JP2963230B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JP2963230B2 JP2963230B2 JP9949291A JP9949291A JP2963230B2 JP 2963230 B2 JP2963230 B2 JP 2963230B2 JP 9949291 A JP9949291 A JP 9949291A JP 9949291 A JP9949291 A JP 9949291A JP 2963230 B2 JP2963230 B2 JP 2963230B2
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- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- film
- recording medium
- ions
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- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に関する。
更に詳細には、本発明はCoPt電解メッキ磁気記録層
を有する磁気記録媒体に関する。
更に詳細には、本発明はCoPt電解メッキ磁気記録層
を有する磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、磁気記録の分野においては、ガン
マ酸化鉄などの磁性粉を有機バインダ中に分散させたも
のを基体上に塗布し、磁気記録媒体を形成していた。し
かし、最近では、高密度記録への要求が高まるにつれ
て、真空蒸着法あるいはスパッタリング法を用いてディ
スク基板上に形成した磁性薄膜を記録層とする薄膜型磁
気記録媒体の研究開発が盛んに行われるようになった。
マ酸化鉄などの磁性粉を有機バインダ中に分散させたも
のを基体上に塗布し、磁気記録媒体を形成していた。し
かし、最近では、高密度記録への要求が高まるにつれ
て、真空蒸着法あるいはスパッタリング法を用いてディ
スク基板上に形成した磁性薄膜を記録層とする薄膜型磁
気記録媒体の研究開発が盛んに行われるようになった。
【0003】現在、主に研究開発が進められている材料
としては、Co−Ni,Co−Ni−Cr,Co−P
t,Co−Cr,Co−Cr−PtなどCo主体金属、
あるいは酸素を膜中に含有させたCo主成分の磁性薄膜
が、その代表例として挙げられる。これらの磁性薄膜を
記録層とする磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気記録媒
体に比べ、優れた高密度記録性能を有することが、数多
くの研究により実証されている。
としては、Co−Ni,Co−Ni−Cr,Co−P
t,Co−Cr,Co−Cr−PtなどCo主体金属、
あるいは酸素を膜中に含有させたCo主成分の磁性薄膜
が、その代表例として挙げられる。これらの磁性薄膜を
記録層とする磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気記録媒
体に比べ、優れた高密度記録性能を有することが、数多
くの研究により実証されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、真空蒸着法や
スパッタ法による薄膜形成は量産性に劣ることが知られ
ていた。従って、性能的には申し分ないが、コスト面で
普及が進まないという現象が起こっていた。従って、本
発明の目的は、量産性に優れた薄膜型磁気記録媒体およ
びその製造方法を提供することである。
スパッタ法による薄膜形成は量産性に劣ることが知られ
ていた。従って、性能的には申し分ないが、コスト面で
普及が進まないという現象が起こっていた。従って、本
発明の目的は、量産性に優れた薄膜型磁気記録媒体およ
びその製造方法を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、電解メッキ法により形成されたCoP
t薄膜型磁気記録層を有する磁気記録媒体を提供する。
前記CoPt磁気記録層は、陽極に対する陰極の印加電
圧を−1.5V〜−10Vの範囲内とし、メッキ浴中の
Coイオンに対するPtイオンの割合を10-3〜1の範
囲内とし、メッキ浴中のpHを2〜6.5の範囲内とす
ることからなる電解メッキ法により形成される。
に、本発明では、電解メッキ法により形成されたCoP
t薄膜型磁気記録層を有する磁気記録媒体を提供する。
前記CoPt磁気記録層は、陽極に対する陰極の印加電
圧を−1.5V〜−10Vの範囲内とし、メッキ浴中の
Coイオンに対するPtイオンの割合を10-3〜1の範
囲内とし、メッキ浴中のpHを2〜6.5の範囲内とす
ることからなる電解メッキ法により形成される。
【0006】
【作用】本発明の電解メッキ法により形成された薄膜型
CoPt磁気記録層は耐食性およびS/N比の点で非常
に優れている。
CoPt磁気記録層は耐食性およびS/N比の点で非常
に優れている。
【0007】電解メッキ法による薄膜型Co系磁気記録
層の形成は従来から行われている。従来の電解メッキ法
による薄膜型Co系磁気記録層はCo−PまたはCo−
Ni−Pなどに限られていたが、これらは耐食性が悪
く、信頼性に欠けることが知られている。これに対し、
本発明によれば、CoにPtを加えることにより、薄膜
型磁気記録層の耐食性が一段と改善されることが発見さ
れた。
層の形成は従来から行われている。従来の電解メッキ法
による薄膜型Co系磁気記録層はCo−PまたはCo−
Ni−Pなどに限られていたが、これらは耐食性が悪
く、信頼性に欠けることが知られている。これに対し、
本発明によれば、CoにPtを加えることにより、薄膜
型磁気記録層の耐食性が一段と改善されることが発見さ
れた。
【0008】CoPtからなるスパッタ膜を磁気記録層
とする媒体が知られている。しかし、このCoPtスパ
ッタ膜の断面構造を分析すると柱状構造を示し、S/N
比が低い。これに対し、本発明の電解メッキ法によるC
oPt膜は微小な粒子が積み重なるようにして形成され
ている。実際、CoPtスパッタ膜の結晶粒の大きさは
約500Å程度であるのに対し、本発明のCoPt電解
メッキ膜の結晶粒の大きさは約100Å以下になる。こ
のように、結晶粒が小さくなることによりS/N比が良
好になるものと思われる。
とする媒体が知られている。しかし、このCoPtスパ
ッタ膜の断面構造を分析すると柱状構造を示し、S/N
比が低い。これに対し、本発明の電解メッキ法によるC
oPt膜は微小な粒子が積み重なるようにして形成され
ている。実際、CoPtスパッタ膜の結晶粒の大きさは
約500Å程度であるのに対し、本発明のCoPt電解
メッキ膜の結晶粒の大きさは約100Å以下になる。こ
のように、結晶粒が小さくなることによりS/N比が良
好になるものと思われる。
【0009】高保磁力のCoPt電解メッキ膜を得るた
めには、 (1) メッキ時の陰極(ディスク)の電位を、陽極に対
し、−1.5V〜−10V、更に望ましくは、−2V〜
−6Vの範囲内とする; (2) メッキ浴中のCoイオンに対するPtイオンの量
(Ptイオン数/Coイオン数)を1/1000〜1/
1に、更に望ましくは、1/100〜1/2の範囲内と
する;および (3) メッキ浴のpHを2〜6.5、更に望ましくは、
2.5〜5.5の範囲内とする;という条件で電解メッ
キを行うことが必要である。
めには、 (1) メッキ時の陰極(ディスク)の電位を、陽極に対
し、−1.5V〜−10V、更に望ましくは、−2V〜
−6Vの範囲内とする; (2) メッキ浴中のCoイオンに対するPtイオンの量
(Ptイオン数/Coイオン数)を1/1000〜1/
1に、更に望ましくは、1/100〜1/2の範囲内と
する;および (3) メッキ浴のpHを2〜6.5、更に望ましくは、
2.5〜5.5の範囲内とする;という条件で電解メッ
キを行うことが必要である。
【0010】陰極の電位が−1.5Vよりも高いと、C
oPt電解メッキ膜の基板への付着力が弱くなり、すぐ
に剥離してしまう。また、−10Vよりも低いと、結晶
粒の粗大化が起こり、S/N比および磁気特性が劣化す
る。
oPt電解メッキ膜の基板への付着力が弱くなり、すぐ
に剥離してしまう。また、−10Vよりも低いと、結晶
粒の粗大化が起こり、S/N比および磁気特性が劣化す
る。
【0011】メッキ浴中のCoイオンに対するPtイオ
ン量が1/1000より小さいと、膜中のPt量が少な
くなり、保磁力が小さくなる。また、1より大きいと、
膜中のPt量が大きくなりすぎるので飽和磁化が低下
し、磁気記録媒体として適さなくなる。
ン量が1/1000より小さいと、膜中のPt量が少な
くなり、保磁力が小さくなる。また、1より大きいと、
膜中のPt量が大きくなりすぎるので飽和磁化が低下
し、磁気記録媒体として適さなくなる。
【0012】メッキ浴のpHが2より小さいと、水素イ
オンの還元が盛んとなり、メッキ効率が劣化する。ま
た、pHが6.5より大きいと、何らかの原因でpHが
少し高くなるだけで、Coイオンが水酸化物として沈殿
してくるので、溶液としての安定性に欠ける。
オンの還元が盛んとなり、メッキ効率が劣化する。ま
た、pHが6.5より大きいと、何らかの原因でpHが
少し高くなるだけで、Coイオンが水酸化物として沈殿
してくるので、溶液としての安定性に欠ける。
【0013】本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性
基板としては、アルミニウム基板の他に、ポリイミド,
ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム,ガラ
ス類,セラミック,陽極酸化アルミ,黄銅などの金属
板,Si単結晶板,表面を熱酸化処理したSi単結晶板
などがある。基板が非導電性材料からなる場合、電解メ
ッキを行えるようにするため、基板表面に電極となる金
属を無電解メッキ法、スパッタ法または真空蒸着法など
の方法により堆積させる必要がある。電極金属の厚さ自
体は本発明の必須要件ではないが、一般的に、1000
Å程度で十分である。
基板としては、アルミニウム基板の他に、ポリイミド,
ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム,ガラ
ス類,セラミック,陽極酸化アルミ,黄銅などの金属
板,Si単結晶板,表面を熱酸化処理したSi単結晶板
などがある。基板が非導電性材料からなる場合、電解メ
ッキを行えるようにするため、基板表面に電極となる金
属を無電解メッキ法、スパッタ法または真空蒸着法など
の方法により堆積させる必要がある。電極金属の厚さ自
体は本発明の必須要件ではないが、一般的に、1000
Å程度で十分である。
【0014】メッキ時に流す電流は、直流、交流、パル
ス、直流バイアス上に交流もしくはバイアス電流を重畳
したものなどを使用できる。
ス、直流バイアス上に交流もしくはバイアス電流を重畳
したものなどを使用できる。
【0015】また、本発明の磁気記録媒体としては、ポ
リエステルフィルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹
脂フィルムを基体とする磁気テープや磁気ディスク、合
成樹脂フィルム、アルミニウム板およびガラス板等から
なる円盤やドラムを基体とする磁気ディスクや磁気ドラ
ムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含
する。
リエステルフィルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹
脂フィルムを基体とする磁気テープや磁気ディスク、合
成樹脂フィルム、アルミニウム板およびガラス板等から
なる円盤やドラムを基体とする磁気ディスクや磁気ドラ
ムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含
する。
【0016】
【実施例】以下、図面により本発明を更に詳細に説明す
る。実施例1〜6 硫酸コバルトと塩化白金酸カリウム(I) を用いてCoイ
オンに対するPtイオン量が1/10のメッキ液を調製
した。pHを3.5に調整し、ガラス基板上に1000
Åの銅をスパッタしたものを基板電極とし、基板電極の
陽極に対する印加電圧を−1.5、−2、−6、−8お
よび−10VとしてCoPt膜を基板上に形成した。メ
ッキ時間は30秒間とした。
る。実施例1〜6 硫酸コバルトと塩化白金酸カリウム(I) を用いてCoイ
オンに対するPtイオン量が1/10のメッキ液を調製
した。pHを3.5に調整し、ガラス基板上に1000
Åの銅をスパッタしたものを基板電極とし、基板電極の
陽極に対する印加電圧を−1.5、−2、−6、−8お
よび−10VとしてCoPt膜を基板上に形成した。メ
ッキ時間は30秒間とした。
【0017】比較例1〜2 前記の実施例で使用されたメッキ浴および基板電極と同
じメッキ浴および基板電極を使用し、基板電極の陽極に
対する印加電圧を−1および−12VとしてCoPt膜
を作成した。
じメッキ浴および基板電極を使用し、基板電極の陽極に
対する印加電圧を−1および−12VとしてCoPt膜
を作成した。
【0018】実施例7〜11 硫酸コバルトと塩化白金(IV)を用いてCoイオンに対す
るPtイオン量が1/1000、1/100、1/1
0、1/2および1/1でpHが3.5のメッキ浴を調
製した。ガラス基板上に1000Åの銅をスパッタした
ものを基板電極として使用し、基板電極の陽極に対する
印加電圧を−4Vとして、前記メッキ浴からCoPt膜
を作成した。メッキ時間は30秒間とした。
るPtイオン量が1/1000、1/100、1/1
0、1/2および1/1でpHが3.5のメッキ浴を調
製した。ガラス基板上に1000Åの銅をスパッタした
ものを基板電極として使用し、基板電極の陽極に対する
印加電圧を−4Vとして、前記メッキ浴からCoPt膜
を作成した。メッキ時間は30秒間とした。
【0019】比較例3〜4 実施例7〜11と同じ条件で、ただし、メッキ浴中のC
oイオンに対するPtイオン量が1/10000および
2/1のメッキ浴を用いCoPt膜を作成した。
oイオンに対するPtイオン量が1/10000および
2/1のメッキ浴を用いCoPt膜を作成した。
【0020】実施例12〜16 硫酸コバルトと塩化白金酸カリウム(II)を用いてCoイ
オンに対するPtイオン量が1/10で、pHが2,
2.5,3,5.5および6.5のメッキ浴を調製し
た。NiPをコートしたAl基板上に白金を200Åス
パッタしたものを基板電極とし、陽極に対する基板電極
の電位を−4VとしてCoPt膜を作成した。メッキ時
間は30秒間とした。
オンに対するPtイオン量が1/10で、pHが2,
2.5,3,5.5および6.5のメッキ浴を調製し
た。NiPをコートしたAl基板上に白金を200Åス
パッタしたものを基板電極とし、陽極に対する基板電極
の電位を−4VとしてCoPt膜を作成した。メッキ時
間は30秒間とした。
【0021】比較例5〜6 実施例12〜16と同じ条件で、但し、メッキ浴のpH
を1.5および7としてCoPt膜を作成した。前記の
実施例1〜16および比較例1〜6で得られた各磁気記
録媒体の磁気特性を試料振動型磁力計を用いて測定し
た。結果を下記の表1〜表3に示す。
を1.5および7としてCoPt膜を作成した。前記の
実施例1〜16および比較例1〜6で得られた各磁気記
録媒体の磁気特性を試料振動型磁力計を用いて測定し
た。結果を下記の表1〜表3に示す。
【0022】
【表1】 表1 試 料 印加電圧(V) 保磁力(Oe) 実施例 1 −1.5 200 実施例 2 −2 400 実施例 3 −4 750 実施例 4 −6 700 実施例 5 −8 400 実施例 6 −10 300 比較例 1 −1 −−− 比較例 2 −12 90 比較例1のサンプルはメッキ膜が剥離し、測定ができな
かった。
かった。
【0023】
【表2】 表2 試 料 Ptイオン数/Coイオン数 保磁力(Oe) 実施例 7 1/1000 600 実施例 8 1/100 800 実施例 9 1/10 1000 実施例10 1/2 600 実施例11 1/1 400 比較例 3 1/10000 20 比較例 4 2/1 〜0
【0024】
【表3】 表3 試 料 pH 保磁力(Oe) 実施例12 2 300 実施例13 2.5 400 実施例14 3 700 実施例15 5.5 700 実施例16 6.5 500 比較例 5 1.5 50 比較例 6 7 50
【0025】前記の表1〜表3に示された結果から明ら
かなように、本発明の実施例1〜16の磁気記録媒体は
磁気記録媒体として望ましい保磁力を有することが理解
できる。
かなように、本発明の実施例1〜16の磁気記録媒体は
磁気記録媒体として望ましい保磁力を有することが理解
できる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
優れた保磁力を有し、耐食性およびS/N比が優れたC
oPt電解メッキ膜を磁気記録層とする磁気記録媒体が
得られる。この媒体は従来のスパッタCoPt膜に比べ
て、量産性の点でも著しく優れている。
優れた保磁力を有し、耐食性およびS/N比が優れたC
oPt電解メッキ膜を磁気記録層とする磁気記録媒体が
得られる。この媒体は従来のスパッタCoPt膜に比べ
て、量産性の点でも著しく優れている。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 5/858 C25D 3/56 G11B 5/66
Claims (1)
- 【請求項1】 CoPtからなる磁気記録層を有する磁
気記録媒体の製造方法において、前記CoPt磁気記録
層は、陽極に対する陰極の印加電圧を−1.5V〜−1
0Vの範囲内とし、メッキ浴中のCoイオンに対するP
tイオンの割合を10-3〜1の範囲内とし、メッキ浴中
のpHを2〜6.5の範囲内とすることからなる電解メ
ッキ法により形成されることを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9949291A JP2963230B2 (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9949291A JP2963230B2 (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04307419A JPH04307419A (ja) | 1992-10-29 |
JP2963230B2 true JP2963230B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=14248799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9949291A Expired - Lifetime JP2963230B2 (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2963230B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10614953B2 (en) * | 2016-01-12 | 2020-04-07 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Mitigation of contamination of electroplated cobalt-platinum films on substrates |
-
1991
- 1991-04-04 JP JP9949291A patent/JP2963230B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04307419A (ja) | 1992-10-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990727 |