JP3005222B2 - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents

固体撮像装置およびその製造方法

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JP3005222B2 JP63078689A JP7868988A JP3005222B2 JP 3005222 B2 JP3005222 B2 JP 3005222B2 JP 63078689 A JP63078689 A JP 63078689A JP 7868988 A JP7868988 A JP 7868988A JP 3005222 B2 JP3005222 B2 JP 3005222B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、平板マイクロレンズ等の集光効果を有する
固体撮像装置に関し、更に詳しくは結像の為のレンズを
も一体化させた固体撮像装置およびその製造方法に係る
ものである。
[発明の概要] この発明は、固体撮像装置において、固体撮像素子
と、一方の面に集光レンズが形成され、他方の面に結像
用レンズが形成された集光レンズ板とを有し、該集光レ
ンズ板は上記集光レンズが該固体撮像素子の受光部の一
画素毎に対応するように、上記固体撮像素子直上に配置
したことにより、システムの小型化、簡易化を可能とし
た。
また固体撮像装置の製造方法において、集光レンズの
形成された集光レンズ板の外側に電界を与えて高屈折率
イオンとのイオン交換を行い、該集光レンズに一体的に
結像用レンズを形成し、固体撮像素子の受光部の一画素
毎に上記集光レンズを対応するように上記集光レンズ板
を配置させることにより、固体撮像装置の製造を容易な
らしめた。
[従来の技術] 従来、この種の固体撮像装置としては、固体撮像素子
の受光部側のパッケージの一部に、各受光部に対向する
集光部を持つ平板マイクロレンズを配設することによ
り、装置の高感度化を図ると共に安定した生産等を実現
するようにしたものがある。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、このような従来例にあっては、ITVカ
メラ,放送局用カメラ,一体型VTRカメラ等に適用する
場合、固体撮像装置の外部に有限な焦点距離をもつレン
ズを結像の為に必要とし、小型化に限界を生じていた。
また、システムを構成する場合、周辺部品(光学,電気
系を含む)が多くなり製造に手間を要する問題点があっ
た。
本発明は、このような問題点に着目して案出されたも
のであって、システム構成が容易で、且つ小型化を可能
とする固体撮像装置およびその製造方法を得んとするも
のである。
[課題を解決するための手段] そこで本発明の固体撮像装置は、固体撮像素子と、一
方の面に集光レンズが形成され、他方の面に結像用レン
ズが形成された集光レンズ板とを有し、該集光レンズ板
は上記集光レンズが該固体撮像素子の受光部の一画素毎
に対応するように、上記固体撮像素子直上に配置された
ことを、その解決手段としている。
また本発明の固体撮像装置の製造方法は、集光レンズ
の形成された集光レンズ板の外側に電界を与えて高屈折
率イオンとのイオン交換を行い、該集光レンズに一体的
に結像用レンズを形成し、固体撮像素子の受光部の一画
素毎に上記集光レンズを対応するように上記集光レンズ
板を配置させることを、その解決手段としている。
[作用] 固体撮像素子,集光レンズ板及び結像用レンズが一体
的に設けられたため、ユニット化が可能となり、システ
ムの小型化を可能にする。
[実施例] 以下、本発明に係る固体撮像装置の詳細を図面に示す
実施例に基づいて説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す固体撮像装置の構成
図である。本実施例は、図略のパッケージに収容される
固体撮像素子1と、この固体撮像素子1の受光部2側に
対向して配置されたマイクロレンズ3を備えた集光レン
ズ板4と、結像用レンズ5とから成る。
前記結像用レンズ5の焦点距離は短く設定されてお
り、またこの結像用レンズ5は、集光レンズ板4に一体
的に組み込まれている。なお結像用レンズ5は、平板の
フレネルレンズ又は凹凸レンズでも良い。
一体的に組み込む方法としては、集光レンズの外側に
電界を与えて高屈折率イオンとのイオン交換を行い結像
用レンズを形成し、集光レンズ板に一体的に結像用レン
ズを組込む方法や、ホットプレス等のレコード板を製作
するような成形方法により結像用レンズを集光レンズ板
に一体成形する方法等の各種の設計変更が可能である。
このような構成とすることにより、結像用レンズ,集
光レンズ板及び固体撮像素子はコンパクトに一体化し、
小型化が達成されると共に、システムへの組入れが容易
となる。
以上、実施例について説明したが、この他に各種の設
計変更が可能であり、固体撮像装置は、イメージセンサ
ー等であってもラインセンサー等であっても適用出来る
ことはいうまでもない。
[発明の効果] 以上の説明より明らかなように、本発明に係る固体撮
像装置およびその製造方法にあっては、焦点距離の比較
的短い結像用レンズを集光レンズ板及び固体撮像素子に
一体的に設けたことにより、例えばITVカメラ,放送局
用カメラ,一体型VTRカメラ等の寸法をさらに小さくす
ることが可能となり、機能性の向上を期する効果があ
る。
また、システム構成が容易となる。即ち、光学系,電
気系等の周辺部品を削減出来、製造を容易にする効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る固体撮像装置の実施例を示す構成
図である。 1……固体撮像素子、2……受光部、3……マイクロレ
ンズ、4……集光レンズ板、5……結像用レンズ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木下 幸男 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 昭55−124366(JP,A) 特開 昭61−196683(JP,A) 特開 昭61−134186(JP,A) 特開 昭62−42558(JP,A)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】固体撮像素子と、一方の面に集光レンズが
    形成され、他方の面に結像用レンズが形成された集光レ
    ンズ板とを有し、該集光レンズ板は上記集光レンズが該
    固体撮像素子の受光部の一画素毎に対応するように、上
    記固体撮像素子直上に配置されたことを特徴とする固体
    撮像装置。
  2. 【請求項2】集光レンズの形成された集光レンズ板の外
    側に電界を与えて高屈折率イオンとのイオン交換を行
    い、該集光レンズに一体的に結像用レンズを形成し、固
    体撮像素子の受光部の一画素毎に上記集光レンズを対応
    するように上記集光レンズ板を配置させることを特徴と
    する固体撮像装置の製造方法。
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