JP2999092B2 - ナトリウム中目視検査用超音波トランスデュ−サの製造方法 - Google Patents
ナトリウム中目視検査用超音波トランスデュ−サの製造方法Info
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- JP2999092B2 JP2999092B2 JP5137632A JP13763293A JP2999092B2 JP 2999092 B2 JP2999092 B2 JP 2999092B2 JP 5137632 A JP5137632 A JP 5137632A JP 13763293 A JP13763293 A JP 13763293A JP 2999092 B2 JP2999092 B2 JP 2999092B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ナトリウム中目視検査
用超音波トランスデューサの製造法に関するものであ
る。
用超音波トランスデューサの製造法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のナトリウム中目視検査用超音波ト
ランスデューサを図４及び図５に示した。図４のナトリ
ウム中目視検査用超音波トランスデューサは、１１が金
属円筒体、１２が超音波振動子、１３が超音波振動子１
２をナトリウムから保護するために超音波振動子１２の
前面に配設した金属製レンズ、１４が超音波振動子１２
と金属製レンズ１３との音響結合を良好にするためにこ
れらの間に介装したカプラント、１５が超音波振動子１
２背面の不要な音響を吸収するために金属円筒体１１内
に収納したダンパ、１６が金属円筒体１１内に収納した
ばね等よりなる押え機構で、押え機構１６とダンパ１５
とを介して超音波振動子１２を金属製レンズ１３に押し
付けるようにしている。
ランスデューサを図４及び図５に示した。図４のナトリ
ウム中目視検査用超音波トランスデューサは、１１が金
属円筒体、１２が超音波振動子、１３が超音波振動子１
２をナトリウムから保護するために超音波振動子１２の
前面に配設した金属製レンズ、１４が超音波振動子１２
と金属製レンズ１３との音響結合を良好にするためにこ
れらの間に介装したカプラント、１５が超音波振動子１
２背面の不要な音響を吸収するために金属円筒体１１内
に収納したダンパ、１６が金属円筒体１１内に収納した
ばね等よりなる押え機構で、押え機構１６とダンパ１５
とを介して超音波振動子１２を金属製レンズ１３に押し
付けるようにしている。
【０００３】図５のナトリウム中目視検査用超音波トラ
ンスデューサは、１１〜１３、１５が上記と同一の部分
で、この場合には、超音波振動子１２と金属製レンズ１
３との音響的結合を良好にするために、超音波振動子１
２と金属製レンズ１３とをろう付（１７参照）等の冶金
的方法により結合している。
ンスデューサは、１１〜１３、１５が上記と同一の部分
で、この場合には、超音波振動子１２と金属製レンズ１
３との音響的結合を良好にするために、超音波振動子１
２と金属製レンズ１３とをろう付（１７参照）等の冶金
的方法により結合している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記図４に示す従来の
ナトリウム中目視検査用超音波トランスデューサには、
次の問題があった。即ち、 （１）超音波振動子１２をナトリウムから保護するため
に超音波振動子１２の前面に金属製レンズ１３を配設し
ているが、この金属製レンズ１３は、板厚が比較的大き
いので、トランスデューサが大型化する上に、重量が増
大する。 （２）押え機構１６とダンパ１５とを介して超音波振動
子１２を金属製レンズ１３に押し付けているので、音響
特性、信頼性が低い上に、高集積化が図れないという問
題があった。
ナトリウム中目視検査用超音波トランスデューサには、
次の問題があった。即ち、 （１）超音波振動子１２をナトリウムから保護するため
に超音波振動子１２の前面に金属製レンズ１３を配設し
ているが、この金属製レンズ１３は、板厚が比較的大き
いので、トランスデューサが大型化する上に、重量が増
大する。 （２）押え機構１６とダンパ１５とを介して超音波振動
子１２を金属製レンズ１３に押し付けているので、音響
特性、信頼性が低い上に、高集積化が図れないという問
題があった。
【０００５】前記図５に示す従来のナトリウム中目視検
査用超音波トランスデューサには、次の問題があった。
即ち、 （１）超音波振動子１２をナトリウムから保護するため
に超音波振動子１２の前面に金属製レンズ１３を配設し
ているが、この金属製レンズ１３は、板厚が比較的大き
いので、トランスデューサが大型化する上に、重量が増
大する。 （２）超音波振動子１２と金属製レンズ１３とをろう付
（１７参照）等の冶金的方法により結合しているので、
超音波振動子１２への熱影響による音響特性の劣化、残
留応力による接合後の超音波振動子１２の剥離、高温接
合後の金属製レンズ１３の歪み等のために、音響特性の
よいナトリウム中目視検査用超音波トランスデューサを
製作できないという問題があった。
査用超音波トランスデューサには、次の問題があった。
即ち、 （１）超音波振動子１２をナトリウムから保護するため
に超音波振動子１２の前面に金属製レンズ１３を配設し
ているが、この金属製レンズ１３は、板厚が比較的大き
いので、トランスデューサが大型化する上に、重量が増
大する。 （２）超音波振動子１２と金属製レンズ１３とをろう付
（１７参照）等の冶金的方法により結合しているので、
超音波振動子１２への熱影響による音響特性の劣化、残
留応力による接合後の超音波振動子１２の剥離、高温接
合後の金属製レンズ１３の歪み等のために、音響特性の
よいナトリウム中目視検査用超音波トランスデューサを
製作できないという問題があった。
【０００６】本発明は前記の問題点に鑑み提案するもの
であり、その目的とする処は、小型化、軽量化、音響特
性及び信頼性の向上、高集積化を併せ達成できるナトリ
ウム中目視検査用超音波トランスデューサの製造法を提
供しようとする点にある。
であり、その目的とする処は、小型化、軽量化、音響特
性及び信頼性の向上、高集積化を併せ達成できるナトリ
ウム中目視検査用超音波トランスデューサの製造法を提
供しようとする点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のナトリウム中目視検査用超音波トランス
デューサの製造法は、トランスデューサの超音波振動子
面に、同振動子をナトリウムから保護し且つ音響結合性
能を向上するために金属薄板を接合するに当たり、超音
波振動子面と金属薄板面とに、貴金属をコーティング
し、表面をサブミクロンの表面あらさに仕上げ、真空中
で加熱することにより、酸化物を除去した処理面を作成
した後、超音波振動子と金属薄板との各処理面を合わ
せ、真空中で荷重をかけて、コーティングした貴金属の
融点以下で接合することを特徴としている。
めに、本発明のナトリウム中目視検査用超音波トランス
デューサの製造法は、トランスデューサの超音波振動子
面に、同振動子をナトリウムから保護し且つ音響結合性
能を向上するために金属薄板を接合するに当たり、超音
波振動子面と金属薄板面とに、貴金属をコーティング
し、表面をサブミクロンの表面あらさに仕上げ、真空中
で加熱することにより、酸化物を除去した処理面を作成
した後、超音波振動子と金属薄板との各処理面を合わ
せ、真空中で荷重をかけて、コーティングした貴金属の
融点以下で接合することを特徴としている。
【０００８】
【作用】本発明のナトリウム中目視検査用超音波トラン
スデューサの製造方法は、トランスデューサの超音波振
動子に、同振動子をナトリウムから保護し且つ音響結合
性能を向上するために金属薄板を接合するにあたり、そ
の製造時には、超音波振動子面と金属薄板面とに、貴金
属をコーティングし、表面をサブミクロンの表面あらさ
に仕上げ、真空中で加熱することにより、酸化物を除去
した処理面を作成した後、超音波振動子と金属薄板との
各処理面を合わせ、真空中で荷重をかけて、コーティン
グした貴金属の融点以下で接合する。
スデューサの製造方法は、トランスデューサの超音波振
動子に、同振動子をナトリウムから保護し且つ音響結合
性能を向上するために金属薄板を接合するにあたり、そ
の製造時には、超音波振動子面と金属薄板面とに、貴金
属をコーティングし、表面をサブミクロンの表面あらさ
に仕上げ、真空中で加熱することにより、酸化物を除去
した処理面を作成した後、超音波振動子と金属薄板との
各処理面を合わせ、真空中で荷重をかけて、コーティン
グした貴金属の融点以下で接合する。
【０００９】
【実施例】次に本発明のナトリウム中目視検査用超音波
トランスデューサの製造法を図１により説明すると、先
ず図１（ａ）に示すように超音波振動子１面に貴金属
（例えばＡｇ）をメッキ、蒸着、イオンプレーティング
等によりコーティング（２参照）し、金属薄板４面に貴
金属（例えばＡｇ）を同様にコーティング（３参照）し
た後、コーティング部２、３面を（超）精密研摩して、
サブミクロンの表面あらさに仕上げ、次いで真空中で加
熱することにより、酸化物を除去した処理面を作成した
後、図１（ｂ）に示すように超音波振動子１と金属薄板
４との各処理面を合わせ、次いで真空中で荷重をかけ
て、コーティングした貴金属の融点以下で接合する。図
１（ｃ）は接合後の状態を示している。５は接合後の一
体化したコーティング部２、３である。
トランスデューサの製造法を図１により説明すると、先
ず図１（ａ）に示すように超音波振動子１面に貴金属
（例えばＡｇ）をメッキ、蒸着、イオンプレーティング
等によりコーティング（２参照）し、金属薄板４面に貴
金属（例えばＡｇ）を同様にコーティング（３参照）し
た後、コーティング部２、３面を（超）精密研摩して、
サブミクロンの表面あらさに仕上げ、次いで真空中で加
熱することにより、酸化物を除去した処理面を作成した
後、図１（ｂ）に示すように超音波振動子１と金属薄板
４との各処理面を合わせ、次いで真空中で荷重をかけ
て、コーティングした貴金属の融点以下で接合する。図
１（ｃ）は接合後の状態を示している。５は接合後の一
体化したコーティング部２、３である。
【００１０】図２は、上記製造法により得られた超音波
振動子を組み込んだ多点トランスデューサの一例を示
し、図３は上記製造法により得られた超音波振動子を組
み込んだ多点トランスデューサの他の例を示している。
図２の１０がケース、１１が複数の超音波振動子、１２
がこれら超音波振動子１１に上記製造法により接合した
金属薄板、１３が配線、１４がダンパ材で、各超音波振
動子１１とダンパ材１４とがケース１０と金属薄板１２
とにより囲まれた空間部内に組み込まれて、配線１３が
ケース１０外へ延びている。
振動子を組み込んだ多点トランスデューサの一例を示
し、図３は上記製造法により得られた超音波振動子を組
み込んだ多点トランスデューサの他の例を示している。
図２の１０がケース、１１が複数の超音波振動子、１２
がこれら超音波振動子１１に上記製造法により接合した
金属薄板、１３が配線、１４がダンパ材で、各超音波振
動子１１とダンパ材１４とがケース１０と金属薄板１２
とにより囲まれた空間部内に組み込まれて、配線１３が
ケース１０外へ延びている。
【００１１】図３の１０がケース、１５が複数のスリッ
トを入れて複数の振動子を集積化した超音波振動子、１
２がこの超音波振動子１５に上記製造法により接合した
金属薄板、１３が配線、１４がダンパ材で、超音波振動
子１５とダンパ材１４とがケース１０と金属薄板１２と
により囲まれた空間部内に組み込まれて、配線１３がケ
ース１０外へ延びている。
トを入れて複数の振動子を集積化した超音波振動子、１
２がこの超音波振動子１５に上記製造法により接合した
金属薄板、１３が配線、１４がダンパ材で、超音波振動
子１５とダンパ材１４とがケース１０と金属薄板１２と
により囲まれた空間部内に組み込まれて、配線１３がケ
ース１０外へ延びている。
【００１２】上記図２、図３に示す多点トランスデュー
サにより、ナトリウム中で超音波を送受信して、映像を
再生する。
サにより、ナトリウム中で超音波を送受信して、映像を
再生する。
【００１３】
【発明の効果】本発明のナトリウム中目視検査用超音波
トランスデューサの製造法は、前記のように超音波振動
子面に、同振動子をナトリウムから保護し且つ音響結合
性能を向上するために金属薄板を接合するに当たり、超
音波振動子面と金属薄板面とに、貴金属をコーティング
し、表面をサブミクロンの表面あらさに仕上げ、真空中
で加熱することにより、酸化物を除去した処理面を作成
した後、超音波振動子と金属薄板との各処理面を合わ
せ、真空中で荷重をかけて、コーティングした貴金属の
融点以下で接合するので、超音波振動子への熱影響によ
る音響特性の劣化、残留応力による接合後の超音波振動
子の剥離、高温接合後の金属薄板の歪み等を生じなく
て、音響特性及び信頼性の向上を達成できる。また金属
薄板に複数の超音波振動子を接合できて、トランスデュ
ーサを高集積化できる。
トランスデューサの製造法は、前記のように超音波振動
子面に、同振動子をナトリウムから保護し且つ音響結合
性能を向上するために金属薄板を接合するに当たり、超
音波振動子面と金属薄板面とに、貴金属をコーティング
し、表面をサブミクロンの表面あらさに仕上げ、真空中
で加熱することにより、酸化物を除去した処理面を作成
した後、超音波振動子と金属薄板との各処理面を合わ
せ、真空中で荷重をかけて、コーティングした貴金属の
融点以下で接合するので、超音波振動子への熱影響によ
る音響特性の劣化、残留応力による接合後の超音波振動
子の剥離、高温接合後の金属薄板の歪み等を生じなく
て、音響特性及び信頼性の向上を達成できる。また金属
薄板に複数の超音波振動子を接合できて、トランスデュ
ーサを高集積化できる。
【図１】（ａ）は本発明のナトリウム中目視検査用超音
波トランスデューサの製造法の接合前の処理工程を示す
説明図、（ｂ）は接合工程を示す説明図、（ｃ）は接合
後の状態を示す説明図である。
波トランスデューサの製造法の接合前の処理工程を示す
説明図、（ｂ）は接合工程を示す説明図、（ｃ）は接合
後の状態を示す説明図である。
【図２】同製造法により得られた超音波振動子を使用し
た多点トランスデューサの一例を示す縦断側面図であ
る。
た多点トランスデューサの一例を示す縦断側面図であ
る。
【図３】同製造法により得られた超音波振動子を使用し
た多点トランスデューサの他の例を示す縦断側面図であ
る。
た多点トランスデューサの他の例を示す縦断側面図であ
る。
【図４】従来のナトリウム中目視検査用超音波トランス
デューサの一例を示す縦断側面図である。
デューサの一例を示す縦断側面図である。
【図５】従来のナトリウム中目視検査用超音波トランス
デューサの他の例を示す縦断側面図である。
デューサの他の例を示す縦断側面図である。
１ 超音波振動子 ２ 超音波振動子１のコーティング部 ３ 金属薄板４のコーティング部 ４ 金属薄板 ５ コーティング部２、３の接合部
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−293660（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−149395（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−118881（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H04R 17/00 330 G01B 17/00 G01H 3/00 G01N 29/02 H04R 31/00 330
Claims (1)
- 【請求項１】 ナトリウム冷却型原子炉のナトリウム中
構造物の検査、異物の検出を行うためのナトリウム中目
視検査用超音波トランスデューサの製造法において、同
トランスデューサの超音波振動子面に、同振動子をナト
リウムから保護し且つ音響結合性能を向上するために金
属薄板を接合するに当たり、超音波振動子面と金属薄板
面とに、貴金属をコーティングし、表面をサブミクロン
の表面あらさに仕上げ、真空中で加熱することにより、
酸化物を除去した処理面を作成した後、超音波振動子と
金属薄板との各処理面を合わせ、真空中で荷重をかけ
て、コーティングした貴金属の融点以下で接合すること
を特徴としたナトリウム中目視検査用超音波トランスデ
ューサの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5137632A JP2999092B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ナトリウム中目視検査用超音波トランスデュ−サの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5137632A JP2999092B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ナトリウム中目視検査用超音波トランスデュ−サの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06351086A JPH06351086A (ja) | 1994-12-22 |
| JP2999092B2 true JP2999092B2 (ja) | 2000-01-17 |
Family
ID=15203188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5137632A Expired - Lifetime JP2999092B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ナトリウム中目視検査用超音波トランスデュ−サの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2999092B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5428249B2 (ja) * | 2008-02-19 | 2014-02-26 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 管体の肉厚形状測定装置、その方法および管体の製造方法 |
| JP5544581B2 (ja) * | 2009-04-06 | 2014-07-09 | 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 | 超音波探傷方法 |
| CN113180728B (zh) * | 2021-03-30 | 2023-10-10 | 烟台奇创医疗科技有限公司 | 一种超声探头自动覆膜机 |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP5137632A patent/JP2999092B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06351086A (ja) | 1994-12-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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