JP2984222B2 - 多面体の位置測定装置 - Google Patents

多面体の位置測定装置

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JP2984222B2
JP2984222B2 JP8338641A JP33864196A JP2984222B2 JP 2984222 B2 JP2984222 B2 JP 2984222B2 JP 8338641 A JP8338641 A JP 8338641A JP 33864196 A JP33864196 A JP 33864196A JP 2984222 B2 JP2984222 B2 JP 2984222B2
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正樹 房間
信彦 中岡
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、多面体の位置を測
定する位置測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、多面体の位置を検出するのに、C
CD等のイメージセンサを用いた位置測定装置が知られ
ている。この公知の測定装置では、4個のイメージセン
サが用いられ、一方測定すべき多面体には、3個の測定
基準穴が設けられる。4個のイメージセンサのうち2個
のセンサは同一の測定基準穴をステレオ視することによ
って測定し、残りの2個のセンサは、それぞれ、残りの
2個の測定基準穴を単眼視することによって測定する。
このような測定装置においては、イメージセンサを用い
ているので、得られる情報量が多く、測定すべき多面体
の位置を正確に測定することができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した公知の測定装
置には、次のとおりの解決すべき問題が存在する。すな
わち、測定すべき多面体に4個のイメージセンサで捕ら
える3個の測定基準穴が存在しなければならず、したが
って測定する対象物が制限され、3個以上の測定基準穴
を有しないものは測定することができない。また、測定
基準穴の精度が測定精度に大きな影響を与えるため、精
度の高い位置測定を望む場合には、測定基準穴の精度の
良いものにしなければならない。また、全く同一の特徴
パラメータを有する穴が視野内に2個以上あると、測定
基準穴がどちらか判別することができず、多面体の位置
測定が不可能となる。さらに、イメージセンサ等の高価
なものを使用するため、これらを用いた測定装置は高価
となる。
【0004】本発明は、測定すべき多面体までの距離を
測定する距離センサ手段を用いて多面体の三次元位置を
測定することができる位置測定装置を提供することであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、測定すべき多
面体の第1の面を検出するための3組の第1の距離セン
サ手段と、多面体の前記第1の面と異なる面であって前
記第1の面と実質上平行でない第2の面を検出するため
の2組の第2の距離センサ手段と、多面体の前記第1の
面および前記第2の面と異なる面であって前記第1の面
および前記第2の面のいずれとも実質上平行でない第3
の面を検出するための1組の第3の距離センサ手段とを
備え、前記3組の第1の距離センサ手段は、前記第1の
面を測定するための直線上に位置しない異なる3個所の
測定部位を検出し、これによって多面体の前記第1の面
を測定基準面として特定し、前記2組の第2の距離セン
サ手段は、前記第2の面を測定するための異なる2個所
の測定部位を検出し、これによって多面体の前記第1の
面に対する前記第2の面を特定し、また前記1組の距離
センサ手段は、前記第3の面を測定するための1個所の
測定部位を検出し、これによって多面体の前記第1およ
び第2の面に対する前記第3の面を特定し、かくして前
記3組の第1の距離センサ手段、前記2組の第2の距離
センサ手段および前記1組の距離センサ手段からの距離
検出信号に基づいて多面体の三次元の位置を測定し、前
記2組の第2の距離センサ手段には、それぞれの測定位
置を補正するための第1の測定位置補正手段が設けら
れ、また前記1組の第3の距離センサ手段には、その測
定位置を補正するための第2の測定位置補正手段が設け
られ、前記第1の測定位置補正手段は、それぞれ、前記
3組の第1の距離センサ手段によって測定された前記基
準測定面としての前記第1の面の変位量に応じて対応す
る第2の距離センサ手段の測定位置を補正し、また前記
第2の測定位置補正手段は、前記3組の第1の距離セン
サ手段によって測定された前記第1の面の変位量および
前記2組の第2の距離センサ手段によって測定された前
記第2の面の変化量に応じて前記1組の第3の距離セン
サ手段の測定位置を補正することを特徴とする多面体の
位置測定装置である。
【0006】本発明に従えば、多面体の測定基準面とな
る第1の面を測定するために3個の第1の距離センサ手
段が用いられ、3個の第1の距離センサ手段により直線
上にない3個所の測定部位を測定することによって上記
第1の面の位置が特定される。また、第1の面と異なる
第2の面を測定するために2個の第2の距離センサ手段
が用いられ、2個の第2の距離センサ手段により第2の
面を測定するための2個所の測定部位を測定することに
よって、第1の面に対する第2の面の位置が特定され
る。さらに、第1および第2の面と異なる第3の面を測
定するために1個の第3の距離センサ手段が用いられ、
1個の第3の距離センサ手段により第3の面を測定する
ための1個所の測定部位を測定することによって第1お
よび第2の面に対する第3の面が特定される。かくのと
おりであるので、6個の距離センサを用いることによっ
て、多面体の三次元位置を正確に測定することができ
る。
【0007】本発明に従えば、第2の距離センサ手段の
測定位置を補正するための第1の測定位置補正手段と、
第3の距離センサ手段の測定位置を補正するための第2
の測定位置補正手段とが設けられているので、第1の面
の変化量に応じて第2の距離センサ手段の測定位置を補
正し、また第1および第2の面の変化量に応じて第3の
距離センサ手段の測定位置を補正することによって、第
2および第3の距離センサ手段は多面体の位置、姿勢が
変化していても第2および第3の面における測定部位を
正確に検出することができ、多面体の三次元位置を正確
に測定することができる。
【0008】また本発明は、測定すべき多面体の第1の
面を検出するための3組の第1の距離センサ手段と、多
面体の前記第1の面と異なる面であって前記第1の面と
実質上平行でない第2の面を検出するための2組の第2
の距離センサ手段と、多面体の前記第1の面および前記
第2の面と異なる面であって前記第1の面および前記第
2の面のいずれとも実質上平行でない第3の面を検出す
るための1組の第3の距離センサ手段とを備え、前記3
組の第1の距離センサ手段は、前記第1の面を測定する
ための直線上に位置しない異なる3個所の測定部位を検
出し、これによって多面体の前記第1の面を測定基準面
として特定し、前記2組の第2の距離センサ手段は、前
記第2の面を測定するための異なる2個所の測定部位を
検出し、これによって多面体の前記第1の面に対する前
記第2の面を特定し、また前記1組の距離センサ手段
は、前記第3の面を測定するための1個所の測定部位を
検出し、これによって多面体の前記第1および第2の面
に対する前記第3の面を特定し、かくして前記3組の第
1の距離センサ手段、前記2組の第2の距離センサ手段
および前記1組の距離センサ手段からの距離検出信号に
基づいて多面体の三次元の位置を測定し、測定すべき多
面体の前記第1の面および前記第2の面の少なくとも一
方は、特定の測定部位が他の測定部位に対して実質上平
行な段差部に設けられており、前記特定の測定部位を測
定する距離センサ手段の測定値と前記他の測定部位を測
定する距離センサ手段の測定値のいずれか一方は、前記
段差部の間隔分その測定値が補正され、これによって前
記特定の測定部位を測定する距離センサ手段および前記
他の測定部位を測定する距離センサ手段は、実質上同一
の平面を測定することを特徴とする多面体の位置測定装
置である。
【0009】本発明に従えば、第1の面および/または
第2の面に段差部が存在していても、この段差部の距離
を距離センサ手段の測定値に加えて補正することによっ
て、第1の面および/または第2の面を段差部の存在し
ない面として測定することができる。
【0010】また本発明は、測定すべき多面体の第1の
面を検出するための3組の第1の距離センサ手段と、多
面体の前記第1の面と異なる面であって前記第1の面と
実質上平行でない第2の面を検出するための2組の第2
の距離センサ手段と、多面体の前記第1の面および前記
第2の面と異なる面であって前記第1の面および前記第
2の面のいずれとも実質上平行でない第3の面を検出す
るための1組の第3の距離センサ手段とを備え、前記3
組の第1の距離センサ手段は、前記第1の面を測定する
ための直線上に位置しない異なる3個所の測定部位を検
出し、これによって多面体の前記第1の面を測定基準面
として特定し、前記2組の第2の距離センサ手段は、前
記第2の面を測定するための異なる2個所の測定部位を
検出し、これによって多面体の前記第1の面に対する前
記第2の面を特定し、また前記1組の距離センサ手段
は、前記第3の面を測定するための1個所の測定部位を
検出し、これによって多面体の前記第1および第2の面
に対する前記第3の面を特定し、かくして前記3組の第
1の距離センサ手段、前記2組の第2の距離センサ手段
および前記1組の距離センサ手段からの距離検出信号に
基づいて多面体の三次元の位置を測定し、測定すべき多
面体の前記第1の面および第2の面の少なくとも一方
は、特定の測定部位が他の測定部位と反対側に存在し、
前記特定部位を検出する距離センサ手段は他の測定部位
を検出する距離センサ手段と反対方向から検出し、前記
特定の測定部位を測定する距離センサ手段の測定値と前
記他の測定部位を測定する距離センサ手段の測定値のい
ずれか一方は、双方の測定部位の間隔分その測定値が補
正され、これによって前記特定の測定部位を測定する距
離センサ手段および前記他の測定部位を測定する距離セ
ンサ手段は、実質上同一の平面を測定することを特徴と
する多面体の位置測定装置である。
【0011】本発明に従えば、第1の面および/または
第2の面における測定部位が相互に反対側に存在してい
ても、両測定部位の間の距離を距離センサ手段の測定値
に加えて補正することによって、第1の面および/また
は第2の面を同一の平面として測定することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に従う多面体の位置測定装置の実施形態について説明
する。
【0013】図1および図2は、本発明の前提となる多
面体の位置測定装置を簡略的に示している。図1および
図2において、図示の位置測定装置は、被測定物2を測
定するための6個の距離センサ手段、詳細には3組の第
1の距離センサ手段4a,4b,4cと、2組の第2の
距離センサ手段6a,6bと、1組の第3の距離センサ
手段8を備えている。この実施形態では、理解を容易に
するために、被測定物2を相互に隣接しかつ直交する3
平面を有する直方体として説明する。なお、この測定装
置は、直方体に限定されることなく、相互にほぼ直交す
る3平面を有する物体(ほぼ直交する3平面が必ずしも
隣接していない物体)、多数の平面からなる多面体の位
置測定が可能である。
【0014】第1の距離センサ手段4a,4b,4c
は、被測定物2の第1の面10、この実施形態では上面
を検出するためのセンサ手段であり、図に示すとおりに
上記第1の面10の上方に配設される。3組の第1の距
離センサ手段4a,4b,4cは、それぞれ、第1の面
10における異なる3個所の測定部位10a,10b,
10cに対応してその上方に配置され、各第1の距離セ
ンサ手段4a,4b,4cは対応する測定部位10a,
10b,10cとの間隔を測定する。第1の距離センサ
手段4a,4b,4cは、超音波式距離センサから構成
され、上記第1の面10に向けてこの面10に対して実
質上垂直に超音波を発射し、第1の面10から反射する
超音波を検知してその間の距離を測定する。
【0015】第1の距離センサ手段4a,4b,4cが
検出する測定部位10a,10b,10cは、一直線上
に位置しないように設定することが重要である。3組の
第1の距離センサ手段4a,4b,4cの測定部位が一
直線上に存在していると、この一直線上の位置は測定す
ることができるが、この一直線を含む面の位置(すなわ
ち、上記一直線を中心とする面の回転角度)を測定する
ことができない。これに対して、第1の距離センサ手段
4a,4b,4cの測定部位10a,10b,10cを
一直線上に存在しないように設定した場合には、3組の
第1の距離センサ手段4a,4b,4cのうちの2組の
第1の距離センサ手段(たとえば4aと4b、4bと4
cまたは4cと4a)を用いて対応する測定部位までの
距離を検出することによって、これら2組の距離センサ
手段によって検出される2個所の測定部位を結ぶ直線、
すなわち基準直線の位置を測定することができる。さら
に残りの1組の第1の距離センサ手段(たとえば4c、
4aまたは4b)を用いて、この基準直線を含む第1の
面10の他の測定部位までの距離を測定することによっ
て、上記基準直線(2組の第1の距離センサ手段によっ
て測定される直線)を含む第1の面10の傾き(回転角
度位置)を測定することができる。3組の第1の距離セ
ンサ手段4a,4b,4cによって測定する場合には、
上述した基準直線が3つ存在し、これら3つの基準直線
についてそれぞれ第1の面10の傾き(回転角度)を測
定することができるので、被測定物2の、システム座標
系におけるX軸方向およびY軸方向の軸線を中心とする
傾きを検出することができる。かくして、直線上に存在
しない3組の第1の距離センサ手段4a,4b,4cか
らの検出信号を利用することによって、被測定物2の第
1の面10の位置、換言するこのシステムの座標系にお
けるZ軸方向の位置と、X軸方向およびY軸方向の軸線
を中心とする傾きを特定することができる。この第1の
面10は、後の記載から理解されるとおり、被測定物2
の位置を測定するときの測定基準面となる。
【0016】第2距離センサ手段6a,6bは、被測定
物2の第2の面12、この実施形態では手前の面を検出
するためのセンサ手段であり、図に示すとおりに上記第
2の面12の手前側に配設される。2組の第2の距離セ
ンサ手段6a,6bは、それぞれ、第2の面12におけ
る異なる2個所の測定部位12a,12bに対応してそ
の手前側に配置され、各第2の距離センサ手段6a,6
bは対応する測定部位12a,12bとの間隔を測定す
る。第2の距離センサ手段6a,6bは、超音波式距離
センサから構成され、上記第2の面12に向けてこの面
12に対して実質上垂直に超音波を発射し、第2の面1
2から反射する超音波を検知してその間の距離を測定す
る。
【0017】第2の距離センサ手段6a,6bは、第2
の面12の測定部位12a,12bまでの距離を測定す
ることによって、第2の距離センサ手段6a,6bによ
って検出される測定部位12a,12bを結ぶ直線の位
置を測定することができる。このとき、被測定物2は一
体物であるので、第1の面10と第2の面12とは所定
の位置関係に保持され、第1の面10を測定する第1の
距離センサ手段4a,4b,4cからの検出信号によっ
て被測定物2のシステムの座標系におけるX軸方向およ
びY軸方向の軸線を中心とする傾きが特定されるので、
第2の面12を測定する第2の距離センサ手段6a,6
bからの検出信号によってこれらの位置情報を特定する
必要はない。この第2の距離センサ手段6a,6bの検
出信号は、第2の面12の2個所の測定部位12a,1
2bを結ぶ直線を測定するために利用され、上記直線に
関する位置情報によって、第2の面12のY軸方向の位
置と、この第2の面12の傾き、すなわち被測定物2の
Z軸方向の軸線を中心とする傾きを特定する。
【0018】また、第3の距離センサ手段8は、被測定
物2の第3の面14、この実施形態では右側面を検出す
るためのセンサ手段であり、図に示すとおりに上記第3
の面14の右側に配設される。第3の距離センサ手段8
は、1組でよく、第3の面の1個所の測定部位14aに
対応してその右側に配置され、第3の距離センサ手段8
は対応する測定部位14aとの間隔を測定する。第3の
距離センサ手段8は、上述した距離センサ手段と同様
に、超音波式距離センサから構成され、上記第3の面1
4に向けてこの面14に対して実質上垂直に超音波を発
射し、第3の面14から反射する超音波を検知してその
間の距離を測定する。
【0019】第3の距離センサ手段8は、第3の面14
の測定部位14aまでの距離を測定することによって、
第3の距離センサ手段8によって検出される測定部位1
4aの位置を測定する。このとき、上述したように、第
1および第2の面10,12と第3の面14とは所定の
位置関係に保持され、第1の面10を測定する第1の距
離センサ手段4a,4b,4cからの検出信号によって
被測定物2のシステムの座標系におけるX軸方向および
Y軸方向の軸線を中心とする傾きが特定され、また第2
の面12を測定する第2の距離センサ手段6a,6bか
らの検出信号によって被測定物2のZ軸方向の軸線を中
心とする傾きが特定されるので、第3の面14を測定す
る第3の距離センサ手段8からの検出信号によってこれ
らの位置情報を特定する必要はない。第3の距離センサ
手段8の検出信号は、第1の距離センサ手段4a,4
b,4cおよび第2の距離センサ手段6a,6bからの
検出信号によって得られない位置情報、すなわち第3の
距離センサ手段8から測定部位14aまでの距離を測定
することによって、第3の面14のX軸方向の位置を特
定する。
【0020】第1、第2および第3の距離センサ手段4
a,4b,4c,6a,6b,8からの検出信号は、位
置測定装置が備える図2の測定システムによって演算処
理される。すなわち、第1の面10を検出する3組の第
1の距離センサ手段4a,4b,4cと、第2の面12
を検出する2組の第2の距離センサ手段6a,6bと、
第3の面14を検出する1組の第3の距離センサ手段8
からの検出信号は、システムにおける測定処理手段16
に送給され、この測定処理手段16は、これらの検出信
号に基づいて被測定物2の三次元位置を測定する。本実
施形態では、測定処理手段16は、座標位置記憶手段1
8および基準位置記憶手段20を含んでいる。座標位置
記憶手段18には、上記距離センサ手段4a,4b,4
c,6a,6b,8の配置位置に関する位置情報、すな
わち測定システムの座標系における位置座標が記憶され
ており、また基準位置記憶手段20には、被測定物2の
基準位置(システムの座標系の基準位置)が記憶されて
いる。測定処理手段16は、座標位置記憶手段18に記
憶された各距離センサ手段4a,4b,4c,6a,6
b,8の位置情報と、各距離センサ手段4a,4b,4
c,6a,6b,8からの検出信号(測定距離)に基づ
いて被測定物2の三次元位置を測定する。
【0021】さらに説明すると、測定処理手段16は、
上述したとおりにして、3組の第1の距離センサ手段4
a,4b,4cからの検出信号およびこれら3組の第1
の距離センサ手段4a,4b,4cのシステム座標系の
位置に基づいて被測定物2の第1の面10のシステム座
標系におけるZ軸方向の位置と、被測定物2のシステム
座標系におけるX軸方向およびY軸方向の軸線を中心と
する傾きを特定する。また、測定処理手段16は、第2
の距離センサ手段6a,6bからの検出信号およびこれ
ら2組の第2の距離センサ手段6a,6bのシステム座
標系の位置に基づいて被測定物2の第2の面12のシス
テム座標系におけるY軸方向の位置と、被測定物2のシ
ステム座標系におけるZ軸方向の軸線を中心とする傾き
を特定する。さらに、この測定処理手段16は、第3の
距離センサ手段8からの検出信号および第3の距離セン
サ手段8のシステム座標系の位置に基づいて被測定物2
の第3の面14のシステム座標系におけるX軸方向の位
置を特定する。かくのとおりであるので、上述した位置
測定装置においては、被測定物2の第1の面10を測定
する3組の第1の距離センサ手段4a.4b,4cと、
第2の面12を測定する2組の第2の距離センサ手段6
a,6bと、第3の面14を測定する1組の距離センサ
手段8からの検出信号(測定距離)を利用することによ
って、測定すべき被測定物2のシステム座標系における
X軸、Y軸およびZ軸の位置、すなわち三次元位置と、
さらに被測定物2のX軸、Y軸およびZ軸方向の軸線を
中心とする傾き、すなわち三次元の傾きとを特定するこ
とができ、これによって被測定物2の姿勢を含む三次元
位置を測定することができる。
【0022】この測定処理手段16は、基準位置記憶手
段20を含んでいるので、この基準位置記憶手段20に
記憶された被測定物2の基準位置に関する位置情報と、
6個の距離センサ手段4a,4b,4c,6a,6b,
8の検出信号に基づく被測定物2の測定位置情報とを対
比することによって、測定した被測定物2の上記基準位
置からの変位量、すなわちシステム座標系におけるX
軸、Y軸およびZ軸方向の位置変位量およびX軸、Y軸
およびZ軸方向の軸線を中心とする角度変位量を算出す
ることができる。
【0023】この位置測定装置によって得られた測定位
置情報は、たとえば被測定物2に対して所定の作業、た
とえば塗装作業、溶接作業、組立作業等の作業を行う作
業ロボット(図示せず)に送給される。すなわち、測定
処理手段16からの測定位置信号、この実施形態におい
ては、被測定物2の基準位置からの変位量に関する位置
信号は、作業ロボット制御手段22に送給され、かかる
位置信号に基づいて作業ロボットは被測定物2に対して
所定の作業を施す。このとき、比較的安価な6個の距離
センサ手段を用いることによって被測定物2の三次元位
置を正確に測定することができるので、作業ロボット
(図示せず)は、この測定位置情報を用いることによっ
て被測定物2に対して正確な作業を行うことができる。
【0024】なお、上述した構成では、距離センサ手段
として超音波式のものを用いて説明したが、これに限定
されることなく、レーザ式、渦電流式、接触式センサ等
の各種距離センサ手段を用いることができる。
【0025】第1の位置測定装置においては、6個の距
離センサ手段は実質上同時に対応する測定部位を検出す
るので、被測定物2は固定的に配置されていてもよく、
また所定方向に移動されていてもよく、これのときにお
いて被測定物2の姿勢をも含めた三次元位置を正確に検
出することができる。
【0026】図3は、本発明の前提となる他の位置測定
装置を示している。この構成においては、任意の方向に
移動自在なアーム部材を備え、このアーム部材に装着さ
れた1組の兼用距離センサ手段が、被測定物の6個所の
測定部位を検出するように構成されている。図3におい
て、被測定物82は、たとえば床面83に載置される
が、必ずしも床面83に載置された状態でなくてもよ
い。この被測定物82の近傍にロボット手段84が配設
され、このロボット手段84の先端アーム86に兼用距
離センサ手段88が取付けられる。
【0027】図示のロボット手段84は、床面83に固
定されるベース部材90を有し、このベース部材90に
上下方向(ロボット手段84の座標系のZ軸方向)に延
びる第1の軸線92を中心として旋回部材94が旋回自
在に装着されている。この旋回部材94には、アーム9
6の一端部が紙面に垂直な方向(ロボット手段84の座
標系のY軸方向)に延びる第2の軸線98を中心として
旋回自在に装着されている。また、アーム96の他端部
には連結部材100が紙面に垂直な方向に延びる第3の
軸線102を中心として旋回自在に連結され、この連結
部材100には、さらにアーム104の一端部が紙面に
垂直な方向に延びる第4の軸線106を中心として旋回
自在に連結されている。アーム104の他端部には、図
3において左右方向(ロボット手段84の座標系のX軸
方向)に延びる第5の軸線108を中心としてアーム1
10の一端部が旋回自在に装着され、このアーム110
の他端部には紙面に垂直な方向に延びる第6の軸線11
2を中心として旋回自在にアーム114の一端部が旋回
自在に装着され、このアーム114の他端部には、上下
方向に延びる第7の軸線116を中心としてアーム11
8(兼用距離センサ手段が装着されるアーム手段を構成
する)の一端部が旋回自在に装着され、さらにこのアー
ム118の他端部に上下方向に延びる第8の軸線120
を中心として取付部材86が旋回自在に装着されてい
る。そして、かく構成されたロボット手段84のアーム
118に兼用距離センサ手段88が取付けられており、
したがって兼用距離センサ手段88はロボット手段84
の各種アーム7を旋回させることによって任意の位置に
位置付けることができる。
【0028】兼用距離センサ手段88は、ロボット手段
84の各種アームを所要のとおりに旋回させることによ
って、被測定物82のたとえば上面である第1の面12
2の上方に位置する第1〜第3の測定位置と、被測定物
82のたとえば左面である第2の面124の左方に位置
する第4および第5の測定位置と、被測定物82のたと
えば正面である第3の面126の手前側に位置する第6
の測定位置に順次に位置付けられる。兼用距離センサ手
段88は、第1〜第3の測定位置に位置付けられると、
被測定物82の第1の面122の3個所の測定部位(図
1のおよび図2の構成における測定部位10a,10
b,10cに対応する)のうち対応する測定部位に向け
て実質上垂直に超音波を発し、この測定部位からの反射
する超音波を検知する。また、この兼用距離センサ手段
88は、第4および第5の測定位置に位置付けられる
と、被測定物82の第2の面124の2個所の測定部位
(図1および図2の構成における測定部位12a,12
bに対応する)のうち対応する測定部位に向けて実質上
垂直に超音波を発し、その測定部位から反射する超音波
を検知する。さらに、兼用距離センサ手段88は、第6
の測定位置に位置付けられると、被測定物82の第3の
面126の測定部位126aに向けて超音波を発し、こ
の測定部位126aから反射する超音波を検知する。
【0029】被測定物82の位置を測定するための測定
処理手段を備え、この測定処理手段は、測定値を記憶す
る測定値記憶手段と、第1〜第6の測定位置情報を記憶
する座標位置記憶手段と、被測定物82の基準位置を記
憶する基準位置記憶手段を含んでいる。第1〜第6の測
定位置にて検出した兼用距離センサ手段88の測定検出
信号(距離情報)は、各測定位置において対応する測定
部位までの距離を測定する毎に上記測定値記憶手段に記
憶され、このようにして、1組の兼用距離センサ手段8
8を用いることによって、被測定物82の第1の面12
2における3個所の測定部位までの距離、第2の面12
4における2個所の測定部位までの距離および第3の面
126における測定部位126aまでの距離が測定され
る。第3実施形態においては、システムの座標系として
ロボット手段84の座標系が用いられ、座標位置記憶手
段には、兼用距離センサ手段88の第1〜第6の測定位
置に関する位置情報、すなわちロボット手段84の座標
系における位置座標が記憶されている。
【0030】測定処理手段(図示せず)は、測定値記憶
手段に記憶された6個所の測定検出信号に基づいて次の
とおりにして被測定物82の三次元位置を測定する。測
定処理手段は、第1〜第3の測定位置にて兼用距離セン
サ手段88によって測定された3個所の測定部位に関す
る検出信号と、兼用距離センサ手段88の第1〜第3の
測定位置についてのロボット手段84の座標系の位置と
に基づいて被測定物82の第1の面122のロボット手
段84の座標系におけるZ軸方向の位置と、被測定物8
2のロボット手段84の座標系におけるX軸方向および
Y軸方向の軸線を中心とする傾きとを特定する。測定処
理手段は、また、第4および第5の測定位置にて兼用距
離センサ手段88によって測定された2個所の測定部位
に関する検出信号と、兼用距離センサ手段88の第4お
よび第5の測定位置についてのロボット手段84の座標
系の位置とに基づいて被測定物82の第2の面124の
ロボット手段84の座標系におけるY軸方向の位置と、
被測定物82のロボット手段84の座標系におけるZ軸
方向の軸線を中心とする傾きとを特定する。この測定処
理手段は、さらに、第6の測定位置にて兼用距離センサ
手段88によって測定された測定部位126aに関する
検出信号と、兼用距離センサ手段88の第6の測定位置
についてのロボット手段84の座標系の位置とに基づい
て被測定物82の第3の面126のロボット手段84の
座標系におけるX軸方向の位置を特定する。かくして、
1組の兼用距離センサ手段88でもって被測定物82の
ロボット手段84の座標系における姿勢をも含めた三次
元位置を測定することができる。なお、図3の実施形態
では、兼用距離センサ手段88がロボット手段84に装
着されているので、被測定物82の測定位置もロボット
手段84の座標系を利用して測定しているが、ロボット
手段84の座標系から測定システムの座標系に変換し、
システムの座標系として測定するようにすることもでき
る。
【0031】図4および図5は、本発明に従う位置測定
装置の第1の実施形態を示している。この第1の実施形
態においては、測定基準面となる第1の面の傾きを含め
た変位量に応じて第2の距離センサ手段の測定位置が補
正され、さらに第1の面および第2の面の傾きを含めた
変位量に応じて第3の距離センサ手段の測定位置が補正
されるように構成されている。
【0032】図4および図5において、第1の実施形態
の位置測定装置は、図1および図2の構成と同様に、被
測定物302を測定するための6個の距離センサ手段、
すなわち3組の第1の距離センサ手段304a,304
b,304cと、2組の第2の距離センサ手段306
a,306bと、1組の第3の距離センサ手段308を
備えている。
【0033】第1の距離センサ手段304a,304
b,304cは、被測定物302の第1の面310(測
定基準面となる)における一直線上に存在しない3個所
の測定部位310a,310b,310cを検出して対
応する測定部位までの距離を測定する。第2の距離セン
サ手段306a,306bは、第2の面312の測定部
位312a,312bを測定することによってこれら測
定部位312a,312bまでの距離を測定する。ま
た、第3の距離センサ手段308は、被測定物302の
第3の面314の測定部位314aを検出することによ
ってこの測定部位314aまでの距離を測定する。
【0034】この第1の実施形態においては、第2の距
離センサ手段306a,306bは、それぞれ、その測
定位置を補正するためのロボット手段316,318の
先端アーム(図示せず)に装着され、また第3の距離セ
ンサ手段308は、その測定位置を補正するためのロボ
ット手段320の先端アーム(図示せず)に装着されて
いる。ロボット手段316,318は、第1の測定位置
補正手段を構成し、ロボット手段320は、第2の測定
位置補正手段を構成し、これらロボット手段316,3
18,320は、たとえば第3の実施形態におけるロボ
ット手段84と実質上同一の構成でよい。
【0035】第1の実施形態の位置測定装置は、図5に
示す測定システムを備えている。このシステムは、第
1、第2および第3の距離センサ手段304a,304
b,304c,306a,306b,308からの検出
信号を処理する測定処理手段322を備え、この測定処
理手段322は、座標位置記憶手段324、基準位置記
憶手段326、測定値記憶手段328および補正演算手
段330を備えている。座標位置記憶手段324には、
上記距離センサ手段304a,304b,304c,3
06a,306b,308の測定位置に関する位置情
報、すなわち測定システムの座標系における位置座標が
記憶されている。この実施形態では、第2の距離センサ
手段306a,306bおよび第3の距離センサ手段3
08はロボット手段316,318,320に装着され
て測定位置が移動するが、この座標位置記憶手段324
に記憶される測定位置は、ロボット手段316,31
8,320の先端アーム(図示せず)が所定の基準位置
に位置するときの対応する第2および第3の距離センサ
手段306a,306b,308の測定位置である。基
準位置記憶手段326には、被測定物302の基準位置
(システムの座標系の基準位置)が記憶されている。ま
た、測定値記憶手段328には、第1〜第3の距離セン
サ手段304a,304b,304c,306a,30
6b,308によって測定された対応する測定部位との
間の測定検出信号(距離情報)が記憶される。さらに、
補正演算手段330は、被測定物302の第1の面31
0の変位量に応じて第2の距離センサ手段306a,3
06bの測定位置の補正量を測定し、さらに第1および
第2の面310,312の変化量に応じて第3の距離セ
ンサ手段308の測定位置の補正量を演算する。
【0036】被測定物302を検出する場合には、ま
ず、3組の第1の距離センサ手段304a,304b,
304cが、第1の面310の対応する測定部位310
a,310b,310cを検出し、これらの測定検出信
号が測定値記憶手段328に記憶される。そして、この
ように測定値記憶手段328に記憶された測定検出信号
およびこれら3組の第1の距離センサ手段304a,3
04b,304cのシステム座標系の位置に基づいて被
測定物302の第1の面310のシステム座標系におけ
るZ軸方向の位置と、被測定物302のシステム座標系
におけるX軸方向およびY軸方向の軸線を中心とする傾
きを特定する。かくのとおりにして被測定物302の第
1の面310に関する位置情報が得られると、次いで、
補正演算手段330は、基準位置記憶手段326に記憶
されている第1の面310に関する位置情報と、上述し
た処理によって得られた位置情報とを対比して、被測定
物302の第1の面310の基準位置に対する変位量、
すなわちZ軸方向の位置変位ならびにX軸方向およびY
軸方向の軸線を中心とする傾きの変位量を演算する。か
く演算された補正量は、後述する第2および第3の距離
センサ手段306a,306b,308によって測定さ
れる距離情報を補正するために補正量として測定値記憶
手段328に記憶される。
【0037】補正演算手段330によって演算された補
正量は、測定処理手段322にてシステム座標系におけ
る補正量からロボット座標系における補正量に変換さ
れ、ロボット座標系に変換された補正量の信号が対応す
るロボット手段316,318に送給される。このよう
にロボット手段316,318に補正量の信号が送給さ
れると、ロボット手段316,318は、この信号に応
じて所要のとおりに作動され、第2の距離センサ手段3
06a,306bは、第1の面310の変位量に対応し
た補正量だけ移動される。すなわち、被測定物302が
図4に実線で示す基準位置から図4に二点鎖線で示す位
置に変位している場合には、ロボット手段316,31
8が作動して第2の距離センサ手段306a,306b
は、変位した測定部位312a,312bに対応しかつ
図4に二点鎖線で示す測定位置に移動され、測定位置が
補正された第2の距離センサ手段306a,306b
は、被測定物302の上記測定部位312a,312b
を検出する。
【0038】その後、2組の第2の距離センサ手段30
6a,306bが、第2の面312の対応する測定部位
312a,312bを検出し、これらの測定検出信号が
測定値記憶手段328に記憶される。そして、このよう
に測定値記憶手段328に記憶された測定検出信号およ
びこれら2組の第2の距離センサ手段306a,306
bのシステム座標系の位置に基づいて被測定物302の
第2の面312のシステム座標系におけるY軸方向の位
置と、被測定物302のシステム座標系におけるZ軸方
向の軸線を中心とする傾きを特定する。かくのとおりに
して被測定物302の第1の面312に関する位置情報
が得られると、次いで、補正演算手段330は、基準位
置記憶手段326に記憶されている第2の面312に関
する位置情報と、上述した処理によって得られた位置情
報とを対比して、被測定物302の第2の面312の基
準位置に対する変位量、すなわちY軸方向の位置変位な
らびにZ軸方向の軸線を中心とする傾きの変位量を演算
する。かく演算された補正量は、後述する第3の距離セ
ンサ手段308によって測定される距離情報を補正する
ために補正量として測定値記憶手段328に記憶され
る。
【0039】補正演算手段330によって演算された第
1および第2の面310,312の補正量は、測定処理
手段322にてシステム座標系における補正量からロボ
ット座標系における補正量に変換され、ロボット座標系
に変換された補正量の信号がロボット手段320に送給
される。このようにロボット手段320に補正量の信号
が送給されると、ロボット手段320は、この信号に応
じて所要のとおりに作動され、第3の距離センサ手段3
08は、第1および第2の面310,312の変位量に
対応した補正量だけ移動される。すなわち、被測定物3
02が図4に実線で示す基準位置から図4に二点鎖線で
示す位置に変位している場合には、ロボット手段320
が作動されて第3の距離センサ手段308は、変位した
測定部位314aに対応しかつ図4に二点鎖線で示す測
定位置に移動され、測定位置が補正された第3の距離セ
ンサ手段308は、被測定物302の上記測定部位31
4aを検出する。
【0040】このように第3の距離センサ手段308の
測定位置が補正された後に、第3の距離センサ手段30
8は、第3の面314における対応する測定部位314
aを検出する。第3の距離センサ手段308の測定検出
信号は、測定処理手段322の測定値記憶手段328に
記憶される。
【0041】測定処理手段322は、また、第3の距離
センサ手段308の測定検出信号、第3の距離センサ手
段308のシステム座標系の位置および補正演算手段3
30によって演算された第3の距離センサ手段308の
補正量に基づいて被測定物302の第3の面314のシ
ステム座標系におけるX軸方向の位置を特定する。
【0042】かくのとおりであるので、第1の実施形態
においても被測定物302の姿勢をも含めた三次元位置
を測定することができる。特に、第2の距離センサ手段
306a,306bの測定位置が第1の面310の変位
量に応じて補正され、また第3の距離センサ手段308
の測定位置が第1および第2の面310,312の変位
量に応じて補正されるので、被測定物302の測定部位
が一定となり、被測定物の位置を一層正確に測定するこ
とができる。なお、かく測定した被測定物302の測定
位置情報は、たとえば、作業ロボット(図示せず)のロ
ボット制御手段332に送給される。
【0043】この第1の実施形態の測定位置の補正は、
図3に示す構成と組合わせて用いることができ、このと
きには、ロボット手段および距離センサ手段はそれぞれ
1つでよく、また、またその測定位置の補正は、測定順
序に従って逐次補正され、距離センサ手段を移動させる
ロボット手段が第1および第2の測定位置補正手段を構
成する。すなわち、このような場合には、ロボット手段
の先端アームに装着された距離センサ手段は、まず、被
測定物の第1の面における3個所の測定部位を検出し、
この測定部位を含む第1の面の変位量に応じて、次に第
2の面の測定部位を測定する距離センサ手段の測定位置
が補正される。そして、ロボット手段に装着された距離
センサ手段は、次いで、被測定物の第2の面における2
個所の測定部位を検出し、上記第1の面の変位量および
2個所の測定部位を含む第2の面の変位量に応じて、そ
の後の第3の面の測定部位を測定する距離センサ手段の
測定位置が補正される。かくして、このような形態のも
のにおいても、第2および第3の距離センサ手段の測定
位置を所要のとおりに補正することができる。
【0044】上述した実施形態では、距離センサ手段と
して超音波式距離センサ手段を用いて説明したが、超音
波式センサ手段に代えて、たとえば図6に示す接触式セ
ンサ手段を用いることができる。図6において、図示の
距離センサ手段402は、たとえば、図5の構成におけ
るロボット手段84と同様のロボット手段の先端アーム
403に装着される。先端アーム403の先端には支持
部材406が取付けられており、この支持部材406に
距離センサ手段402のマイクロスイッチ410が一対
のナット408によって装着されている。マイクロスイ
ッチ410はその先端に作動片412を有し、本実施例
では、この作動片412の押圧が解除されると、検出信
号を生成する。支持部材406には一対の支持プレート
414(図6において片方のみ示す)が装着されてお
り、一対の支持プレート414間に軸部材416を介し
て検出アーム418が旋回自在に支持されている。検出
アーム418の一端部には、取付片420を介して接触
部材422が装着されており、この接触部材422が被
測定物424の表面に接触する。この検出アーム418
の他端部には、固定ボルト426によって押圧片428
が固定され、この押圧片428がマイクロスイッチ41
0の作動片412を押圧する。さらに、軸部材416に
は、コイルばね430が装着され、このコイルばねの一
端部が支持部材406に係合され、その他端部が検出ア
ーム418に係合されている。このコイルばね430
は、検出アーム418を軸部材416を中心として図6
において時計方向に弾性的に偏倚し、したがって検出ア
ーム418は、通常、押圧片428がマイクロスイッチ
410の作動片412を押圧する図6に実線で示す作用
位置に保持される。
【0045】このような接触式距離センサ手段402に
よって被測定物424を検出するときには、ロボット手
段の先端アーム403は、予め位置座標が定められてい
る特定基準位置から被測定物424に近接する方向に移
動される。そして、検出アーム418の一端部の接触部
材422が被測定物424に接触すると、コイルばね4
30の弾性偏倚力に抗して検出アーム418が図6にお
いて反時計方向に旋回される。かくすると、検出アーム
418の他端部に装着された押圧片428がマイクロス
イッチ410の作動片412から離れてその押圧を解除
し、これによってマイクロスイッチ410は、距離セン
サ手段402の接触部材422が被測定物424を検出
する。なお、被測定物424を検出した後は、先端アー
ム403が被測定から後退する方向に移動される。
【0046】被測定物424の測定部位までの距離は、
マイクロスイッチ410の作動片412の押圧が解除さ
れたときのロボット手段におけるロボット座標系の先端
アーム403の位置座標を利用することによって測定す
ることができる。このロボット座標系にける測定距離
は、必要に応じて、測定システムの座標系の測定距離に
変換して用いることができる。
【0047】図6に示す距離センサ手段の変形形態で
は、距離センサ手段402が接触式センサ手段から構成
され、被測定物が実質上接触したときに被測定物424
を検出する構成であるが、これに代えて、距離センサ手
段を超音波式、レーザ式等の非接触式距離センサ手段か
ら構成し、この距離センサ手段と被測定物の対応する測
定部位との間隔が予め定める所定間隔になったときに被
測定物を検出するようにすることもできる。この場合に
おいても、被測定物との距離は、このときのロボット手
段におけるロボット座標系の先端アームの位置座標を利
用することによって測定することもできる。なお、この
ときにも、ロボット手段の先端アームは、測定する際に
は被測定物に向けて移動され、被測定物を検出した後は
被測定物から後退される。
【0048】ロボット手段の先端アームに設けられ、被
測定物との間隔が所定の間隔または実質上なくなったと
きに被測定物を検出する形態の距離センサ手段は、被測
定物の第1の面を検出する第1の距離センサ手段、第2
の面を検出する第2の距離センサ手段および第3の面を
検出する第3の距離センサ手段のいずれか1つまたは2
つ以上に適用することができる。
【0049】上述した説明では、被測定物の第1の面に
おける3個所の測定部位が実質上同一平面に、また第2
の面における2個所の測定部位が実質上同一の平面に位
置する場合について説明したが、このような測定装置
は、第1または第2の面に上記面に実質上平行な段差部
が存在する場合等には、たとえば図7に示すとおりに測
定することができる。被測定物の面に段差部が存在する
本発明の第2の実施形態を示す図7(a)において、被
測定物502の面504(この面は、被測定物における
第1または第2の面である)には段差部506が設けら
れ、この段差部506の底面508は面504と実質上
平行になっている。この例では、片方の距離センサ手段
510によって検出される測定部位512(第1または
第2の面の1つの測定部位でよい)は被測定物502の
面504に設けられ、また他方の距離センサ手段514
によって検出される測定部位516(特定の測定部位を
構成する)(第1または第2の面の他の測定部位でよ
い)は、段差部506の底面508に設けられている。
このような場合には、段差部506の距離H1、すなわ
ち片方の測定部位512と他方の測定部位516との間
の距離H1を補正値として、距離センサ手段514の測
定値から減算し、距離H1を減算した測定値を距離セン
サ手段514の検出値として用いればよい。このように
測定値を補正することによって、面504の測定部位5
12,514は、実質上同一の測定平面を規定し、前述
の構成および実施形態と同様にして面504を測定する
ことができる。
【0050】図7(a)の実施形態では、面504が測
定平面となっており、したがって距離センサ手段514
の測定値から補正値である距離H1を減算しているが、
たとえば段差部506の底面508が測定平面とした場
合には、距離センサ手段510の測定値に補正値である
距離H1を加算すればよい。段差部506が存在する場
合には、このように段差部506の距離H1を補正する
ことによって同一測定平面とみなすことができる。
【0051】図7(b)は、本発明の第3の実施形態を
示し、この図7(b)では特定の測定部位が他の測定部
位とは反対側に位置している。図7(b)において、被
測定物532の面534(この面は、被測定物における
第1または第2の面であって、図7(b)において下側
の面である)には突起部536が存在しており、このよ
うな場合においてはこの突起部536を検出したのでは
正確な位置測定ができない。このような場合、突起部5
36と反対側の部位に平坦な面538が存在していると
この面538を利用することができる。なお、面534
と面538とは実質上平行になっている。この例では、
片方の距離センサ手段540によって検出される測定部
位542(第1または第2の面の1つの測定部位でよ
い)は被測定物532の片方の面534に設けられ、ま
た他方の距離センサ手段544によって検出される測定
部位546(特定の測定部位を構成する)は、上部面5
34と反対側の面538に設けられている。このような
場合には、測定部位542と測定部位546との距離H
2を補正値として、距離センサ手段544の測定値に距
離H2を加算し、距離H2を加算した測定値を距離セン
サ手段544の検出値として用いればよい。このように
測定部位534,538が相互に反対側(裏側)の面に
存在している場合にも距離センサ手段の測定値を補正す
ることによって、距離センサ手段540,544が測定
する面は、実質上同一の測定平面534となる。
【0052】なお、図7(a)における被測定物502
の段差部506の距離H1、図7(b)における測定部
位542,546間の距離H2は、たとえば、図3に示
す構成におけるロボット手段の先端アームに距離測定用
治具、たとえばキャリブーレーション治具を取付け、こ
の距離測定用治具を用いて上記距離をロボット手段の座
標系として測定することができ、このロボット手段の座
標系の位置座標は、必要に応じて位置測定装置のシステ
ムの座標系に変換することができる。
【0053】
【発明の効果】本発明の請求項1の位置測定装置によれ
ば、多面体の測定基準面となる第1の面を測定するため
に3個の第1の距離センサ手段が用いられ、3個の第1
の距離センサ手段により直線上にない3個所の測定部位
を測定することによって上記第1の面の位置が特定され
る。また、第1の面と異なる第2の面を測定するために
2個の第2の距離センサ手段が用いられ、2個の第2の
距離センサ手段により第2の面を測定するための2個所
の測定部位を測定することによって、第1の面に対する
第2の面の位置が特定される。さらに、第1および第2
の面と異なる第3の面を測定するために1個の第3の距
離センサ手段が用いられ、1個の第3の距離センサ手段
により第3の面を測定するための1個所の測定部位を測
定することによって第1および第2の面に対する第3の
面が特定される。かくのとおりであるので、6個の距離
センサを用いることによって、多面体の三次元位置を正
確に測定することができる。
【0054】また本発明の請求項1の位置測定装置によ
れば、第2の距離センサ手段の測定位置を補正するため
の第1の測定位置補正手段と、第3の距離センサ手段の
測定位置を補正するための第2の測定位置補正手段とが
設けられているので、第1の面の変化量に応じて第2の
距離センサ手段の測定位置を補正し、また第1および第
2の面の変化量に応じて第3の距離センサ手段の測定位
置を補正することによって、第2および第3の距離セン
サ手段は多面体の位置、姿勢が変化していても第2およ
び第3の面における測定部位を正確に検出することがで
き、多面体の三次元位置を正確に測定することができ
る。
【0055】また本発明の請求項2の位置測定装置によ
れば、第1の面および/または第2の面に段差部が存在
していても、この段差部の距離を距離センサ手段の測定
値に加えて補正することによって、第1の面および/ま
たは第2の面を段差部の存在しない面として測定するこ
とができる。
【0056】また本発明の請求項3の位置測定装置によ
れば、第1の面および/または第2の面における測定部
位が相互に反対側に存在していても、両測定部位の間の
距離を距離センサ手段の測定値に加えて補正することに
よって、第1の面および/または第2の面を同一の平面
として測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の前提となる位置測定装置の基本的構成
を示す簡略斜視図である。
【図2】図1の位置測定装置の測定システムを簡略的に
示すブロック図である。
【図3】本発明の前提となる他の位置測定装置の基本的
構成を示す簡略正面図である。
【図4】本発明に従う位置測定装置の第1の実施形態の
基本的構成を示す簡略斜視図である。
【図5】図4の位置測定装置の測定システムを簡略的に
示すブロック図である。
【図6】位置測定装置における距離センサ手段の他の例
を示す部分拡大断面図である。
【図7】図7(a)は、本発明の第2の実施形態におけ
る被測定物の面に段差部が存在する場合における測定距
離の補正様式を示し、図7(b)は、本発明の第3の実
施形態における被測定物の両側から面を検出する場合に
おける測定距離の補正様式を示す。
【符号の説明】
302,502,532 被測定物 304a,304b,304c 第1の距離センサ手段 306a,306b 第2の距離測定手段 308 第3の距離測定手段 310 第1の面 312 第2の面 314 第3の面 322 測定処理手段 324 座標位置記憶手段 326 基準値記憶手段 316,318,320 ロボット手段 510,514,540,544 距離センサ手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 21/00 - 21/32

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定すべき多面体の第1の面を検出する
    ための3組の第1の距離センサ手段と、多面体の前記第
    1の面と異なる面であって前記第1の面と実質上平行で
    ない第2の面を検出するための2組の第2の距離センサ
    手段と、多面体の前記第1の面および前記第2の面と異
    なる面であって前記第1の面および前記第2の面のいず
    れとも実質上平行でない第3の面を検出するための1組
    の第3の距離センサ手段とを備え、 前記3組の第1の距離センサ手段は、前記第1の面を測
    定するための直線上に位置しない異なる3個所の測定部
    位を検出し、これによって多面体の前記第1の面を測定
    基準面として特定し、 前記2組の第2の距離センサ手段は、前記第2の面を測
    定するための異なる2個所の測定部位を検出し、これに
    よって多面体の前記第1の面に対する前記第2の面を特
    定し、 また前記1組の距離センサ手段は、前記第3の面を測定
    するための1個所の測定部位を検出し、これによって多
    面体の前記第1および第2の面に対する前記第3の面を
    特定し、 かくして前記3組の第1の距離センサ手段、前記2組の
    第2の距離センサ手段および前記1組の距離センサ手段
    からの距離検出信号に基づいて多面体の三次元の位置を
    測定し、 前記2組の第2の距離センサ手段には、それぞれの測定
    位置を補正するための第1の測定位置補正手段が設けら
    れ、また前記1組の第3の距離センサ手段には、その測
    定位置を補正するための第2の測定位置補正手段が設け
    られ、前記第1の測定位置補正手段は、それぞれ、前記
    3組の第1の距離センサ手段によって測定された前記基
    準測定面としての前記第1の面の変位量に応じて対応す
    る第2の距離センサ手段の測定位置を補正し、また前記
    第2の測定位置補正手段は、前記3組の第1の距離セン
    サ手段によって測定された前記第1の面の変位量および
    前記2組の第2の距離センサ手段によって測定された前
    記第2の面の変化量に応じて前記1組の第3の距離セン
    サ手段の測定位置を補正することを特徴とする多面体の
    位置測定装置。
  2. 【請求項2】 測定すべき多面体の第1の面を検出する
    ための3組の第1の距離センサ手段と、多面体の前記第
    1の面と異なる面であって前記第1の面と実質上平行で
    ない第2の面を検出するための2組の第2の距離センサ
    手段と、多面体の前記第1の面および前記第2の面と異
    なる面であって前記第1の面および前記第2の面のいず
    れとも実質上平行でない第3の面を検出するための1組
    の第3の距離センサ手段とを備え、 前記3組の第1の距離センサ手段は、前記第1の面を測
    定するための直線上に位置しない異なる3個所の測定部
    位を検出し、これによって多面体の前記第1の面を測定
    基準面として特定し、 前記2組の第2の距離センサ手段は、前記第2の面を測
    定するための異なる2個所の測定部位を検出し、これに
    よって多面体の前記第1の面に対する前記第2の面を特
    定し、 また前記1組の距離センサ手段は、前記第3の面を測定
    するための1個所の測定部位を検出し、これによって多
    面体の前記第1および第2の面に対する前記第3の面を
    特定し、 かくして前記3組の第1の距離センサ手段、前記2組の
    第2の距離センサ手段および前記1組の距離センサ手段
    からの距離検出信号に基づいて多面体の三次元の位置を
    測定し、 測定すべき多面体の前記第1の面および前記第2の面の
    少なくとも一方は、特定の測定部位が他の測定部位に対
    して実質上平行な段差部に設けられており、前記特定の
    測定部位を測定する距離センサ手段の測定値と前記他の
    測定部位を測定する距離センサ手段の測定値のいずれか
    一方は、前記段差部の間隔分その測定値が補正され、こ
    れによって前記特定の測定部位を測定する距離センサ手
    段および前記他の測定部位を測定する距離センサ手段
    は、実質上同一の平面を測定することを特徴とする多面
    体の位置測定装置。
  3. 【請求項3】 測定すべき多面体の第1の面を検出する
    ための3組の第1の距離センサ手段と、多面体の前記第
    1の面と異なる面であって前記第1の面と実質上平行で
    ない第2の面を検出するための2組の第2の距離センサ
    手段と、多面体の前記第1の面および前記第2の面と異
    なる面であって前記第1の面および前記第2の面のいず
    れとも実質上平行でない第3の面を検出するための1組
    の第3の距離センサ手段とを備え、 前記3組の第1の距離センサ手段は、前記第1の面を測
    定するための直線上に位置しない異なる3個所の測定部
    位を検出し、これによって多面体の前記第1の面を測定
    基準面として特定し、 前記2組の第2の距離センサ手段は、前記第2の面を測
    定するための異なる2個所の測定部位を検出し、これに
    よって多面体の前記第1の面に対する前記第2の面を特
    定し、 また前記1組の距離センサ手段は、前記第3の面を測定
    するための1個所の測定部位を検出し、これによって多
    面体の前記第1および第2の面に対する前記第3の面を
    特定し、 かくして前記3組の第1の距離センサ手段、前記2組の
    第2の距離センサ手段および前記1組の距離センサ手段
    からの距離検出信号に基づいて多面体の三次元の位置を
    測定し、 測定すべき多面体の前記第1の面および第2の面の少な
    くとも一方は、特定の測定部位が他の測定部位と反対側
    に存在し、前記特定部位を検出する距離センサ手段は他
    の測定部位を検出する距離センサ手段と反対方向から検
    出し、前記特定の測定部位を測定する距離センサ手段の
    測定値と前記他の測定部位を測定する距離センサ手段の
    測定値のいずれか一方は、双方の測定部位の間隔分その
    測定値が補正され、これによって前記特定の測定部位を
    測定する距離センサ手段および前記他の測定部位を測定
    する距離センサ手段は、実質上同一の平面を測定するこ
    とを特徴とする多面体の位置測定装置。
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