JP3033527B2 - コンクリート躯体表面防塵方法 - Google Patents
コンクリート躯体表面防塵方法Info
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- JP3033527B2 JP3033527B2 JP16514297A JP16514297A JP3033527B2 JP 3033527 B2 JP3033527 B2 JP 3033527B2 JP 16514297 A JP16514297 A JP 16514297A JP 16514297 A JP16514297 A JP 16514297A JP 3033527 B2 JP3033527 B2 JP 3033527B2
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- metal
- dustproof
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンクリート躯体
表面防塵方法に関し、特に、コンクリート製建屋内にク
リーンルームを構成する場合における、コンクリート躯
体表面の防塵方法に関する。
表面防塵方法に関し、特に、コンクリート製建屋内にク
リーンルームを構成する場合における、コンクリート躯
体表面の防塵方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンクリート製建屋内にクリーンルーム
を構成する場合、クリーンルームを構成するコンクリー
ト躯体からの発塵を防止する必要がある。図２は、従来
のクリーンルームの防塵方法を説明するための図であ
る。従来の防塵方法では、その簡便さと低コストから、
クリーンルーム建設の直前に、コンクリート躯体２１表
面にエポキシ系の防塵塗料２２を吹き付け塗装２３、又
はローラ塗装２４にて塗布していた。
を構成する場合、クリーンルームを構成するコンクリー
ト躯体からの発塵を防止する必要がある。図２は、従来
のクリーンルームの防塵方法を説明するための図であ
る。従来の防塵方法では、その簡便さと低コストから、
クリーンルーム建設の直前に、コンクリート躯体２１表
面にエポキシ系の防塵塗料２２を吹き付け塗装２３、又
はローラ塗装２４にて塗布していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、ウェハ製造プロ
セスの高度化に伴い、クリーンルーム雰囲気に対する要
求が厳しくなっており、特に、化学増幅型レジストを使
用している場合、アンモニアや有機アミンの影響を受け
易いことから、雰囲気中のアンモニア濃度に関しては、
ｐｇ／ｍ3オーダーの制御が必要であるといわれてい
る。
セスの高度化に伴い、クリーンルーム雰囲気に対する要
求が厳しくなっており、特に、化学増幅型レジストを使
用している場合、アンモニアや有機アミンの影響を受け
易いことから、雰囲気中のアンモニア濃度に関しては、
ｐｇ／ｍ3オーダーの制御が必要であるといわれてい
る。
【０００４】しかしながら、クリーンルームのコンクリ
ート躯体の防塵に使用されているエポキシ系防塵塗料
は、硬化する際にアンモニアを発生し、密閉系で建設さ
れるクリーンルーム内に放出し続け、数μｇ／ｍ3程度
の濃度で、Ｃ／Ｒ（クリーンルーム）中に存在し、問題
となっており、このため、クリーンルーム内にケミカル
フィルタを装着するなど、雰囲気中のアンモニア対策が
必要となっている。
ート躯体の防塵に使用されているエポキシ系防塵塗料
は、硬化する際にアンモニアを発生し、密閉系で建設さ
れるクリーンルーム内に放出し続け、数μｇ／ｍ3程度
の濃度で、Ｃ／Ｒ（クリーンルーム）中に存在し、問題
となっており、このため、クリーンルーム内にケミカル
フィルタを装着するなど、雰囲気中のアンモニア対策が
必要となっている。
【０００５】また、その他のプロセスでも、クリーンル
ーム中の有機物の製品への影響が懸念されており、防塵
塗料のような有機物塗布方法では塗膜から脱ガスされる
有機物の問題が取りざたされている。
ーム中の有機物の製品への影響が懸念されており、防塵
塗料のような有機物塗布方法では塗膜から脱ガスされる
有機物の問題が取りざたされている。
【０００６】また有機物の問題は、防塵塗料だけにとど
まらず、Ｃ／Ｒ（クリーンルーム）建材で使用される接
着剤やシール剤の脱ガスについても問題となるので、施
工方法から考え直す必要がある。
まらず、Ｃ／Ｒ（クリーンルーム）建材で使用される接
着剤やシール剤の脱ガスについても問題となるので、施
工方法から考え直す必要がある。
【０００７】また、クリーンルーム立ち上げ後の生産開
始を考えた場合、竣工後の数ケ月間はアンモニア、有機
物の濃度が極めて高いために、製品の立ち上げが遅れる
要因にもなっている。
始を考えた場合、竣工後の数ケ月間はアンモニア、有機
物の濃度が極めて高いために、製品の立ち上げが遅れる
要因にもなっている。
【０００８】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、アンモニアや有
機物の発生原因となるエポキシ系防塵塗料を塗布するこ
と無しにコンクリート躯体面の防塵可能とした防塵方法
を提供することにある。
てなされたものであって、その目的は、アンモニアや有
機物の発生原因となるエポキシ系防塵塗料を塗布するこ
と無しにコンクリート躯体面の防塵可能とした防塵方法
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のコンクリート防塵方法は、その概略を述べ
れば、コンクリート躯体表面に機械的固定手段で金属薄
膜を設置することにより、防塵を図るようにしたもので
ある。
め、本発明のコンクリート防塵方法は、その概略を述べ
れば、コンクリート躯体表面に機械的固定手段で金属薄
膜を設置することにより、防塵を図るようにしたもので
ある。
【００１０】本発明は、好ましくは、コンクリート躯体
に金属薄板を機械的な固定手段により貼付し、前記金属
薄板は、端面が重なるように設置され、その重合部は機
械的な固定手段にて固定し、さらに、前記金属薄板の重
合面及び前記固定手段による固定部に生じる間隙は、発
塵、脱ガスの少ない材料よりなるシール剤によって封止
する、ことを特徴とする。
に金属薄板を機械的な固定手段により貼付し、前記金属
薄板は、端面が重なるように設置され、その重合部は機
械的な固定手段にて固定し、さらに、前記金属薄板の重
合面及び前記固定手段による固定部に生じる間隙は、発
塵、脱ガスの少ない材料よりなるシール剤によって封止
する、ことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態につ
いて以下に説明する。本発明の防塵方法は、その好まし
い実施の形態において、コンクリート躯体に金属薄板を
機械的な固定手段により貼付し、該金属薄板は、端面が
重なるように設置され、その重合部は機械的な固定手段
にて固定する。そして該金属薄板の重合面及び前記固定
手段による固定部に生じる間隙は所定のシール剤によっ
て封止する。
いて以下に説明する。本発明の防塵方法は、その好まし
い実施の形態において、コンクリート躯体に金属薄板を
機械的な固定手段により貼付し、該金属薄板は、端面が
重なるように設置され、その重合部は機械的な固定手段
にて固定する。そして該金属薄板の重合面及び前記固定
手段による固定部に生じる間隙は所定のシール剤によっ
て封止する。
【００１２】本発明の実施の形態においては、固定手段
としては金属錨等の締結手段が用いられ、また金属薄膜
は耐食性の優れた材料が用いられる。またシール剤は、
発塵・脱ガスの少ない材料が用いられる。
としては金属錨等の締結手段が用いられ、また金属薄膜
は耐食性の優れた材料が用いられる。またシール剤は、
発塵・脱ガスの少ない材料が用いられる。
【００１３】上記した本発明の好ましい実施の形態の作
用効果について説明すると、コンクリート躯体表面の防
塵対策として金属薄板を貼付することで対応したことに
より、従来法のエポキシ系防塵塗装によるアンモニア脱
ガスによるクリーンルーム内アンモニア濃度をｐｇ／ｍ
3オーダーに低減することができる。
用効果について説明すると、コンクリート躯体表面の防
塵対策として金属薄板を貼付することで対応したことに
より、従来法のエポキシ系防塵塗装によるアンモニア脱
ガスによるクリーンルーム内アンモニア濃度をｐｇ／ｍ
3オーダーに低減することができる。
【００１４】また、本発明の実施の形態においては、防
塵塗装を用いず、金属薄板の設置のために接着剤を使用
せず、機械的固定手段を用いているため、有機物の使用
量が減少し、結果的に、有機物濃度を激減することがで
きる。そして、竣工直後のクリーンルーム内の化学物質
濃度を従来法よりも低減することができるため、竣工後
のライン立ち上げ期間を短縮することができる。
塵塗装を用いず、金属薄板の設置のために接着剤を使用
せず、機械的固定手段を用いているため、有機物の使用
量が減少し、結果的に、有機物濃度を激減することがで
きる。そして、竣工直後のクリーンルーム内の化学物質
濃度を従来法よりも低減することができるため、竣工後
のライン立ち上げ期間を短縮することができる。
【００１５】
【実施例】上記した本発明の実施の形態について更に具
体例に即して説明すべく、本発明の実施例について図面
を参照して以下に説明する。
体例に即して説明すべく、本発明の実施例について図面
を参照して以下に説明する。
【００１６】図１は本発明の一実施例を説明するための
断面図である。図１を参照して、本発明の一実施例のコ
ンクリート防塵方法について説明する。
断面図である。図１を参照して、本発明の一実施例のコ
ンクリート防塵方法について説明する。
【００１７】本実施例のコンクリート防塵方法では、コ
ンクリート躯体１１に対し、防塵の目的で、直接、耐食
性のある外部構造用材料であるＳＵＳ（ステンレス鋼
材）製薄板１２を、金属錨１３を用いて、貼付してい
る。このため、塗料・接着剤など脱ガスのある防塵方法
を用いていない。
ンクリート躯体１１に対し、防塵の目的で、直接、耐食
性のある外部構造用材料であるＳＵＳ（ステンレス鋼
材）製薄板１２を、金属錨１３を用いて、貼付してい
る。このため、塗料・接着剤など脱ガスのある防塵方法
を用いていない。
【００１８】次に、本発明の一実施例のコンクリート躯
体防塵方法の施工手順について図１を参照して説明す
る。図１は、ＲＣ造の建物内にクリーンルームを展開す
る場合を示したものである。
体防塵方法の施工手順について図１を参照して説明す
る。図１は、ＲＣ造の建物内にクリーンルームを展開す
る場合を示したものである。
【００１９】まず、コンクリート打設後の躯体１１表面
に、ＳＵＳ製薄板１２を、金属錨１３を用いて直接固定
する。このとき使用するＳＵＳ製薄板１２は、コンクリ
ート躯体の形状に合わせ予め整形されたものを用いる。
に、ＳＵＳ製薄板１２を、金属錨１３を用いて直接固定
する。このとき使用するＳＵＳ製薄板１２は、コンクリ
ート躯体の形状に合わせ予め整形されたものを用いる。
【００２０】この場合、特に、天井部分につきだしてい
る梁１４等に施工する場合においては、図に示すよう
に、予め寸法通りに、折り曲げ加工しておく。
る梁１４等に施工する場合においては、図に示すよう
に、予め寸法通りに、折り曲げ加工しておく。
【００２１】この整形済みのＳＵＳ製薄板１２を固定す
るときに用いる固定用金属錨１３の打設間隔は、ＳＵＳ
製薄板１２の厚さにもよるが、０．５ｍｍ程度の厚さの
ＳＵＳ製薄板であれば、例えば５００ｍｍピッチ程度の
間隔で打設することが好ましい。
るときに用いる固定用金属錨１３の打設間隔は、ＳＵＳ
製薄板１２の厚さにもよるが、０．５ｍｍ程度の厚さの
ＳＵＳ製薄板であれば、例えば５００ｍｍピッチ程度の
間隔で打設することが好ましい。
【００２２】そして、ＳＵＳ製薄板１２同士の端面同士
は、互いに重なるように設置される。
は、互いに重なるように設置される。
【００２３】図１（ｂ）は、ＳＵＳ製薄板１２端面の重
合部の断面を拡大して示した部分拡大図である。図１
（ｂ）に示すように、その重なり部分を縫うように、鋲
（錨）１３を打つことにより、コンクリート躯体１１や
ＳＵＳ製薄板１２の伸びに対しても良好に追従すること
ができ、かつ、金属錨１３の打設本数を低減することが
できる。
合部の断面を拡大して示した部分拡大図である。図１
（ｂ）に示すように、その重なり部分を縫うように、鋲
（錨）１３を打つことにより、コンクリート躯体１１や
ＳＵＳ製薄板１２の伸びに対しても良好に追従すること
ができ、かつ、金属錨１３の打設本数を低減することが
できる。
【００２４】次に、金属錨１３によってコンクリート躯
体１１表面に貼付されるＳＵＳ製薄板１２の重合面、及
び、金属錨１３の打設箇所に生じる間隙からの発塵を防
止するため、当該間隙にシール剤１５を充填してシール
（封止）を行う（図１（ｂ）参照）。
体１１表面に貼付されるＳＵＳ製薄板１２の重合面、及
び、金属錨１３の打設箇所に生じる間隙からの発塵を防
止するため、当該間隙にシール剤１５を充填してシール
（封止）を行う（図１（ｂ）参照）。
【００２５】このシール剤１４については、発塵・脱ガ
スの少ない材質、例えば、シロキサンの含有量の少ない
低シロキサンシーラント等が好ましい。
スの少ない材質、例えば、シロキサンの含有量の少ない
低シロキサンシーラント等が好ましい。
【００２６】上記した本実施例のコンクリート躯体防塵
方法の施工手順に従って防塵処理を施すことにより、防
塵塗装に起因するアンモニウム濃度を、ｐｇ／ｍ3オー
ダーに抑えることが可能となり、また、防塵塗料起因の
有機物脱ガスを防止することも可能となる。
方法の施工手順に従って防塵処理を施すことにより、防
塵塗装に起因するアンモニウム濃度を、ｐｇ／ｍ3オー
ダーに抑えることが可能となり、また、防塵塗料起因の
有機物脱ガスを防止することも可能となる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
コンクリート躯体表面の防塵対策として金属薄板を貼付
することで対応したことにより、従来法のエポキシ系防
塵塗装によるアンモニア脱ガスによるクリーンルーム内
アンモニア濃度をｐｇ／ｍ3オーダーに低減することが
可能となる。
コンクリート躯体表面の防塵対策として金属薄板を貼付
することで対応したことにより、従来法のエポキシ系防
塵塗装によるアンモニア脱ガスによるクリーンルーム内
アンモニア濃度をｐｇ／ｍ3オーダーに低減することが
可能となる。
【００２８】また、本発明においては、防塵塗装はもと
より、金属薄板の設置に接着剤を使用せず機械的固定方
法を使用しているので、有機物の使用量が減少し、結果
的に有機物濃度を激減させることが可能となる。
より、金属薄板の設置に接着剤を使用せず機械的固定方
法を使用しているので、有機物の使用量が減少し、結果
的に有機物濃度を激減させることが可能となる。
【００２９】さらに、本発明によれば、竣工直後のクリ
ーンルーム内の化学物質濃度が、従来法よりも低減でき
るため、竣工後のライン立ち上げ期間を短縮することが
できるという効果を奏するものであり、その実用的価値
は極めて高い。
ーンルーム内の化学物質濃度が、従来法よりも低減でき
るため、竣工後のライン立ち上げ期間を短縮することが
できるという効果を奏するものであり、その実用的価値
は極めて高い。
【図１】本発明の一実施例を説明するためのの断面図で
ある。
ある。
【図２】従来技術の概要を説明するための図である。
１１、２１ コンクリート躯体 １２ ＳＵＳ製薄板 １３ 金属錨 １４ 梁 １５ シール剤 ２２ 防塵塗料 ２３ 吹き付け塗装 ２４ ローラ塗装
Claims (4)
- 【請求項１】コンクリート躯体に金属薄板を機械的な固
定手段により貼付し、前記金属薄板は、端部が重なるよ
うに設置され、その重合部は機械的な固定手段にて固定
し、さらに、前記金属薄板の重合面及び前記固定手段に
よる固定部に生じる間隙は、発塵、脱ガスの少ない材料
よりなるシール剤によって封止する、ことを特徴とする
防塵方法。 - 【請求項２】前記機械的な固定手段として金属錨などの
締結手段を用いる、ことを特徴とする請求項１記載の防
塵方法。 - 【請求項３】前記金属薄膜が、ステンレス鋼材など、耐
食性の構造用材料よりなる、ことを特徴とする請求項１
記載の防塵方法。 - 【請求項４】前記シール剤が、シロキサンの含有量の少
ない低シロキサンシーラントなど、発塵、脱ガスの少な
い材料よりなる、ことを特徴とする請求項１記載の防塵
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16514297A JP3033527B2 (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | コンクリート躯体表面防塵方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16514297A JP3033527B2 (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | コンクリート躯体表面防塵方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10338976A JPH10338976A (ja) | 1998-12-22 |
| JP3033527B2 true JP3033527B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=15806696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16514297A Expired - Fee Related JP3033527B2 (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | コンクリート躯体表面防塵方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3033527B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4711276B2 (ja) * | 2001-02-16 | 2011-06-29 | 株式会社竹中工務店 | コンクリートを発生源とする有害ガスの遮断方法 |
-
1997
- 1997-06-06 JP JP16514297A patent/JP3033527B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10338976A (ja) | 1998-12-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000118 |
|
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