JP2984085B2 - 粉末供給装置 - Google Patents
粉末供給装置Info
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- JP2984085B2 JP2984085B2 JP3105614A JP10561491A JP2984085B2 JP 2984085 B2 JP2984085 B2 JP 2984085B2 JP 3105614 A JP3105614 A JP 3105614A JP 10561491 A JP10561491 A JP 10561491A JP 2984085 B2 JP2984085 B2 JP 2984085B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は粉末供給装置に関し、更
に詳しくはプラズマ中に粉末をキャリアガスと共に供給
し、予め配置されている試料に粉末を蒸着するシステム
における粉末供給装置に関する。
に詳しくはプラズマ中に粉末をキャリアガスと共に供給
し、予め配置されている試料に粉末を蒸着するシステム
における粉末供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属やセラミックス等の微粉末（以下単
に粉末という）をキャリアガスと共にプラズマ中に供給
し、プラズマにより蒸気化された粉末を容器中に配置さ
れた試料に蒸着させる装置が知られている。図７はこの
種の装置の従来構成例を示す図である。気密容器１内に
はターンテーブル２が設けられており、ある回転数で回
転している。このターンテーブルの中心から所定の位置
の円周上には溝３が形成されている。
に粉末という）をキャリアガスと共にプラズマ中に供給
し、プラズマにより蒸気化された粉末を容器中に配置さ
れた試料に蒸着させる装置が知られている。図７はこの
種の装置の従来構成例を示す図である。気密容器１内に
はターンテーブル２が設けられており、ある回転数で回
転している。このターンテーブルの中心から所定の位置
の円周上には溝３が形成されている。
【０００３】一方、ターンテーブル２の上には粉末容器
４が載置されており、その中には粉末５が入っている。
６は粉末５を撹拌する撹拌棒で、図に示すように回転し
て粉末５を撹拌する。７は粉末容器４の底部に設けられ
た穴で、この穴から粉末５がターンテーブル２上の溝３
に落下する。
４が載置されており、その中には粉末５が入っている。
６は粉末５を撹拌する撹拌棒で、図に示すように回転し
て粉末５を撹拌する。７は粉末容器４の底部に設けられ
た穴で、この穴から粉末５がターンテーブル２上の溝３
に落下する。
【０００４】図８ターンテーブル２と粉末容器４の位置
関係を示す図である。溝３は図に示すように円周状に形
成されている。ターンテーブル２と粉末容器４とが擦り
合う部分（図の斜線領域）Ａに穴７が開いており、この
穴から下の溝３に粉末５が落下するようになっている。
関係を示す図である。溝３は図に示すように円周状に形
成されている。ターンテーブル２と粉末容器４とが擦り
合う部分（図の斜線領域）Ａに穴７が開いており、この
穴から下の溝３に粉末５が落下するようになっている。
【０００５】溝３に落下した粉末５は図の向きに回転し
て図７のＢの位置（粉末供給部の位置）にくる。気密容
器１には底の方からキャリアガスが導入されており、こ
のキャリアガスによりＢの位置にきた粉末５はキャリア
ガスと共に上の方に巻き上げられる。上部にはプラズマ
１０が発生しており、このプラズマ１０に入った粉末は
１万Ｋ以上もの熱のために蒸気化する。この金属蒸気
は、その上に設けられた試料１１に蒸着する。このよう
にして、試料１１の全面にわたって均一な薄膜を形成す
ることができる。
て図７のＢの位置（粉末供給部の位置）にくる。気密容
器１には底の方からキャリアガスが導入されており、こ
のキャリアガスによりＢの位置にきた粉末５はキャリア
ガスと共に上の方に巻き上げられる。上部にはプラズマ
１０が発生しており、このプラズマ１０に入った粉末は
１万Ｋ以上もの熱のために蒸気化する。この金属蒸気
は、その上に設けられた試料１１に蒸着する。このよう
にして、試料１１の全面にわたって均一な薄膜を形成す
ることができる。
【０００６】図９は粉末供給装置の他の従来構成例を示
す図である。（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。
２１は粉末容器で、その中には粉末２２が入っている。
２３は粉末容器２１内に設けられた回転体、２４は該回
転体２３の周囲に形成された撹拌羽である。２５は粉末
容器２１の直下に設けられた羽車、２６は粉末供給部で
ある。
す図である。（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。
２１は粉末容器で、その中には粉末２２が入っている。
２３は粉末容器２１内に設けられた回転体、２４は該回
転体２３の周囲に形成された撹拌羽である。２５は粉末
容器２１の直下に設けられた羽車、２６は粉末供給部で
ある。
【０００７】このように構成された装置において、回転
体２３が図に反時計方向に、羽車２５が時計方向にそれ
ぞれ回転している。粉末２２は、粉末容器２１の底と回
転体２３の底との間に形成された隙間２７から羽車の外
周部に形成された複数の羽根の間、つまり隙間２５ａに
落ちる。隙間に落ちた粉末は回転により粉末供給部２６
まで運ばれ、該粉末供給部２６で隙間２５ａに入ってい
た粉末が管２８にキャリヤガスにより入れられる。そし
て、管２８からこのキャリアガスに付勢されて粉末はキ
ャリアガスと共に外部に取り出される。
体２３が図に反時計方向に、羽車２５が時計方向にそれ
ぞれ回転している。粉末２２は、粉末容器２１の底と回
転体２３の底との間に形成された隙間２７から羽車の外
周部に形成された複数の羽根の間、つまり隙間２５ａに
落ちる。隙間に落ちた粉末は回転により粉末供給部２６
まで運ばれ、該粉末供給部２６で隙間２５ａに入ってい
た粉末が管２８にキャリヤガスにより入れられる。そし
て、管２８からこのキャリアガスに付勢されて粉末はキ
ャリアガスと共に外部に取り出される。
【０００８】図１０は従来装置の他の構成例を示す図で
ある。気密容器３０内にセットされたホッパ３１内に、
予め粉末３２を入れておく。そして、圧縮ガスで気密容
器３０内を加圧しておく。次に、ホッパ３１内の撹拌体
３３を回転させ、供給盤３４の上面に形成された溝３５
に粉末３２を落下させる。
ある。気密容器３０内にセットされたホッパ３１内に、
予め粉末３２を入れておく。そして、圧縮ガスで気密容
器３０内を加圧しておく。次に、ホッパ３１内の撹拌体
３３を回転させ、供給盤３４の上面に形成された溝３５
に粉末３２を落下させる。
【０００９】供給盤３４を約９０゜回転させた部分に、
樹脂性の粉末トラップ３６が溝３５の中に設けられてい
る。この粉末トラップ３６で止められた粉末３２は加圧
されたガスが外部に出る時に生じる吸引力で外に吸い出
される。
樹脂性の粉末トラップ３６が溝３５の中に設けられてい
る。この粉末トラップ３６で止められた粉末３２は加圧
されたガスが外部に出る時に生じる吸引力で外に吸い出
される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】図７に示す従来例で
は、粒径１μｍ以下の微粒子の場合、粉末容器４の穴７
に入った粉末が溝３以外のテーブル表面に付着し、テー
ブル２と粉末容器４の擦り合わせ部分Ａに粉末が入り込
み、噛み合ってしまうという問題がある。また、図９に
示す従来例の場合にも、羽車２５の回転部と部材２９と
の間の擦り合わせ部分Ｃに粉末が入り込んで噛み合って
しまい、コンタミが発生する。
は、粒径１μｍ以下の微粒子の場合、粉末容器４の穴７
に入った粉末が溝３以外のテーブル表面に付着し、テー
ブル２と粉末容器４の擦り合わせ部分Ａに粉末が入り込
み、噛み合ってしまうという問題がある。また、図９に
示す従来例の場合にも、羽車２５の回転部と部材２９と
の間の擦り合わせ部分Ｃに粉末が入り込んで噛み合って
しまい、コンタミが発生する。
【００１１】また、図１０に示す従来例の場合には、粉
末３２がホッパ３１から溝３２に入る時や、粉末トラッ
プ３６部分で、はみ出し、供給盤３４から下に落ちるこ
とによって、供給盤３４の軸に粉末が入り込み、過負荷
の原因となるため、定期的な掃除が必要となる。また、
粉末トラップ３６の樹脂が、溝３５の中で粉末といっし
ょにこすりあっているために供給の溝や樹脂が削られ、
樹脂の粉が発生し、原料粉末に混ざり合い、その純度を
低下させる原因になってしまう。
末３２がホッパ３１から溝３２に入る時や、粉末トラッ
プ３６部分で、はみ出し、供給盤３４から下に落ちるこ
とによって、供給盤３４の軸に粉末が入り込み、過負荷
の原因となるため、定期的な掃除が必要となる。また、
粉末トラップ３６の樹脂が、溝３５の中で粉末といっし
ょにこすりあっているために供給の溝や樹脂が削られ、
樹脂の粉が発生し、原料粉末に混ざり合い、その純度を
低下させる原因になってしまう。
【００１２】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであって、粉末が隙間部分に入り込んで噛み合うこ
となく、安定に一定量の粉末を供給することができる粉
末供給装置を提供することを目的としている。
ものであって、粉末が隙間部分に入り込んで噛み合うこ
となく、安定に一定量の粉末を供給することができる粉
末供給装置を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ための解決する本発明は、中心から所定の位置の円周上
に突起した溝が形成された回転可能な粉末供給盤と、該
粉末供給盤の上に載置され、粉末を粉末供給盤に形成さ
れた溝に落としこむための気密性の粉末容器と、該粉末
容器内で粉末を撹拌させる回転可能な撹拌体とで構成さ
れたことを特徴としている。
ための解決する本発明は、中心から所定の位置の円周上
に突起した溝が形成された回転可能な粉末供給盤と、該
粉末供給盤の上に載置され、粉末を粉末供給盤に形成さ
れた溝に落としこむための気密性の粉末容器と、該粉末
容器内で粉末を撹拌させる回転可能な撹拌体とで構成さ
れたことを特徴としている。
【００１４】
【作用】粉末を搬送する溝の部分は、他のフランジや撹
拌体と接触しないので、噛み合いが発生せず、安定に一
定量の粉末を供給することができる。
拌体と接触しないので、噛み合いが発生せず、安定に一
定量の粉末を供給することができる。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１６】図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図において、４０はその内部に凝縮されている粉末
４１を入れる気密容器で、該気密容器４０中には圧縮ガ
スが供給され、その内部を加圧状態にしている。４２は
粉末４１を撹拌するための回転可能な撹拌体で、その外
周部には複数枚の撹拌羽４３が取り付けられており、回
転して粉末４１を撹拌する。４４は気密容器４０と撹拌
体４２との気密性を維持するためのＯリングで、撹拌体
４２の回転軸の周囲に設けられている。
る。図において、４０はその内部に凝縮されている粉末
４１を入れる気密容器で、該気密容器４０中には圧縮ガ
スが供給され、その内部を加圧状態にしている。４２は
粉末４１を撹拌するための回転可能な撹拌体で、その外
周部には複数枚の撹拌羽４３が取り付けられており、回
転して粉末４１を撹拌する。４４は気密容器４０と撹拌
体４２との気密性を維持するためのＯリングで、撹拌体
４２の回転軸の周囲に設けられている。
【００１７】４５は中心から所定の位置の円周上に突起
した溝４６が形成された回転可能な粉末供給盤である。
撹拌体４２の回転軸と粉末供給盤４５の回転軸は、例え
ばモータにより駆動されるようになっている。溝４６の
形状は、例えば図に示すようにＶ字形となっているが、
その形状は問わない。粉末４１が入る形状であればどの
ような形状でもよい。また、溝４６と撹拌羽４３との間
には粉末４１がスタックしないだけの十分な隙間が設け
られている。４７は気密容器４０と粉末供給盤４５との
気密を維持するためのＯリングで、粉末供給盤４５の回
転軸の周囲に設けられている。４８は粉末供給部で、シ
リンダ内に円筒状の穴が設けられたものである。このよ
うに構成された装置の動作を説明すれば、以下のとおり
である。
した溝４６が形成された回転可能な粉末供給盤である。
撹拌体４２の回転軸と粉末供給盤４５の回転軸は、例え
ばモータにより駆動されるようになっている。溝４６の
形状は、例えば図に示すようにＶ字形となっているが、
その形状は問わない。粉末４１が入る形状であればどの
ような形状でもよい。また、溝４６と撹拌羽４３との間
には粉末４１がスタックしないだけの十分な隙間が設け
られている。４７は気密容器４０と粉末供給盤４５との
気密を維持するためのＯリングで、粉末供給盤４５の回
転軸の周囲に設けられている。４８は粉末供給部で、シ
リンダ内に円筒状の穴が設けられたものである。このよ
うに構成された装置の動作を説明すれば、以下のとおり
である。
【００１８】気密容器４０内の粉末４１は、回転する撹
拌羽４３により十分に撹拌される。そして、撹拌された
粉末は撹拌羽４３の下部に配置された溝４６に入る。溝
４６は回転しているので、粉末４１を入れた溝４６は粉
末供給部４８の位置まで来る。この粉末供給部４８はシ
リンダの内部に円筒状の穴があいた構造となっている。
拌羽４３により十分に撹拌される。そして、撹拌された
粉末は撹拌羽４３の下部に配置された溝４６に入る。溝
４６は回転しているので、粉末４１を入れた溝４６は粉
末供給部４８の位置まで来る。この粉末供給部４８はシ
リンダの内部に円筒状の穴があいた構造となっている。
【００１９】気密容器４０内の加圧ガスの出口は、この
円筒状態の穴しかない。この穴の入口部分（溝４６と対
向する部分）の直径を、例えば０．１ｍｍφ〜０．６ｍ
ｍφ程度に設計しておくと、圧縮ガスはこの穴からマッ
ハ１程度の速度で外部に出ていく。このガスが外部に排
出される時に発生する吸引力により、粉末４１は外部に
ガスと共に排出される。ここで、粉末供給部４８の出口
は広くなっているので、ガスと粉末は一種の霧吹き状態
で、つまりガスの膨脹力により凝縮された粉末が分散さ
れた状態で、粉末供給部４８の出口から出射される。こ
のため、極めて分散した粉末が出射されることになる。
円筒状態の穴しかない。この穴の入口部分（溝４６と対
向する部分）の直径を、例えば０．１ｍｍφ〜０．６ｍ
ｍφ程度に設計しておくと、圧縮ガスはこの穴からマッ
ハ１程度の速度で外部に出ていく。このガスが外部に排
出される時に発生する吸引力により、粉末４１は外部に
ガスと共に排出される。ここで、粉末供給部４８の出口
は広くなっているので、ガスと粉末は一種の霧吹き状態
で、つまりガスの膨脹力により凝縮された粉末が分散さ
れた状態で、粉末供給部４８の出口から出射される。こ
のため、極めて分散した粉末が出射されることになる。
【００２０】この実施例では、図２に示すように回転す
る撹拌体４２と、回転する粉末供給盤４５との機械的な
重なりがないので、噛み合いが発生して相手を削ってし
まってコンタミが発生することがなくなる。また、溝４
６が継ぎ目のないリング状になっているため、粉末４１
を間欠することなく、連続してかつ安定に外部に搬送す
ることができる。
る撹拌体４２と、回転する粉末供給盤４５との機械的な
重なりがないので、噛み合いが発生して相手を削ってし
まってコンタミが発生することがなくなる。また、溝４
６が継ぎ目のないリング状になっているため、粉末４１
を間欠することなく、連続してかつ安定に外部に搬送す
ることができる。
【００２１】図３は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図１と同一のものは、同一の符号を付して示す。
図に示す実施例は、撹拌羽４３の外周面に沿ってリング
４９を設けたものである。撹拌羽４３の先端とリング４
９とは図４に示すように固着されている。その他の構成
は図１と同じである。
ある。図１と同一のものは、同一の符号を付して示す。
図に示す実施例は、撹拌羽４３の外周面に沿ってリング
４９を設けたものである。撹拌羽４３の先端とリング４
９とは図４に示すように固着されている。その他の構成
は図１と同じである。
【００２２】このようなリング４９を撹拌羽４３の外周
面に設けることにより、撹拌羽４３の回転に連れて、リ
ング４９も図４に示すように回転することになる。従っ
て、粉末４１はそれまでの間欠的な撹拌から、連続的な
撹拌になり、粉末を溝４６に入れるかさ密度が一定にな
る。この結果、溝３６に入る粉末の量が均一化され、よ
り安定な量の粉末を供給部４８から供給することができ
るようになる。
面に設けることにより、撹拌羽４３の回転に連れて、リ
ング４９も図４に示すように回転することになる。従っ
て、粉末４１はそれまでの間欠的な撹拌から、連続的な
撹拌になり、粉末を溝４６に入れるかさ密度が一定にな
る。この結果、溝３６に入る粉末の量が均一化され、よ
り安定な量の粉末を供給部４８から供給することができ
るようになる。
【００２３】図５は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図１と同一のものは、同一の符号を付して示す。
図に示す実施例は、粉末供給盤４５の側面に粉末をトラ
ップするための溝５０を形成すると共に、粉末供給盤４
５と撹拌体４２のそれぞれを独立に上下調節できる機構
（図示せず）を設けたものである。その他の構成は、図
１と同じである。
ある。図１と同一のものは、同一の符号を付して示す。
図に示す実施例は、粉末供給盤４５の側面に粉末をトラ
ップするための溝５０を形成すると共に、粉末供給盤４
５と撹拌体４２のそれぞれを独立に上下調節できる機構
（図示せず）を設けたものである。その他の構成は、図
１と同じである。
【００２４】このように、粉末供給盤４５の側面に溝５
０を設けることにより、上部から落下する粉末がこの溝
５０でトラップされる。更に、トラップされた粉末の上
に粉末が重なることによって、柱状の粉末の固まり（ブ
リッジ状態）となる。この固まりは、更に粉末が落下す
るのを抑える機能を有し、粉末供給盤４５のＯリング４
７に粉末が入り込むのを防ぐことができる。この結果、
モータが過負荷になるのを防止することができる。
０を設けることにより、上部から落下する粉末がこの溝
５０でトラップされる。更に、トラップされた粉末の上
に粉末が重なることによって、柱状の粉末の固まり（ブ
リッジ状態）となる。この固まりは、更に粉末が落下す
るのを抑える機能を有し、粉末供給盤４５のＯリング４
７に粉末が入り込むのを防ぐことができる。この結果、
モータが過負荷になるのを防止することができる。
【００２５】この実施例では、更に撹拌体４２と粉末供
給盤４５とを回転制御の他にそれぞれ独立に上下に移動
する機構を設けている。このような機構を設けることに
より、各機構部分が擦り合わないように調整すること
で、金属部分のかみ合わせを防止することができる。。
次に、粉末を入れた状態で、撹拌体４２を１〜２回、回
転させると、撹拌体４２と本体の隙間Ｄ部分に、図６に
示すような粉末の粘性による摩擦力と静電気等によって
粉末の膜５１が生じる。この膜５１は、撹拌体４２によ
って回転する粉末と本体の金属部が直接擦り合うことを
防ぐ機能を持つ。
給盤４５とを回転制御の他にそれぞれ独立に上下に移動
する機構を設けている。このような機構を設けることに
より、各機構部分が擦り合わないように調整すること
で、金属部分のかみ合わせを防止することができる。。
次に、粉末を入れた状態で、撹拌体４２を１〜２回、回
転させると、撹拌体４２と本体の隙間Ｄ部分に、図６に
示すような粉末の粘性による摩擦力と静電気等によって
粉末の膜５１が生じる。この膜５１は、撹拌体４２によ
って回転する粉末と本体の金属部が直接擦り合うことを
防ぐ機能を持つ。
【００２６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば粉末を搬送する溝の部分だけが撹拌体や気密容器
と機械的に重なり合うことがないように構成することに
より、粉末が他のフランジと擦ることがない。従って、
噛み合いが発生しないため、コンタミがなく安定に一定
量の粉末を供給することができる。また、撹拌羽の外周
面にリングを取り付けることにより、粉末の移動を連続
的に行うことができるので、溝に粉末を入れるかさ密度
を均一化することができる。また、粉末供給盤の側面に
落下する粉末をトラップするための溝を設けることによ
り、粉末が落下してＯリングに入り込み、モータの過負
荷状態が発生するのを防止することができる。更に、粉
末供給部をシリンダ内に細い円筒状の穴をあけた構成と
し、この穴からマッハ１程度の速度で粉末とガスを排出
し、更にその出口を広くすることにより、霧吹き状態で
粉末を分散させることができ、均一な薄膜形成に寄与す
ることができる。
よれば粉末を搬送する溝の部分だけが撹拌体や気密容器
と機械的に重なり合うことがないように構成することに
より、粉末が他のフランジと擦ることがない。従って、
噛み合いが発生しないため、コンタミがなく安定に一定
量の粉末を供給することができる。また、撹拌羽の外周
面にリングを取り付けることにより、粉末の移動を連続
的に行うことができるので、溝に粉末を入れるかさ密度
を均一化することができる。また、粉末供給盤の側面に
落下する粉末をトラップするための溝を設けることによ
り、粉末が落下してＯリングに入り込み、モータの過負
荷状態が発生するのを防止することができる。更に、粉
末供給部をシリンダ内に細い円筒状の穴をあけた構成と
し、この穴からマッハ１程度の速度で粉末とガスを排出
し、更にその出口を広くすることにより、霧吹き状態で
粉末を分散させることができ、均一な薄膜形成に寄与す
ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】撹拌体と粉末供給盤の重なり状態を示す図であ
る。
る。
【図３】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図４】撹拌羽の外周面にリングを設けた例を示す図で
ある。
ある。
【図５】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図６】薄膜形成の様子を示す図である。
【図７】従来装置の構成例を示す図である。
【図８】ターンテーブルと粉末容器の位置関係を示す図
である。
である。
【図９】従来装置の他の構成例を示す図である。
【図１０】従来装置の他の構成例を示す図である。
４０…気密容器 ４１…粉末 ４２…撹拌体 ４３…撹拌羽 ４４…Ｏリング ４５…粉末供給盤 ４６…溝 ４７…Ｏリング ４８…粉末供給部
Claims (4)
- 【請求項１】 中心から所定の位置の円周上に突起した
溝が形成された回転可能な粉末供給盤と、該粉末供給盤
の上に載置され、粉末を粉末供給盤に形成された溝に落
としこむための気密性の粉末容器と、該粉末容器内で粉
末を撹拌させる回転可能な撹拌体とで構成された粉末供
給装置。 - 【請求項２】 前記撹拌体の上面に形成された撹拌羽の
外周面に沿ってリングを設け、粉末を溝に入れるかさ密
度が一定になるようにしたことを特徴とする請求項１記
載の粉末供給装置。 - 【請求項３】 前記粉末供給盤の側面に粉末をトラップ
するための溝を形成すると共に、粉末供給盤と撹拌体の
それぞれを独立に上下調節できる機構を設けたことを特
徴とする請求項１記載の粉末供給装置。 - 【請求項４】 前記粉末供給盤の一端に形成された粉末
供給部において、粉末容器から入ってくる圧縮ガスの出
口を該粉末供給部に設け、かつこの粉末供給部の出口を
シリンダ内に設けた極細い円筒状の穴とし、この穴から
圧縮ガスを噴射させ、ガスの膨脹力により凝縮した粉末
を分散させるようにしたことを特徴とする請求項１記載
の粉末供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3105614A JP2984085B2 (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 粉末供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3105614A JP2984085B2 (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 粉末供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05239627A JPH05239627A (ja) | 1993-09-17 |
| JP2984085B2 true JP2984085B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=14412381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3105614A Expired - Fee Related JP2984085B2 (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 粉末供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2984085B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007231390A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Fujifilm Corp | エアロゾル生成装置及び方法、並びに、それを用いた成膜装置及び方法 |
| JP2013503256A (ja) * | 2009-08-26 | 2013-01-31 | 株式会社テラセミコン | 蒸着ガス供給装置 |
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