JP3019075B2 - 感光性フィルム、感光性樹脂層の積層方法感光性樹脂層積層基板及び感光性樹脂層の硬化方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はリードフレームやメ
タルマスク等のメタルエッチング加工用として好適に用
いられる感光性フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子の軽薄短小化、少量多
品種化の傾向が進むにつれ、ＩＣチップを基板上に搭載
するために用いられるリードフレームも多ピン化、狭小
化が要求される。これに対しスタンピング法では小型化
に伴う狭小品の製造が出来ず、少量多品種化に伴う金型
代の高騰があるため、少量多品種化には狭小品の製造が
可能で金型の不要なエッチング法が有利である。このよ
うなエッチング法において用いられる感光性樹脂として
は、水溶性液状感光性樹脂、溶剤含有型液状感光性樹
脂、感光性フィルムの３つの形態がある。

【０００３】液状感光性樹脂を用いる場合、塗工装置に
莫大な投資が必要であり、また、塗工にかなり手間がか
かる。感光性樹脂そのもの及び感光性樹脂を塗工した後
の可使期間が短い、感度が低いといった共通の欠点があ
る。さらに個別の欠点として、水溶性液状感光性樹脂
は、カゼイン、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）をクロ
ム酸塩を用いて硬化させるため、有害な重金属塩を使用
後に処理する廃液処理工程が複雑であるという問題があ
り、溶剤含有型液状感光性樹脂は、有機溶剤を塗工中に
排出するため、環境に悪影響を与えるという問題があ
る。

【０００４】一方、感光性フィルムは、透明な支持フィ
ルム上に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥し保護フィルム
を貼りあわせたサンドイッチ構造であり、ラミネート時
に保護フィルムを除去しながら、感光性樹脂層を下地金
属に加熱圧着し、像形成するため、液状感光性樹脂と比
較し設備投資が少なく、感度も高く、可使期間が長い等
の特徴があり、金属精密加工に優れている。

【０００５】一般的に感光性フィルムの支持フィルムと
してはＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム
等のポリエステルフィルムが用いられ、保護フィルムと
してはＰＥ（ポリエチレン）フィルム等のポリオレフィ
ンフィルムが用いられている。保護フィルムはラミネー
ト時に除去される。また通常保護フィルムとして用いら
れるポリオレフィンフィルムは、原材料を熱溶融し、混
練、押出し、２軸延伸又はキャスティング法によって製
造される。一般的にポリオレフィンフィルム等の保護フ
ィルム中にはフィッシュアイとよばれる未溶解及び熱劣
化物を含む。フッシュアイの大きさは一般的に直径
（φ）が３０〜６００μｍで、フィルム表面から２〜４
０μｍの高さで突き出ている。このフィッシュアイの凸
部が感光性樹脂層に転写し感光性樹脂層に凹みを生じ、
ラミネート後の基板上に図１に示すようなエアーボイド
６を生じる。すなわち、支持フィルム１と感光性樹脂層
２とフィッシュアイ４を有する保護フィルムからなる感
光性フィルムを保護フィルムを剥がして基板５にラミネ
ートするとエアーボイド６が生じる。このエアーボイド
は感光性樹脂層の膜厚と相関し、感光性樹脂層の膜厚が
薄いほど発生しやすく、次工程である露光、現像、エッ
チングの像形成において、パターン欠けや断線の原因と
なる。

【０００６】このような現象の対策として、ラミネート
時のはく離性フィルムとして表面平滑なフィルムを用い
ることが特開平３−１２４０２号公報に開示されてい
る。しかし前記公報ではラミネート時のはく離性フィル
ム上に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して感光性樹脂層
を形成し、更にその上に支持フィルムを積層することを
特徴としている。この場合、はく離性フィルムは感光性
樹脂組成物を塗布、乾燥する際の熱による寸法変化のな
い材質を選定する必要があり、材質が限定される。

【０００７】また特公昭５３−３１６７０号公報、特開
昭５１−６３７０２号公報、特開平１−３１４１４４号
公報等に見られるように、真空ラミネート法が有用であ
るが、この方法は、一般的に用いられる常圧ラミネート
法に比較し、装置が大きい、ラミネートするチャンバー
内が真空のため、ゴミが発生しやすい等の問題がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、常圧
ラミネート法において、金属表面を有する基板表面に感
光性フィルムをエアーボイドの発生数を低減して歩留ま
り良く積層することができる作業性に優れた感光性フィ
ルム、感光性樹脂層の積層方法、感光性樹脂層積層基板
及び感光性樹脂層の硬化方法を提供することにある。

【０００９】本発明の他の目的は上記の発明の効果を奏
し、更にラミネート性に優れた感光性フィルムを提供す
ることにある。

【００１０】本発明の他の目的は上記の発明の効果を奏
し、特にリードフレームやメタルマスク等のメタルエッ
チング加工用として優れる感光性フィルムを提供するこ
とにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、支持フィルム
（Ａ）上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）
を形成し、さらにその上に保護フィルム（Ｃ）を張りあ
わせた感光性フィルムにおいて、前記保護フィルム
（Ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ
数が５個／ｍ²以下であり、かつ、感光性樹脂組成物を
含む感光性樹脂層（Ｂ）の膜厚が５〜３０μｍであるこ
とを特徴とする感光性フィルムを提供するものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明における支持フィルム
（Ａ）としては、例えば、帝人社製テトロンフィルムＧ
Ｓシリーズ、デュポン社製マイラーフィルムＤシリーズ
等のポリエステルフィルム等が挙げられる。好ましくは
ポリエチレンテレフタレートフィルムが用いられる。支
持フィルムの膜厚は、１２〜２５μｍであることが好ま
しく、１２μｍより薄い場合機械的強度が低下するた
め、塗工時の支持フィルムが破れるなどの問題が発生す
る傾向があり、一方２５μｍより厚い場合、解像度の低
下及び価格が高くなる傾向がある。

【００１３】本発明における感光性樹脂組成物を含む感
光性樹脂層（Ｂ）の感光性樹脂組成物は感光性を有する
ものであれば特に限定されないが、（ａ）アクリル酸又
はメタクリル酸及びこれらのアルキルエステルを構成モ
ノマーとして共重合してなるバインダーポリマー、
（ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性
不飽和基を有するモノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含
有してなる組成物が好ましく用いられる。

【００１４】バインダーポリマー（ａ）は、単独でも２
種以上を組み合わせて用いることもできる。

【００１５】アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えばアクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエス
テル、アクリル酸ブチルエステル、アクリル酸２−エチ
ルヘキシル等が挙げられる。これらは、単独又は２種以
上を組み合わせて使用される。

【００１６】メタクリル酸アルキルエステルとしては、
例えば、メタクリル酸メチルエステル、メタクリル酸エ
チルエステル、メタクリル酸ブチルエステル、メタクリ
ル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。これらは、単
独又は２種以上を組み合わせて使用される。

【００１７】また前記アクリル酸とメタクリル酸は、併
用することもできる。

【００１８】バインダーポリマーにはアクリル酸又はメ
タクリル酸及びこれらのアルキルエステル以外にもこれ
らと共重合し得るビニルモノマーを構成モノマーとして
用いることができる。アクリル酸又はメタクリル酸及び
これらのアルキルエステル以外のこれらと共重合し得る
ビニルモノマーとしては、例えば、アクリル酸テトラヒ
ドロフルフリルエステル、メタクリル酸テトラヒドロフ
ルフリルエステル、アクリル酸ジメチルアミノメチルエ
ステル、メタクリル酸ジメチルアミノメチルエステル、
アクリル酸グリシジルエステル、メタクリル酸グリシジ
ルエステル、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル
アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピ
ルメタクリレート、アクリルアミド、ジアセトアクリル
アミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。こ
れらは、単独又は２種以上を組み合わせて使用される。

【００１９】上記共重合体は、上記の各成分を混合し、
公知の重合法（溶液重合法等）に従って合成することが
出来る。

【００２０】前記構成モノマーの配合割合は、特に制限
はなく、任意の割合で配合することが出来るが、アルカ
リ現像性とアルカリ耐性のバランスから（ａ）成分のカ
ルボキシル基含有率（使用する全モノマーに対するカル
ボキシル基を有するモノマーの割合）が、１２〜４０重
量％とすることが好ましい。

【００２１】これらの共重合体は、単独又は２種以上を
組み合わせて使用される。

【００２２】本発明における感光性樹脂組成物を含む感
光性樹脂層（Ｂ）のバインダーポリマー（ａ）の重量平
均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法
により測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて換算し
た場合）は、特に制限はないが、機械強度とアルカリ現
像性のバランスから、２０，０００〜３００，０００と
することが好ましく、４０，０００〜２００，０００と
することが更に好ましい。この重量平均分子量が２０，
０００未満では、機械強度が劣る傾向があり、３００，
０００を超えると、アルカリ現像性が劣る傾向がある。

【００２３】本発明における感光性樹脂組成物を含む感
光性樹脂層（Ｂ）の（ｂ）分子内に少なくとも１つの重
合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマーとして
は、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン
酸を反応させて得られる化合物（ポリエチレングリコー
ルジアクリレート、（エチレン基の数が２〜１４のも
の）、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、テトラメチロール
メタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテト
ラアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレ
ート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタ
エリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスル
トールヘキサアクリレート等）、ビスフェノールΑポリ
オキシアルキレンジアクリレート（２，２−ビス（４−
（アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，
２−ビス（４−（アクリロキシペンタエトキシ）フェニ
ル）プロパン、２，２−ビス（４−（アクリロキシジイ
ソプロポキシトリエトキシ）フェニル）プロパン等）、
グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物（トリメチロールプロパントリ
グリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノール
Αジグリシジルエーテルジアクリレート等）、アクリル
酸のアルキルエステル（アクリル酸メチルエステル、ア
クリル酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエステル、
アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等）などが挙げ
られ、これらに対応するメタクリレートやメタクリル酸
エステルなども挙げられる。これらの中で、感度、解像
度、密着性、機械強度等の点から、ビスフェノールΑポ
リオキシアルキレンジメタクリレート等が好ましい。
（ｂ）成分のモノマーは単独で又は２種類以上を組み合
わせて使用される。

【００２４】本発明における感光性樹脂組成物を含む感
光性樹脂層（Ｂ）の（ｃ）光重合開始剤としては、例え
ば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラ
メチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′
−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、
４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、
２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン
等）、ベンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエ
ーテル等）、ベンゾイン（メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジルメチルケター
ル等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体
（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，
５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、
２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メ
トキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二
量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェ
ニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフ
ェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２
−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体等）、アクリジン誘導体（９−
フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリ
ジニル）ヘプタン等）、フェナンソレンキノン（９，１
０−フェナンソレンキノン等）などが挙げられる。これ
らの中で、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量
体等が、感度、解像度等の点から好ましい。（ｃ）成分
の光重合開始剤は、単独で又は２種類以上を組み合わせ
て使用される。

【００２５】上記（ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）成
分を含有する感光性樹脂組成物の（ａ）成分の配合量
は、（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部とし
て、４０〜８０重量部とすることが好ましい。この配合
量が、４０重量部未満では、光硬化物が脆くなり易い傾
向があり、塗膜性に劣る傾向がある。また、８０重量部
を超えると、感度が不十分となる傾向がある。

【００２６】上記（ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）成
分を含有する感光性樹脂組成物の（ｂ）成分の配合量
は、（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部とし
て、２０〜６０重量部とすることが好ましい。この配合
量が、２０重量部未満では、感度が不十分となる傾向が
あり、６０重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向
がある。

【００２７】上記（ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）成
分を含有する感光性樹脂組成物の（ｃ）成分の配合量
は、（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対
して、０．１〜２０重量部とすることが好ましい。この
配合量が、０．１重量部未満では、感度が不十分となる
傾向があり、２０重量部を超えると、露光の際に組成物
の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不十分となる
傾向がある。

【００２８】本発明で用いられる感光性樹脂組成物は、
必要に応じて、可塑性、熱重合禁止剤、ロイコクリスタ
ルバイオレット、トリブロモメチルフェニルスルフォン
等の発色剤、マラカイトグリーン等の染料、顔料、充填
剤、密着性付与剤、香料、イメージング剤等を配合して
もよい。

【００２９】上記（ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）成
分を含有する感光性樹脂組成物は、必要に応じ溶剤を加
えて、溶液とした後、これを支持フィルム（Ａ）上に塗
布、乾燥して感光性樹脂層（Ｂ）を形成する。次いでそ
の感光性樹脂層上に保護フィルム（Ｃ）を貼り合わせる
ことにより、感光性フィルムが得られる。

【００３０】溶剤としては、特に制限はなく、公知のも
のが使用でき、例えば、アセトン、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、クロロホルム、塩化メチレン、トルエン、メタノー
ル、エタノール等が挙げられる。これらは単独で又は２
種類以上を組み合わせて使用される。

【００３１】感光性樹脂層の厚みは、５〜３０μｍであ
ることが必要である。５μｍより薄い場合、追従性が低
下し、欠け、断線が発生し、３０μｍより厚い場合、解
像度が悪化する。好ましい厚みは１０〜２５μｍであ
る。

【００３２】また、感光性樹脂層の粘度（３０℃）は１
５〜５０MPa・sであることが好ましく、２５〜４０MPa・s
であることが更に好ましい。粘度が１５MPa・s（３０
℃）より小さい場合、エッジフュージョンと呼ばれる樹
脂のしみ出しが発生し易くなる傾向があり、５０MPa・s
（３０℃）より大きいと樹脂流動性が低くなり、マイク
ロボイドが発生し易くなる傾向がある。また、粘度の測
定は、ニュートン流体に対する関係式（Ｉ）を用い、１
／Ｚ⁴に対してｔをプロットし、その傾きから求めるこ
とが可能である。

【００３３】

【数１】 また、これらの測定はＴＭＡ装置を用いて測定可能であ
る。

【００３４】本発明に用いられる保護フィルム（Ｃ）中
に含まれる直径（φ）が８０μｍ以上のフィッシュアイ
は５個／ｍ²以下であることが必要である。ここでフィ
ッシュアイとは材料を熱溶融し混練、押出し延伸法又は
キャスティング法によりフィルムを製造する際に、材料
の未溶解及び劣化物がフィルム中に取り込まれたものを
いう。

【００３５】また、フィッシュアイの直径の大きさは材
料によっても異なるが約１０μｍ〜１mmであり、フィル
ム表面からの高さは約１〜５０μｍである。ここでフィ
ッシュアイの大きさの測定方法は、例えば光学顕微鏡、
接触型表面粗さ計、又は走査型電子顕微鏡で測定可能で
ある。なお。フィッシュアイの直径（φ）は最大径を意
味する。

【００３６】また、保護フィルムの表面粗さとしては、
中心線平均粗さＲａが０．００５〜０．０５μｍである
ことが好ましく、０．０１〜０．０３μｍであることが
更に好ましい。表面粗さは、接触型表面粗さ計を用いて
測定可能である。

【００３７】このようにフィッシュアイレベルの良好な
本発明に好適に用いられる保護フィルムは、例えばフィ
ルムを製造する際、原料樹脂を熱溶融後に濾過する等、
フィルムの製造方法の変更を行うことにより製造可能で
ある。

【００３８】また市販のものとして、信越フィルム社製
ＰＰ−タイプＰＴ、東レ社製トレファンＢＯ−２４０
０、ＹＲ１２タイプ、王子製紙社製アルファンＥ２００
シリーズ等のポリプロピレンフィルム等が挙げられるが
これらに限られたものではない。

【００３９】保護フィルム（Ｃ）の膜厚は５〜５０μｍ
であることが好ましく、５〜３０μｍであることが好ま
しい。５μｍより薄い場合、製造が困難となる傾向があ
り、５０μｍより厚い場合、価格が高くなる傾向があ
る。

【００４０】また、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂
層（Ｂ）と支持フィルム（Α）の接着強度が、感光性樹
脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）と保護フィルム
（Ｃ）の接着強度よりも大きいことが好ましい。感光性
樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）と支持フィルム
（Ａ）の接着強度が、感光性樹脂組成物を含む感光性樹
脂層（Ｂ）と保護フィルム（Ｃ）の接着強度よりも小さ
いと、ラミネート時に保護フィルムを除去する際、感光
性樹脂層が保護フィルム側に転写する可能性がある。

【００４１】本発明の感光性フィルムは、リードフレー
ムやメタルマスクなどを製造するのに用いられるメタル
エッチング加工用感光性フィルムとして好適である。

【００４２】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
するが、本発明はこれに限定されるものではない。

【００４３】実施例１〜３及び比較例１〜２ 表１に示す（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分及びそ
の他の成分を混合し、溶液を調製した。

【００４４】

【表１】

【００４５】次いでこの感光性樹脂組成物の溶液を１６
μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一
に塗布し、１００℃の熱風対流乾燥機で約５分間乾燥
し、表２に示す各保護フィルムをラミネートし感光性フ
ィルムを得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は１５μｍ
であった。

【００４６】上記で作製した感光性フィルムの感光性樹
脂層を重ねあわせ厚さ：１mm、直径：７mmの試験片を作
製した。次にＴＭＡ装置（Thermal Analysis：セイコー
電子工業(株)、ＴＭＡ／ＳＳ１００）を用い、３０〜８
０℃での試験片の厚さ方向にそれぞれ２〜４０ｇの荷重
をかけ、厚さの変化量を測定した。次にニュートン流体
に関する関係式（Ｉ）を用いて、１／Ｚ⁴に対してｔを
プロットしその傾きから粘度を求めた。

【００４７】

【数２】

【００４８】一方、厚さ０．１５mmt、２０×２０cm角
の銅合金（ヤマハオーリンメタル社製：ＣＰ−７０２
５）を、３重量％水酸化ナトリウム水溶液、５０℃に１
分間浸漬し、次いで１体積％塩酸水溶液、２５℃に１分
間浸漬し、その後水洗、乾燥し、得られた基板上に前記
感光性フィルムの保護フィルムを除去しながら、ロール
温度：１１０℃、圧力：４kg・f/cm²、速度：２ｍ／分で
ラミネートした。次いで、このようにして得られた基板
を、３kWの超高圧水銀灯（オーク製作所社製、ＨＭＷ−
２０１ＧＸ）で５０mJ/cm²の露光を行った。

【００４９】露光後の基板上のエアーボイド数を１００
倍の顕微鏡を用いて測定した。また、各支持フィルムの
フィッシュアイの大きさ及び数を１００倍の顕微鏡を用
いて測定した。

【００５０】結果を表２にまとめて示す。

【００５１】

【表２】

【００５２】表２から明らかなように、保護フィルム
（Ｃ）として、φ≧８０μｍのフィッシュアイ個数が５
個／ｍ²以下のフィルムを使用することにより、断線、
欠けの原因となるエアーボイドの発生数が減少すること
が分かる。

【００５３】

【発明の効果】本発明の感光性フィルム、感光性樹脂層
の積層方法、感光性樹脂層積層基板及び感光性樹脂層の
硬化方法は、欠け、断線の原因であるエアーボイドの発
生数を低減し、金属精密加工の歩留まり向上に極めて有
用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】エアーボイドの発生を説明する説明図。

【符号の説明】

１ 支持フィルム ２ 感光性樹脂層 ３ 保護フィルム ４ フィッシュアイ ５ 基板 ６ エアーボイド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｇ０３Ｆ 7/027 ５０２ Ｇ０３Ｆ 7/027 ５０２ 7/028 7/028 (56)参考文献 特開 平８−36258（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−195049（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−202457（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−7439（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−233291（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−244642（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/004 B32B 27/32 C08L 23/10 C08L 23/12 C23F 1/00 G03F 7/027 G03F 7/028

Claims (17)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持フィルム（Ａ）上に感光性樹脂組成
   物を含む感光性樹脂層（Ｂ）を形成し、さらにその上に
   保護フィルム（Ｃ）を張りあわせた感光性フィルムにお
   いて、前記保護フィルム（Ｃ）中に含まれる直径８０μ
   ｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ²以下であり、か
   つ、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）の膜厚
   が５〜３０μｍであることを特徴とする感光性フィル
   ム。
2. 【請求項２】 感光性樹脂層（Ｂ）の感光性樹脂組成物
   が、（ａ）アクリル酸又はメタクリル酸及びこれらのア
   ルキルエステルを構成モノマーとして共重合してなるバ
   インダーポリマー、 （ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性
   不飽和基を有するモノマー及び （ｃ）光重合開始剤を含有してなる組成物である請求項
   １記載の感光性フィルム。
3. 【請求項３】 感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂光層
   （Ｂ）と支持フィルム（Ａ）の接着強度が、感光性樹脂
   組成物を含む感光性樹脂光層（Ｂ）と保護フィルム
   （Ｃ）の接着強度よりも大きい請求項１又は２記載の感
   光性フィルム。
4. 【請求項４】 保護フィルムがポリプロピレンフィルム
   である請求項１、２又は３記載の感光性フィルム。
5. 【請求項５】 感光性フィルムがメタルエッチング用で
   ある請求項１、２、３又は４記載の感光性フィルム。
6. 【請求項６】 支持フィルム（Ａ）の膜厚が１２〜２５
   μｍである請求項１、２、３、４又は５記載の感光性フ
   ィルム。
7. 【請求項７】 保護フィルム（Ｃ）の膜厚が５〜５０μ
   ｍである請求項１、２、３、４、５又は６記載の感光性
   フィルム。
8. 【請求項８】 感光性樹脂層（Ｂ）の粘度（３０℃）が
   １５〜５０MPa ・ sである請求項１、２、３、４、５、６
   又は７記載の感光性フィルム。
9. 【請求項９】 （ａ）バインダーポリマーの重量平均分
   子量が２０，０００〜３００，０００である請求項２、
   ３、４、５、６、７又は８記載の感光性フィルム。
10. 【請求項１０】 （ａ）バインダーポリマーのカルボキ
    シル基含有率（使用する全モノマーに対するカルボキシ
    ル基を有するモノマーの割合）が１２〜４０重量％であ
    る請求項２、３、４、５、６、７、８又は９記載の感光
    性フィルム。
11. 【請求項１１】 （ａ）バインダーポリマーがメタクリ
    ル酸を必須の構成モノマーとする請求項２、３、４、
    ５、６、７、８、９又は１０記載の感光性フィルム。
12. 【請求項１２】 （ｂ）分子内に少なくとも１つの重合
    可能なエチレン性不飽和基を有するモノマーがビスフェ
    ノールＡポリオキシアルキレンジアクリレート又はビス
    フェノールＡポリオキシアルキレンジメタクリレートを
    必須成分とする請求項２、３、４、５、６、７、８、
    ９、１０又は１１記載の感光性フィルム。
13. 【請求項１３】 （ｃ）光重合開始剤が２，４，５−ト
    リアリールイミダゾール二量体を必須成分とする請求項
    ２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１又は１２
    記載の感光性フィルム。
14. 【請求項１４】 （ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）成
    分の（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対
    する配合量が、（ａ）成分が４０〜８０重量部、（ｂ）
    成分が２０〜６０重量部及び（ｃ）成分が０．１〜２０
    重量部である請求項２、３、４、５、６、７、８、９、
    １０、１１、１２又は１３記載の感光性フィルム。
15. 【請求項１５】 請求項１、２、３、４、５、６、７、
    ８、９、１０、１１、１２、１３又は１４記載の感光性
    フィルムを、保護フィルム（Ｃ）を除去しながら、基板
    上に感光性樹脂層が密着するようにしてラミネートする
    ことを特徴とする感光性樹脂層の積層方法。
16. 【請求項１６】 請求項１５記載の積層方法により感光
    性樹脂層が積層された感光性樹脂層積層基板。
17. 【請求項１７】 請求項１６記載の感光性樹脂層積層基
    板を露光することを特徴とする感光性樹脂層の硬化方
    法。