JP2969391B2 - ボンド点極性設定装置 - Google Patents

ボンド点極性設定装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンド点極性設定装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンデイング時において、ワイヤ
が第１ボンド点に接続された状態でワイヤ接続不良を検
出するものとして、例えば特公平１ー５８８６８号公報
が知られている。この検出方法で第１ボンド点の接続不
良を検出する場合、第１ボンド点の極性によって第１ボ
ンド点にプラス電圧又はマイナス電圧を切り換えて印加
する必要がある。
【０００３】図３は、第１ボンド点の極性を示す。１は
リードフレーム、２はリードフレーム１上に貼り付けら
れたチップ、３はチップ２の電極（第１ボンド点）に接
続されたワイヤを示す。チップ２の複数の電極（第１ボ
ンド点）には、図３のように極性の異なるものが混在し
ている。従って、第１ボンド点の不着検出時には、その
極性に応じてプラス電圧又はマイナス電圧の印加電圧を
切り換えて印加する必要がある。図３（ａ）の場合は、
第１ボンド点が順送り（以下、正極性という）であるの
で、プラス電圧を印加して検出する。図３（ｂ）の場合
は、第１ボンド点が逆送り（以下、負極性という）であ
るので、マイナス電圧を印加して検出する。図３（ｃ）
の場合は、第１ボンド点に対応したチップ２の部分が絶
縁体よりなる場合（以下、検出不要極性という）で、プ
ラス電圧又はマイナス電圧のいずれを印加しても検出で
きない検出不要箇所である。図３（ｄ）の場合は、第１
ボンド点に対応したチップ２の部分が極性を有しなく、
適当な抵抗を有する場合（以下、極性なしという）で、
プラス電圧又はマイナス電圧のいずれを印加しても検出
できる。
【０００４】前記したように、第１ボンド点不着検出時
には、第１ボンド点の極性によって印加する印加電圧を
切り換える必要があるので、予め第１ボンド点の極性を
調べて設定しておき、その極性に応じた印加電圧を印加
する必要がある。従来、ボンド点の極性設定は、作業者
が各ボンド点毎に測定子を当て、モニタの画面を見なが
らプラス電圧及びマイナス電圧を印加してそのボンド点
の極性を検出し、ボンド点の極性設定を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、作業
者が各ボンド点毎にその極性を検出して設定を行ってい
るので、設定に多大の作業時間及び手間を要し、また誤
設定の恐れがあった。
【０００６】本発明の目的は、ボンド点の極性を自動的
に設定することが可能なボンド点極性設定装置を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、正負の電圧を出力する印加電圧出力
回路と、ワイヤボンデイング装置のツールに挿通された
ワイヤを第１ボンド点に接続した後、又は測定子を第１
ボンド点に接触させた状態で、前記印加電圧出力回路か
ら印加電圧を前記ワイヤ又は測定子に印加させる切換回
路と、正負の基準電圧を出力するＤ／Ａ変換器と、前記
ワイヤ又は測定子に電圧を印加した時におけるワイヤ又
は測定子にかかる検出電圧と前記基準電圧を比較して第
１ボンド点の極性を判定する極性判定コンパレータと、
この判定結果を各ボンド点に対応して記憶するメモリと
を備えたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】ワイヤを第１ボンド点に接続した後又は測定子
を第１ボンド点に接触させた状態で、ワイヤ又は測定子
には正負の電圧がかけられる。そこで、第１ボンド点の
極性が順送り（正極性）であると、検出電圧は、正の電
圧が小さく、負の電圧が大きくなる。また第１ボンド点
の極性が逆送り（負極性）であると、検出電圧は、前記
と逆に正の電圧が大きく、負の電圧が小さくなる。また
第１ボンド点に対応した部分が絶縁体（検出不要極性）
であると、検出電圧は、正及び負の電圧が共に大きくな
る。また第１ボンド点が適当な抵抗を有する場合（極性
なし）であると、検出電圧は、正及び負の電圧が共に小
さくなる。この検出電圧は基準電圧と比較され、第１ボ
ンド点の極性が判定され、この判定結果はメモリに記憶
される。このようにして各ボンド点の極性が設定される
と、ワイヤボンデイング時においては、前記メモリに記
憶された極性設定のデータに基づいて正又は負の電圧が
ワイヤに印加されるように不着検出器のスイッチが切り
換えられ、ワイヤ不着検出が行われる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明す
る。図１に示すように、チップ２が貼り付けられたリー
ドフレーム１は、試料台４に位置決め載置されている。
１０は周知のワイヤボンデイング装置で、ワイヤスプー
ル１１に巻回されたワイヤ３は、クランパ１２を通して
ツール１３に挿通されている。
【００１０】２０はボンド点極性設定装置で、ワイヤ３
にプラス電圧又はマイナス電圧の印加電圧が印加され
る。制御部２１の出力線２１ａ、２１ｂ、２１ｃは、そ
れぞれ印加電圧出力回路２２、Ｄ／Ａ変換器２３及び切
換回路２４に接続されている。印加電圧出力回路２２
は、印加電圧を出力するもので、制御部２１からの指令
によってプラス電圧、マイナス電圧が切り換えられる。
Ｄ／Ａ変換器２３は、制御部２１からの基準となるデジ
タル信号を電圧レベルに変換して基準しきい値電圧を出
力する。切換回路２４は、印加電圧出力回路２２の出力
線２２ａと切換回路２４の出力線２４ａとを接続するか
又はグランドにするかを切り換えるもので、制御部２１
の指令によって切り換えられる。なお、切換回路２４は
検出時以外はグランドとなっている。また切換回路２４
の出力線２４ａは、ワイヤスプール１１に巻回されたワ
イヤ３の終端及びクランパ１２に接続されている。前記
出力線２２ａには検出線２２ｂが接続され、この検出線
２２ｂ及びＤ／Ａ変換器２３の出力線２３ａは極性判定
コンパレータ２５の入力部に接続されている。即ち、極
性判定コンパレータ２５は、印加電圧出力回路２２から
切換回路２４を通してワイヤ３に印加電圧を印加した時
の検出電圧と、制御部２１からＤ／Ａ変換器２３を介し
て指令された基準しきい値電圧との比較を行い、その結
果を制御部２１に送る。制御部２１では、検出結果の極
性が検出されたボンド点に対応してメモリ２６に記憶さ
れ、設定される。
【００１１】次に作用について説明する。図２はボンド
点極性設定時におけるタイミングを示す。ツール１３に
挿通されたワイヤ３の先端にボールが形成され、ツール
１３が下降３０して第１ボンド点に接触すると、ツール
１３には超音波発振４０がかけられ、前記ボールは第１
ボンド点に接続される。このボール接続後、制御部２１
の検出タミング信号４２により切換回路２４は出力線２
２ａと２４ａが接続されるように切り換わり、また制御
部２１より印加電圧出力回路２２にゲート信号４３が出
力され、更にＤ／Ａ変換器２３には基準のデジタル信号
が入力され、第１ボンド点の極性検出が行われる。この
極性検出については後述する。極性検出終了後、ツール
１３は上昇３１、下降３２及びＸＹ方向に移動させられ
てリードフレーム１の第２ボンド点に接触する。次にツ
ール１３に超音波発振４１がかけられ、ワイヤ３は第２
ボンド点に接続される。その後、ツール１３及びクラン
パ１２が上昇、またクランパ１２が閉じてワイヤ３は第
２ボンド点の付け根よりカットされる。これにより、第
１ボンド点と第２ボンド点にワイヤ３が接続されると共
に、第１ボンド点の極性が検出される。この一連の動作
を各第１ボンド点について自動的に行わせることによ
り、各第１ボンド点の極性が自動的に検出される。
【００１２】次に第１ボンド点の極性の検出方法につい
て説明する。前記したように制御部２１より印加電圧出
力回路２２にゲート信号４３が出力されると、印加電圧
出力回路２２からは図２（ｆ）のような印加電圧４５で
あるプラス電圧４５ａとマイナス電圧４５ｂが順に切換
回路２４を通してワイヤ３に印加される。この場合、第
１ボンド点の極性が図３（ａ）のように正極性である
と、出力線２２ａのＡ点の検出電圧は、図２（ｇ）のよ
うに小さなプラス電圧５０となる。また第１ボンド点の
極性が図３（ｂ）のように負極性であると、出力線２２
ａのＡ点の検出電圧は、図２（ｈ）のように小さなマイ
ナス電圧５１となる。また第１ボンド点の極性が図３
（ｃ）のように検出不要極性であると、出力線２２ａの
Ａ点の検出電圧は、図２（ｉ）のように大きなプラス電
圧５２と大きなマイナス電圧５３となる。また第１ボン
ド点の極性が図３（ｄ）のように極性なしであると、出
力線２２ａのＡ点の検出電圧は、図２（ｊ）のように小
さなプラス電圧５０と小さなマイナス電圧５１となる。
【００１３】前記Ａ点の検出電圧は、極性判定コンパレ
ータ２５に入力される。またＤ／Ａ変換器２３からは制
御部２１からのデジタル信号を図２（ｅ）のように基準
しきい値電圧４４に変換し、この基準しきい値電圧４４
は極性判定コンパレータ２５に入力される。そこで、前
記Ａ点の検出電圧とＤ／Ａ変換器２３の基準しきい値電
圧４４は極性判定コンパレータ２５で比較される。そし
て、検出電圧が、図２（ｇ）の場合は正極性として、図
２（ｈ）の場合は負極性として、図２（ｉ）の場合は検
出不要極性として、図２（ｊ）の場合は極性なしとして
制御部２１に送られ、各ボンド点の極性がメモリ２６に
記憶される。
【００１４】なお、上記実施例は、ワイヤボンデイング
装置１０自体にボンド点極性設定装置２０を組み込んで
ボンド点の極性を検出したが、ワイヤボンデイング装置
１０を用いなく、測定子を切換回路２４に接続し、測定
子をＸＹ方向駆動手段及び上下駆動手段で駆動する専用
の検出装置で検出を行ってもよい。しかし、本実施例の
ようにワイヤボンデイング装置１０自体にボンド点極性
設定装置２０を組み込むと、ツール１３のＸＹ方向駆動
手段、上下駆動手段はワイヤボンデイング装置１０自体
の駆動手段を利用でき、また制御部２１もワイヤボンデ
イング装置１０の制御部を利用できるので、設備費用の
点より好ましい。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、各ボンド点の極性が自
動的に設定されるので、誤設定が防止されると共に、作
業時間が著しく短縮される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】タイミングを示し、（ａ）はツールの上下動の
軌跡図、（ｂ）は超音波発振図、（ｃ）は検出タイミン
グ信号図、（ｄ）はゲート信号図、（ｅ）は基準しきい
値電圧図、（ｆ）は印加電圧図、（ｇ）乃至（ｊ）は検
出電圧の状態図である。
【図３】ボンド点の極性を示し、（ａ）は正極性図、
（ｂ）は負極性図、（ｃ）は検出不要極性図、（ｄ）は
極性なし図である。
【符号の説明】
２ チップ ３ ワイヤ １０ ワイヤボンデイング装置 １３ ツール ２０ ボンド点極性設定 ２１ 制御部 ２２ 印加電圧出力回路 ２３ Ｄ／Ａ変換器 ２４ 切換回路 ２５ 極性判定コンパレータ ２６ メモリ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 正負の電圧を出力する印加電圧出力回路
    と、ワイヤボンデイング装置のツールに挿通されたワイ
    ヤを第１ボンド点に接続した後、又は測定子を第１ボン
    ド点に接触させた状態で、前記印加電圧出力回路から印
    加電圧を前記ワイヤ又は測定子に印加させる切換回路
    と、正負の基準電圧を出力するＤ／Ａ変換器と、前記ワ
    イヤ又は測定子に電圧を印加した時におけるワイヤ又は
    測定子にかかる検出電圧と前記基準電圧を比較して第１
    ボンド点の極性を判定する極性判定コンパレータと、こ
    の判定結果を各ボンド点に対応して記憶するメモリとを
    備えたことを特徴とするボンド点極性設定装置。
JP3148126A 1991-05-24 1991-05-24 ボンド点極性設定装置 Expired - Fee Related JP2969391B2 (ja)

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