JP3004022B2 - 真空ポンプ用モータ制御装置 - Google Patents
真空ポンプ用モータ制御装置Info
- Publication number
- JP3004022B2 JP3004022B2 JP1222309A JP22230989A JP3004022B2 JP 3004022 B2 JP3004022 B2 JP 3004022B2 JP 1222309 A JP1222309 A JP 1222309A JP 22230989 A JP22230989 A JP 22230989A JP 3004022 B2 JP3004022 B2 JP 3004022B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- voltage
- rotation speed
- vacuum pump
- slip frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は真空ポンプ用モータ制御装置に関し、たと
えばターボ分子ポンプやターボドラッグポンプなどの真
空ポンプに用いられるモータの発熱を少なくするように
制御する真空ポンプ用モータ制御装置に関する。
えばターボ分子ポンプやターボドラッグポンプなどの真
空ポンプに用いられるモータの発熱を少なくするように
制御する真空ポンプ用モータ制御装置に関する。
［従来の技術および発明が解決しようとする課題］ ターボ分子ポンプなどの軸流ポンプ用のモータは真空
中に配置されるため、モータの発熱対策が問題となる。
このような発熱対策の一例として、特開昭60−190696号
公報において提案されたターボ分子ポンプのモータ制御
方式がある。この提案された方式では、ターボ分子ポン
プ内の圧力，モータの駆動時間またはロータの回転数を
検出し、その検出出力と設定値とを比較し、検知出力が
設定値以上のときにモータを停止し、設定値以下でモー
タの起動を行なうように制御している。
中に配置されるため、モータの発熱対策が問題となる。
このような発熱対策の一例として、特開昭60−190696号
公報において提案されたターボ分子ポンプのモータ制御
方式がある。この提案された方式では、ターボ分子ポン
プ内の圧力，モータの駆動時間またはロータの回転数を
検出し、その検出出力と設定値とを比較し、検知出力が
設定値以上のときにモータを停止し、設定値以下でモー
タの起動を行なうように制御している。
さらに、他の方法として、モータ定常運転時にモータ
の印加電圧を下げ、定常回転時のモータの入力電力を減
らす方法も提案されている。
の印加電圧を下げ、定常回転時のモータの入力電力を減
らす方法も提案されている。
しかしながら、上述の提案されたいずれの方法も、ポ
ンプ内の圧力変動によりモータの回転数も変動し、一定
のポンプ排気性能を維持できないという欠点があった。
ンプ内の圧力変動によりモータの回転数も変動し、一定
のポンプ排気性能を維持できないという欠点があった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、モータの定常
運転時に印加電圧を下げてモータ入力電力を低減し、モ
ータの発熱を抑えるとともに負荷が変動しても回転数が
変動しないように負荷に応じて印加電圧を制御するよう
にした真空ポンプ用モータ制御装置を提供することであ
る。
運転時に印加電圧を下げてモータ入力電力を低減し、モ
ータの発熱を抑えるとともに負荷が変動しても回転数が
変動しないように負荷に応じて印加電圧を制御するよう
にした真空ポンプ用モータ制御装置を提供することであ
る。
［課題を解決するための手段］ この発明は真空ポンプを駆動するモータの回転数を制
御するための真空ポンプ用モータ制御装置であって、真
空ポンプのロータの回転数に基づいて、モータの負荷を
検出する負荷検出手段と、負荷検出手段の検出信号とモ
ータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電
圧を出力するモータ設定回転数比較手段と、モータ設定
回転数比較手段出力の電圧と設定すべり周波数値とを比
較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷
電圧をモータに供給するためのすべり周波数比較手段
と、検出された回転数が定常回転数を越えたか否かを判
別する回転数判別手段と、回転数が定常回転数を越えた
ことが判別されたことに応じて、すべり周波数比較手段
からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算して
モータに供給する手段とを備えて構成される。
御するための真空ポンプ用モータ制御装置であって、真
空ポンプのロータの回転数に基づいて、モータの負荷を
検出する負荷検出手段と、負荷検出手段の検出信号とモ
ータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電
圧を出力するモータ設定回転数比較手段と、モータ設定
回転数比較手段出力の電圧と設定すべり周波数値とを比
較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷
電圧をモータに供給するためのすべり周波数比較手段
と、検出された回転数が定常回転数を越えたか否かを判
別する回転数判別手段と、回転数が定常回転数を越えた
ことが判別されたことに応じて、すべり周波数比較手段
からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算して
モータに供給する手段とを備えて構成される。
［作用］ この発明に係る真空ポンプ用モータ制御装置は、ロー
タの回転数に基づいてモータの負荷を検出し、その検出
出力とモータ設定回転数とを比較してすべり周波数に応
じた電圧を出力し、そのすべり周波数の電圧と設定すべ
り周波数値とを比較し、検出された回転数が定常回転数
を越えていれば、周波数の電圧と設定すべり周波数値と
の差である周波数に相当するモータ負荷電圧を定常回転
時設定電圧に加算してモータに供給することにより、負
荷変動に対してロータ回転数の変動を小さく抑えること
ができる。
タの回転数に基づいてモータの負荷を検出し、その検出
出力とモータ設定回転数とを比較してすべり周波数に応
じた電圧を出力し、そのすべり周波数の電圧と設定すべ
り周波数値とを比較し、検出された回転数が定常回転数
を越えていれば、周波数の電圧と設定すべり周波数値と
の差である周波数に相当するモータ負荷電圧を定常回転
時設定電圧に加算してモータに供給することにより、負
荷変動に対してロータ回転数の変動を小さく抑えること
ができる。
［発明の実施例］ 第１図はこの発明の一実施例のブロック図である。第
１図を参照して、ポンプ１はモータ２と、このモータ２
の回転数を検出する回転数検出器３とを含む。回転数検
出器３の検出出力は比較器４と増幅器６とに与えられ
る。比較器４は回転数検出器３の検出出力と定常回転数
設定値とを比較し、回転数検出器３の検出出力が定常回
転数設定値を越えたときリレー接点８を閉じ、定常回転
数設定値以下のときリレー接点８を開くようにリレー５
を制御する。
１図を参照して、ポンプ１はモータ２と、このモータ２
の回転数を検出する回転数検出器３とを含む。回転数検
出器３の検出出力は比較器４と増幅器６とに与えられ
る。比較器４は回転数検出器３の検出出力と定常回転数
設定値とを比較し、回転数検出器３の検出出力が定常回
転数設定値を越えたときリレー接点８を閉じ、定常回転
数設定値以下のときリレー接点８を開くようにリレー５
を制御する。
増幅器６は回転数検出器３の検出出力とモータ設定回
転数値とを比較するために設けられ、それぞれの差であ
る滑り周波数に応じた電圧E1を増幅器７に与える。増幅
器７は滑り周波数と設定滑り周波数値とを比較するため
に設けられ、それぞれの差である周波数に相当するモー
タ負荷印加電圧E2を出力する。この電圧E2はリレー接点
８を介して加算器９に与えられる。加算器９には定常回
転時設定電圧が与えられていて、通常回転時にはこの定
常回転時設定電圧をモータ印加電圧指令値としてモータ
制御回路10に与える。モータ制御回路10はその電圧をモ
ータ２に与える。
転数値とを比較するために設けられ、それぞれの差であ
る滑り周波数に応じた電圧E1を増幅器７に与える。増幅
器７は滑り周波数と設定滑り周波数値とを比較するため
に設けられ、それぞれの差である周波数に相当するモー
タ負荷印加電圧E2を出力する。この電圧E2はリレー接点
８を介して加算器９に与えられる。加算器９には定常回
転時設定電圧が与えられていて、通常回転時にはこの定
常回転時設定電圧をモータ印加電圧指令値としてモータ
制御回路10に与える。モータ制御回路10はその電圧をモ
ータ２に与える。
第２図は第１図に示した実施例において、モータ負荷
が変動したときのモータ印加電圧とモータ回転数の変化
を示す図である。
が変動したときのモータ印加電圧とモータ回転数の変化
を示す図である。
次に、第１図に示した実施例の動作について説明す
る。回転数検出器３はモータ２の回転数を検出し、比較
器４は回転数検出器３の検出出力である回転数が定常回
転数設定値以上であるか否かを判別し、定常回転数設定
値以下であればリレー５を駆動しない。このため、モー
タ２の回転数が定常回転数設定値以上であれば、リレー
接点８が閉じられ、加算器９は定常回転時設定電圧をモ
ータ印加電圧指令値としてモータ制御回路10に与える。
モータ制御回路10はその電圧をモータ２に与え、定常回
転数で回転させる。
る。回転数検出器３はモータ２の回転数を検出し、比較
器４は回転数検出器３の検出出力である回転数が定常回
転数設定値以上であるか否かを判別し、定常回転数設定
値以下であればリレー５を駆動しない。このため、モー
タ２の回転数が定常回転数設定値以上であれば、リレー
接点８が閉じられ、加算器９は定常回転時設定電圧をモ
ータ印加電圧指令値としてモータ制御回路10に与える。
モータ制御回路10はその電圧をモータ２に与え、定常回
転数で回転させる。
次に、第２図に示すように、負荷が増大すると、モー
タ２の回転数が低下し、このとき、増幅器６はモータ２
の回転数とモータ設定回転数とを比較し、それぞれの差
である滑り周波数に応じた電圧E1を増幅器７に与える。
増幅器７は滑り周波数に応じた電圧E1と設定滑り周波数
値とを比較し、その差の周波数に相当するモータ負荷印
加電圧E2を、リレー接点８を介して加算器９に与える。
加算器９は与えられたモータ負荷電圧E2を定常回転時設
定電圧に加算してモータ制御回路10に与える。応じて、
モータ制御回路10はその電圧をモータ２に与える。すな
わち、第２図に示すように、モータ負荷が大きくなって
回転数が低下すると、モータ２に印加する電圧が高くな
り、モータ駆動トルクを高める。
タ２の回転数が低下し、このとき、増幅器６はモータ２
の回転数とモータ設定回転数とを比較し、それぞれの差
である滑り周波数に応じた電圧E1を増幅器７に与える。
増幅器７は滑り周波数に応じた電圧E1と設定滑り周波数
値とを比較し、その差の周波数に相当するモータ負荷印
加電圧E2を、リレー接点８を介して加算器９に与える。
加算器９は与えられたモータ負荷電圧E2を定常回転時設
定電圧に加算してモータ制御回路10に与える。応じて、
モータ制御回路10はその電圧をモータ２に与える。すな
わち、第２図に示すように、モータ負荷が大きくなって
回転数が低下すると、モータ２に印加する電圧が高くな
り、モータ駆動トルクを高める。
［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、ロータの回転数に
基づいてモータの負荷を検出し、その検出出力と設定回
転数値とを比較してすべり周波数に応じた電圧を出力
し、そのすべり周波数の電圧値と設定されたすべり周波
数値とを比較し、回転数が定常回転数を越えていれば、
それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を
定常回転時設定電圧に加算してモータに供給するように
制御するようにしたので、負荷変動に対してロータ回転
数の変動を小さく抑えることができ、モータの発熱を抑
えることができる。
基づいてモータの負荷を検出し、その検出出力と設定回
転数値とを比較してすべり周波数に応じた電圧を出力
し、そのすべり周波数の電圧値と設定されたすべり周波
数値とを比較し、回転数が定常回転数を越えていれば、
それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を
定常回転時設定電圧に加算してモータに供給するように
制御するようにしたので、負荷変動に対してロータ回転
数の変動を小さく抑えることができ、モータの発熱を抑
えることができる。
第１図はこの発明の一実施例のブロック図である。第２
図は第１図に示した実施例におけるモータの負荷の変動
に対するモータ印加電圧およびモータ回転数の変化を示
す図である。 図において、１は真空ポンプ、２はモータ、３は回転数
検出器、４は比較器、５はリレー、８はリレー接点、９
は加算器、10はモータ制御回路、6,7は増幅器を示す。
図は第１図に示した実施例におけるモータの負荷の変動
に対するモータ印加電圧およびモータ回転数の変化を示
す図である。 図において、１は真空ポンプ、２はモータ、３は回転数
検出器、４は比較器、５はリレー、８はリレー接点、９
は加算器、10はモータ制御回路、6,7は増幅器を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04D 19/04 F04D 27/00 H02P 7/63 302
Claims (1)
- 【請求項１】真空ポンプを駆動するモータの回転数を制
御するための真空ポンプ用モータ制御装置であって、 前記真空ポンプのロータの回転数に基づいて、前記モー
タの負荷を検出する負荷検出手段、 前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを
比較し、すべり周波数に応じた電圧を出力するモータ設
定回転数比較手段、 前記モータ設定回転数比較手段出力の電圧と設定すべり
周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当
するモータ負荷電圧を前記モータに供給するためのすべ
り周波数比較手段、 前記負荷検出手段によって検出された回転数が定常回転
数を越えたか否かを判別する回転数判別手段、および 前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越え
たことが判別されたことに応じて、前記すべり周波数比
較手段からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加
算して前記モータに供給する手段を備えた、真空ポンプ
用モータ制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222309A JP3004022B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 真空ポンプ用モータ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222309A JP3004022B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 真空ポンプ用モータ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0385393A JPH0385393A (ja) | 1991-04-10 |
| JP3004022B2 true JP3004022B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=16780342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1222309A Expired - Lifetime JP3004022B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 真空ポンプ用モータ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3004022B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7147905B1 (ja) | 2021-03-24 | 2022-10-05 | 株式会社安川電機 | 減圧システム、制御装置及び制御方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4926712A (ja) * | 1972-07-05 | 1974-03-09 | ||
| JPS59221634A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-13 | Shimadzu Corp | 真空度測定方法 |
| JPS60127464A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-08 | Ulvac Corp | タ−ボ分子ポンプの回転モニタ |
| JPS60128996A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-10 | Ulvac Corp | タ−ボ分子ポンプの運転監視装置 |
| JPS60190696A (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-28 | Seiko Seiki Co Ltd | タ−ボ分子ポンプのモ−タ制御方式 |
| JPS6122792A (ja) * | 1984-07-10 | 1986-01-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 交流電動機の制御回路 |
| JPS6181197A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 誘導電動機の制御回路 |
| JP2663549B2 (ja) * | 1988-09-02 | 1997-10-15 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 真空装置の圧力制御方法 |
| JPH0282000A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-22 | Nippon Ferrofluidics Kk | ターボ分子ポンプの運転状態検出方法 |
| JP2520718B2 (ja) * | 1989-02-14 | 1996-07-31 | 株式会社荏原製作所 | タ―ボ分子ポンプ駆動電源装置 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP1222309A patent/JP3004022B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0385393A (ja) | 1991-04-10 |
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