JPS60128996A - タ−ボ分子ポンプの運転監視装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ロータ羽根列とステータ羽根列とを交互に配
列し、ロータ羽根列全駆動モータ（例えば電動発電機）
で駆動し、両羽根列の相対速度によって吸気口から排気
口へ向って気体分子を移送するタープ分子ポンプに関す
るものである。

タープ分子ポンプは、高速ロータから気体分子へ運動量
を伝達することによって気体を圧縮する大きなエネルギ
を蓄えた高速回転装置であって、一般に、メカニカルポ
ンプ、各種イオンデージおよび各榎リークパルプ等と共
に真空系に連結されて使用されている。真空系では所望
の動作が確実かつ適正に行なわれているが否かを監視す
るため真空チャンバｔはじめとして真空系の各部位に必
要な保護、監視手段が設けられている。しかしながら一
般に複雑で大型な真空系では圧力の急激の変化や予定し
ない圧力変移が何の原因（例えばどの部位の故障）によ
り生じたのが全簡単につきとめることは困難である。そ
の結果場合によってはポンゾ系が作動し続け、駆動エネ
ルギの浪費となるだけでなく、ポンプ自体の故障や危険
な状態を引き起しかねないことになる。特にターが分子
ポンプは高速回転装置であるので、機械的損傷を防ぐ点
からも、適正条件下で運転する必要がある。

ところでターが分子ポンプにおいては、添附図面の第１
図に示すようにポンプの駆動モータの駆動電流Ｉは、圧
力Ｐが高くなるに従って増加する。

そこで本発明では、ポンプの圧力および従’：）テ／ン
プおよび真空系の運転状態を簡便に検知するために駆動
モータの駆動電流Ｉ＝ｉ利用することにある。

従って、本発明の目的は、ターが分子ポンプの駆動モー
タの給電系の出力端子に流れる駆動電流値全モニタして
、その電流値から運転状態を検知するモニタ回路をＭす
るターが分子ポンプの運転監視装置全提供することにあ
る。

以下、本発明を、添附図面の第一図を１照して説明する
。

第２図には本発明のターが分子ポンプの運転監視装置を
示し、ターボ分子ポンプは略本したようにポンプケーシ
ングｌ、ポンプケーシングｌ内に配置されたステータ羽
根列コ、ｐ−夕軸３に沿って取付けられ谷ステータ羽根
と交互に配列されたロータ羽根列≠、およびロータ軸３
を駆動するモータｊとから成っており、ポンプケーシン
グｌには真空系（図示されてない）に連結される吸気口
／ａおよび排気口／ｂが設けられている。また第２図に
おいて６は商用の交流電源で、これはＡＣ−ＤＣ変換器
７に接続され、そして周波数変換器ｌを介してモータ！
の入力端子に接続される。交流電源６からの交流はＡＤ
−ＤＣ変換器７で直流に変換され、そして周波数変換６
ｔで周波数約ｉｏ。

Ｈｚ、電圧約ｔｏＶの交流に変換される。モータ！の駆
動電流のモニタ回路りは図示したように変換器ｊの出力
側に接続され、モータ！に給電される交流電流の値全モ
ニタするようにされる。また代りに点線で示すようにこ
のモニタ回路Ｐ　ｙＡｃ　−ＤＣ変換器７の出力端子に
接続して直流電流の値全モニタするようにしてもよい。

モニタ回路り自体は種々設計することができるので、任
意の適当な型式のもの全使用することができる。

このように構成した本発明による装置の動作において、
ポンプの駆動電流全モニタすることによってポンプ内の
圧力（真空度）全第１図に示すような関係から割り出す
ことができる。実際の動作では例えば真空装置を作動状
態にするため真空系における各ポンプ全運転すると、各
ポンプの性能や真空系の寸法や設計上の運転特性等から
どの程度時間経過すれば所望の真空度が得られるか、或
いは真空装置全定常の運転状態に維持するのにはポンプ
の出力をどの程度に維持していればよいか等のいわゆる
正常な状態における運転特性を作業者は知っている。そ
こで例えば定常運転時にターが分子ポンプの駆ｗｈ電流
をモニタしていて電流値が大きく増大した場合にはポン
プ自体の故障またはリークの発生全簡単に知ることがで
き、迅速に対応処置を施すことができる。また電流値の
モニタによって流量を検知することもできる。そしてモ
ニタ回路の出力信号を制御系に入力すれば異常発生と同
時に系の運転全停止させたり、必要な操作を自動的に行
なうようにすることもできる。

以上説明してきたように、本発明によれば、ターが分子
ポンプの駆動電流全モニタするように構成しているので
、その電流値から圧力、流量やリーク等を容易にかつ迅
速に検出することができ、従って簡便な圧力モニタ、イ
ンタロツセンサトシて利用することができる。

【図面の簡単な説明】

第７図はターは分子ポンプの特性を示すグラフ、第２図
は本発明によるターボ分子ポンプの運転監視装置を示す
概略線図である。 図中、／：ポン７°ケーシング１．２＝ステ一タ羽根列
、３：ロータ東ＩＩ、弘：ロータ羽根列、！＝駆動モー
タ、ｔ：交流電源、７．ｒ：変換器、り：モニタ回路。 手続補正書（自発） 昭和５９年　１月２３日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和　５８年特許願第２３５０８９号 ２、発明の名称 ターボ分子ポンプの運転監視装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願火 柱　所　神奈川県茅ケ崎市萩園２５００番地（６６４５
）氏名　八木１）　茂纒沿 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の掴 ６、補正の内科 （１）明細書第４頁第４行中の「６」を「８」と補正し
ます。 （２）　同第４頁第４，５行中の「約」を［数」と補正
します。 （３）　同第５頁第１８行中の［インタロソセ、す］を
１インタロツクセンサ」と補正します。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ロータ羽根列とステータ羽根列とを交互に配列し、ロー
   タ羽根列を駆動モータで駆動し、両羽根列の相対速度に
   よって吸気口から排気口へ向って気体分子全移送するタ
   ーが分子ポンプにおいて、駆動モータへ供給する駆動電
   流金モニタしてその電流値から運転状態全検知するモニ
   タ回路を設けたことを特徴とするターが分子ポンプの運
   転監視装置。