JP3005222B2 - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
固体撮像装置およびその製造方法Info
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- JP3005222B2 JP3005222B2 JP63078689A JP7868988A JP3005222B2 JP 3005222 B2 JP3005222 B2 JP 3005222B2 JP 63078689 A JP63078689 A JP 63078689A JP 7868988 A JP7868988 A JP 7868988A JP 3005222 B2 JP3005222 B2 JP 3005222B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、平板マイクロレンズ等の集光効果を有する
固体撮像装置に関し、更に詳しくは結像の為のレンズを
も一体化させた固体撮像装置およびその製造方法に係る
ものである。
固体撮像装置に関し、更に詳しくは結像の為のレンズを
も一体化させた固体撮像装置およびその製造方法に係る
ものである。
[発明の概要] この発明は、固体撮像装置において、固体撮像素子
と、一方の面に集光レンズが形成され、他方の面に結像
用レンズが形成された集光レンズ板とを有し、該集光レ
ンズ板は上記集光レンズが該固体撮像素子の受光部の一
画素毎に対応するように、上記固体撮像素子直上に配置
したことにより、システムの小型化、簡易化を可能とし
た。
と、一方の面に集光レンズが形成され、他方の面に結像
用レンズが形成された集光レンズ板とを有し、該集光レ
ンズ板は上記集光レンズが該固体撮像素子の受光部の一
画素毎に対応するように、上記固体撮像素子直上に配置
したことにより、システムの小型化、簡易化を可能とし
た。
また固体撮像装置の製造方法において、集光レンズの
形成された集光レンズ板の外側に電界を与えて高屈折率
イオンとのイオン交換を行い、該集光レンズに一体的に
結像用レンズを形成し、固体撮像素子の受光部の一画素
毎に上記集光レンズを対応するように上記集光レンズ板
を配置させることにより、固体撮像装置の製造を容易な
らしめた。
形成された集光レンズ板の外側に電界を与えて高屈折率
イオンとのイオン交換を行い、該集光レンズに一体的に
結像用レンズを形成し、固体撮像素子の受光部の一画素
毎に上記集光レンズを対応するように上記集光レンズ板
を配置させることにより、固体撮像装置の製造を容易な
らしめた。
[従来の技術] 従来、この種の固体撮像装置としては、固体撮像素子
の受光部側のパッケージの一部に、各受光部に対向する
集光部を持つ平板マイクロレンズを配設することによ
り、装置の高感度化を図ると共に安定した生産等を実現
するようにしたものがある。
の受光部側のパッケージの一部に、各受光部に対向する
集光部を持つ平板マイクロレンズを配設することによ
り、装置の高感度化を図ると共に安定した生産等を実現
するようにしたものがある。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、このような従来例にあっては、ITVカ
メラ,放送局用カメラ,一体型VTRカメラ等に適用する
場合、固体撮像装置の外部に有限な焦点距離をもつレン
ズを結像の為に必要とし、小型化に限界を生じていた。
また、システムを構成する場合、周辺部品(光学,電気
系を含む)が多くなり製造に手間を要する問題点があっ
た。
メラ,放送局用カメラ,一体型VTRカメラ等に適用する
場合、固体撮像装置の外部に有限な焦点距離をもつレン
ズを結像の為に必要とし、小型化に限界を生じていた。
また、システムを構成する場合、周辺部品(光学,電気
系を含む)が多くなり製造に手間を要する問題点があっ
た。
本発明は、このような問題点に着目して案出されたも
のであって、システム構成が容易で、且つ小型化を可能
とする固体撮像装置およびその製造方法を得んとするも
のである。
のであって、システム構成が容易で、且つ小型化を可能
とする固体撮像装置およびその製造方法を得んとするも
のである。
[課題を解決するための手段] そこで本発明の固体撮像装置は、固体撮像素子と、一
方の面に集光レンズが形成され、他方の面に結像用レン
ズが形成された集光レンズ板とを有し、該集光レンズ板
は上記集光レンズが該固体撮像素子の受光部の一画素毎
に対応するように、上記固体撮像素子直上に配置された
ことを、その解決手段としている。
方の面に集光レンズが形成され、他方の面に結像用レン
ズが形成された集光レンズ板とを有し、該集光レンズ板
は上記集光レンズが該固体撮像素子の受光部の一画素毎
に対応するように、上記固体撮像素子直上に配置された
ことを、その解決手段としている。
また本発明の固体撮像装置の製造方法は、集光レンズ
の形成された集光レンズ板の外側に電界を与えて高屈折
率イオンとのイオン交換を行い、該集光レンズに一体的
に結像用レンズを形成し、固体撮像素子の受光部の一画
素毎に上記集光レンズを対応するように上記集光レンズ
板を配置させることを、その解決手段としている。
の形成された集光レンズ板の外側に電界を与えて高屈折
率イオンとのイオン交換を行い、該集光レンズに一体的
に結像用レンズを形成し、固体撮像素子の受光部の一画
素毎に上記集光レンズを対応するように上記集光レンズ
板を配置させることを、その解決手段としている。
[作用] 固体撮像素子,集光レンズ板及び結像用レンズが一体
的に設けられたため、ユニット化が可能となり、システ
ムの小型化を可能にする。
的に設けられたため、ユニット化が可能となり、システ
ムの小型化を可能にする。
[実施例] 以下、本発明に係る固体撮像装置の詳細を図面に示す
実施例に基づいて説明する。
実施例に基づいて説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す固体撮像装置の構成
図である。本実施例は、図略のパッケージに収容される
固体撮像素子1と、この固体撮像素子1の受光部2側に
対向して配置されたマイクロレンズ3を備えた集光レン
ズ板4と、結像用レンズ5とから成る。
図である。本実施例は、図略のパッケージに収容される
固体撮像素子1と、この固体撮像素子1の受光部2側に
対向して配置されたマイクロレンズ3を備えた集光レン
ズ板4と、結像用レンズ5とから成る。
前記結像用レンズ5の焦点距離は短く設定されてお
り、またこの結像用レンズ5は、集光レンズ板4に一体
的に組み込まれている。なお結像用レンズ5は、平板の
フレネルレンズ又は凹凸レンズでも良い。
り、またこの結像用レンズ5は、集光レンズ板4に一体
的に組み込まれている。なお結像用レンズ5は、平板の
フレネルレンズ又は凹凸レンズでも良い。
一体的に組み込む方法としては、集光レンズの外側に
電界を与えて高屈折率イオンとのイオン交換を行い結像
用レンズを形成し、集光レンズ板に一体的に結像用レン
ズを組込む方法や、ホットプレス等のレコード板を製作
するような成形方法により結像用レンズを集光レンズ板
に一体成形する方法等の各種の設計変更が可能である。
電界を与えて高屈折率イオンとのイオン交換を行い結像
用レンズを形成し、集光レンズ板に一体的に結像用レン
ズを組込む方法や、ホットプレス等のレコード板を製作
するような成形方法により結像用レンズを集光レンズ板
に一体成形する方法等の各種の設計変更が可能である。
このような構成とすることにより、結像用レンズ,集
光レンズ板及び固体撮像素子はコンパクトに一体化し、
小型化が達成されると共に、システムへの組入れが容易
となる。
光レンズ板及び固体撮像素子はコンパクトに一体化し、
小型化が達成されると共に、システムへの組入れが容易
となる。
以上、実施例について説明したが、この他に各種の設
計変更が可能であり、固体撮像装置は、イメージセンサ
ー等であってもラインセンサー等であっても適用出来る
ことはいうまでもない。
計変更が可能であり、固体撮像装置は、イメージセンサ
ー等であってもラインセンサー等であっても適用出来る
ことはいうまでもない。
[発明の効果] 以上の説明より明らかなように、本発明に係る固体撮
像装置およびその製造方法にあっては、焦点距離の比較
的短い結像用レンズを集光レンズ板及び固体撮像素子に
一体的に設けたことにより、例えばITVカメラ,放送局
用カメラ,一体型VTRカメラ等の寸法をさらに小さくす
ることが可能となり、機能性の向上を期する効果があ
る。
像装置およびその製造方法にあっては、焦点距離の比較
的短い結像用レンズを集光レンズ板及び固体撮像素子に
一体的に設けたことにより、例えばITVカメラ,放送局
用カメラ,一体型VTRカメラ等の寸法をさらに小さくす
ることが可能となり、機能性の向上を期する効果があ
る。
また、システム構成が容易となる。即ち、光学系,電
気系等の周辺部品を削減出来、製造を容易にする効果が
ある。
気系等の周辺部品を削減出来、製造を容易にする効果が
ある。
第1図は本発明に係る固体撮像装置の実施例を示す構成
図である。 1……固体撮像素子、2……受光部、3……マイクロレ
ンズ、4……集光レンズ板、5……結像用レンズ。
図である。 1……固体撮像素子、2……受光部、3……マイクロレ
ンズ、4……集光レンズ板、5……結像用レンズ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木下 幸男 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 昭55−124366(JP,A) 特開 昭61−196683(JP,A) 特開 昭61−134186(JP,A) 特開 昭62−42558(JP,A)
Claims (2)
- 【請求項1】固体撮像素子と、一方の面に集光レンズが
形成され、他方の面に結像用レンズが形成された集光レ
ンズ板とを有し、該集光レンズ板は上記集光レンズが該
固体撮像素子の受光部の一画素毎に対応するように、上
記固体撮像素子直上に配置されたことを特徴とする固体
撮像装置。 - 【請求項2】集光レンズの形成された集光レンズ板の外
側に電界を与えて高屈折率イオンとのイオン交換を行
い、該集光レンズに一体的に結像用レンズを形成し、固
体撮像素子の受光部の一画素毎に上記集光レンズを対応
するように上記集光レンズ板を配置させることを特徴と
する固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63078689A JP3005222B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63078689A JP3005222B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01251961A JPH01251961A (ja) | 1989-10-06 |
JP3005222B2 true JP3005222B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=13668838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63078689A Expired - Fee Related JP3005222B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3005222B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL111219A0 (en) * | 1993-10-18 | 1994-12-29 | Hughes Aircraft Co | Microelement assembly |
CN100550430C (zh) * | 2002-09-09 | 2009-10-14 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 半导体器件及其制造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55124366A (en) * | 1979-03-19 | 1980-09-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | Pickup device |
JPS61134186A (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-21 | Toshiba Corp | 固体撮像デバイス |
JPS61196683A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像素子 |
JPS6242558A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-24 | Matsushita Electronics Corp | 固体撮像装置 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP63078689A patent/JP3005222B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01251961A (ja) | 1989-10-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |