JPS59221634A - 真空度測定方法 - Google Patents
真空度測定方法Info
- Publication number
- JPS59221634A JPS59221634A JP9746983A JP9746983A JPS59221634A JP S59221634 A JPS59221634 A JP S59221634A JP 9746983 A JP9746983 A JP 9746983A JP 9746983 A JP9746983 A JP 9746983A JP S59221634 A JPS59221634 A JP S59221634A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pump
- degree
- current supplied
- turbo
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000007788 roughening Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 2
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 2
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ贋産業上の利用分野
この発明は真？：°３瓜測定方法に係り、Ｊ庁に、ター
ボ分子ポンプとｒｉｉｉ記ボンゾを駆動する重湯１を備
えた真茎系の真空度測定方法に閣する。
ボ分子ポンプとｒｉｉｉ記ボンゾを駆動する重湯１を備
えた真茎系の真空度測定方法に閣する。
（【二ｔ）従来技術
ターボ分子ポンプを使用りる真空系では、Ｊ（１真空度
を測定するための例えば電離真空計等のほかに、リーク
が発生した場合等にこれを検知してターボ分子ポンプを
促成する等のために、比較的低い真空度を４（：１定す
ることを目的としたピラニ真空計等が用いられ°Ｃいる
。
を測定するための例えば電離真空計等のほかに、リーク
が発生した場合等にこれを検知してターボ分子ポンプを
促成する等のために、比較的低い真空度を４（：１定す
ることを目的としたピラニ真空計等が用いられ°Ｃいる
。
（ハ）目的
この発明は、ターボ分子ポンプと前記ポンプを駆動する
電源を備えた真空系において比較的低い真空度を容易に
測定し得る真空度測定方法を提供することを目的として
いる。
電源を備えた真空系において比較的低い真空度を容易に
測定し得る真空度測定方法を提供することを目的として
いる。
（ニ）構成
この発明にがかる真空度測定方法は、ターボ分子ポンプ
と前記ポンプを駆動する電源を備えた真空系の真空度の
測定方法において、前記電源からターボ分子ポンプに供
給される電流を検出するごとにより前記真空系の真空度
を測定することを特徴としている。
と前記ポンプを駆動する電源を備えた真空系の真空度の
測定方法において、前記電源からターボ分子ポンプに供
給される電流を検出するごとにより前記真空系の真空度
を測定することを特徴としている。
（ホ）実施例
第１図はこの発明にかかる真空度測定方法の一実施例の
説明図、第２図はターボ分子ポンプに供給される電流と
吸気口の圧力との関係を示す図である。
説明図、第２図はターボ分子ポンプに供給される電流と
吸気口の圧力との関係を示す図である。
第１図において、■はペルジャー２内を高真空排気する
ために用いられるターボ分子ポンプであって、このター
ボ分子ポンプｌは交流電源３によっ°Ｃ駆動される。４
及び５はターボ分子ポンプＩに供給される電圧及び′電
流を測定するための電圧計及び電流Ｉｆ１である。
ために用いられるターボ分子ポンプであって、このター
ボ分子ポンプｌは交流電源３によっ°Ｃ駆動される。４
及び５はターボ分子ポンプＩに供給される電圧及び′電
流を測定するための電圧計及び電流Ｉｆ１である。
面、７はリークバルブ、）（は高真空側、９は荒引き川
のロータリーポンプである。
のロータリーポンプである。
即も、ターボ分子ポンプが正規回転数になるのは、ポン
プの秤ヲ１′（等によっても異なるが、例えば第２図に
示すように、ターボ分子ポンプ１の吸気１」の真空度が
１０２Ｌｏｒｒ稈度以下の場合である。
プの秤ヲ１′（等によっても異なるが、例えば第２図に
示すように、ターボ分子ポンプ１の吸気１」の真空度が
１０２Ｌｏｒｒ稈度以下の場合である。
また、これに応じ’（父’ＩＡと１１１源３からターボ
分子ポンプ■に供給される電流は、同図に示すように１
Ｏ−２ｔｏｒｒ程瓜までは吸気し」圧力の低下とともに
少なくなっているが、それ以１・−の圧力域では略一定
の（ＩＣ１をしめず。
分子ポンプ■に供給される電流は、同図に示すように１
Ｏ−２ｔｏｒｒ程瓜までは吸気し」圧力の低下とともに
少なくなっているが、それ以１・−の圧力域では略一定
の（ＩＣ１をしめず。
従って、第１１２１にボずように、電流計５によって交
流電源３からターボ分子ポンプｌに供給される電流を検
出すれば、第２図の関係よりターボ分子ポンプの吸気Ｕ
のｊ上方を知ることできる。
流電源３からターボ分子ポンプｌに供給される電流を検
出すれば、第２図の関係よりターボ分子ポンプの吸気Ｕ
のｊ上方を知ることできる。
（へ）効果
この発明は、ターボ分子ポンプと前記ポンプを駆動する
電源を備えた真空系の真空度を測定する場合において、
ターボ分子ポンプが正規回転数に達するまでの、吸気口
の比較的低い範囲の真空度をその駆動電流を検出するこ
とにより測定するものであるから、従来のように前記真
空度を測定するために特別にビラニー真空計なとを使用
する必要がない。
電源を備えた真空系の真空度を測定する場合において、
ターボ分子ポンプが正規回転数に達するまでの、吸気口
の比較的低い範囲の真空度をその駆動電流を検出するこ
とにより測定するものであるから、従来のように前記真
空度を測定するために特別にビラニー真空計なとを使用
する必要がない。
それ故、この発明によれば前記真空糸のｉＺ草度を安価
で、且つ、簡便に測定することができる。
で、且つ、簡便に測定することができる。
また、この発明によれば、単に真空度の測定だけでなく
、該真空系が所定の圧力になったことを検知して、次の
動作を行わしめる（例えば、スパッタ装置に用いる場合
にはガスの導入、また、リークデテクタにあってはフィ
ラメンをＯＮ状態とする如き）というスイッチとし′こ
の機能をも持だ−けることが容易であるから、実使用上
たいへん便利である。
、該真空系が所定の圧力になったことを検知して、次の
動作を行わしめる（例えば、スパッタ装置に用いる場合
にはガスの導入、また、リークデテクタにあってはフィ
ラメンをＯＮ状態とする如き）というスイッチとし′こ
の機能をも持だ−けることが容易であるから、実使用上
たいへん便利である。
第１図はこの発明にかかる真空度測定方法の一実施例の
説明図、第２図はターボ分子ポンプに供給される電流と
吸気Ｉ」の圧力との関係を示す図である。 ｌ・・・ターボ３３子ポンプ、２・・・ヘルジャー、３
・・・交流型窩；、５・・・電流計。 特許出願人 株式会社 島？４Ｌ製作所代理人 弁
理士 大 西 孝 冶
説明図、第２図はターボ分子ポンプに供給される電流と
吸気Ｉ」の圧力との関係を示す図である。 ｌ・・・ターボ３３子ポンプ、２・・・ヘルジャー、３
・・・交流型窩；、５・・・電流計。 特許出願人 株式会社 島？４Ｌ製作所代理人 弁
理士 大 西 孝 冶
Claims (1)
- （１）ターボ分子ポンプと前記ポンプを駆動する電源を
（ｊ：：！えた真空糸の真空度の測定方法において、前
記電源からターボ分子ポンプに供給される電流を検出す
るごとにより前記ｉ１空系の真空度を測定することをＪ
１ケ徴とする真空度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9746983A JPS59221634A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 真空度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9746983A JPS59221634A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 真空度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221634A true JPS59221634A (ja) | 1984-12-13 |
Family
ID=14193162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9746983A Pending JPS59221634A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 真空度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59221634A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128996A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-10 | Ulvac Corp | タ−ボ分子ポンプの運転監視装置 |
| JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
| JPH0282000A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-22 | Nippon Ferrofluidics Kk | ターボ分子ポンプの運転状態検出方法 |
| JPH0385393A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Ntn Corp | 真空ポンプ用モータ制御装置 |
| JPH0617787A (ja) * | 1989-12-27 | 1994-01-25 | Leybold Ag | 気体摩擦ポンプ |
| JP2010281214A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Tada Plastic Kogyo Kk | 真空保存装置 |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP9746983A patent/JPS59221634A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128996A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-10 | Ulvac Corp | タ−ボ分子ポンプの運転監視装置 |
| JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
| JPH0282000A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-22 | Nippon Ferrofluidics Kk | ターボ分子ポンプの運転状態検出方法 |
| JPH0385393A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Ntn Corp | 真空ポンプ用モータ制御装置 |
| JPH0617787A (ja) * | 1989-12-27 | 1994-01-25 | Leybold Ag | 気体摩擦ポンプ |
| JP2010281214A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Tada Plastic Kogyo Kk | 真空保存装置 |
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