JP2983717B2 - 光起電力装置の製造方法 - Google Patents
光起電力装置の製造方法Info
- Publication number
- JP2983717B2 JP2983717B2 JP3259218A JP25921891A JP2983717B2 JP 2983717 B2 JP2983717 B2 JP 2983717B2 JP 3259218 A JP3259218 A JP 3259218A JP 25921891 A JP25921891 A JP 25921891A JP 2983717 B2 JP2983717 B2 JP 2983717B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin layer
- layer
- photovoltaic device
- support substrate
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
力装置の製造方法に関する。
て、支持基板上に、可撓性、透光性且つ絶縁性を有する
第1樹脂層を形成し、この第1樹脂層上に順次、透明電
極、光活性層を含む薄膜半導体層、背面金属電極及び可
撓性且つ絶縁性を有する第2樹脂層を積層形成した後、
上記支持基板より第1樹脂層を剥離することによって光
起電力装置を製造する方法が特開平1−105581号
公報に開示されている。
曲げが可能で耐熱性に優れるポリイミド樹脂が用いられ
ており、また上記第1樹脂層が形成される支持基板とし
ては、光起電力装置の形成後、第1樹脂層を支持基板か
ら剥離し易くするために離型性の優れる硝子基板が用い
られている。
した後、支持基板毎、水中に浸漬させて、支持基板と第
1樹脂層との界面に水を浸入させることにより、光起電
力装置を支持基板から剥離せしめている。
基板から第1樹脂層を剥離せしめる際には、約3乃至7
日間連続して水中に浸漬させなければならず、その間に
透明電極、薄膜半導体層及び背面金属電極が腐食すると
いう問題が生じていた。
基板の表面に、その第1樹脂層中の分子と結合し易い錫
等の不純物が存在することにあると発明者は考察する。
製造方法は、支持基板の一主面上に絶縁性且つ可撓性を
有する第1樹脂層、第1電極層、光活性層を含む薄膜半
導体層、第2電極層及び絶縁性且つ可撓性を有する第2
樹脂層を順次積層形成した後、上記第1樹脂層を上記支
持基板から剥離せしめる光起電力装置の製造方法におい
て、少なくとも上記支持基板の一主面に前記第1樹脂層
との結合力を低減させるための不純物除去処理を行うこ
とを特徴とする。
極、光活性層を含む薄膜半導体層、背面金属電極及び第
2樹脂層を積層形成する前に、少なくとも上記支持基板
の一主面に前記第1樹脂層との結合力を低減させるため
の不純物除去処理を行い、第1樹脂層が形成される硝子
基板とその第1樹脂層との間の結合力(密着力)を低減
させる。
図3に示す。
濃度のフッ酸(HF)に1乃至20分程度浸漬させ、硝
子基板1の約1乃至20μmの深さまでの表面2に存在
する不純物、例えば錫等を除去する。この結果、硝子基
板1の表面2に存在する不純物である錫の存在比は、除
去前2乃至3atm.%であったのが、0.1atm.
%以下に低減される。
する第1樹脂層4が硝子基板1から簡単に剥離されない
ように、硝子基板1の一主面上に、この硝子基板1の周
辺部から1乃至5mmの個所に上記硝子基板1の全周に
沿って、0.1乃至3mmのライン幅のAgペースト等
からなる金属ペースト3を印刷し、300乃至600℃
で焼成する。
性、絶縁性且つ可撓性のポリイミドのワニスである第1
樹脂層4をスピンコータ等で硝子基板1上に均一に、厚
さ5乃至100μmで形成し、100乃至300℃まで
段階的に昇温しながら処理する。
O2)、酸化インジウム錫(ITO)等からなる透明電
極5、p型、i型及びn型又はpn接合等の光活性層を
含む厚さ3000乃至7000Åのアモルファスシリコ
ン、アモルファスシリコンカーバイト、アモルファスシ
リコンゲルマニウム等のアモルファスシリコン系の薄膜
半導体層6及びアルミニウム又はアルミニウムとチタン
との2重構造からなる厚さ4000Å乃至2μmの背面
金属電極7を順次形成する。
上面に厚さ20μm乃至1mmのEVA、PET等から
なる熱可塑性樹脂シートである第2樹脂層8を図3
(b)のように形成する。
離すべく、図3(c)に示すように金属ペースト3の内
側を島状に切断し、水中に硝子基板1ごと浸漬すること
により、約1乃至30時間で硝子基板1から第1樹脂層
4を剥離せしめることができる。
に、少なくとも第1樹脂層4が形成される硝子基板1表
面に、第1樹脂層4との結合力を低減させるための不純
物除去処理を行うことによって、第1樹脂層4と硝子基
板1との結合力(密着力)を低減させることができる結
果、剥離のための水中への浸漬時間は短時間となり、透
明電極5、薄膜半導体層6及び背面金属電極7に腐食を
与えることは全くなくなる。
明電極5、薄膜半導体層6及び背面金属電極7を順に形
成したが、これには限らない。
一主面に前記第1樹脂層との結合力を低減させるための
不純物除去処理を行った後、透光性、絶縁性且つ可撓性
を有する第1樹脂層、第1電極層、光活性層を含む薄膜
半導体層、第2電極層及び絶縁性且つ可撓性を有する第
2樹脂層を順次積層形成することにより、上記支持基板
から第1樹脂層を水中で剥離せしめる際に極めて短時間
のうちに、その作業を行うことができる結果、第1電極
層、光活性層を含む薄膜半導体層、第2電極層に腐食を
与えることが全くなくなる。
持基板の上面図並びに断面図
示す断面図
Claims (2)
- 【請求項1】 支持基板の一主面上に絶縁性且つ可撓性
を有する第1樹脂層、第1電極層、光活性層を含む薄膜
半導体層、第2電極層及び絶縁性且つ可撓性を有する第
2樹脂層を順次積層形成した後、上記第1樹脂層を上記
支持基板から剥離せしめる光起電力装置の製造方法にお
いて、少なくとも上記支持基板の一主面に前記第1樹脂
層との結合力を低減させるための不純物除去処理を行う
ことを特徴とする光起電力装置の製造方法。 - 【請求項2】 ガラスからなる上記支持基板の一主面に
フッ酸によって不純物除去処理を行うことを特徴とする
請求項1記載の光起電力装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3259218A JP2983717B2 (ja) | 1991-10-07 | 1991-10-07 | 光起電力装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3259218A JP2983717B2 (ja) | 1991-10-07 | 1991-10-07 | 光起電力装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05102500A JPH05102500A (ja) | 1993-04-23 |
JP2983717B2 true JP2983717B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=17331045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3259218A Expired - Fee Related JP2983717B2 (ja) | 1991-10-07 | 1991-10-07 | 光起電力装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2983717B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4739772B2 (ja) * | 2004-02-17 | 2011-08-03 | シチズンホールディングス株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
JP2014022459A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-03 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 積層体及びフレキシブルデバイスの製造方法 |
-
1991
- 1991-10-07 JP JP3259218A patent/JP2983717B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05102500A (ja) | 1993-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101174659B (zh) | 单晶硅太阳能电池的制造方法 | |
US6566235B2 (en) | Process for producing semiconductor member, and process for producing solar cell | |
EA008894B1 (ru) | Способ изготовления фольги солнечных элементов с использованием временной подложки | |
JP2001094136A (ja) | 半導体素子モジュールの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法 | |
EP1542290B1 (en) | Photovoltaic device | |
JP2783918B2 (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
US20180151766A1 (en) | Anti-corrosion protection in photovoltaic structures | |
US20170077320A1 (en) | Anti-corrosion protection of photovoltaic structures | |
JP2002280579A (ja) | 集積化薄膜太陽電池の製造方法 | |
JP2983717B2 (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
JPH1140832A (ja) | 薄膜太陽電池およびその製造方法 | |
JP4245135B2 (ja) | 薄膜太陽電池製造方法 | |
JP3243229B2 (ja) | 太陽電池モジュール | |
JP3209700B2 (ja) | 光起電力装置及びモジュール | |
CN110603649A (zh) | 光电转换装置以及具备其的太阳能电池组件 | |
JP3243227B2 (ja) | 太陽電池モジュール | |
JP2001358351A (ja) | 光起電力素子の製造方法、その製造装置、及び太陽電池モジュール | |
JP2698189B2 (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
JP3332487B2 (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
US20180102452A1 (en) | Corrosion resistant photovoltaic modules | |
JP2951023B2 (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
JP2001223379A (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
JPH04296061A (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
JP3313259B2 (ja) | 薄膜太陽電池の製造方法 | |
JP2003303980A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070924 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080924 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090924 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100924 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100924 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110924 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |