JP2001194797A - カラーフィルターの保護層用の熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】保存安定性や作業性に優れ、得られた硬化膜が
耐熱性、耐溶剤性、耐湿性、密着性に優れ、更に硬化膜
上に顔料分散法でカラーフィルターを形成した場合に、
残渣の発生を防ぐことが出来る、ＬＣＤやＣＣＤ等に用
いられるカラーフィルターの保護膜に有用な熱硬化性樹
脂組成物を提供する。 【解決手段】水酸基を有するアクリル樹脂（Ａ）と不揮
発分６５％時の粘度が３００ｍＰａ・ｓ以上のメラミン
樹脂（Ｂ）を含有する熱硬化性樹脂組成物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱硬化性樹脂組成
物及びその硬化物に関するものであり、特に液晶表示装
置等のカラー化に必要なカラーフィルター、カラーＣＣ
Ｄ（電荷結合素子）を代表とする固体撮像素子の平坦化
層やその上に設けられるカラーフィルター部のオーバー
コート層を形成する材料として有用な熱硬化性樹脂組成
物に関するものである。

【０００２】

【従来技術】パソコン、カーナビゲーションシステム、
液晶テレビ等のカラー表示に用いるカラー液晶表示装置
にはフルカラー表示のため、カラーフィルターが使用さ
れる。この場合、ガラス等の透明基板にカラーフィルタ
ーを設け、この上にＩＴＯ等からなる無機薄膜を形成さ
せ、この上にポリイミド等の配光膜を形成させ液晶を配
置する。しかしながら、オーバーコート層のないカラー
フィルターではＩＴＯ蒸着をへて透明電極形成にいたる
プロセスに耐え得るだけの耐熱性、耐薬品性が不足する
ので、カラーフィルター上にオーバーコート層を形成す
ることが多い。

【０００３】また、カラービデオカメラ、デジタルカメ
ラ、カラーコピー機、医療機器の画像処理装置等の入力
デバイスとして用途の広がる電荷結合素子を代表とする
固体撮像素子には色分解のためにカラーフィルターが設
けられている。この場合、固体撮像素子上にカラーフィ
ルターを形成するため、固体撮像素子表面受光部や回路
配線部等による凹凸を緩和する目的で下地用の平坦化層
を形成させ、その上にカラーフィルターを設け、次いで
オーバーコート層を設けマイクロレンズを形成する。

【０００４】この固体撮像素子上にカラーフィルターを
形成する主な方法に、染色法と顔料分散法がある。染色
法のカラーフィルターの形成方法は、固体撮像素子上に
設けた平坦化層に染色可能な感光性樹脂組成物を塗布
し、露光、現像、加熱処理をし、パターン形成後、染料
で染色し、防染処理をするという操作を繰り返す。一
方、顔料分散方法は、固体撮像素子上に設けた平坦化層
に顔料を分散させた感光性樹脂組成物を塗布し、露光、
現像、加熱処理をして着色パターンを形成し、この操作
を繰り返す。耐熱性、耐光性が要求される用途には、染
色法と比較して顔料分散法が適している。

【０００５】一方、カラーフィルターのオーバーコート
層や平坦化層などの保護層に要求される特性は、耐熱
性、耐薬品性、耐水性、基板やカラーフィルターとの密
着性、平滑性等が挙げられる。また、固体撮像素子上の
平坦化層に上記に記した顔料分散法でカラーフィルター
を形成する場合は、平坦化層に顔料が残りやすく、その
ためカラーフィルターの色再現性を劣化させる原因とな
り、歩留まりの低下につながるため、残渣の発生を抑え
る特性が必要である。

【０００６】従来、この様なオーバーコート層、平坦化
層等の保護層用の樹脂としては、感光性樹脂、エポキシ
樹脂等が用いられている。しかし、ネガ型感光性樹脂で
は、低分子モノマーを紫外線照射して架橋させ不溶化さ
せるが、得られた硬化膜はベースになる材料が低分子量
であることや架橋密度が充分に得られないことから、
又、一方ポジ型感光性樹脂では、架橋の無い直鎖型高分
子であるので、それらによって得られた硬化膜の耐熱
性、耐薬品性や機械的強度等は通常の熱硬化性樹脂より
得られた硬化膜より劣るため、高温蒸着によりＩＴＯ等
の透明電極を形成する際に膜の色変、皺寄りを引き起こ
し、カラーフィルターの品質を著しく低下させることが
あった。

【０００７】又、耐熱性に優れるため広く用いられてき
たエポキシ系樹脂は、ポットライフが短く取り扱いに制
約があったり、又は塗布直前に主剤と硬化剤の２液を混
合する必要があった。更に、スループット向上の必要性
に伴うポストベーク時間の短縮化により、この組成物で
保護層を形成した場合、硬化が不十分なため、未反応な
硬化剤が、次工程で溶出してしまう欠点をも抱えてい
る。

【０００８】また、上記の保護層用の樹脂を用いて固体
撮像素子の平坦化層に使用し、顔料分散法でカラーフィ
ルターを形成した場合、残渣が発生することが判明し
た。更に、固体撮像素子用に開発された平坦化層用の樹
脂組成物も、染色法に開発されたものが多く、例えば、
グリシジルメタクリレートとメチルメタクリレートとの
共重合体（特開昭６２−２９５６１４）、分子量１００
０以下と粘度２００ｍＰａ・ｓ以下のアルキル化メラミ
ンとアクリル系重合体との組成物（特開平５−７０７３
５）は、顔料分散法でカラーフィルターを形成すると、
同様に残渣が多く発生するということが判明した。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、保存安定性
に優れ、作業性の良好なカラーフィルターの保護層用の
熱硬化性組成物を提供し、得られた硬化膜は、耐熱性、
耐湿性、耐溶剤性、密着性に優れ、更に硬化膜上に顔料
分散法でカラーフィルターを形成した際に残渣の発生を
防ぐことができる、カラーフィルターのオーバーコート
及び平坦化層等の保護層用の熱硬化性樹脂組成物の硬化
物を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決する為の手段】本発明は（１）アクリル樹
脂（Ａ）とメラミン樹脂（Ｂ）を含有する組成物であっ
て、該メラミン樹脂（Ｂ）の粘度が不揮発分６５％の溶
液状態、２５℃で測定したときに３００ｍＰａ・ｓ以上
であるカラーフィルターの保護層用の熱硬化性樹脂組成
物、（２）メラミン樹脂（Ｂ）の粘度測定時に含有され
る溶剤が、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソ
ブタノール、ｎ−ブタノール、ｎ−ブチルセロソルブ若
しくはキシレン又はこれらの混合物である（１）記載の
カラーフィルターの保護層用の熱硬化性樹脂組成物、
（３）メラミン樹脂（Ｂ）がアクリル樹脂（Ａ）に対し
て、含有率が３０％以下である（１）又は（２）記載の
カラーフィルターの保護層用の熱硬化性樹脂組成物、
（４）アクリル樹脂（Ａ）が水酸基を含有するアクリル
モノマーと他のアクリルモノマーとの共重合体であり、
共重合体の重量平均分子量が５，０００〜５００，００
０である（１）乃至（３）記載のカラーフィルターの保
護層用の熱硬化性樹脂組成物、（５）メラミン樹脂
（Ｂ）の硬化温度が１８０℃以下である（１）乃至
（４）に記載のカラーフィルターの保護層用の熱硬化性
樹脂組成物、（６）（１）乃至（５）のいずれか一項に
記載のカラーフィルターの保護層用の熱硬化性樹脂組成
物の硬化物、（７）（６）に記載の硬化物の層を有する
固体撮像素子、（８）（６）に記載の硬化物の層を有す
るカラーフィルター、（９）（８）に記載のカラーフィ
ルターを有するカラー液晶表示装置、に関する。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の熱硬化性樹脂組成物は、
アクリル樹脂（Ａ）とメラミン樹脂（Ｂ）を含有する。
本発明に使用されるアクリル樹脂（Ａ）とは、水酸基を
含有するアクリルモノマーと他のアクリルモノマーとの
共重合体が好ましい。水酸基を含有するアクリルモノマ
ーとしては、次の一般式（１）〜（３）で示される化合
物等が挙げられる。

【００１２】一般式（１） ＣＨ₂＝ＣＲ₁ＣＯＯＲ₂ＯＨ 一般式（２） ＣＨ₂＝ＣＲ₁ＣＯ（ＯＲ₃）ｎＯＨ 一般式（３） ＣＨ₂＝ＣＲ₁ＣＯＯＲ₄Ｏ（ＣＯＲ⁵Ｏ）ｍＨ

【００１３】一般式（１）〜（３）中、Ｒ１は水素又は
メチル基、Ｒ２〜Ｒ５は炭素数が１〜２０のアルキレン
基、ｎ、ｍは１〜３０までの整数。

【００１４】具体的には、２−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）ア
クリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４
−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロ
キシペンチル（メタ）アクリレート、カプロラクトン変
性２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ポリエ
チレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレ
ングリコール（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【００１５】（Ａ）成分の共重合体の他のアクリレート
モノマーとしては、例えば（メタ）アクリル酸、メチル
（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、
プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）
アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、グリシジ
ル（メタ）アクリレート、スチレン等が挙げられる。こ
れらの共重合体は公知のラジカル重合反応によって製造
することが出来る。

【００１６】共重合体の水酸基を含有するアクリレート
モノマーと他のアクリレートモノマーの比率は、前者が
重量比で５〜３０％、後者が重量比で７０〜９５％であ
ることが好ましい。水酸基を含有するアクリレートモノ
マーの比がこの比率の範囲外であると、耐薬品性、耐湿
性が劣化する。共重合体の重量平均分子量（ＭＷ）はポ
リスチレン換算でが５，０００〜５００，０００、好ま
しくは３０，０００〜３００，０００ある。ＭＷの異な
る２種以上の（Ａ）成分を組みによって、組成物の粘度
を調節することも出来る。重量平均分子量はゲルパーミ
エーションクロマ（ＧＰＣ）法により測定される。ＭＷ
が５，０００未満の場合、硬化膜は耐薬品性、耐湿性に
劣り実用水準で使用するのは困難である。ＭＷが５，０
００，０００を越える場合、硬化膜の機械的強度、耐薬
品性、耐湿性は増すものの、樹脂組成物が著しく高粘度
となるために薄膜化に困難を来す。アクリル樹脂（Ａ）
の使用量は、組成物の固形分を１００重量部としたとき
５０〜９９部、好ましくは６０〜９７重量部である。

【００１７】本発明に用いられるメラミン樹脂（Ｂ）
は、メラミンにホルムアルデヒドを作用させた化合物、
又はそのアルキル変性物で熱硬化型メラミン樹脂であ
る。また、その粘度が不揮発分６５％の溶液状態、２５
℃で測定したときに３００ｍＰａ・ｓ以上であり、その
硬化温度が１８０℃以下であることが好ましい。また、
該メラミン樹脂（Ｂ）の粘度測定時に含有される溶剤に
は、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソブタノ
ール、ｎ−ブタノール、ｎ−ブチルセロソルブ、キシレ
ン、及びこれらの混合物が挙げられる。

【００１８】このようなメラミン樹脂としては、具体的
には、三和ケミカル（株）のニカラック ＭＳ−００
１、ＭＸ−００２、ＭＸ−７０８、ＭＸ−７０６、ＭＸ
−０４２等が挙げられる。これらのメラミン樹脂は、単
独又は２種以上組み合わせで使用することができる。そ
の使用量は、アクリル樹脂組成物の固形分に対して３０
％以下が好ましい。これ以上の含有率では、残渣が増加
し、平滑性も劣化する。メラミン樹脂（Ｂ）の使用量
は、組成物の固形分を１００重量部としたとき１〜３０
重量部、好ましくは２〜２５重量部であり、またアクリ
ル樹脂（Ａ）の固形分の重量に対して３０重量％以下が
好ましい。これ以上の含有率では、残さが増加し、平滑
性も劣化する。

【００１９】本発明の熱硬化性樹脂組成物は、溶媒に溶
解させた塗布液として調製するのが好ましい。用いる溶
媒としては樹脂組成物と化学反応を起こす恐れが無い限
り特に制限はなく、例えばエステル系、エーテル系、ケ
トン系、芳香族炭化水素系等の有機溶剤が挙げられる。

【００２０】具体的には、酢酸アルキルエステル、プロ
ピオン酸アルキルエステル、酪酸アルキルエステル等の
飽和脂肪族モノカルボン酸アルキルエステル類、乳酸ア
ルキルエステル類、アルコキシ酢酸アルキルエステル
類、２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、２−
アルコキシプロピオン酸アルキルエステル類、３−オキ
シプロピオン酸アルキルエステル類、３−アルコキシプ
ロピオン酸アルキルエステル類、２−オキシ−２−メチ
ルプロピオン酸アルキルエステル類、２−アルコキシ−
２−メチルプロピオン酸アルキルエステル類、ピルビン
酸アルキルエステル、アセト酢酸アルキルエステル、２
−オキソブタン酸アルキルエステル等のケトン酸エステ
ル類、ジアルキルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオ
キサン等のエーテル類、ジエチレングリコールモノメチ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエ
ーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテ
ル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピ
レングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエー
テル類及びそのアセテートのグリコールエーテルアセテ
ート類、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−
ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類、キシレン、
トルエン等の芳香族炭化水素類等が挙げられる。これら
溶媒は、単独で用いても２種以上混合して用いても良
い。

【００２１】本発明の熱硬化性樹脂組成物を調製する
際、塗膜の物性を向上させるために、表面平滑剤、基板
密着改良材、界面活性剤等の調整添加剤を加えても良
い。具体的には、パーフルオロアルキル系化合物、シリ
コン系化合物、ポリオキシエチレン化合物、ポリオキシ
プロピレン系化合物、長鎖アルキル化合物等が挙げられ
る。

【００２２】本発明の熱硬化性樹脂組成物を調製するに
は、例えば上記溶剤中に（Ａ）、（Ｂ）成分を、更に所
望により硬化促進剤や添加剤を加え、均一に混合溶解す
ればよい。溶液中の固形分濃度は、通常３〜４０重量
％、好ましくは、５〜３０重量％程度である。

【００２３】本発明の硬化物は通常、所定の基材に塗布
し、加熱焼成することによって、膜厚０．０５〜５μｍ
程度の硬化膜として形成される。硬化膜を形成すべき基
材としては、例えば、硝子類、ポリカーボネート類、フ
ィルム類、撮像素子の形成されたシリコンウェハー、Ｌ
ＣＤ又はＣＣＤ用カラーフィルターのパターン化された
着色樹脂膜、印刷用紙、印刷用繊維、金属板等が挙げら
れる。塗工方法としては、樹脂組成物溶液を目的の基材
上に、スピンコート法、ロールコート法、バーコート
法、印刷法、浸漬法、スプレイ法等の方法で塗布する。
続いて、６０〜１２０℃に設定されたホットプレート又
はコンベクションオーブンにて１〜１０分程度予備乾燥
後、１８０〜２５０℃にて３〜３０分程度加熱焼成し、
硬化膜を得る。

【００２４】本発明のカラーフィルターは、上記組成物
の硬化膜を有する。このカラーフィルターは、カラー液
晶表示装置、カラーＣＣＤ等に用いられる。液晶表示装
置用カラーフィルターの製造は、公知の方法で行われ
る。例えば、硝子基板上にフォトリソグラフィー法、印
刷法、電着法等によって、赤、青、緑の着色画素及びブ
ラックマトリクスを作成後、その上に上記組成物のオー
バ−コート層を形成し、更にＩＴＯの透明電極を積層す
ることによって得られる。このカラーフィルターを表示
面に配置することにより、本発明のカラー液晶表示装置
が得られる。

【００２５】本発明の固体撮像素子は、撮像素子の形成
されたシリコンウェハーに、直接もしくは他の層を介し
て上記の熱硬化性樹脂組成物の硬化物の層を設けたもの
である。その製法は、光電変換素子や電荷転送素子等で
成る固体撮像装置が形成されたシリコン基板上に、シリ
コンウェハー表面の凹凸の平滑化のために上記の組成物
の硬化物の層を形成し、次に染色法又は顔料分散法等に
よって直接カラーフィルターを形成し、更に上記の組成
物のオーバーコート層を形成する。

【００２６】本発明の熱硬化性樹脂組成物は、上記の方
法にて作成することにより、耐溶剤性、耐熱性、耐湿
性、密着性に優れており、ＬＣＤ用カラーフィルター等
の着色樹脂膜のオーバーコート層、又はＣＣＤの平坦化
層、及びオーバーコート層等の保護層の形成に際し特に
有用となる。更に、これによって得られたカラーフィル
ターを使用した液晶表示装置、固体撮像素子は優れた表
示品位を確保することが出来るのである。

【００２７】

【実施例】実施例によって本発明を更に具体的に説明す
るが、本発明がこれらの実施例のみに限定されるもので
はない。

【００２８】実施例１ アクリル樹脂として、メチルメタクリレート／２−ヒド
ロキシエチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（８５／１０／５ 重量比、重量平均分子量５０，００
０）のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート４０％溶液２５ｇ、メラミン樹脂としてニカラック
ＭＸ−０４２（三和ケミカル製）２．１ｇ、固形分調
整用溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート７１．５ｇを混合し熱硬化性樹脂組成物を
得た。尚、メラミン樹脂ニカラックＭＸ−０４２をイソ
プロパノールで不揮発分６５％に調整し、Ｒ型粘度計
（東機産業製）で粘度を測定したところ、４３０ｍＰａ
・ｓ（２５℃）であった。

【００２９】実施例２ アクリル樹脂として、メチルメタクリレート／２−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（８５／１０／５ 重量比、重量平均分子量５０，００
０）のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート４０％溶液２５ｇ、メラミン樹脂としてニカラック
ＭＸ−０４２（三和ケミカル製）１．５ｇ、固形分調
整用溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート７１．５ｇを混合し熱硬化性樹脂組成物を
得た。

【００３０】実施例３ アクリル樹脂として、メチルメタクリレート／２−ヒド
ロキシブチルメタクリート／メタクリル酸共重合体（８
５／１０／５ 重量比、重量平均分子量５０，０００）
のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
４０％溶液 ２５ｇ、メラミン樹脂としてニカラック
ＭＸ−０４２（三和ケミカル製）２．１ｇ、固形分調整
用溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート７１．５ｇを混合し熱硬化性樹脂組成物を得
た。

【００３１】実施例４ アクリル樹脂として、メチルメタクリレート／ブチルメ
タクリレート／カプロラクトン変性 ２−ヒドロキシエ
チルメタクリート（ダイセル製プラクセル ＦＭ−１）
／メタクリル酸共重合体（５５／３０／１０／５ 重量
比、重量平均分子量１００，０００）のプロピレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート４０％溶液 ２５
ｇ、メラミン樹脂としてニカラック ＭＸ−７０８（三
和ケミカル製）１．５ｇ、固形分調整用溶剤としてプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテー１００ｇ
を混合し熱硬化性樹脂組成物を得た。尚、メラミン樹脂
ニカラックＭＸ−７０８をイソプロパノールで不揮発分
６５％に調整し、Ｒ型粘度計（東機産業製）で粘度を測
定したところ、９２０ｍＰａ・ｓ（２５℃）であった。

【００３２】実施例５ アクリル樹脂として、ブチルメタクリレート／カプロラ
クトン変性 ２−ヒドロキシエチルメタクリート（ダイ
セル製プラクセル ＦＭ−５）／メタクリル酸共重合体
（８５／１０／５ 重量比、重量平均分子量５０，００
０）のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート４０％溶液 ２５ｇ、メラミン樹脂としてニカラッ
ク ＭＸ−７０８（三和ケミカル製）１．５ｇ、固形分
調整用溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート７１．５ｇを混合し熱硬化性樹脂組成物
を得た。

【００３３】実施例６ アクリル樹脂として、メチルメタクリレート／ポリエチ
レングリコールメタクリレート（日本油脂製ブレンマー
ＰＥ−３５０）／メタクリル酸共重合体（７５／２０
／５ 重量比、重量平均分子量５０，０００）のプロピ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート４０％溶
液 ２５ｇ、メラミン樹脂としてニカラック ＭＸ−７
０８（三和ケミカル製）３．５ｇ、固形分調整用溶剤と
してプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト７１．５ｇを混合し熱硬化性樹脂組成物を得た。

【００３４】性能評価 この各種熱硬化性樹脂組成物により得られた硬化膜の耐
溶剤性、耐湿性、耐熱性、残渣汚染の評価を以下に記す
ように行った。評価結果を表１に示す。

【００３５】熱硬化性樹脂組成物の硬化膜の作成例 ガラス基板上に最終膜厚１μｍとなるよう塗布し、表面
温度１００℃のホットプレート上で１００秒間予備乾燥
後、２００℃のホットプレート上で５分間加熱し、硬化
膜を得た。これを各種試験片とする。

【００３６】耐溶剤性：上記試験片を、下記溶剤に各種
条件で処理、試験前後の膜厚を測定し残膜率を求めた。 ６０℃ＩＰＡ（イソプロパノール）×３０分浸漬 ２５℃ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）×３０分浸漬 ２５℃ＧＢＬ（γ−ブチロラクトン）×３０分浸漬

【００３７】耐湿性：プレッシャークッカー試験（ＰＣ
Ｔ）用容器５０ｃｃに純水を１０ｃｃ加え、上記試験片
を入れ１２０℃にて３時間処理を行い、膜面を光学顕微
鏡で観察した。

【００３８】耐熱性：上記試験片を、２５０℃のホット
プレートで６０分間加熱処理し加熱前後の着色度（ΔＥ
＊ａｂ値；色度差）を分光光度計にて測定した。

【００３９】残渣汚染：上記の硬化膜上に、緑色顔料分
散カラーネガレジストカヤミラーＤＣＦ−Ｇ６３０（日
本化薬製）を約１μｍ相当膜厚に塗布し、８０℃のホッ
トプレート上で１００秒間プレベイク後、紫外線未照射
のままＫＡＹＡＭＩＲＲＯＲＤＶＬ−Ｋ５０Ｄ（無機ア
ルカリ系現像液；日本化薬製）にて全面現像し、水洗乾
燥後硬化膜上への残渣汚染を顕微鏡にて観察した。

【００４０】 表１ 評価結果 耐溶剤性（残膜率％） 耐湿性 耐熱性 残渣汚染 60℃ IPA 25℃ NMP 25℃ GBL ΔＥ 実施例１ 98 100 100 良好 0.2 無し 実施例２ 100 100 100 良好 0.1 無し 実施例３ 100 100 100 良好 0.2 無し 実施例４ 100 100 100 良好 0.1 無し 実施例５ 100 100 100 良好 0.2 無し 実施例６ 99 100 100 良好 0.1 無し

【００４１】実施例７ 上記の熱硬化性樹脂組成物を、撮像素子の配設されたシ
リコンウェハー上に最終膜厚２μｍとなるよう塗布し、
表面温度１００℃のホットプレート上で１００秒間予備
乾燥後、２００℃のホットプレート上で５分間加熱し、
平坦化層を得た。この平坦化層上に緑色顔料分散レジス
トカヤミラーＤＣＦ−Ｇ６３０（日本化薬製）を約１μ
ｍ相当膜厚に塗布し、８０℃のホットプレート上で１０
０秒間プレベ−ク後、所定のパターンフォトマスクを介
して１５０ｍＪ（３６５ｎｍ）の紫外線を照射した。続
いてカヤミラーＤＶＬ−Ｋ５０Ｄ（無機アルカリ系現像
液；日本化薬製）にて現像、水洗乾燥後、２００℃のホ
ットプレート上で５分間ポストベイクし緑色微細画素を
形成した。次いで、赤色顔料分散カラーネガレジストカ
ヤミラーＤＣＦ−Ｒ６３０（日本化薬製）を約１μｍ相
当膜厚に塗布し、８０℃のホットプレート上で１００秒
間プレベ−ク後、所定のパターンフォトマスクを介して
１５０ｍＪ（３６５ｎｍ）の紫外線を照射した。続いて
カヤミラーＤＶＬ−Ｋ５０Ｄ（無機アルカリ系現像液；
日本化薬製）にて現像、水洗乾燥後、２００℃のホット
プレート上で５分間ポストベ−クし赤色微細画素を形成
した。次いで、青色顔料分散カラーネガレジストカヤミ
ラーＤＣＦ−Ｂ６３０（日本化薬製）を約１μｍ相当膜
厚に塗布し、８０℃のホットプレート上で１００秒間プ
レベイク後、所定のパターンフォトマスクを介して１５
０ｍＪ（３６５ｎｍ）の紫外線を照射した。続いてカヤ
ミラーＤＶＬ−Ｋ５０Ｄ（無機アルカリ系現像液；日本
化薬製）にて現像、水洗乾燥後、２００℃のホットプレ
ート上で５分間ポストベ−クし青色微細画素を形成し、
カラーフィルターが直付けされた固体撮像素子が得られ
た。これを顕微鏡により直上から観察したところ、下地
の平坦化層上への、残渣汚染は認められなかった。更に
この上に上記熱硬化性樹脂組成物を約２μｍ相当膜厚に
塗布し、表面温度１００℃のホットプレート上で１００
秒間予備乾燥後、表面温度２００℃のホットプレート上
で５分間加熱しオーバーコート層形成した。オーバーコ
ート層の密着性をクロスカット剥離試験によって評価し
たところ、何れも剥離数０／１００で強固な密着性を確
認した。

【００４２】

【発明の効果】本発明の熱硬化性樹脂組成物を使用する
ことにより、耐熱性、耐薬品性、耐湿性、密着性に優れ
た硬化膜を簡便に製造することが出来き、カラーフィル
ターのオーバーコート層や平坦化層等の保護層の形成に
際し特に有用である。又、本発明の硬化層上に顔料分散
法でカラーフィルターを形成した場合、残渣の発生を防
ぐことが出来、優れた表示品位を確保することが出来
る。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】アクリル樹脂（Ａ）とメラミン樹脂（Ｂ）
   を含有する組成物であって、該メラミン樹脂（Ｂ）の粘
   度が不揮発分６５％の溶液状態、２５℃で測定したとき
   に３００ｍＰａ・ｓ以上であるカラーフィルターの保護
   層用の熱硬化性樹脂組成物。
2. 【請求項２】メラミン樹脂（Ｂ）の粘度測定時に含有さ
   れる溶剤が、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イ
   ソブタノール、ｎ−ブタノール、ｎ−ブチルセロソルブ
   若しくはキシレン又はこれらの混合物である請求項１記
   載のカラーフィルターの保護層用の熱硬化性樹脂組成
   物。
3. 【請求項３】メラミン樹脂（Ｂ）がアクリル樹脂（Ａ）
   に対して、含有率が３０％以下である請求項１又は２記
   載のカラーフィルターの保護層用の熱硬化性樹脂組成
   物。
4. 【請求項４】アクリル樹脂（Ａ）が水酸基を含有するア
   クリルモノマーと他のアクリルモノマーとの共重合体で
   あり、共重合体の重量平均分子量が５，０００〜５０
   ０，０００である請求項１及至３記載のカラーフィルタ
   ーの保護層用の熱硬化性樹脂組成物。
5. 【請求項５】メラミン樹脂（Ｂ）の硬化温度が１８０℃
   で以下である請求項１乃至４に記載のカラーフィルター
   の保護層用の熱硬化性樹脂組成物。
6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれか一項に記載のカ
   ラーフィルターの保護層用の熱硬化性樹脂組成物の硬化
   物。
7. 【請求項７】請求項６に記載の硬化物の層を有する固体
   撮像素子。
8. 【請求項８】請求項６に記載の硬化物の層を有するカラ
   ーフィルター。
9. 【請求項９】請求項８に記載のカラーフィルターを有す
   るカラー液晶表示装置。