JP2964648B2 - α線検出方法 - Google Patents
α線検出方法Info
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はα線の量を検出するα線
検出方法に関する。
検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体記憶素子の設計上、半導体
記憶素子の記憶データを破壊するα線の量を知ることは
重要なことである。従来α線等の放射線を計測するのに
放射線のランダム性に注目し、まず光学的画像とこの放
射線との重畳画像を取得し、ついでこの重畳画像につい
てメジアンフィルタ処理する方法あるいは同一条件で複
数回この重畳画像を取得し、その相関を取る方法など
で、光学的画像と放射画像とを分離し、放射線の量を測
定した。
記憶素子の記憶データを破壊するα線の量を知ることは
重要なことである。従来α線等の放射線を計測するのに
放射線のランダム性に注目し、まず光学的画像とこの放
射線との重畳画像を取得し、ついでこの重畳画像につい
てメジアンフィルタ処理する方法あるいは同一条件で複
数回この重畳画像を取得し、その相関を取る方法など
で、光学的画像と放射画像とを分離し、放射線の量を測
定した。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらメジアン
フィルタ処理で分離できるのは、放射線画像の輝点が光
学的画像の輝点に比べ充分小さい場合だけであり、それ
以外では全く無力であった。また同一条件で複数回画像
を取り、相関を取る方法は１回の画像の取得時間が数十
分かかるため計測及び処理に時間がかかる上、計測中同
一条件を維持するため、多大な注意を払わなければなら
ず、更にこの計測装置が高価となる不都合があった。
フィルタ処理で分離できるのは、放射線画像の輝点が光
学的画像の輝点に比べ充分小さい場合だけであり、それ
以外では全く無力であった。また同一条件で複数回画像
を取り、相関を取る方法は１回の画像の取得時間が数十
分かかるため計測及び処理に時間がかかる上、計測中同
一条件を維持するため、多大な注意を払わなければなら
ず、更にこの計測装置が高価となる不都合があった。
【０００４】本発明は斯る点に鑑み良好なα線の測定を
比較的に短時間で且つ安価な装置を使用して行うことが
できるようにすることを目的とする。
比較的に短時間で且つ安価な装置を使用して行うことが
できるようにすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明α線検出方法は例
えば図１及び図２に示す如くＣＣＤ撮像素子１を有する
受光部２と、この受光部２へのα線を遮蔽するα線シャ
ッタ３とを有し、このα線シャッタ３を閉状態とし、α
線がこの受光部２に照射されない時のこのＣＣＤ撮像素
子１の出力信号を第１のメモリ４に記憶し、このα線シ
ャッタ３を開状態とし、α線をこの受光部２に照射した
時のこのＣＣＤ撮像素子１の出力信号を第２のメモリ５
に記憶し、この第１及び第２のメモリ４及び５よりの出
力信号の差を演算することによりα線を検出するように
したものである。
えば図１及び図２に示す如くＣＣＤ撮像素子１を有する
受光部２と、この受光部２へのα線を遮蔽するα線シャ
ッタ３とを有し、このα線シャッタ３を閉状態とし、α
線がこの受光部２に照射されない時のこのＣＣＤ撮像素
子１の出力信号を第１のメモリ４に記憶し、このα線シ
ャッタ３を開状態とし、α線をこの受光部２に照射した
時のこのＣＣＤ撮像素子１の出力信号を第２のメモリ５
に記憶し、この第１及び第２のメモリ４及び５よりの出
力信号の差を演算することによりα線を検出するように
したものである。
【０００６】
【作用】本発明に依ればα線シャッタ３が閉状態のα線
が受光部２に照射されない時のＣＣＤ撮像素子１の出力
信号とα線シャッタ３が開状態のα線が受光部２に照射
された時のＣＣＤ撮像素子１の出力信号との差を演算し
ているので良好にこのα線の量を検出でき、この検出を
短時間で且つ安価に行うことができる。
が受光部２に照射されない時のＣＣＤ撮像素子１の出力
信号とα線シャッタ３が開状態のα線が受光部２に照射
された時のＣＣＤ撮像素子１の出力信号との差を演算し
ているので良好にこのα線の量を検出でき、この検出を
短時間で且つ安価に行うことができる。
【０００７】
【実施例】以下図面を参照しながら本発明α線の検出方
法の一実施例につき説明しよう。図１に於いて２は受光
部を示し、この受光部２は入射した光量及びα線量に見
合った電荷を発生すると共にマトリックス状に配された
所定数のＣＣＤ撮像素子１と、このＣＣＤ撮像素子１に
発生保持した電荷を垂直方向に順次転送する遮光された
垂直電荷転送レジスタ６と、コントローラ９よりの電荷
読み出し信号によりＣＣＤ撮像素子１の電荷を垂直電荷
転送レジスタ６に転送する転送ゲート８と、この垂直電
荷転送レジスタ６からの電荷を水平方向に順次転送し、
計測信号を出力する水平電荷転送レジスタ７とを備えて
いる。
法の一実施例につき説明しよう。図１に於いて２は受光
部を示し、この受光部２は入射した光量及びα線量に見
合った電荷を発生すると共にマトリックス状に配された
所定数のＣＣＤ撮像素子１と、このＣＣＤ撮像素子１に
発生保持した電荷を垂直方向に順次転送する遮光された
垂直電荷転送レジスタ６と、コントローラ９よりの電荷
読み出し信号によりＣＣＤ撮像素子１の電荷を垂直電荷
転送レジスタ６に転送する転送ゲート８と、この垂直電
荷転送レジスタ６からの電荷を水平方向に順次転送し、
計測信号を出力する水平電荷転送レジスタ７とを備えて
いる。
【０００８】この受光部２に対し、この受光部２へのα
線を遮光するα線シャッタ３を設ける。このα線シャッ
タ３は受光部２を必要に応じα線を遮蔽又は照射する如
く開閉自在に構成する。
線を遮光するα線シャッタ３を設ける。このα線シャッ
タ３は受光部２を必要に応じα線を遮蔽又は照射する如
く開閉自在に構成する。
【０００９】このコントローラ９は基本クロックを発生
する発振回路を有し、この基本クロックから垂直転送ク
ロック、水平転送クロック、電荷読出クロックを得ると
共に、之等クロックより受光部２の垂直電荷転送レジス
タ６を駆動する垂直転送信号、ＣＣＤ撮像素子１の電荷
を垂直電荷転送レジスタ６に読み出す電荷読出信号及び
水平電荷転送レジスタ７を駆動する水平転送信号を得、
之等信号を受光部２に供給する如くする。
する発振回路を有し、この基本クロックから垂直転送ク
ロック、水平転送クロック、電荷読出クロックを得ると
共に、之等クロックより受光部２の垂直電荷転送レジス
タ６を駆動する垂直転送信号、ＣＣＤ撮像素子１の電荷
を垂直電荷転送レジスタ６に読み出す電荷読出信号及び
水平電荷転送レジスタ７を駆動する水平転送信号を得、
之等信号を受光部２に供給する如くする。
【００１０】この受光部２よりの出力信号を演算処理を
行うＣＰＵ１０を介して第１のメモリ４及び第２のメモ
リ５に供給する如くする。本例に於いてはα線シャッタ
３を閉じたときに得られる出力信号を第１のメモリ４に
供給する如くすると共にα線シャッタ３を開いたときに
得られる出力信号を第２のメモリ５に供給する如くす
る。
行うＣＰＵ１０を介して第１のメモリ４及び第２のメモ
リ５に供給する如くする。本例に於いてはα線シャッタ
３を閉じたときに得られる出力信号を第１のメモリ４に
供給する如くすると共にα線シャッタ３を開いたときに
得られる出力信号を第２のメモリ５に供給する如くす
る。
【００１１】この場合ＣＰＵ１０はこの第１及び第２の
メモリ４及び５に記憶した信号のうちα線が照射された
ＣＣＤ撮像素子１よりの信号を判断し、これを演算処理
して、その量を計測する。このα線が照射されたＣＣＤ
撮像素子１よりの信号ａであるかどうかは図３Ｂに示す
如くその信号に隣接した信号ｂとの間で判断すると共に
図３Ａに示す如きα線を照射しないときのこのＣＣＤ撮
像素子１よりの信号とこの図３Ｂに示す如きα線が照射
されたＣＣＤ撮像素子１よりの信号ａとの差によりこの
α線の量を計測する如くする。図１に於いて１１は表示
装置である。
メモリ４及び５に記憶した信号のうちα線が照射された
ＣＣＤ撮像素子１よりの信号を判断し、これを演算処理
して、その量を計測する。このα線が照射されたＣＣＤ
撮像素子１よりの信号ａであるかどうかは図３Ｂに示す
如くその信号に隣接した信号ｂとの間で判断すると共に
図３Ａに示す如きα線を照射しないときのこのＣＣＤ撮
像素子１よりの信号とこの図３Ｂに示す如きα線が照射
されたＣＣＤ撮像素子１よりの信号ａとの差によりこの
α線の量を計測する如くする。図１に於いて１１は表示
装置である。
【００１２】本例のα線の検出方法につき図２に参照し
て説明する。まず受光部２をクリアすると共にα線シャ
ッタ３を閉として、このとき得られる水平電荷転送レジ
スタ７よりの図３Ａに示す如きＣＣＤ撮像素子１がα線
の照射されない信号を第１のメモリ４に記憶する。次に
Ｘ線シャッタ３を開として、このとき得られる水平電荷
転送レジスタ７よりの図３Ｂに示す如きＣＣＤ撮像素子
１がα線の照射された信号ａを含む信号を第２のメモリ
５に記憶する。次にＣＰＵ１０に於いて第２のメモリ５
に記憶した図３Ｂに示す如き信号より隣接した信号を互
に比較してα線が照射されたＣＣＤ撮像素子１よりの信
号ａを判別すると共に第１のメモリ４に記憶した図３Ａ
に示す如きα線を照射しないときのこの信号ａを発生し
たＣＣＤ撮像素子１よりの信号ａ0 とを比較しその差を
得る。之等信号ａ及びａ0 の差が所定値以上であるかど
うかを判別し、この信号差が所定値以上あったときはα
線の量を演算Ｑ＝∫Ｉｄｔして求める。ここでＱはα線
の量、Ｉは信号ａと信号ａ0 との差の電流である。この
信号ａ及びａ0 の差が所定値以下のときは検出を終了す
る。
て説明する。まず受光部２をクリアすると共にα線シャ
ッタ３を閉として、このとき得られる水平電荷転送レジ
スタ７よりの図３Ａに示す如きＣＣＤ撮像素子１がα線
の照射されない信号を第１のメモリ４に記憶する。次に
Ｘ線シャッタ３を開として、このとき得られる水平電荷
転送レジスタ７よりの図３Ｂに示す如きＣＣＤ撮像素子
１がα線の照射された信号ａを含む信号を第２のメモリ
５に記憶する。次にＣＰＵ１０に於いて第２のメモリ５
に記憶した図３Ｂに示す如き信号より隣接した信号を互
に比較してα線が照射されたＣＣＤ撮像素子１よりの信
号ａを判別すると共に第１のメモリ４に記憶した図３Ａ
に示す如きα線を照射しないときのこの信号ａを発生し
たＣＣＤ撮像素子１よりの信号ａ0 とを比較しその差を
得る。之等信号ａ及びａ0 の差が所定値以上であるかど
うかを判別し、この信号差が所定値以上あったときはα
線の量を演算Ｑ＝∫Ｉｄｔして求める。ここでＱはα線
の量、Ｉは信号ａと信号ａ0 との差の電流である。この
信号ａ及びａ0 の差が所定値以下のときは検出を終了す
る。
【００１４】以下述べた如く本例に依ればα線シャッタ
３が閉状態のα線が受光部２に照射されない時のＣＣＤ
撮像素子１より出力信号とα線シャッタ３が開状態のα
線が受光部２に照射された時のＣＣＤ撮像素子１の出力
信号との差を演算して検出しているので良好にα線の量
を検出できると共にこの検出を短時間で行うことがで
き、しかも高価な装置等を必要とせず安価に検出できる
利益がある。尚本発明は上述実施例に限ることなく本発
明の要旨を逸脱することなるその他種々の構成が取り得
ることは勿論である。
３が閉状態のα線が受光部２に照射されない時のＣＣＤ
撮像素子１より出力信号とα線シャッタ３が開状態のα
線が受光部２に照射された時のＣＣＤ撮像素子１の出力
信号との差を演算して検出しているので良好にα線の量
を検出できると共にこの検出を短時間で行うことがで
き、しかも高価な装置等を必要とせず安価に検出できる
利益がある。尚本発明は上述実施例に限ることなく本発
明の要旨を逸脱することなるその他種々の構成が取り得
ることは勿論である。
【００１５】
【発明の効果】本発明に依ればα線の量を良好に検出で
きると共にこの検出を短時間で行うことができ、しかも
高価な装置等を必要とせず安価に検出できる利益があ
る。
きると共にこの検出を短時間で行うことができ、しかも
高価な装置等を必要とせず安価に検出できる利益があ
る。
【図１】本発明に依るα線検出方法を実施するα線検出
装置の例を示す構成図である。
装置の例を示す構成図である。
【図２】本発明の説明に供する線図である。
【図３】本発明の説明に供する線図である。
１ ＣＣＤ撮像素子 ２ 受光部 ３ α線シャッタ ４ 第１のメモリ ５ 第２のメモリ １０ ＣＰＵ
Claims (1)
- 【請求項１】 ＣＣＤ撮像素子を有する受光部と、該受
光部へのα線を遮蔽するα線シャッタとを有し、該α線
シャッタを閉状態とし、α線が上記受光部に照射されな
い時の上記ＣＣＤ撮像素子の出力信号を第１のメモリに
記憶し、上記α線シャッタを開状態とし、α線が上記受
光部に照射された時の上記ＣＣＤ撮像素子の出力信号を
第２のメモリに記憶し、上記第１及び第２のメモリより
の出力信号の差を演算することによりα線を検出するよ
うにしたことを特徴とするα線検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2417124A JP2964648B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | α線検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2417124A JP2964648B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | α線検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04233488A JPH04233488A (ja) | 1992-08-21 |
| JP2964648B2 true JP2964648B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=18525258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2417124A Expired - Fee Related JP2964648B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | α線検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2964648B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2569371B (en) * | 2017-12-15 | 2022-01-12 | Lightpoint Medical Ltd | Direct detection and imaging of charged particles from a radiopharmaceutical |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP2417124A patent/JP2964648B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04233488A (ja) | 1992-08-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |