JP2982156B2 - 光デバイス用保護膜材料 - Google Patents
光デバイス用保護膜材料Info
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Description
に関する。さらに詳しくは、光デバイス中に用いられる
塗膜の形成材料として種々の物性に優れた熱硬化性樹脂
組成物からなる光デバイス用保護膜材料に関する。
を防止するためにその表面に保護膜を形成することが広
く行なわれている。このような保護膜には、基体への接
着性が高く且つ塗膜が平滑で強靱であること、耐熱性お
よび耐光性が高く、長期にわたって変色などの変質をし
ないこと、耐水性および耐溶剤性が優れることが要求さ
れる。
な、液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD)
のような色分離フィルター(カラーフィルター)を内蔵
した素子においては、3色のカラーフィルターを形成す
る間に混色を防ぐ方法の1つとして1色形成するごとに
防染保護膜によって被覆することがしばしば行なわれ
る。このような防染保護膜には、保護膜としての上記の
如き必要な性能に加えて、さらに透明性、耐染色性およ
び塗工性が要求される。
れた熱硬化性樹脂組成物は上記の如く諸特性を満たす保
護膜材料として有用である。
は、上記の如く非常に優れた性能を示す塗膜を与えるも
のの溶液状態でも硬化反応が進行し、例えば室温で1週
間放置しただけでも増粘して塗布性や得られる膜厚を変
化させあるいは得られる膜質を変化させることがあっ
た。
用保護膜材料を提供することにある。
べき上記の如き諸性能を満たす保護膜を形成ししかも溶
液状態で例えば室温で一週間保存しても粘度変化が小さ
いかあるいは実質的に無視しうる熱硬化性樹脂組成物か
らなる光デバイス用保護膜材料を提供することにある。
の説明から明らかとなろう。
の上記目的および利点は、(A)下記一般式(I)
を示し、そしてmは1〜8の整数を示す、
およびこの構成単位を導入するための単量体とは異なる
単量体(但しフッ素含有エチレン性不飽和基含有化合物
を除く)によって導入される他の構成単位0〜80重量
%からなる重合体100重量部、および (B)2級窒素原子および/または3級窒素原子を含む
ヘテロ環構造を有する化合物0.1〜30重量部を含ん
でなる熱硬化性樹脂組成物からなることを特徴とする光
デバイス用保護膜材料によって達成される。
る熱硬化性樹脂組成物は、上記の如く、(A)成分およ
び(B)成分を含有してなる。
る構成単位を少くとも20重量%含有する重合体(以下
「重合体(A)」という)である。
は炭素数1〜5のアルキル基を示しそしてmは1〜8、
好ましくは1〜4の整数を示す。炭素数1〜5のアルキ
ル基は、直鎖状および分岐鎖状のいずれであってもよ
く、例えばメチル、エチル、n−プロピル、iso−プ
ロピル、n−ブチル、iso−ブチル、sec−ブチ
ル、t−ブチルおよびn−ペンチル等である。これらの
うち、メチルが特に好ましい。
るために使用される単量体としては、例えば(メタ)ア
クリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジ
ル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−
ブチルアクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸−
3,4−エポキシブチル、(メタ)アクリル酸−4,5−
エポキシペンチル、(メタ)アクリル酸−6,7−エポ
キシヘプチル、α−エチルアクリル酸−6,7−エポキ
シヘプチル等を挙げることができる。これらの中で、
(メタ)アクリル酸グリシジルが好ましい。これらの単
量体は、1種単独または2種以上の組み合わせで使用す
ることができる。
(I)で表される構成単位は、塗膜中での架橋反応を有
効に行なうために、重合体(A)中に20〜100重量
%、特に30〜70重量%の割合で含まれていることが
好適である。
される構成単位以外の他の構成単位、すなわち重合体
(A)中に好ましくは80重量%以下特に70〜30重
量%の割合で含まれ得る他の構成単位は、例えばアクリ
ル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、
メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸
ブチル、メタクリル酸−2−エチルヘキシル、アクリル
酸フェニル、メタクリル酸フェニル、アクリル酸シクロ
ヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸ジ
シクロペンタニル、メタクリル酸ジシクロペンタニル、
アクリル酸ジシクロペンタニルオキシエチル、メタクリ
ル酸ジシクロペンタニルオキシエチル、アクリル酸イソ
ボロニル、メタクリル酸イソボロニルの如きアクリル酸
もしくはメタクリル酸のエステル;スチレン、α−メチ
ルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルナフレンの如
きビニル芳香族系化合物の如き単量体の共重合によって
導入される。但し、一般式(I)で表される構成単位と
異なる他の構成単位を導入するためのこれらの単量体が
フッ素含有エチレン性不飽和基含有化合物であることは
ない。
熱硬化制樹脂組成物の溶液を均一に塗布することが可能
である限り特に限定されないが、通常ポリスチレン換算
重量平均分子量が5,000〜300,000の範囲にあ
ることが好適であり、形成する塗膜の厚さ、塗布条件、
目的等に応じて適宜選択される。
(A)は、上述した構成単位を有する限りにおいて、前
述した各単量体のランダム共重合体あるいはブロック共
重合体であってよい。
3級窒素原子を含むヘテロ環構造を有する化合物であ
る。
(A)のエポキシ基を開環させて架橋させるのに有効で
ある。
しては、例えばピロール、イミダゾール、ピラゾール、
ピリジン、ピラジン、ピリミジン、インドール、インダ
ゾール、ベンズイミダゾール、イソシアヌル酸等を例示
することができる。これらの中でも、2−メチルイミダ
ゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−ヘ
プタデシルイミダゾール、4−メチル−2−フェニルイ
ミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、
2−エチル−4−メチル−1−(2′−シアノエチル)
イミダゾール、2−エチル−4−メチル−1−[2′−
(3″,5″−ジアミノトリアジニル)エチル]イミダ
ゾール、ベンズイミダゾール等のイミダゾール誘導体お
よびイソシアヌル酸が好適であり、最も好適には、2−
エチル−4−メチルイミダゾール、4−メチル−2−フ
ェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダ
ゾールおよびイソシアヌル酸が使用される。これらのヘ
テロ環構造を有する化合物は、単独または2種以上の組
み合わせで使用することができ、重合体(A)100重
量部当り0.1〜30重量部、特に0.1〜10重量部の
割合で使用されることが望ましい。
上記(A)および(B)成分の他、必要に応じ、他の配
合剤例えば接着助剤、界面活性剤、帯電防止剤などを配
合することができる。
ング剤を例示することができる。官能性シランカップリ
ング剤としては、ビニル基、カルボキシル基、メタクリ
ロイル基、イソシアネート基、エポキシ基等の反応性置
換基を有するシランカップリング剤が好適である。その
具体例としては、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メ
タクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリ
アセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イ
ソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシ
ドキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エ
ポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等を
挙げることができる。これらの官能性シランカップリン
グ剤も、単独または2種以上の組み合わせで使用するこ
とができ、重合体(A)100重量部当り0.1〜30
重量部の割合で使用されることが望ましい。
よびアルキレングリコール系界面活性剤を例示すること
ができる。
主鎖および側鎖の少くともいずれかの部位に、フルオロ
アルキルまたはフルオロアルキレンを有する化合物が好
適である。このようなフッ素系界面活性剤としては具体
例には1,1,2,2−テトラフロロオクチル(1,1,2,
2−テトラフロロプロピル)エーテル、1,1,2,2−
テトラフロロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレ
ングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチル)
エーテル、ヘキサエチレングリコールジ(1,1,2,2,
3,3−ヘキサフロロペンチル)エーテル、オクタプロ
ピレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチ
ル)エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ(1,1,
2,2,3,3−ヘキサフロロペンチル)エーテル、パー
フロロドデシルスルホン酸ナトリウム、1,1,2,2,
8,8,9,9,10,10−デカフロロドデカン、1,1,
2,2,3,3−ヘキサフロロデカン等を挙げることがで
きる。またこれらの市販品としては、BM−1000、
BM−1100(BM Chemie社製)、メガファ
ックF142D、同F172、同F173、同F183
(大日本インキ化学工業(株)製)等を挙げることがで
きる。また、アルキレングリコール系界面活性剤として
は、主鎖および/または側鎖にエチレングリコール基、
プロピレングリコール基等のアルキレングリコール基を
有する化合物を例示することができる。これらは前述し
たフッ素系界面活性剤の代わりにあるいはそれと組み合
わせて用いられる。アルキレングリコール系界面活性剤
は組成物の塗布性を改良する効果だけでなく、組成物に
帯電防止効果を付与する場合が多く、有用である。
性剤として、具体例にはオクタエチレングリコールイソ
ブチルエーテル、ヘキサエチレングリコールイソプロピ
ルエーテル、ヘキサプロピレングリコールモノエチルエ
ーテル、ヘプタプロピレングリコールモノ−n−ブチル
エーテル、テトラエチレングリコールモノメタクリレー
ト、ヘキサプロピレングリコールモノメタクリレート等
を挙げることができる。これらの市販品として、例えば
PEG600、PEG600、PEG6000、PEG
20000、ブレンマーPE−90、同200、同35
0(日本油脂(株)製)等を挙げることができる。
分、(B)成分の種類や濃度、および界面活性剤の種類
によっても好適な範囲は違うが、一般に(A)成分10
0重量部あたり0.0005〜5重量部、特に0.001
〜2重量部の範囲で使用されるのが好ましい。また帯電
防止剤を使用する場合の使用量も同様である。
述した各成分を均一に混合することによって容易に調製
することができ、好適には適当な溶媒に溶解させて溶液
の形で使用に供される。用いる溶媒としては、重合体
(A)、ヘテロ環構造を有する化合物等の成分を均一に
溶解させることができ、且つ各成分と反応しないもので
あれば特に制限されないが、一般的には塗膜の形成のし
易さからいって、セロソルブアセテート系およびジグラ
イム系の溶剤が好適であり、特にエチルセロソルブアセ
テート、エチルカルビトールアセテート、ジエチレング
リコールジメチルエーテルおよびエチレングリコールジ
エチルエーテルが好適である。この組成物の溶液の濃度
は特に制限されず、使用目的に応じて適宜選定すること
ができるが、通常固形分濃度が5〜50重量%程度で使
用される。
えば重合体(A)の溶液とヘテロ環構造を有する化合物
の溶液との2種の溶液を調製しておき、これら溶液を所
定の割合で混合することもできる。
を、所定の基体表面に塗布し、過熱により硬化すること
によって所望の塗膜を形成することができる。
例えばスプレー法、ロールコート法、回転塗布法等の各
種の方法を採用することができる。本発明の組成物の熱
硬化条件は、各成分の具体的種類、配合割合等によって
も異なるが、通常は、150〜200℃で0.2〜1.5
時間程度である。
実施例から明らかなとおり色分離フィルター防染保護
層、表面保護層を形成する光デバイス用保護膜材料とし
て好適である。
するが、本発明はこれら実施例により限定されるもので
はない。
重量部をエチルセロソルブアセテート300重量部に混
合し、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル
(AIBN)0.5重量部を添加し、80℃で3時間重
合させることで重合体濃度25重量%溶液を得た。この
溶液を溶液(A1)〜(A4)とする。重合体(A1)
〜(A4)の組成を表1に示す。
(A4)100重量部(重合体(A)25重量部)をエ
チルセロソルブアセテート100重量部で希釈したの
ち、表1に示す配合処方にしたがって2級窒素原子およ
び/または3級窒素原子を含むヘテロ環構造を有する化
合物および接着助剤を加え十分攪拌して組成物を得た。
これを組成物(A1)〜(A4)とした。
コーターにより乾燥後の膜厚が0.4μmになるように
組成物(A1)〜(A4)を塗布し、クリーンオーブン
中150℃で30分熱硬化を行なって塗膜を形成した。
この基板をガラスとの密着性試験に用いた。
着性の評価用基板作製:2インチシリコンウェハ上に、
ゼラチン20重量%水溶液100重量部に重クロム酸カ
リウム4重量部を溶解させた溶液をスピンコーターによ
って塗布した。80℃で10分間乾燥させたのち露光し
て架橋膜を形成したのち純水で1分間現像を行なった。
この基板を乾燥窒素ガスで風乾し、カラーフィルター基
板とした。この上に組成物を(A1)〜(A4)を
(3)と同様に塗布後、熱硬化し塗膜を形成した。
基板を用いて以下に記す評価を行なった。結果を表2に
示す。
(3)、(4)で得られた塗膜に1mm間隔で10×1
0、計100個の碁盤目をカッターナイフで形成し、セ
ロテープにより剥離強度を測定した。100個の碁盤目
のうち、ガラス基板もしくはカラーフィルター基板表面
から剥離した個数を数えた。なお、この接着性は、剥離
した碁盤目の個数により、次の基準で評価した。 ○:5個以下 △:6〜49個 ×:50個以上
0分間浸漬した後、水洗して着色の有無を浸漬前後の可
視スペクトル(400〜800nm)を比較することで
判断した。すなわち浸漬前後の可視スペクトルの吸収の
変化が2%以内の場合、防染性良(○)とした。 染浴1 酸性染料(ブリリアントブルーFCF) 2g 氷酢酸 3g 蒸留水 100g 染浴2 酸性染料(スミノールミリングレッドRS、住友化学(株)製) 2g 氷酢酸 3g 蒸留水 100g
ブン中に置き、熱処理による着色の有無を防染性と同様
に、浸漬前後の可視スペクトルを比較することで判断し
た。
の溶液粘度の変化を測定した。結果を図1に示す。
りにトリメリット酸無水物を用いて組成物を調製し、溶
液の評価を行なった。結果を図1に示す。
りにトリメリット酸を用いて組成物を調製し、溶液の評
価を行なった。結果を表2および図1に示す。
体への接着性が高く、平滑で強靱でありしかも耐熱性お
よび防染性に優れた塗膜を与え、加えて溶液状態で長期
間保存しても粘度変化が小さいかあるいは無視しうる程
度であり取扱いにも利便である。
び比較組成物溶液についての粘度変化率を示している。
Claims (1)
- 【請求項1】 (A)下記一般式(I) 【化1】 ここで、Rは水素原子または炭素数1〜5のアルキル基
を示し、そしてmは1〜8の整数を示す、 で表される構成単位を20〜100重量%およびこの構
成単位を導入するための単量体とは異なる単量体(但し
フッ素含有エチレン性不飽和基含有化合物を除く)によ
って導入される他の構成単位0〜80重量%からなる 重
合体100重量部、および (B)2級窒素原子および/または3級窒素原子を含む
ヘテロ環構造を有する化合物0.1〜30重量部を含ん
でなる熱硬化性樹脂組成物からなることを特徴とする光
デバイス用保護膜材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8910091A JP2982156B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 光デバイス用保護膜材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8910091A JP2982156B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 光デバイス用保護膜材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04300942A JPH04300942A (ja) | 1992-10-23 |
JP2982156B2 true JP2982156B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=13961470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8910091A Expired - Lifetime JP2982156B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 光デバイス用保護膜材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2982156B2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP8910091A patent/JP2982156B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04300942A (ja) | 1992-10-23 |
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