増大することができる。
を加熱することにより、音響整合層の弾性率を最適な状
態として出力音圧を増大することができる。
【００１１】請求項２に記載の発明においては、音響整
合層に設けた繊維によって圧電素子の駆動による放射面
に沿う方向の力が放射面と直角方向に変換されるため、
上記変換された分だけ出力音圧が増大する。
合層に設けた繊維によって圧電素子の駆動による放射面
に沿う方向の力が放射面と直角方向に変換されるため、
上記変換された分だけ出力音圧が増大する。
【００１２】
【００１３】請求項３に記載の発明においては、音響整
合層の放射面にガラスバルーンが高密度で分布している
ため、音響整合層の音響インピーダンスは放射面に向け
て徐々に小さくなり空気との整合性が向上し、損失が小
さくなるための出力音圧が増大し、また、ガラスバルー
ンを撥水処理することにより、放射面の撥水効果が大き
くなる。
合層の放射面にガラスバルーンが高密度で分布している
ため、音響整合層の音響インピーダンスは放射面に向け
て徐々に小さくなり空気との整合性が向上し、損失が小
さくなるための出力音圧が増大し、また、ガラスバルー
ンを撥水処理することにより、放射面の撥水効果が大き
くなる。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の一実施例の構成図を示す。同
図中、超音波センサは基台部１０、支持体１１、圧電素
子１４、音響整合層１５より大略構成されている。支持
体１１の一端は基台部１０に固定され、支持体１１の他
端に音響整合層１５が固定されている。また、音響整合
層１５の駆動面（下面）１５ａには圧電素子１４が固着
されている。
図中、超音波センサは基台部１０、支持体１１、圧電素
子１４、音響整合層１５より大略構成されている。支持
体１１の一端は基台部１０に固定され、支持体１１の他
端に音響整合層１５が固定されている。また、音響整合
層１５の駆動面（下面）１５ａには圧電素子１４が固着
されている。
【００１５】音響整合層１５はエポキシ樹脂に直径十数
ミクロンで中空のガラスバルーンを混合して円盤状に形
成したものである。これは樹脂だけだと重量が重くなり
音響インピーダンスが空気に対して大きく、空気との音
響インピーダンスの整合がとれないので、ガラスバルー
ンを混合して重量を軽くして空気との音響インピーダン
スの整合性をとっている。
ミクロンで中空のガラスバルーンを混合して円盤状に形
成したものである。これは樹脂だけだと重量が重くなり
音響インピーダンスが空気に対して大きく、空気との音
響インピーダンスの整合がとれないので、ガラスバルー
ンを混合して重量を軽くして空気との音響インピーダン
スの整合性をとっている。
【００１６】この音響整合層１５の外周にはヒータ２０
が配設されている。このヒータ２０はヒータ制御回路２
２のオン・オフ制御により、オン時にヒータ電源２３か
ら電源を供給されて音響整合層１５を加熱する。
が配設されている。このヒータ２０はヒータ制御回路２
２のオン・オフ制御により、オン時にヒータ電源２３か
ら電源を供給されて音響整合層１５を加熱する。
【００１７】圧電素子１４は例えばＰＺＴ（チタン酸ジ
ルコン酸鉛）系の圧電セラミックで円盤状に形成したも
のである。圧電素子１４の両面に設けられた端子１４
ａ，１４ｂには信号源２４から所定周波数の信号が供給
される。圧電素子１４は上記信号の印加によって、主
に、径方向（矢印Ｘ方向）に伸縮して振動する。この圧
電素子１４の振動によって音響整合層１５が振動し、音
響整合層１５の放射面（上面）１５ｂから超音波が発せ
られる。
ルコン酸鉛）系の圧電セラミックで円盤状に形成したも
のである。圧電素子１４の両面に設けられた端子１４
ａ，１４ｂには信号源２４から所定周波数の信号が供給
される。圧電素子１４は上記信号の印加によって、主
に、径方向（矢印Ｘ方向）に伸縮して振動する。この圧
電素子１４の振動によって音響整合層１５が振動し、音
響整合層１５の放射面（上面）１５ｂから超音波が発せ
られる。
【００１８】なお、圧電素子１４、音響整合層１５夫々
には温度センサ２５，２６が夫々設けられており、温度
センサ２５，２６夫々の検出温度はヒータ制御回路２２
に供給されている。
には温度センサ２５，２６が夫々設けられており、温度
センサ２５，２６夫々の検出温度はヒータ制御回路２２
に供給されている。
【００１９】ここで、音響整合層１５は前述の如く音響
インピーダンスを小さくするためにガラスバルーンを混
合されている。このため音響整合層１５は樹脂単体で形
成した場合よりも弾性率が大きく、つまり硬くなってい
る。圧電素子に信号源２４から信号を供給してヒータ２
０に通電して音響整合層１５を加熱すると、音響整合層
１５の温度は図２の実線Ｉに示す如く上昇し、これと共
に超音波センサの出力する音圧は図２の実線IIに示す如
く、音響整合層１５の温度がＴｂからＴａの範囲でピー
クとなり、温度がＴｂ（例えば４０℃）以下、及びＴａ
（例えば６０℃）以上で小さくなる。
インピーダンスを小さくするためにガラスバルーンを混
合されている。このため音響整合層１５は樹脂単体で形
成した場合よりも弾性率が大きく、つまり硬くなってい
る。圧電素子に信号源２４から信号を供給してヒータ２
０に通電して音響整合層１５を加熱すると、音響整合層
１５の温度は図２の実線Ｉに示す如く上昇し、これと共
に超音波センサの出力する音圧は図２の実線IIに示す如
く、音響整合層１５の温度がＴｂからＴａの範囲でピー
クとなり、温度がＴｂ（例えば４０℃）以下、及びＴａ
（例えば６０℃）以上で小さくなる。
【００２０】また、音響整合層１５の温度・弾性率特性
は図３の実線のようになる。ここで０℃近傍の音響整合
層１５の弾性率をＡとすると、温度Ｔｂの弾性率は略
０．９Ａ、温度Ｔａの弾性率は略０．７Ａに相当する。
は図３の実線のようになる。ここで０℃近傍の音響整合
層１５の弾性率をＡとすると、温度Ｔｂの弾性率は略
０．９Ａ、温度Ｔａの弾性率は略０．７Ａに相当する。
【００２１】ヒータ制御回路２２では温度センサ２６の
検出温度がＴｂ以下のときヒータ電源２３をオンとし、
検出温度がＴａ以上のときヒータ電源２３をオフとする
制御を行う。また、圧電素子１４の温度が上昇すると共
振周波数がずれる。このため、ヒータ制御回路２２で
は、圧電素子１４の共振周波数が１ＫＨｚ以上ずれる温
度Ｔｃと温度センサ２５の検出温度とを比較してこの検
出温度がＴｃ以上となるとヒータ電源２３を強制的にオ
フとし共振周波数のずれを抑止している。
検出温度がＴｂ以下のときヒータ電源２３をオンとし、
検出温度がＴａ以上のときヒータ電源２３をオフとする
制御を行う。また、圧電素子１４の温度が上昇すると共
振周波数がずれる。このため、ヒータ制御回路２２で
は、圧電素子１４の共振周波数が１ＫＨｚ以上ずれる温
度Ｔｃと温度センサ２５の検出温度とを比較してこの検
出温度がＴｃ以上となるとヒータ電源２３を強制的にオ
フとし共振周波数のずれを抑止している。
【００２２】これにより、図４の実線III に示す従来の
超音波センサの周波数・音圧特性に対して、上記実施例
の周波数・音圧特性は実線IVに示す如く向上する。
超音波センサの周波数・音圧特性に対して、上記実施例
の周波数・音圧特性は実線IVに示す如く向上する。
【００２３】ところで、圧電素子１４は主に径方向（図
１の矢印Ｘ方向）に振動し、これによって音響整合層１
５が曲げ応力が発生して音響整合層１５が上下方向（矢
印Ｙ方向）に振動し超音波が発せられ、その出力音圧は
音響整合層１５の上下方向の振幅に比例する。
１の矢印Ｘ方向）に振動し、これによって音響整合層１
５が曲げ応力が発生して音響整合層１５が上下方向（矢
印Ｙ方向）に振動し超音波が発せられ、その出力音圧は
音響整合層１５の上下方向の振幅に比例する。
【００２４】このため、圧電素子１４の径方向振動を音
響整合層１５の上下方向振動に効率良く変換するように
音響整合層１５に図５（Ａ），（Ｂ）に示す如く非伸縮
繊維３０を埋設し、音響整合層１５に異方性を付与す
る。この非伸縮繊維３０としてはＳｉＣ等のガラス繊維
を用い、２次元的には図５（Ａ）に示し、３次元的には
図５（Ｂ）に示す如く、非伸縮繊維３０を駆動面１５ａ
の中心に集中させ、放射面１５ｂで周縁方向に拡げ、円
錐状に配向させる。製造時には非伸縮繊維３０を上記の
如く円錐状に配列させて型に入れ、ガラスバルーンを混
合したエポキシ樹脂を型に流し込んで形成する。図６に
その斜視図を示す。
響整合層１５の上下方向振動に効率良く変換するように
音響整合層１５に図５（Ａ），（Ｂ）に示す如く非伸縮
繊維３０を埋設し、音響整合層１５に異方性を付与す
る。この非伸縮繊維３０としてはＳｉＣ等のガラス繊維
を用い、２次元的には図５（Ａ）に示し、３次元的には
図５（Ｂ）に示す如く、非伸縮繊維３０を駆動面１５ａ
の中心に集中させ、放射面１５ｂで周縁方向に拡げ、円
錐状に配向させる。製造時には非伸縮繊維３０を上記の
如く円錐状に配列させて型に入れ、ガラスバルーンを混
合したエポキシ樹脂を型に流し込んで形成する。図６に
その斜視図を示す。
【００２５】圧電素子１４の振動によって音響整合層１
５が径方向に振動し非伸縮繊維３０に図５（Ａ）に示す
如くベクトルａが加わると、ベクトルａは繊維３０の長
手方向の成分ｂと、これと直交する方向の成分ｃとに分
解され、繊維３０は非伸縮性であるために成分ｃが残
り、音響整合層１５は成分ｃによって上下方向に振動す
る。
５が径方向に振動し非伸縮繊維３０に図５（Ａ）に示す
如くベクトルａが加わると、ベクトルａは繊維３０の長
手方向の成分ｂと、これと直交する方向の成分ｃとに分
解され、繊維３０は非伸縮性であるために成分ｃが残
り、音響整合層１５は成分ｃによって上下方向に振動す
る。
【００２６】これによって音響整合層１５の上下方向の
振動の振幅が増大し、出力音圧が増大する。
振動の振幅が増大し、出力音圧が増大する。
【００２７】また、図１の如く、音響整合層１５が支持
体１１に固定されていると、音響整合層１５の振動は制
限され、振幅が小さくなる。このため、図７に示す如
く、支持体１０の代りにボデー部を支持体１６及び枠体
１７で形成する。支持体１６の一端を基台部１０に固定
する。次に、圧電素子１４を固着した音響整合層１５を
支持体１６上に載置し、支持体１６の他端に環状の枠体
１７を固定する。枠体１７は鍔部１７ａを有しており、
これによって、音響整合層１５の周縁部は支持体１６及
び枠体１７によって挟み込んだ構造となるが、支持体１
６から鍔部１７ａまでの高さは音響整合層１５の高さよ
り数十〜数百ミクロンだけ大とされ、かつ枠体１７の内
径は音響整合層１５の外径より数十〜数百ミクロンだけ
大とされている。
体１１に固定されていると、音響整合層１５の振動は制
限され、振幅が小さくなる。このため、図７に示す如
く、支持体１０の代りにボデー部を支持体１６及び枠体
１７で形成する。支持体１６の一端を基台部１０に固定
する。次に、圧電素子１４を固着した音響整合層１５を
支持体１６上に載置し、支持体１６の他端に環状の枠体
１７を固定する。枠体１７は鍔部１７ａを有しており、
これによって、音響整合層１５の周縁部は支持体１６及
び枠体１７によって挟み込んだ構造となるが、支持体１
６から鍔部１７ａまでの高さは音響整合層１５の高さよ
り数十〜数百ミクロンだけ大とされ、かつ枠体１７の内
径は音響整合層１５の外径より数十〜数百ミクロンだけ
大とされている。
【００２８】このため、音響整合層１５の振動が制限さ
れることがなくなり、出力音圧が増大する。
れることがなくなり、出力音圧が増大する。
【００２９】車高計測，対地速度計測等の車載用として
超音波センサを用いる場合、音響整合層１５に油、ド
ロ、水等が付着すると超音波の反射や拡散が生じ、出力
音圧及び感度が減少する。このため車載用では音響整合
層１５の撥水処理は不可欠である。撥水処理は例えばフ
ロオロアルキルシラン０．１＋テトラエトキシラン０．
９の溶液を浸した後、３００℃程度に加熱して行う。し
かし、音響整合層１５は図８に示す如く、ガラスバルー
ン３５をエポキシ樹脂３６に均一に混合して形成されて
おり、母材としてエポキシ樹脂を用いているために加熱
処理を行うと変形が生じるので上記撥水処理を行うこと
はできない。
超音波センサを用いる場合、音響整合層１５に油、ド
ロ、水等が付着すると超音波の反射や拡散が生じ、出力
音圧及び感度が減少する。このため車載用では音響整合
層１５の撥水処理は不可欠である。撥水処理は例えばフ
ロオロアルキルシラン０．１＋テトラエトキシラン０．
９の溶液を浸した後、３００℃程度に加熱して行う。し
かし、音響整合層１５は図８に示す如く、ガラスバルー
ン３５をエポキシ樹脂３６に均一に混合して形成されて
おり、母材としてエポキシ樹脂を用いているために加熱
処理を行うと変形が生じるので上記撥水処理を行うこと
はできない。
【００３０】このため、本実施例では、まず、ガラスバ
ルーン３５に撥水処理を施す。ガラスバルーンは材料が
ガラスであるので撥水処理は可能である。この後、ガラ
スバルーン３５をエポキシ樹脂３６に混合し、遠心分離
等によって図９に示す如くガラスバルーン３５が放射面
１５ｂで高密度となり、駆動面１５ａで低密度となるよ
うに不均一に分布させて固化させる。
ルーン３５に撥水処理を施す。ガラスバルーンは材料が
ガラスであるので撥水処理は可能である。この後、ガラ
スバルーン３５をエポキシ樹脂３６に混合し、遠心分離
等によって図９に示す如くガラスバルーン３５が放射面
１５ｂで高密度となり、駆動面１５ａで低密度となるよ
うに不均一に分布させて固化させる。
【００３１】これによって、音響整合層１５の放射面１
５ｂには撥水処理されたガラスバルーン３５が高密度に
存在するため、音響整合層１５の放射面１５ｂの撥水効
果が大となり、油、ドロ、水等の付着による出力音圧及
び感度の低下を防止できる。ところで、ガラスバルーン
３５に撥水処理を施さない場合であっても、音響整合層
１５のガラスバルーン密度を駆動面１５ａから放射面１
５ｂに向けて高密度となるように傾斜させることによ
り、音響整合層１５の音響インピーダンスは放射面に向
けて徐々に小さくなり空気との整合性が向上し、損失が
小さくなるための出力音圧が増大する。
５ｂには撥水処理されたガラスバルーン３５が高密度に
存在するため、音響整合層１５の放射面１５ｂの撥水効
果が大となり、油、ドロ、水等の付着による出力音圧及
び感度の低下を防止できる。ところで、ガラスバルーン
３５に撥水処理を施さない場合であっても、音響整合層
１５のガラスバルーン密度を駆動面１５ａから放射面１
５ｂに向けて高密度となるように傾斜させることによ
り、音響整合層１５の音響インピーダンスは放射面に向
けて徐々に小さくなり空気との整合性が向上し、損失が
小さくなるための出力音圧が増大する。
【００３２】
【発明の効果】上述の如く、請求項１に記載の発明によ
れば、音響整合層を加熱することにより、音響整合層の
弾性率を最適な状態として出力音圧を増大することがで
きる。また、請求項２に記載の発明によれば、音響整合
層に設けた繊維によって圧電素子の駆動による放射面に
沿う方向の力が放射面と直角方向に変換されるため、上
記変換された分だけ出力音圧が増大する。
れば、音響整合層を加熱することにより、音響整合層の
弾性率を最適な状態として出力音圧を増大することがで
きる。また、請求項２に記載の発明によれば、音響整合
層に設けた繊維によって圧電素子の駆動による放射面に
沿う方向の力が放射面と直角方向に変換されるため、上
記変換された分だけ出力音圧が増大する。
【００３３】
【００３４】また、請求項３に記載の発明によれば、音
響整合層の放射面にガラスバルーンが高密度で分布して
いるため、音響整合層の音響インピーダンスは放射面に
向けて徐々に小さくなり空気との整合性が向上し、損失
が小さくなるための出力音圧が増大し、また、ガラスバ
ルーンを撥水処理することにより、放射面の撥水効果が
大きくなり、実用上きわめて有用である。
響整合層の放射面にガラスバルーンが高密度で分布して
いるため、音響整合層の音響インピーダンスは放射面に
向けて徐々に小さくなり空気との整合性が向上し、損失
が小さくなるための出力音圧が増大し、また、ガラスバ
ルーンを撥水処理することにより、放射面の撥水効果が
大きくなり、実用上きわめて有用である。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】音響整合層の音度を出力音圧の関係を示す図で
ある。
ある。
【図３】音響整合層の温度・弾性率特性を示す図であ
る。
る。
【図４】音響整合層の周波数・音圧特性を示す図であ
る。
る。
【図５】音響整合層の構造を説明するための図である。
【図６】音響整合層の構造を説明するための図である。
【図７】本発明の一実施例の構成図である。
【図８】音響整合層の構造を説明するための図である。
【図９】音響整合層の構造を説明するための図である。
１０ 基台部 １１ 支持体 １４ 圧電素子 １５ 音響整合層 １５ｂ 放射面 ２０ ヒータ ２２ ヒータ制御回路 ２３ ヒータ電源 ２４ 信号源 ２５，２６ 温度センサ ３０ 非伸縮繊維 ３５ ガラスバルーン ３６ 樹脂
Claims (3)
- 【請求項１】 ガラスバルーンを混合した樹脂からなる
音響整合層に圧電素子を固定した超音波センサにおい
て、 上記音響整合層を加熱する加熱手段を設けたことを特徴
とする超音波センサ。 - 【請求項２】 樹脂からなる音響整合層に圧電素子を固
定した超音波センサにおいて、 上記音響整合層の放射面に沿う方向の力を放射面と直角
方向の力に変換するよう配向された繊維を上記音響整合
層に設けたことを特徴とする超音波センサ。 - 【請求項３】 ガラスバルーンを混合した樹脂からなる
音響整合層に圧電素子を固定した超音波センサにおい
て、 撥水処理したガラスバルーンを上記音響整合層の放射面
で高密度となるよう分布させたことを特徴とする超音波
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6196910A JP3036368B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 超音波センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6196910A JP3036368B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 超音波センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0865795A JPH0865795A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3036368B2 true JP3036368B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=16365695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6196910A Expired - Fee Related JP3036368B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 超音波センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3036368B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3933350A1 (en) * | 2020-07-03 | 2022-01-05 | Huba Control Ag | Sensor assembly |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003143685A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-16 | Murata Mfg Co Ltd | 音響整合層の製造方法およびそれを用いて製造された音響整合層 |
| DE10158144A1 (de) | 2001-11-27 | 2003-06-26 | Adolf Thies Gmbh & Co Kg | Ultraschallwandler für den Einsatz unter extremen klimatischen Bedingungen |
| KR100891547B1 (ko) * | 2008-07-07 | 2009-04-03 | (주)하기소닉 | 발수 기능을 가진 초음파센서 |
| JP2011039003A (ja) | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 超音波センサ |
| US9105835B2 (en) | 2010-12-10 | 2015-08-11 | Mitsubishi Electric Corporation | Air-coupled ultrasonic sensor |
| JP5956157B2 (ja) * | 2012-01-06 | 2016-07-27 | 日本セラミック株式会社 | 音響整合層を用いた空中用超音波送受波器。 |
| JP6617269B2 (ja) * | 2015-06-02 | 2019-12-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 超音波振動子およびそれを用いた超音波流量計 |
| JP6907620B2 (ja) * | 2017-03-16 | 2021-07-21 | ヤマハ株式会社 | 振動トランスデューサ |
| JP2019176291A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 超音波送受波器 |
-
1994
- 1994-08-22 JP JP6196910A patent/JP3036368B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3933350A1 (en) * | 2020-07-03 | 2022-01-05 | Huba Control Ag | Sensor assembly |
| WO2022003050A1 (en) * | 2020-07-03 | 2022-01-06 | Huba Control Ag | Sensor assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0865795A (ja) | 1996-03-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3036368B2 (ja) | 超音波センサ | |
| EP0251797A2 (en) | Non-directional ultrasonic transducer | |
| US20020089262A1 (en) | Cylindrical transducer apparatus | |
| US7576470B2 (en) | Mechanical packaging of surface acoustic wave device for sensing applications | |
| JPH09126861A (ja) | 超音波変換器 | |
| CN105307785B (zh) | 具有模块化的超声波转换器的环境传感装置和具有该环境传感装置的机动车 | |
| US6239535B1 (en) | Omni-directional ultrasonic transducer apparatus having controlled frequency response | |
| JP2798501B2 (ja) | 音波又は超音波変換器 | |
| JP3416648B2 (ja) | 音響トランスデューサー | |
| JP2916178B2 (ja) | ふるい分け装置 | |
| JP2020511906A (ja) | 振動性ダイヤフラムに組み込まれた圧電セラミック変換素子を有する音響変換器 | |
| JPH07284198A (ja) | 音響振動制御材料及びこれを用いた圧電振動子 | |
| CN85102335A (zh) | 复合式超声换能器及其制造方法 | |
| CN105339099B (zh) | 具有超声转换器的周围环境感测装置和具有这种周围环境感测装置的机动车 | |
| JPS6031437B2 (ja) | 円環型探触子及びその製造方法 | |
| JP4610790B2 (ja) | 圧電トランスデューサの製造方法 | |
| JP2592110Y2 (ja) | 超音波洗浄器用振動子 | |
| JP2000253494A (ja) | 超音波センサ用圧電素子 | |
| JPH0736639B2 (ja) | 空中超音波トランスデューサ | |
| JP2000022474A (ja) | 超音波振動子の接着方法 | |
| JPH0241999Y2 (ja) | ||
| JPH0726732U (ja) | 超音波センサー | |
| JP3652566B6 (ja) | 超音波振動子 | |
| JP3652566B2 (ja) | 超音波振動子 | |
| JPS60102098A (ja) | 超音波探触子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090225 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |