JP2960829B2 - 高圧力充填物を有するエキシマランプ - Google Patents

高圧力充填物を有するエキシマランプ

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JP2960829B2 JP5013566A JP1356693A JP2960829B2 JP 2960829 B2 JP2960829 B2 JP 2960829B2 JP 5013566 A JP5013566 A JP 5013566A JP 1356693 A JP1356693 A JP 1356693A JP 2960829 B2 JP2960829 B2 JP 2960829B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は改良したエキシマランプ
及びランプバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、所定の物質を処置するために紫外
線を使用する多くの産業上のプロセスが開発されてい
る。幾つかのこのようなプロセスにおいては、該物質は
その上に光硬化性のコーティングを有しており、且つ紫
外線が化学反応により該コーティングを「キュア」即ち
硬化させる。このような光硬化可能なコーティングは、
例えば、透明のものであるか又は染料を加えたものとす
ることが可能であり、且つ平坦な基板や例えば缶等の湾
曲した物体を包含する多様な物体へ付与される。光硬化
可能なコーティングは、更に、集積回路の製造において
使用されるプロセスである半導体フォトリソグラフィを
実施する場合にも使用される。
【０００３】光硬化可能コーティングに対して光照射す
るために使用される紫外線ランプは、水銀を含有してお
り、スペクトルの特定の領域に対して強調を加えるため
に１つ又はそれ以上の添加物が存在するバルブ充填物を
使用することが通常である。従って、該ランプにより射
出される光のスペクトルは、水銀元素のスペクトルであ
るか、又は水銀と特定の添加物のスペクトルである。
【０００４】このようなランプにより発生される水銀の
スペクトルは、２００乃至４００ナノメータの比較的広
いスペクトル帯域にわたって存在する光照射を有してい
る。該光照射は帯域全体にわたって分布しているので、
帯域全体のうちの特定の狭い部分におけるランプの効率
は比較的低いものである。
【０００５】ある適用場面においては、ランプの光照射
出力の殆どがより幅狭の帯域内に存在するものであるこ
とが望ましい場合がある。その一例として、ある光硬化
可能な物質は、紫外線スペクトルの他の部分における光
照射よりも、比較的狭い２５０−３００ナノメータの帯
域内の紫外線照射に対してより多くの応答性を有してい
る。このような物質は、２５０−３００ナノメータ帯域
内にその光出力の殆どが集中しているランプによってよ
り迅速に硬化させることが可能である。
【０００６】近年、エキシマ光照射を射出する放電装置
が公知となっている。エキシマは、通常の条件下におい
て非拘束の又は弱く拘束された基底状態を有する励起さ
れた不安定な分子化合物であり、従って、古典物理から
は知られていないものである。即ち、エキシマ化合物
は、励起された状態においてのみ存在する。エキシマ化
合物は１マイクロ秒未満で解離し、且つその減衰期間中
に、狭いバンド即ち帯域において光照射の形態で結合エ
ネルギを発散させる。
【０００７】殆どの通常のエキシマ装置はレーザである
が、最近マイクロ波駆動型エキシマランプが提案されて
いる。Ｋｕｍａｇａｉ及びＯｂａｒａ著「マイクロ波放
電により励起されたＫｒＦ（Ｂ⇒Ｘ）エキシマランプの
新たな高効率準連続的動作（Ｎｅｗ Ｈｉｇｈ−Ｅｆｆ
ｉｃｉｅｎｃｙ Ｑｕａｓｉ−ＣｏｎｔｉｎｕｏｕｓＯ
ｐｅｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ａ ＫｒＦ （Ｂ⇒Ｘ） Ｅ
ｘｃｉｍｅｒ Ｌａｍｐ Ｅｘｃｉｔｅｄ ｂｙ Ｍｉ
ｃｒｏｗａｖｅ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）」、アプライド
フィジックスレターズ、 Ｖｏｌ．５４，Ｎｏ．２６，
１９８９年６月２６日、２６１９−２６２１頁の文献に
おいては、約２４８ｎｍの周りの数ナノメータの非常に
狭いバンド即ち帯域内において光照射を射出するランプ
が記載されている。このランプは、ヘリウムとネオンと
のバッファガス混合物内に少量の弗素とクリプトンとを
含有する充填物を使用している。この文献は、適切な効
率を達成するためにこのランプを低い圧力において動作
させることが必要であり、ハロゲン圧力が１トールで所
望の全圧が５０トールにおいて１２．１％の効率が得ら
れることが記載されている。この効率は、ある適用場面
においては十分に高いものと言えない場合がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】最も広義においては、本
発明により、動作温度において約３５０トール以上の圧
力においてハロゲンを有する充填物を収容するエキシマ
ランプが提供される。本発明によれば、動作期間中にお
けるハロゲン圧力が約７５０トール以上のものである場
合に更に良好な結果が得られ、且つハロゲン圧力が約６
気圧以上である場合には更に良好な結果が得られる。該
充填物は、ハロゲンを含有するか、又はハロゲンと稀ガ
スとを含有することが可能である。
【０００９】更に、本発明によれば、稀ガスとハロゲン
とを含有する充填物を有しており、その充填物の全圧が
動作温度において約２．５気圧以上であり、且つ好適に
は１０気圧以上であるエキシマランプが提供される。本
発明のこの側面によれば、ハロゲンの分圧は３５０トー
ル以上であるか又はそれ以下とすることが可能である。
【００１０】特定のスペクトル範囲の強調を与えるため
に該充填物に特定の物質を添加することが可能である。
例えば、２５０−３５０ナノメータ範囲内においてスペ
クトルの強調を与えるために充填物を含有するエキシマ
に亜鉛を添加することが可能である。更に、該充填物
は、ハロゲンの組合わせ、稀ガスと複数個のハロゲンと
の組合わせ、複数個の稀ガス／ハロゲンの組合わせ、又
はハロゲンと複数個の稀ガスとの組合わせを有すること
が可能である。一方、該充填物はハロゲンのみから構成
することが可能であり、又ハロゲンと稀ガスとの組合わ
せから構成することが可能である。
【００１１】本発明のマイクロ波励起型実施例によれ
ば、マイクロ波エネルギはマグネトロン又はその他の装
置により供給される。該充填物は適宜の被包体内に収容
され、該被包体は例えば石英から構成される。マイクロ
波エネルギは結合手段により該充填物へ結合され、該結
合手段は、マイクロ波エネルギに対しては透過性ではな
いが該充填物により射出されたエキシマ光に対しては実
質的に透過性のメッシュを有しており、該光照射がラン
プの外側へ出力することを可能としている。
【００１２】
【実施例】図１を参照すると、水銀充填物を有するマイ
クロ波駆動型ランプにより発生される紫外線スペクトル
が示されている。理解される如く、このランプの紫外線
パワー出力は２００−４００ナノメータの範囲にわたっ
て分布している。上述した如く、このパワーがより狭い
範囲に集中していることが望ましい場合がある。何故な
らば、特定の光硬化可能物質がこのような狭い範囲内の
光に対してのみ応答する場合には、そのパワーの残部は
ほぼ浪費されるからである。
【００１３】本発明の第一実施例に基づくランプを図２
乃至５に示してある。このランプは、被包体即ちバルブ
４を有しており、該被包体（バルブ）は、エキシマ形成
用の充填物を収容している。このランプは、更に、マグ
ネトロン２０を有すると共に、マグネトロン２０により
発生されたマイクロ波エネルギをバルブの充填物に対し
て結合させる結合手段を有している。
【００１４】該結合手段は、リフレクタ即ち反射器６と
メッシュ８とから構成されるマイクロ波空胴２を有して
いる。図２に示される如く、リフレクタ６はスロット１
６及び１８を有しており、該スロットを介してマイクロ
波エネルギが結合即ち供給される。更に、メッシュ８は
実質的にマイクロ波エネルギに対しては不透過性であ
り、従ってマイクロ波エネルギを空胴内に閉込め、一方
メッシュ８はバルブ４内の充填物により射出される光照
射に対しては実質的に透過性である。
【００１５】図１乃至４に示した特定のランプにおける
マイクロ波結合手段の別の部分は反転した箱形の金属か
らなる構成体２２を有している。図２，４，５を参照す
ると、この構成体が、側壁部材４８と角度をもって配設
された部外５０及び５２とから構成されていることが理
解される。構成体２２は、図２及び５に示した如く、リ
フレクタ６に嵌合され、且つリフレクタと一体となって
この構成体は、マイクロ波エネルギを結合スロットへ供
給するためのマイクロ波包囲体乃至は導波手段を形成す
る。マグネトロン発射器が、チャンバ端部から等距離に
位置した開口２４内に配設されており、従って該発射器
は結合スロットから等距離において該導波手段内に位置
されている。反転箱形の構成体２２の底部はフランジ２
４及び２６を有しており、該フランジは例えば螺子等に
よりリフレクタから延在するフランジ２８及び３２へ固
着することが可能である。
【００１６】構成体２２は、更に、図５に示した如く、
部材３２及び３４を有することが可能であり、これらの
部材は側壁４０及び４２の内側の長さ方向に沿って延在
しており、且つこれらの側壁をリフレクタに接続してい
る。部材３２及び３４は導波路手段の高さを短くする硬
化を有すると共に、マイクロ波エネルギのスロット１６
及び１８に対するより効率的な結合を与えている。さら
に、導波路手段の側壁はその中に結合孔５４を有してお
り、且つリフレクタ６は、図３に示した如く、その上部
に沿って冷却用の孔５６を有している。本ランプは、導
波路手段及びマイクロ波チャンバを貫通して且つランプ
被包体（バルブ）を通過して空気又はその他の冷却用ガ
スを流通させることにより冷却される。
【００１７】マグネトロン２２より発生されるマイクロ
波エネルギの周波数及びチャンバ２の長手方向寸法は、
動作期間中に、長手方向におけるチャンバーの中間位置
に最小値即ち０点を有する対称的な定在波がマイクロ波
チャンバ内に存在するように設定される。そのような状
態で付勢されると、図１乃至４に示したマイクロ波結合
用構成体は、該被包体即ちバルブがその長さにわたって
バランスした光出力を発生するような態様でマイクロ波
エネルギを被包体即ちバルブ４に結合させる。本発明の
最初の且つ最も広義の側面によれば、バルブ４内の充填
物はハロゲンか、又はハロゲンと稀ガスとの組合せを有
している。該ハロゲンは動作温度において約３５０トー
ル以上の圧力におけるものである。上述した如く、この
ハロゲン圧力が約７５０トール以上のものである場合に
より良好の結果が得られ、且つ動作期間中のハロゲン圧
力が６気圧以上である場合には更に良好な結果が得られ
る。
【００１８】本発明の更に別の側面によれば、稀ガスと
ハロゲンとの組合せを有する充填物を収容するバルブの
場合には、充填物の全圧は、動作温度において約２．５
気圧以上に設定され、且つ、好適には１０気圧以上に設
定され、一方ハロゲン圧力は３５０トール以上か又は以
下のものとすることが可能である。
【００１９】稀ガスとハロゲンとの組合せはエキシマ光
照射を射出し、且つその組合せとしては、ＸｅＢｒ，Ｋ
ｒＢｒ，ＸｅＩ，ＸｅＣｌ，ＫｒＣｌ，ＡｒＣｌ，Ｘｅ
Ｆ，ＫｒＦ，ＡｒＦ，ＮｅＦなどがある。更に、該充填
物は、複数個のハロゲンと一つの稀ガス、複数個の稀ガ
スと一つのハロゲン、又は複数個のハロゲンと複数個の
稀ガスとの組合せを有することが可能である。更に、ス
ペクトルの異なった領域においてスペクトルの強調を与
えるために該充填物に所要の物質を添加することが望ま
しい場合がある。例えば、水銀、亜鉛、カドミウム又は
それらの何らかの組合せをこの目的のための添加物とし
て使用することが可能である。
【００２０】図２乃至５に示したようなランプが上述し
た本発明に基づいて高圧充填物を使用する場合に、適宜
の効率でエキシマ光照射が得られる。その光照射はメッ
シュ８を介してリフレクタ６によりランプの外部へ反射
され、そのようにして取出された光照射が何らかの目的
のために利用される。更に、このようにして構成された
装置において、ある限界内において充填物の圧力と共に
効率が増加し、且つある限界内においてその効率がパワ
ー密度と共に増加することが判明した。パワー（電力）
密度は、約２２５ワット／ｃｃを超えるべく設定され、
且つ好適には、約１０００ワット／ｃｃを超えるべく設
定され、それは、適宜の冷却により、約７５０℃と９５
０℃との間の動作温度（壁温度）となる。
【００２１】図２乃至５に示したものと同様の特定のラ
ンプにおいて、キセノンと臭素との混合物を含有する充
填物を使用した。臭素は約７．２気圧の圧力で存在した
が、キセノンは動作温度において約２．５気圧において
存在した。このランプに対するパワー入力は１４８２ワ
ットであった。
【００２２】このランプにより供給されたスペクトルを
図６に示してある。殆どの光照射が、図１に示した水銀
ランプのスペクトルと異なり、約５０ナノメータ（即
ち、２５０−３００ｎｍ）の範囲にわたって集中してい
ることが理解される。このスペクトルはＸｅＢｒ線を有
しており、それに続いてＢｒ2 線が存在しており、且つ
可視光スペクトル（４００ｎｍ以上）は平坦であり且つ
特定の構造を有するものではないことに注意すべきであ
る。このランプの効率は充填物の圧力が増加すると共に
増加する傾向にあることが判明した。
【００２３】別のケースとして、バルブをキセノンと臭
素とで充填し、動作期間中におけるその臭素の圧力は約
７．２気圧であり且つキセノンの圧力は約５気圧であっ
た。１１６８ワットのパワーをこのランプに付与し、図
７に示したスペクトルが得られた。このランプの効率は
２５０−３００ナノメータ範囲において１４．６％であ
り、それは上述したＫｕｍａｇａｉ及びＯｂａｒａの文
献に記載されている物よりも高い効率である。
【００２４】注意すべきことであるが、図６及び７に示
したスペクトルは、約５０ナノメータの帯域内に殆どの
光照射が集中しており、それはＫｕｍａｇａｉ及びＯｂ
ａｒａの文献に記載されている実施例におけるよりも実
質的に広いバンド即ち帯域である。このことはある適用
場面にとっては重要な利点である。更に注意すべきこと
であるが、異なった特定の充填物を使用することにより
異なった幅の帯域に光照射が集中したスペクトルを得る
ことが可能である。
【００２５】上述したバルブ即ち被包体を充填するため
に使用された手順は、マニホールドを一定圧力の液体臭
素及びキセノンで充填し、次いで液体窒素を使用して、
該マニホールドの収容物の殆どを単一のバルブに凍結さ
せる。その収容物を凍結させたままバルブの端部にナビ
ンを付加する。勿論、ハライド化合物を使用することに
より該バルブにハロゲンを添加させることが可能であ
る。このランプをスタートさせる手順は、該バルブ上に
液体窒素をスプレイして臭素を凍結させ、その上で、マ
イクロ波励起のもとで該バルブ近傍にテスラコイルを配
置させて該ランプをスタートさせる。
【００２６】図８を参照すると、球状バルブを組込だマ
イクロ波ランプを使用する本発明の別の実施例が示され
ている。この実施例においては、バルブ７０はリフレク
タ７２とメッシュ７４とから構成されるマイクロ波空胴
内に配設されている。マグネトロン７６がマイクロ波エ
ネルギを供給し、それは導波路７８によりスロット８０
を介してリフレクタ７２内に供給される。バルブ７０に
よって射出される紫外線照射はリフレクタ７２により反
射されメッシュ７４を通過してランプの外部に取出され
る。該バルブは加圧空気を吹付けながらモータ８２によ
り回転させることにより冷却される。図８に示したラン
プは、エキシマ光照射を発生するために上述したような
バルブ充填物を使用することが可能である。
【００２７】本発明の充填物の好適実施例はマイクロ波
駆動型ランプに関連するものであるが、該充填物は、例
えばＲＦ駆動型ランプやアークランプ等の電気的駆動型
ランプの任意のタイプにおいてエキシマ光照射を発生さ
せるために使用することが可能である。この点に関し
て、図９はＲＦエネルギにより駆動される上述した如き
充填物を有する無電極ランプ１００を示している。図９
を参照すると、ＲＦ発振器１０２がＲＦ領域における電
磁エネルギを供給し、それはコイル１０４へ供給され
る。コイル１０４は該エネルギを適宜の高いパワー密度
でランプ１００と誘導的に結合させるべく配列されてい
る。当業者にとって明らかな如く、誘導結合の代りに容
量結合を使用することも可能である。図１０は、本発明
の充填物が設けられており、電極１１２及び１１４を具
備するアークランプ１１０を示している。アークランプ
電源１１２は、電気的エネルギを該ランプに結合させエ
キシマ光照射を発生させる。
【００２８】以上、本発明の具体的実施の態様について
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ限定
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 水銀充填物を具備するマイクロ波ランプによ
り与えられる２００乃至４００ｎｍの間のスペクトルを
示したグラフ図。
【図２】 直線的なバルブを使用する本発明の一実施例
を示した概略図。
【図３】 直線的なバルブを使用する本発明の一実施例
を示した概略図。
【図４】 直線的なバルブを使用する本発明の一実施例
を示した概略図。
【図５】 直線的なバルブを使用する本発明の一実施例
を示した概略図。
【図６】 本発明の一実施例に基くランプの光出力スペ
クトルを示したグラフ図。
【図７】 本発明の別の実施例に基くランプの光出力ス
ペクトルを示したグラフ図。
【図８】 球状バルブを使用する本発明の別の実施例を
示した概略図。
【図９】 本発明の別の実施例を示した概略図。
【図１０】 本発明の別の実施例を示した概略図。
【符号の説明】 ２ マイクロ波空胴（チャンバ） ４ バルブ（被包体） ６ リフレクタ（反射器） ８ メッシュ ２０ マグネトロン ２２ 構成体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェームズ ティー． ドーラン アメリカ合衆国， メリーランド 21702， フレデリック， エルローズ コート 536 (56)参考文献 実開 平２−42361（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 65/04

Claims (25)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 無電極ランプバルブにおいて、内部電極
    も外部電極も有することがなく且つ紫外線透過性の被包
    体と、動作温度において約３５０トール以上のハロゲン
    圧力を発生する量のハロゲンを含有する前記被包体内に
    設けた充填物、を有することを特徴とするランプバル
    ブ。
  2. 【請求項２】 請求項１において、前記バルブ内のハロ
    ゲンの量は、動作温度において約７５０トール以上の圧
    力を発生するようなものであることを特徴とするランプ
    バルブ。
  3. 【請求項３】 請求項１において、前記バルブ内のハロ
    ゲンの量は、動作温度において約６気圧以上の圧力を発
    生するようなものであるであることを特徴とするランプ
    バルブ。
  4. 【請求項４】 請求項１又は３において、前記充填物
    が、更に、稀ガスを有することを特徴とするランプバル
    ブ。
  5. 【請求項５】 請求項１又は３において、電磁エネルギ
    を発生する電源手段と、前記充填物を励起させるために
    前記電磁エネルギを前記被包体に結合させる手段と組合
    わされたことを特徴とするランプバルブ。
  6. 【請求項６】 請求項５において、前記電磁エネルギが
    マイクロ波エネルギであることを特徴とするランプバル
    ブ。
  7. 【請求項７】 請求項５において、前記電磁エネルギが
    ＲＦエネルギであることを特徴とするランプバルブ。
  8. 【請求項８】 請求項６において、前記マイクロ波エネ
    ルギを２２５ワット／ｃｃを超える電力密度で前記充填
    物へ結合させることを特徴とするランプバルブ。
  9. 【請求項９】 請求項８において、前記電力密度が約１
    ０００ワット／ｃｃ以上であることを特徴とするランプ
    バルブ。
  10. 【請求項１０】 請求項６又は８において、前記ハロゲ
    ンが臭素であることを特徴とするランプバルブ。
  11. 【請求項１１】 請求項４において、前記ハロゲンが臭
    素であり且つ前記稀ガスがキセノンであることを特徴と
    するランプバルブ。
  12. 【請求項１２】 マイクロ波駆動型エキシマランプにお
    いて、 紫外線透過性であり且つハロゲンを含有する充填物を収
    容する被包体が設けられており、前記ハロゲンは動作温
    度において約３５０トール以上の圧力において存在し、 マイクロ波エネルギを供給する電源手段が設けられてお
    り、 前記充填物を励起するために前記電源手段から前記被包
    体へマイクロ波エネルギを結合させる手段が設けられて
    おり、 前記充填物により射出された光が前記ランプから外部に
    出ることを可能とすると共にマイクロ波エネルギを閉込
    めるメッシュ手段が設けられている、ことを特徴とする
    ランプ。
  13. 【請求項１３】 請求項１２において、前記充填物が、
    更に、稀ガスを有することを特徴とするランプ。
  14. 【請求項１４】 請求項１２又は１３において、前記ハ
    ロゲンは動作温度において７５０トール以上の圧力にお
    いて存在することを特徴とするランプ。
  15. 【請求項１５】 請求項１２又は１３において、前記ハ
    ロゲンが動作温度において約６気圧以上の圧力において
    存在することを特徴とするランプ。
  16. 【請求項１６】 請求項１４において、前記マイクロ波
    エネルギが２２５ワット／ｃｃを超える電力密度におい
    て前記充填物へ結合されることを特徴とするランプ。
  17. 【請求項１７】 請求項１６において、前記電力密度が
    約１０００ワット／ｃｃ以上であることを特徴とするラ
    ンプ。
  18. 【請求項１８】 マイクロ波駆動型エキシマランプにお
    いて、 ハロゲンと稀ガスとを含有する充填物を収容する被包体
    が設けられており、前記充填物は動作温度において約
    ２．５気圧以上の圧力において存在し、 マイクロ波エネルギを供給する電源手段が設けられてお
    り、 前記充填物を励起させるために前記電源手段から前記被
    包体へマイクロ波エネルギを結合させる手段が設けられ
    ており、 前記充填物により射出された光が前記ランプから外部へ
    出ることを許容すると共にマイクロ波エネルギを閉込め
    るメッシュ手段が設けられている、ことを特徴とするラ
    ンプ。
  19. 【請求項１９】 請求項１８において、前記充填物が動
    作温度において約１０気圧以上の圧力において存在する
    ことを特徴とするランプ。
  20. 【請求項２０】 マイクロ波駆動型エキシマランプにお
    いて、 動作温度において約３５０トール以上の圧力において存
    在するハロゲンからなる充填物を収容する被包体が設け
    られており、 マイクロ波エネルギを供給する電源手段が設けられてお
    り、 前記充填物を励起するために前記電源手段から前記被包
    体へマイクロ波エネルギを結合する手段が設けられてお
    り、 前記充填物により射出された光が前記ランプから外部へ
    出ることを許容すると共にマイクロ波エネルギを閉込め
    るメッシュ手段が設けられている、ことを特徴とするラ
    ンプ。
  21. 【請求項２１】 マイクロ波駆動型エキシマランプにお
    いて、 稀ガスとハロゲンとからなる充填物を収容する被包体が
    設けられており、前記ハロゲンは動作温度において約３
    ５０トール以上の圧力において存在し、 マイクロ波エネルギを供給する電源手段が設けられてお
    り、 前記充填物を励起するために前記電源手段から前記被包
    体へマイクロ波エネルギを結合する手段が設けられてお
    り、 前記充填物により射出された光を前記ランプから外部へ
    出ることを許容すると共にマイクロ波エネルギを閉込め
    るメッシュ手段が設けられている、ことを特徴とするラ
    ンプ。
  22. 【請求項２２】 電気的駆動型エキシマランプにおい
    て、 紫外線透過性の被包体が設けられており、前記被包体は
    動作温度において約３５０トール以上の圧力においてハ
    ロゲンを有する充填物を収容しており、 前記電気エネルギを供給する手段が設けられており、 前記充填物を励起するために前記電気エネルギを前記被
    包体へ結合させる手段が設けられている、ことを特徴と
    するランプ。
  23. 【請求項２３】 請求項２２において、前記ハロゲンが
    動作温度において約７５０トール以上の圧力において存
    在することを特徴とするランプ。
  24. 【請求項２４】 請求項２３において、前記ハロゲンが
    動作温度において約６気圧以上の圧力において存在する
    ことを特徴とするランプ。
  25. 【請求項２５】 請求項２１において、前記ハロゲンが
    臭素であり且つ前記稀ガスがキセノンであることを特徴
    とするランプ。
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