JP2993655B2 - フィルム張付装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、プリント配線用等の
基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、透光性支持フィル
ム（ベースフィルム；通常はポリエステルに代表される
樹脂フィルム）上に感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥してプリント配線用基板の表面
の導電層に張付ける。そして、この後、配線パターンフ
ィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光
性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光
する。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光さ
れた感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターン
を形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチン
グにより除去し、これにより、所定の配線パターンを有
するプリント配線板が形成される。

【０００３】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルムを、搬送手段により搬送されてく
る基板の先端に感光性樹脂層が該基板側となるように導
き、基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け手段に
よって該基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロ
ールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
するようにされている。基板へのフィルム圧着張付け
は、張付け長さが基板長にほぼ対応した長さとなるよう
に行われており、その長さとなるように供給フィルムは
フィルム仮付け手段自体又はその近傍の部材に設けられ
たフィルム切断手段で切断される。カバーフィルムは、
仮付け手段の前又は後で剥される。

【０００４】前記フィルム仮付け手段は、例えば特開昭
６３−１１７４８７号公報に開示されるように、表面に
フィルムを吸着するための複数の吸着孔（溝）が設けら
れたメインバキュームプレートと、このメインバキュー
ムプレートのフィルム供給方向先端側に設けられた円弧
形状又は三角形状のフィルム仮付け部材とから構成さ
れ、全体として、フィルムの供給及び仮付け動作が行え
るように、基板に対して近接および離反移動するように
されている。

【０００５】フィルム仮付け手段は、フィルムの供給及
び仮付け動作を行う際には、その表面にフィルムを吸着
した状態で基板に対して近接移動し、フィルムの供給及
び仮付け動作が完了するとフィルムの吸着を解除し基板
に対して離反移動する。このフィルムの吸着が解除され
ると、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れた
状態となる。

【０００６】仮付けした後、ラミネーションロールによ
りフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するのであ
るが、そのラミネーションロールによるフィルム圧着動
作中は、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れ
た状態になっている。

【０００７】前記の搬送されてくる各基板にフィルムを
張付ける場合、基板毎にフィルムの供給及び仮付け動作
と圧着動作という両動作を繰返し行う。

【０００８】前記フィルム仮付け部材の先端には、ヒー
タが設けられていて、これによりフィルム仮付け先端を
加熱して、基板の先端に仮付けできるようにされてい
る。

【０００９】前記特開昭６３−１１７４８７号公報に開
示されるように一般にフィルム張付装置では、カバーフ
ィルムは仮付手段の手前で剥されるが、仮付手段よりも
後でカバーフィルムが剥されるフィルム張付装置とし
て、例えば特願平６−１６１６４３号に記載されたもの
がある。

【００１０】これは、少なくとも透光性支持フィルム、
感光性樹脂層及びこの感光性樹脂層に積層されたカバー
フィルムからなり、フィルム供給ロールに巻装されてい
る積層フィルムを、ガイドロールを経て、搬送手段によ
り搬送されてくる基板の先端に導き、カバーフィルムを
剥離した状態で仮付け手段により該基板の先端に仮付け
した後、ラミネーションロールにより基板に圧着しつ
つ、基板を搬送するフィルム張付装置において、前記仮
付け手段の上流側で、前記カバーフィルム及び感光層
を、前記透光性支持フィルムを残してフィルム幅方向に
切断し、前記仮付け手段の先端近傍で粘着テープをカバ
ーフィルムに粘着させ、該粘着テープの離間により透光
性支持フィルム上の感光性樹脂層からカバーフィルム
を、剥き取るようにしたものである。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記フ
ィルム仮付け部材先端のヒータから発生する熱は、前記
特開昭６３−１１７４８７号に開示されるようにメイン
バキュームプレートとの間に断熱材を配置しても、該メ
インバキュームプレート側に伝達され、フィルムを加熱
してしまうことになる。

【００１２】このため、従来は、メインバキュームプレ
ートからの放熱が不十分な場合は、積層体フィルムが加
熱されて高温になってしまう。特に、透光性支持フィル
ム層の厚さが５０μｍ以下で薄い場合には、（１）前記
フィルム供給及び仮付け動作中の、フィルムがフィルム
仮付け手段の表面に接触している間に、感光性樹脂層に
熱が影響するが、圧着中にはフィルム仮付け手段の表面
に接触していないので、その手段からの熱が感光性樹脂
層に影響しないこととなり、両動作間で感光性樹脂層に
もたらされる熱履歴が異なり、これが、原因となり、露
光・現像後に形成される配線パターンに不良品が生じる
ことがある。又、（２）積層フィルムが高温で柔かくな
って、メインバキュームプレートの吸着孔、吸着溝の部
分で負圧により曲がり、これら吸着孔、吸着溝のパター
ンに倣う凹部が形成され、その際に感光性樹脂層の厚さ
むらが生じてしまうことがある。

【００１３】このように感光性樹脂層の厚さにむらが生
じた積層体フィルムに凹部が形成されたまま、基板上に
張付けられると、感光性樹脂層の、基板への付着厚さむ
らが生じ、露光・現像後に形成される配線パターンの一
部にやせや切れが生じてしまうことがある。

【００１４】これは、メインバキュームプレート吸着時
に、カバーフィルムが剥されていない場合でも生じる
が、剥された状態でメインバキュームプレートに吸着さ
れたときに著しい。

【００１５】更に、メインバキュームプレートよりも後
（仮付け手段と基板の間）でカバーフィルムが剥される
場合は、感光性樹脂層が高温によりその粘性が不安定と
なり、前記（１）、（２）の問題点のほか、カバーフィ
ルムを、感光性樹脂層から剥離方向に一定の力で引張っ
ても剥離点が変動して、感光性樹脂層に、送り方向不定
間隔でフィルム幅方向のすじが発生してしまうことがあ
る。

【００１６】このようなすじは、前記感光性樹脂層にも
たらされる熱履歴の差や前記凹部に関連して生じること
のある感光性樹脂層の厚さむらと同様に、感光性樹脂層
の、基板への付着厚さむらや付着むらを生じ、結果とし
て、基板の配線パターンのやせや切れという現像不良の
原因となるという問題点がある。

【００１７】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、積層体フィルムがメインバキュー
ムプレートから加熱されることが少なく、従って感光性
樹脂層に熱履歴の差や厚さむらやすじが発生することな
く、基板に良好に接着し、配線パターンのやせや切れと
いう現像不良が生じないようにしたフィルム張付装置を
提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明は、透光性支持
フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層さ
れてなる連続フィルムをフィルム供給ロールから引き出
し、搬送手段により搬送されてくる基板の先端近傍に、
感光性樹脂層側が該基板側に位置するようにして、該基
板に対して近接及び離反移動可能な仮付け部材に吸着し
て導いた後、前記カバーフィルムを剥離させ、次いで、
前記基板の先端に前記仮付け部材により仮付けした後、
ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着しつ
つ、基板を搬送するようにされ、前記仮付け部材は、フ
ィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手段を備えたメ
インバキュームプレートと、このメインバキュームプレ
ートのフィルム送り方向先端に連結され、前記メインバ
キュームプレートの表面から連続して湾曲し、且つ表面
にフィルム吸着手段を備えたフィルム仮付け部材本体
と、を含んでなり、前記フィルム仮付け部材本体のフィ
ルム送り方向先端近傍がヒータにより加熱されるフィル
ム張付装置において、前記メインバキュームプレートの
内部に、表面と平行に貫通し、冷却液が通される通液孔
を設けることにより、上記目的を達成するものである。

【００１９】又、請求項２のように、前記フィルム仮付
け部材本体の内部を、表面と平行に貫通し、冷却液が通
される第２通液孔を設けることにより、同様に上記目的
を達成するものである。

【００２０】更に、請求項３のように、前記フィルム経
路の前記仮付け部材近傍の１以上の個所で、フィルムに
対して、前記仮付け部材の反対側から転接自在とされ、
且つ、内部を軸方向に貫通し、冷却液が通される冷却ロ
ールを設けることにより、同様に上記目的を達成するも
のである。

【００２１】又、請求項４のように、前記通液孔及び第
２通液孔を、メインバキュームプレート及びフィルム仮
付け部材本体にそれぞれ挿通されたステンレススチール
パイプとすることにより、同様に上記目的を達成するも
のである。

【００２２】

【作用及び効果】請求項１の発明によれば、メインバキ
ュームプレートが冷却液により冷却され、高温にならな
いのでフィルム先端を仮付け装置により基板の先端に仮
付けする時に、メインバキュームプレートにフィルムが
吸着されても、該メインバキュームプレートによって、
フィルムが加熱されることがなく、従って感光性樹脂層
に熱履歴の差や厚さむらやすじが発生することがなく、
これにより、露光・現像後の配線パターンにやせや切れ
という現像不良が生じることもない。

【００２３】請求項２の発明によれば、フィルム仮付け
部材本体にも冷却液が通されるので、フィルム仮付け部
材本体先端に設けられたヒータからの熱の、メインバキ
ュームプレートへの伝達量が少なく、これによりメイン
バキュームプレートの温度上昇、従ってフィルムの温度
上昇を更に抑制することができる。

【００２４】請求項３の発明によれば、フィルムに対し
て、仮付け部材の反対側から冷却ロールが転接されるの
で、フィルムをその厚さ方向両側から冷却することによ
って、フィルムの温度上昇を更に抑制することができ
る。

【００２５】請求項４の発明によれば、冷却液が、メイ
ンバキュームプレート及びフィルム仮付け部材本体の材
料に直接接触しないので、冷却液によるこれら材料の腐
食を防止することができ、従って、これらの材料をステ
ンレススチールよりも腐食し易いが、熱伝導率の高い材
料、例えばアルミニウム材のアルマイト処理品により構
成することができる。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。

【００２７】図１に示される本発明の実施例に係るフィ
ルム張付装置１０は、図１９に示されるような、透光性
支持フィルム１２Ａ、感光性樹脂層１２Ｂ及びカバーフ
ィルム１２Ｃを積層してなる積層体フィルム１２を、フ
ィルム供給ロール１４からガイドロール１６を経て、搬
送ロールからなる搬送手段１８により搬送されてくる基
板２０の先端近傍に導き、カバーフィルム１２Ｃを剥離
した状態で、仮付け部材２２により該基板２０の先端近
傍に仮付けした後、ラミネーションロール２４により、
カバーフィルム１２Ｃを剥がした積層体フィルム１２を
基板２０に圧着しつつ、該基板２０を搬送するものであ
る。

【００２８】前記仮付け部材２２は、図２に拡大して示
されるように、積層体フィルム１２の経路と平行な平板
状で、表面にフィルム吸着溝１Ａが形成されたメインバ
キュームプレート１と、このメインバキュームプレート
１のフィルム送り方向先端に連結され、前記メインバキ
ュームプレート１の表面から連続して湾曲し、且つ表面
にフィルム吸着溝２Ａが形成されたフィルム仮付け部材
本体２とから構成され、前記フィルム仮付け部材本体２
のフィルム送り方向の先端部２Ｂの近傍には、ヒータ３
が埋め込まれ、先端部２Ｂを加熱するようにされてい
る。

【００２９】前記メインバキュームプレート１は、前記
積層体フィルム１２の経路側であって、表面に前記フィ
ルム吸着溝１Ａが形成された吸引板４と、該吸引板４
の、フィルム経路に対して反対側に、枠状の耐熱性ゴム
パッキン５Ａを介して止めねじ５Ｂにより結合されたバ
ックアップ部材５とから構成されている。

【００３０】前記バックアップ部材５には、図に示され
るように、フィルム経路と平行で、且つフィルム送り方
向に直交する方向に３本の平行なパイプ６Ａが挿通さ
れ、その内側が通水孔６Ｂとされている。

【００３１】図３に示されるように、前記通水孔６Ｂに
は、これと直交する方向に形成された流入ポート６Ｃか
ら冷却水が導入され、該通水孔６Ｂをフィルム幅方向に
通過した後、バックアップ部材５の幅方向反対側の端部
の流出ポート６Ｄから流出するようにされている。

【００３２】前記枠状の耐熱性ゴムパッキン５Ａは、図
３に示されるようにフィルム幅方向に複数のバキューム
スペース５Ｃを備え、各バキュームスペース５Ｃは、そ
の中心近傍に形成され、前記バックアップ部材５を厚さ
方向に貫通するバキュームポート５Ｄを介して真空源
（図示省略）に連通されている。

【００３３】前記吸引板４における前記フィルム吸着溝
１Ａは、フィルム送り方向と直交する方向に延在され、
且つフィルム送り方向に複数列形成され、その各々は、
前記バキュームスペース５Ｃに連通する位置において、
該バキュームスペース５Ｃ側に貫通する複数のバキュー
ム孔１Ｂを備えている。

【００３４】前記フィルム仮付け部材本体２は、図２に
示されるように、前記メインバキュームプレート１の表
面から連続し、且つ該表面に対して傾斜する第１、第２
の傾斜面２２Ｂ、２２Ｃを備え、この第１、第２の傾斜
面２２Ｂ、２２Ｃに、前記フィルム吸着溝２Ａが、フィ
ルム送り方向と直交する方向に複数列形成されている。

【００３５】従って、前記仮付け部材２２の前記基板２
０側先端には、吸引板４の表面であり、積層体フィルム
１２のパス１３に沿う鉛直面２２Ａ、この鉛直面２２Ａ
の先端から斜めに前記パス１３から離間する方向に屈折
延在する前記第１の傾斜面２２Ｂ及びこの第１の傾斜面
２２Ｂの先端から更に、前記パス１３から離間する方向
に屈折する前記第２の傾斜面２２Ｃが連続していること
になる。

【００３６】これら第１及び第２の傾斜面２２Ｂ、２２
Ｃに形成されている前記フィルム吸着溝２Ａには、その
長手方向に適宜間隔で形成された複数のバキューム孔２
Ｃが連通され、これらバキューム孔２Ｃは、フィルム仮
付け部材本体２内のバキューム路２Ｄに連通されてい
る。バキューム路２Ｄは負圧管路２Ｅを介して真空源
（図示省略）に連通されている。

【００３７】前記フィルム仮付け部材本体２の先端部２
Ｂは、前記ヒータ３が埋め込まれたブロック部材２Ｆ
の、図において下端によって形成されている。

【００３８】前記ブロック部材２Ｆは、熱絶縁ゴムシー
ル２Ｇを介してフィルム仮付け部材本体２に結合されて
いる。又、ブロック部材２Ｆの図において下端即ち先端
部２Ｂは主として略三角形状の耐熱ゴム２Ｈから構成さ
れている。

【００３９】ここで、前記ブロック部材２Ｆは、フィル
ム幅方向に、フィルム仮付け部材本体２の裏面に複数個
形成された取付溝２Ｊに嵌込み取付けされるようになっ
ている。

【００４０】又、前記仮付け部材２２の上流側には、積
層体フィルムのパス１３に沿って、フィルム幅方向に移
動して、前記積層フイルム１２を、透光性支持フィルム
１２Ａを残して感光性樹脂層１２Ｂ及びカバーフィルム
１２Ｃを切断するハーフカット装置２８が設けられてい
る。

【００４１】更に、前記仮付け部材２２の近傍には、前
記積層体フィルム１２と平行且つ移動方向に粘着テープ
３０を供給する粘着テープ供給装置３２が配置されてい
る。この粘着テープ供給装置３２は、積層体フィルム１
２の幅方向両端近傍に一対配置され、従って粘着テープ
３０も、積層体フィルム１２の幅方向両端近傍位置で、
カバーフィルム１２Ｃに対向して供給されるようになっ
ている。

【００４２】前記粘着テープ供給装置３２から供給され
る粘着テープ３０は、その粘着面を外にして押付けロー
ル３４に巻きかけられている。この押付けロール３４
は、積層体フィルム１２に沿って、その幅方向に配置さ
れ、前記仮付け部材２２の第１及び第２の傾斜面２２
Ｂ、２２Ｃに対して転接自在で、且つ、押付けロール駆
動装置３６により回転自在に支持されている。

【００４３】この押付けロール駆動装置３６は、前記仮
付け部材２２先端の第１の傾斜面２２Ｂから第２の傾斜
面２２Ｃの先端まで、押付けロール３４を回転させつつ
押付けて、前記粘着テープ３０を、第１及び第２の傾斜
面２２Ｂ、２２Ｃに吸引保持されている積層体フィルム
１２におけるカバーフィルム１２Ｃに粘着させ、且つ、
第２の傾斜面２２Ｃ先端位置から押付けロール３４を離
間させるように構成されている。

【００４４】前記押付けロール駆動装置３６には、前記
押付けロール３４の前記第２の傾斜面２２Ｃからの離間
時に、前記粘着テープ３０を、前記押付けロール３４と
同期して、第１及び第２の傾斜面から離間する方向に引
張る粘着テープ引戻し手段３８とが設けられている。更
にフィルム張付装置１０の上端には前記粘着テープ３０
に接着され、該粘着テープ３０の離間により透光性支持
フィルム１２Ａ及び感光性樹脂層１２Ｂから剥がされた
カバーフィルム１２Ｃを、接着している粘着テープ３０
と共に巻き取るフィルム・テープ巻き取り装置４０が設
けらていれる。

【００４５】図１の符号４２は回転刃４２Ａと固定刃４
２Ｂとによりパス１３上の積層体フィルム１２を切断す
るためのロータリカッターを示す。回転刃４２Ａは、円
柱状シャフトの外周に螺旋状の刃部を設けて構成され、
固定刃４２Ｂは円柱状シャフトと平行な直線状刃部を有
している。

【００４６】前記押付けロール駆動装置３６は、図４に
示されるように、前記押付けロール３４と平行に配置さ
れた断面円形の支持シャフト４４と、この支持シャフト
４４の、前記フィルムパス１３の幅方向略中央に対向す
る位置に支持された調節フレーム４６と、この調節フレ
ーム４６の両側及び下側を囲むようにして、前記支持シ
ャフト４４に、その軸線廻りに揺動自在に支持されると
共に、前記支持シャフト４４に沿って両方向に延在され
た支持フレーム４８と、この支持フレーム４８の長手方
向両端に、前記第１の傾斜面２２Ｂ方向に進退自在に支
持されると共に、先端に前記押付けロール３４を回転自
在に支持する左右一対のリニアシャフト５０と、このリ
ニアシャフト５０を軸方向に進退させるアクチエータ５
２と、図５に拡大して示されるように、前記調節フレー
ム４６と支持フレーム４８との間に配置され、支持フレ
ーム４８を、調節フレーム４６に対して、前記リニアシ
ャフト５０の先端の押付けロール３４が前記第１及び第
２の傾斜面２２Ｂ、２２Ｃに圧接する方向に付勢するば
ね５４と、を含んで構成されている。図４及び図５の符
号５６は、前記ばね５４の設定荷重を調整するための調
節ねじを示す。

【００４７】前記調節フレーム４６は、前記円柱状の支
持シャフト４４の長手方向中央部上面の面取り部分に、
ねじ５８によって締付け固定されている。

【００４８】一方、前記支持フレーム４８は、前記調節
フレーム４６を間にして、配置されているが、調節フレ
ーム４６の、図５において下側を横断する連結部４８Ａ
の上端が前記調節フレーム４６の図５において下側面に
当接するストッパ面４８Ｂを構成し、図５においてばね
５４により、支持シャフト４４を中心として時計方向に
付勢された支持フレーム４８は、ストッパ面４８Ｂにお
いて調節フレーム４６の下側面に当接して、圧接状態で
位置規制されるようになっている。従って、支持フレー
ム４８が、図５において反時計方向に一定値以上の力を
受けたとき、ばね５４を圧縮して反時計方向に揺動され
るものである。

【００４９】前記支持フレーム４８のアクチエータ５２
取付け部よりも中央側には、軸受け６０が配置され、こ
の軸受け６０には、アクチエータ５２と平行に配置され
た前記リニアシャフト５０が軸方向往復動自在に支持さ
れている。このリニアシャフト５０の、押付けロール３
４と反対側の端部にはアクチエータ５２の作動部５２Ａ
に連結するジョイント部材６４が固着されている。

【００５０】前記粘着テープ引戻し手段３８は、前記ジ
ョイント部材６４から、前記リニアシャフト５０と同軸
的に、且つその反対方向に突出して取付けられたガイド
シャフト６６と、このガイドシャフト６６に、軸線方向
に摺動自在に支持された軸受け部材６８と、この軸受け
部材６８を前記ジョイント部材６４から離間する方向に
付勢するためのばね７０と、前記軸受け部材６８によ
り、長手方向両端を回転自在に支持されたダンサローラ
７２と、から構成されている。前記ガイドシャフト６６
は、前記リニアシャフト５０をジョイント部材６４から
更に延長して構成したものである。

【００５１】ここで、前記ばね７０は、前記押付けロー
ル駆動装置３６による押付けロール３４の突出時の粘着
テープ３０にかかる引張り力により縮められ得る程度の
ばね力に設定されている。

【００５２】このダンサローラ７２には、押付けロール
３４を経てフィルム・テープ巻き取り装置４０に至る、
粘着テープ３０及びこれに粘着されたカバーフィルム１
２Ｃが巻きかけられるものである。

【００５３】前記ハーフカット装置２８は、図６及び図
７に拡大して示されるように、前記積層体フィルム１２
と直交し、且つ、該積層体フィルム１２の幅方向の面内
で回転自在で、積層体フィルムの幅方向に往復動自在の
ディスクカッター７８と、このディスクカッター７８の
移動方向両側に隣接して、ディスクカッター７８の回転
面と平行な面内で回転自在に一対設けられ、これら一対
の回転面の積層体フィルム側の共通外接面が、前記ディ
スクカッター７８の回転刃先７８Ａに略外接するガイド
ロール８０とを備えている。

【００５４】又、前記ハーフカット装置２８は、積層体
フィルム１２に沿ってその幅方向に配置されたガイド内
蔵型のロッドレスシリンダ８２と、このロッドレスシリ
ンダ８２により積層体フィルム１２の幅方向に往復動自
在に支持されると共に、前記ガイドロール８０を支持す
るスライド部材８４と、前記ディスクカッター７８を支
持すると共に、前記積層体フィルム１２方向に一定範囲
で進退自在に、前記スライド部材８４に支持される可動
部材８６と、この可動部材８６と前記スライド部材８４
との間に装架され、該可動部材８６を積層体フィルム１
２方向に付勢するばね８８と、このばね８８の設定長さ
を調整するばね調整手段であるマイクロメータ９０とを
備えている。

【００５５】更に、前記ハーフカット装置２８は、前記
積層体フィルム１２を間にして、前記ディスクカッター
７８の走行軌跡に対向する位置に、該ディスクカッター
７８が積層体フィルム１２を介して押付けられる硬質樹
脂あるいは金属からなるカッター台９２を備えている。

【００５６】ここで、前記ロッドレスシリンダ８２及び
カッター台９２は、同一のユニットフレーム９４に支持
されている。

【００５７】前記ユニットフレーム９４は、前記押付け
ロールと平行に装置を幅方向に横断して配置され、その
両端は、図８に示されるように、装置の側壁９６に固定
されている。

【００５８】前記スライド部材８４は、図６に示される
ように、ロッドレスシリンダ８２に、図において上端が
固着されると共に、他端が、可動部材８６よりも下方に
突出して、該可動部材８６の下側を横断する突出部８４
Ａを備えている。

【００５９】この突出部８４Ａの、前記可動部材８６の
下方を横断して突出した両端には、先端に前記ガイドロ
ール８０を回動自在に支持する一対のガイドロール支持
部材９８が設けられ、連結されている。

【００６０】前記可動部材８６は、前記一対のガイドロ
ール支持部材９８、９８の間において、スライド部材８
４に対してスライドシュー８６Ａを介して摺動自在に配
置されている。

【００６１】前記ばね８８は、前記スライド部材８４の
突出部８４Ａと可動部材８６から図６において下方に突
出したばね受け８６Ｂとの間に装架され、突出部８４Ａ
に対して可動部材８６を図６において左方向に付勢する
ように取付けられている。図６、図７の符号８８Ａ、８
８Ｂは、ばね８８の設定長さを調整するためのボルト、
ナットを示す。

【００６２】前記マイクロメータ９０は、前記可動部材
８６に取付けられると共に、そのスピンドル９０Ａの先
端が、前記一対のガイドロール支持部材９８の間の位置
において、前記スライド部材８４の端面８４Ｂに当接し
て、ばね８８の付勢力に抗して可動部材８６が図６、図
７において右方向に付勢される際の位置規制をするよう
にされている。

【００６３】前記ユニットフレーム９４には、図８に示
すように、前記粘着テープ供給装置３２がスライド機構
１００を介して前記押付けロール３４と平行に一定範囲
で移動自在に支持されている。このスライド機構１００
は、押付けロール３４と平行に配置されたスライドバー
１００Ａと、スライドバー１００Ａに沿って移動自在に
摺動されると共に、ブレーキ１０２を支持するスライド
部材１００Ｂと、このスライド部材１００Ｂをスライド
バー１００Ａに沿った任意位置で締付け固定するねじ１
００Ｃとを備えている。

【００６４】前記ブレーキ１０２には、粘着テープロー
ル１０４を回転自在、且つ着脱自在に保持するロールホ
ルダー１０６が取付けられている。

【００６５】前記ブレーキ１０２は、ロールホルダー１
０６による粘着テープロール１０４からの粘着テープ３
０の巻き出し時に、その回転速度を規制することによっ
て、該粘着テープ３０に一定値以上の張力を付与するも
のである。

【００６６】図１、図６の符号１０８Ａ、１０８Ｂは、
前記ダンサローラ７２から前記フィルム・テープ巻き取
り装置４０に至るフィルム及び粘着テープを案内するた
めのガイドロールを示す。これらガイドロール１０８
Ａ、１０８Ｂは、支持プレート１１０を介して前記ユニ
ットフレーム９４に固定されている。

【００６７】前記押付けロール駆動装置３６における前
記支持シャフト４４は、その長手方向両端において、図
９及び図１０に示されるように、進退機構１１２を介し
て、前記仮付け部材２２における鉛直面２２Ａに対して
直交する方向に一定範囲で進退自在に、前記側壁９６に
取付け支持されている。

【００６８】前記進退機構１１２は、前記支持シャフト
４４の端部を支持するスライド部材１１２Ａと、このス
ライド部材１１２Ａを前記鉛直面２２Ａと直交する方向
に摺動自在に支持するガイドシャフト１１２Ｂと、前記
スライド部材１１２Ａに、ガイドシャフト１１２Ｂと平
行に取付けられた第２のガイドシャフト１１２Ｃと、こ
の第２のガイドシャフト１１２を一定範囲で摺動自在に
案内すると共に、締付けハンドル１１２Ｄにより締付け
られることによって、前記第２のガイドシャフト１１２
Ｃに締付け固定される締付部材１１２Ｅとから構成され
ている。

【００６９】この進退機構１１２による、前記支持シャ
フト４４及びこれに支持される部材の、鉛直面２２Ａと
直交する方向の移動範囲は、図１において実線で示され
る状態と二点鎖線で示される状態との間であり、図１に
おいて実線で示される状態では、通常の作動（セット）
位置であり、二点鎖線で示される状態は、積層体フィル
ム１２を手動でセットしたり、ロータリーカッター４２
や、仮付け部材２２のメンテナンス時に、これを容易と
するために引込みさせる位置である。

【００７０】次に上記実施例装置の作用について説明す
る。

【００７１】まず、進退機構１１２により、支持シャフ
ト４４を図１の２点鎖線で示される位置に後退させて、
押付けロール３４と仮付け部材２２の間に隙間を形成
し、ここに積層体フィルム１２を通してこれをセットす
る。次に支持シャフト４４を図１の実線で示される位置
にセットする。

【００７２】作業開始に際して、押付けロール３４の両
端における、前記第１及び第２の傾斜面２２Ｂ、２２Ｃ
への接触圧力のバランスを調整する。押付けロール３４
の両端を支持する支持フレーム４８は、押付けロール３
４と平行に配置され、且つその略中央部で支持シャフト
に対して取付けられているので、調整作業は容易であ
る。次に、前記仮付け部材２２におけるメインバキュー
ムプレート１の通水孔６Ｂに冷却水を通水して、吸引板
４を冷却する。

【００７３】まず、図１１に示されるように、仮付け部
材２２の鉛直面２２Ａから第１及び第２の傾斜面２２
Ｂ、２２Ｃまで積層体フィルム１２を供給し、吸引孔か
ら印加される負圧によって、積層体フィルム１２を図１
１の状態に固定する。

【００７４】このときで、前記ハーフカット装置２８に
より、感光性樹脂層１２Ｂが露出される範囲の後端位置
で、カバーフィルム１２Ｃ及び感光性樹脂層１２Ｂを切
断する。この場合、透光性支持フィルム１２Ａを僅かに
切込んでもよい。

【００７５】この過程は、ハーフカット装置２８におけ
るロッドレスシリンダ８２によりスライド部材８４を駆
動することにより、ディスクカッター７８が回転しなが
ら、カッター台９２との間の感光性樹脂層１２Ｂとカバ
ーフィルム１２Ｃにくい込むことによってこれを切断す
る。

【００７６】このとき、ディスクカッター７８の前後に
は、該ディスクカッター７８の回転刃先７８Ａと、フィ
ルム厚さ方向に、略等しい位置でガイドロール８０が積
層体フィルム１２をカッター台９２に押付けるので、積
層体フィルム１２を確実に拘束した状態でディスクカッ
ター７８によりカバーフィルム１２Ｃ及び感光性樹脂層
１２Ｂのみを切断することができる。又、先行するガイ
ドロール８０が例えばカッター台９２の角部等に乗り上
げることによって、ディスクカッター７８が持上げられ
るので、該ディスクカッター７８の回転刃先７８Ａが角
部等に激突して刃こぼれを生じたりすることがない。更
に、カッター台９２は硬質樹脂あるいは金属より形成さ
れているので、ディスクカッター７８でカバーフィルム
１２Ｃ及び感光性樹脂層１２Ｂのみを切断する際に、積
層体フィルム１２全体が逃げることがなく、又、ディス
クカッター７８による切込み深さを精密に調節して、確
実にカバーフィルム１２Ｃ及び感光性樹脂層１２Ｂのみ
を切断することができる。

【００７７】次に、押付けロール駆動装置３６のアクチ
エータ５２によりリニアシャフト５０を駆動し、その先
端に支持された押付けロール３４を前進させ、これを仮
付け部材２２の第１の傾斜面２２Ｂから更には第２の傾
斜面２２Ｃの先端まで、粘着テープ３０の粘着面を押付
けながら移動させる（図１２参照）。この時、粘着テー
プ供給装置３２におけるブレーキ１０２（図８参照）を
作動させ、ロールホルダー１０６を固定して、粘着テー
プ３０の巻き出しを規制すると、粘着テープ３０は、フ
ィルム・テープ巻き取り装置４０側からダンサローラ７
２を経て供給されることになる。

【００７８】このとき、フィルム・テープ巻き取り装置
４０を拘束しておけば、第１及び第２の傾斜面２２Ｂ、
２２Ｃに供給される粘着テープ３０は、ダンサローラ７
２を付勢するばね７０を圧縮し、粘着テープのパス長さ
を短くすることによって供給されることになる。

【００７９】次に、図１３に示されるように、アクチエ
ータ５２によりリニアシャフト５０を介して押付けロー
ル３４を元の位置に引戻す。このとき、粘着テープ３０
は、ダンサローラ７２を付勢するばね７０が元の長さに
復帰することによって引張られる。同時に、この引張ら
れた粘着テープ３０によって、これに粘着するカバーフ
ィルム１２Ｃのみが透光性支持フィルム１２Ａ及び感光
性樹脂層１２Ｂから引剥がされることになる。

【００８０】次に、図１４に示されるように、仮付け部
材２２を降下させ、その先端に吸着保持されている透光
性支持フィルム１２Ａ及び感光性樹脂層１２Ｂを、感光
性樹脂層１２Ｂ側から、基板２０の先端近傍に仮付け
し、同時に、仮付け部材２２の下降と同期して、フィル
ム・テープ巻き取り装置４０により、粘着テープ３０及
びこれが粘着したカバーフィルム１２Ｃを巻き取る。こ
のとき、粘着テープ供給装置３２側からは、ブレーキ１
０２により一定の張力を付与しつつ、粘着テープ３０を
巻き出す。

【００８１】次に、図１５に示されるように、ロータリ
カッター４２により、前記ディスクカッター７８によっ
てカバーフィルム１２Ｃの切断線よりも更に上方位置で
積層体フィルム１２を幅方向に切断する。

【００８２】従って、透光性支持フィルム１２Ａ及び感
光性樹脂層１２Ｂの後端側にはカバーフィルム１２Ｃが
一定長さで残されることになる。

【００８３】この残されたカバーフィルム１２Ｃの範囲
は、図１６に示されるように、基板２０の後端２０Ａか
ら一定距離例えば１〜５cmはみ出すようにする。

【００８４】このようにすると、図１７に示されるよう
に、基板２０の後端２０Ａからはみ出した部分の感光性
樹脂層１２Ｂは、透光性支持フィルム１２Ａとカバーフ
ィルム１２Ｃとの間に挾み込まれた状態となり、前記は
み出し部分をニップ装置（図示省略）により掴むことに
よって後工程での透光性支持フィルム１２Ａの剥離が容
易となると共に、感光性樹脂層１２Ｂが露出されていな
いので、ニップ装置により掴む際に、これに粘着したり
することがない。

【００８５】上記のフィルム張付け過程で、前記仮付け
部材２２におけるメインバキュームプレート１の通水孔
６Ｂには冷却水が通水されるので、吸引板４が冷却され
て高温になることがなく、このため吸着されるフィルム
１Ｂに、感光性樹脂層に関して、高温による熱履歴の差
や厚さむら及び粘性不安定化が発生することがない。

【００８６】このため、粘着テープ３０によって、カバ
ーフィルム１２Ｃが透光性支持フィルム１２Ａ及び感光
性樹脂層１２Ｂから引剥がされるときに、その剥離点が
移動することがなく、又、フィルム吸着溝１Ａ、２Ａ部
分で、透光性支持フィルム１２Ａに凹所が形成されるこ
とがない。従って、熱圧着ラミネートされた薄膜フィル
ムにおける感光性樹脂層に不都合な熱履歴の差や厚さむ
らやすじが発生することがなく、露光・現像後に形成さ
れる配線パターンにやせや切れという現象不良が生じる
ことがない。

【００８７】上記実施例は、メインバキュームプレート
１に通水孔６Ｂを形成したもであるが、本発明はこれに
限定されるものでなく、例えば図１８に示される第２実
施例のように、フィルム仮付け部材本体２内にパイプ６
Ａを挿通させ、ここに通水孔６Ｂを形成してもよい。

【００８８】更に、図１８に２点鎖線で示されるよう
に、前記仮付け部材６に対して、フィルム１Ｂを挟み込
む位置に、内部に冷却水が通される通水孔６Ｂが形成さ
れた冷却ロール７を設けるようにしてもよい。この冷却
ロール７は１又は２以上で、仮付け部材６の上流を含め
たその近傍に設けられる。

【００８９】この実施例の場合は、フィルム１Ｂをその
表面及び裏面から確実に冷却することができる。

【００９０】おな、上記実施例の通水孔はパイプによっ
て構成されているが、通水孔は仮付け部材６に直接形成
するようにしてもよい。

【００９１】なお、上記実施例において、パイプは耐蝕
性の高い材料、例えばステンレススチールによって構成
するとよい。この場合、仮付け部材６の材料を、ステン
レススチールと比較して腐蝕され易いが熱伝導性の良い
材料、例えばアルミニウム材のアルマイト処理品等で構
成することができる。

【００９２】又、上記実施例は通水孔内に水を通すよう
にしているが、これは他の冷却液、例えば冷却オイル、
アルコール等の冷却液であってもよい。

【００９３】なお、上記実施例において冷却水の温度
は、メインバキュームプレート１の吸引板４の表面温度
が２０〜３０℃となるように設定するとよい。

【００９４】又、上記実施例は、押付けロール３４及び
押付けロール駆動装置を使用しているが、それらの代わ
りに非回転の押付けバー及び押付けバー駆動装置を使用
してもよく、その場合の押付けバーの先端は鋭角になっ
ているものが好ましい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るフィルム張付装置の実施例を示す
断面図

【図２】同実施例の要部を拡大して示す断面図

【図３】図２のIII −III 線に沿う断面図

【図４】同実施例における押付けロール駆動装置の要部
を示す拡大平面図

【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う拡大断面図

【図６】同実施例におけるハーフカット装置を示す一部
断面とした側面図

【図７】図６のVII −VII 線視図

【図８】同実施例の粘着テープ供給装置を示す背面図

【図９】同実施例の粘着テープ供給装置を進退させる機
構を示す一部断面とした正面図

【図１０】図９のＸ−Ｘ線に沿う断面図

【図１１】同実施例装置により、カバーフィルムを剥離
させる工程の待機状態を示す断面図

【図１２】同剥離工程の粘着テープ押付け過程を示す断
面図

【図１３】同剥離工程における押付けロール引込み位置
の状態を示す断面図

【図１４】同実施例装置におけるカバーフィルム剥離後
に積層体フィルムを仮付けする過程を示す断面図

【図１５】同実施例による、積層体フィルムの基板への
張付け工程終了直前の状態を示す断面図

【図１６】同実施例装置により基板に張付けられた積層
体フィルムの状態を示す断面図

【図１７】感光性樹脂層を基板上に残して透光性支持フ
ィルムを剥がす過程を示す断面図

【図１８】本発明の第２実施例を示す図２と同様の断面
図

【図１９】積層体フィルムを示す拡大断面図

【符号の説明】

１…メインバキュームプレート １Ａ、２Ｂ…フィルム吸着溝 ２…フィルム仮付け部材本体 ３…ヒータ ６Ａ…パイプ ６Ｂ…通水孔 ７…冷却ロール １０…フィルム張付装置 １２…積層体フィルム １２Ａ…透光性支持フィルム １２Ｂ…感光性樹脂層 １２Ｃ…カバーフィルム １３…パス １４…フィルム供給ロール １８…搬送手段 ２０…基板 ２２…仮付け手段 ２２Ａ…鉛直面 ２２Ｂ…第１の傾斜面 ２２Ｃ…第２の傾斜面 ２４…ラミネーションロール ２８…ハーフカット装置 ３０…粘着テープ ３２…粘着テープ供給装置 ３４…押付けロール ３６…押付けロール駆動装置 ３８…粘着テープ引戻し手段 ４０…フィルム・テープ巻き取り装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ // Ｂ２９Ｌ 9:00 (56)参考文献 特開 平８−26577（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−16957（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−117487（ＪＰ，Ａ) 登録実用新案3006591（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B65H 35/07 B29C 65/02,65/78 B32B 35/00 H05K 3/06

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透光性支持フィルム上に感光性樹脂層及び
   カバーフィルムが積層されてなる連続フィルムをフィル
   ム供給ロールから引き出し、搬送手段により搬送されて
   くる基板の先端近傍に、感光性樹脂層側が該基板側に位
   置するようにして、該基板に対して近接及び離反移動可
   能な仮付け部材に吸着して導いた後、前記カバーフィル
   ムを剥離させ、次いで前記基板の先端に前記仮付け部材
   により仮付けした後、ラミネーションロールによりフィ
   ルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされ、
   前記仮付け部材は、フィルム経路に沿って表面にフィル
   ム吸着手段を備えたメインバキュームプレートと、この
   メインバキュームプレートのフィルム送り方向先端に連
   結され、前記メインバキュームプレートの表面から連続
   して湾曲し、且つ表面にフィルム吸着手段を備えたフィ
   ルム仮付け部材本体と、を含んでなり、前記フィルム仮
   付け部材本体のフィルム送り方向先端近傍がヒータによ
   り加熱されるフィルム張付装置において、前記メインバ
   キュームプレートの内部に、表面と平行に貫通し、冷却
   液が通される通液孔を設けたことを特徴とするフィルム
   張付装置。
2. 【請求項２】請求項１において、前記フィルム仮付け部
   材本体の内部に、表面と平行に貫通し、冷却液が通され
   る第２通液孔を設けたことを特徴とするフィルム張付装
   置。
3. 【請求項３】請求項１又は２において、前記フィルム経
   路の前記仮付け部材近傍の１以上の個所で、フィルムに
   対して、前記仮付け部材の反対側から転接自在とされ、
   且つ、内部を軸方向に貫通して冷却液が通される冷却ロ
   ールを設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかにおいて、前記
   通液孔及び第２通液孔は、メインバキュームプレート及
   びフィルム仮付け部材本体にそれぞれ挿通されたステン
   レススチールパイプとされたことを特徴とするフィルム
   張付装置。