JP2002358924A - 放電灯 - Google Patents
放電灯Info
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Abstract
紫外線放射特性の変化をなくして紫外線光源との汎用性
を高め、しかも電気消費量を低減して省エネルギーと地
球環境保護の観点から好ましい放電灯を提供することを
目的とする。 【解決手段】 放電管内に一酸化炭素及び/又は一酸化
炭素を含む気体を封入して、該一酸化炭素及び/又は一
酸化炭素を含む気体を放電させた際に放射される放電発
光、特に紫外領域の放電発光を利用した放電灯を提供す
る。
Description
放電灯に関し、特には放電ガスとして放電管内に一酸化
炭素を封入して、主として紫外領域での放電発光を利用
する放電灯に関するものである。
硬化,オゾン生成,殺菌,リソグラフィー等の各種工業
分野で広く利用されているが、最も一般的な紫外線光源
は水銀灯である。この水銀灯は硬質ガラスでなる低圧放
電管内に水銀を封入しておき、この放電管の両端に設け
た電極間に商用周波数の電界を印加して水銀気体中で放
電させることにより、254nm,185nmなどの水
銀原子発光放電を行わせている。
灯及び高圧水銀灯が広く用いられており、高分子光反応
を利用したインキのUVキュア等工業的な利用がはから
れている。また、紫外線が蛍光体を励起して可視光に変
換した光源が蛍光灯であり、紫外線を直接利用すること
によって前記UVインキ硬化,オゾン生成,殺菌その他
の工業用途に応用することが可能である。最近では従来
の水銀灯に代えて希ガスのエキシマ発光を利用した紫外
線光源も市販されており、希ガスの種類を変更すること
によって幅広い紫外波長領域から所望の波長を持つ放電
特性を得ることができる。
水銀灯に用いられている水銀は常温下では液体であるた
め、放電管の内部に予めキセノン(Xe)などの希ガス
を封入しておき、点灯初期に先ず希ガスを放電させ、こ
の放電により発生する熱で水銀を気化して水銀の気体を
得て、この水銀の気体中で電極間に電界を印加して放電
させることにより水銀原子発光放電を行っている。従っ
て水銀灯が安定した放電状態に達するまでには10分以
上の時間を必要とするという課題がある。上記に対処し
て放電を不要とする時間帯でも水銀灯を点灯したまま維
持する手段も用いられているが、照明用の水銀灯などの
電気消費量が大きくなって省エネルギーの観点からも好
ましくないという問題点がある。
も常時点灯している必要のないケースが多い。例えば数
秒から数分おきに搬送ライン上を搬送されるサンプルに
紫外線を照射すればよい場合等である。しかしながら、
かかる場合においてもサンプルとサンプルのインターバ
ルの間に水銀灯を消してしまうと、次のサンプルが搬送
されてきてもすぐには紫外線量が安定しないために、常
時点灯しているのが実情である。したがってスイッチO
Nしてすぐに光出力が安定する紫外光源が提供されれ
ば、サンプルとサンプルのインターバルの間はスイッチ
をOFFしておくことが可能となり、省電力が達成され
ることとなる。
て水銀の気化量が変化するケースもあり、それに伴って
水銀灯から発せられる紫外線放射特性も変化してしま
い、水銀灯を紫外線光源として高度な精度が要求される
工業用途に応用する際に不具合が生じるという問題があ
る。また、地球環境保護の観点から人体に有害な水銀の
継続的な大量利用は好ましくないという問題もある。
のエキシマ発光を利用した紫外線光源としての希ガスエ
キシマランプは、スイッチONしてすぐに光出力が安定
するという利点を有している。しかしながら、水銀灯の
ように放電管両端の電極間に商用周波数の電界を印加す
るだけでは強いエキシマ発光が得られないため、高周波
電界を印加する誘電体バリア放電などを利用する必要が
ある。そのために光源システムとしての価格がきわめて
高くなってしまい、採算的な面から高付加価値を持つ工
業製品の製造に適用する以外には使用されておらず、汎
用性が乏しいという難点がある。
点灯を短時間で安定させるとともに紫外線放射特性の変
化をなくして紫外線光源として高度な工業用途に適用す
る際の汎用性を高め、しかも電気消費量が低減されて省
エネルギーと地球環境保護の観点から好ましい放電灯を
提供することを目的とするものである。
するために、放電管内に一酸化炭素及び/又は一酸化炭
素を含む気体を封入して、該一酸化炭素及び/又は一酸
化炭素を含む気体を放電させた際に放射される放電発
光、特に紫外領域の放電発光を利用した放電灯を提供す
る。
炭素及び/又は一酸化炭素を含む気体を封入して放電さ
せると、放電開始直後に一酸化炭素が放電分解されて内
壁とか電極に炭素皮膜が堆積するが、分解される酸素に
よって炭素皮膜がエッチングされて特性が安定し、その
後は放電開始後の数秒以内で放電特性が安定する。よっ
て、スイッチONしてすぐに光出力が安定する紫外光源
を得ることができ、常時点灯をしておく必要がなく、必
要に応じてON/OFF操作を行うことができる紫外線
光源としての放電灯を得ることができる。
的な実施形態を説明する。本発明では放電中の一酸化炭
素分子とか一酸化炭素イオンから多くの紫外線が放射さ
れる現象に着目して、放電管内に一酸化炭素及び/又は
一酸化炭素を含む気体を封入しておき、該一酸化炭素及
び/又は一酸化炭素を含む気体を放電させた際に放射さ
れる放電発光、特に紫外領域での放電発光を利用した放
電灯を得たことが特徴となっている。
先ず硬質ガラスでなる低圧放電管内の両端に配置した電
極間距離を20cm,放電管の内径2cmとし、この放
電管内に一酸化炭素を133Pa(パスカル)封入し
た。得られた放電管の両電極間に商用周波数の電界を印
加して放電させた。初回の放電においては放電開始直後
に一酸化炭素が放電分解され、放電管の内壁とか電極に
僅かに炭素皮膜が堆積するが、同時に分解される酸素に
よって炭素皮膜のエッチング現象が起きて30分程度で
特性が安定する。2回目以降の放電では、放電開始後の
数秒以内で放電特性が安定する。
た放電管に商用周波数の電界を印加し放電開始直後に測
定した、供給電力2.4ワットの場合の放電発光スペク
トルを示す。図1のように一酸化炭素を放電させると、
波長200nmから400nmの紫外線領域に一酸化炭
素分子の3rd Positive(283〜370nm)や5Bba
nds(267〜383nm)からの紫外線の放射、一酸
化炭素イオン(219nm,230nm)からの紫外線
の放射を確認することができ、紫外線域の光源として有
用である。
のみを封入した例について説明したが、本発明は上記に
限定されるものではなく、放電管内に一酸化炭素を含む
気体を封入してもよく、更には一酸化炭素を含む気体,
例えばアルゴン(Ar)とかキセノン(Xe)などの希
ガスとともに一酸化炭素を封入しても良い。
a封入し、放電管内に電極が不要なマイクロ波(MW:
250W)などの高周波電界を印加して放電させた場合
にも、初回の放電においては30分程度で特性が安定
し、2回目以降の放電では放電開始後の数秒以内で特性
が安定する。図2はあらかじめ30分以上の放電を行っ
た放電管にマイクロ波電界を印加して放電開始直後に測
定した場合の発光スペクトルを示す。波長200nmか
ら400nmの紫外線領域において強い発光が観測さ
れ、紫外光源として有用である。従って本発明にかかる
放電灯に印加する電界は、放電管の両端に電極を設け
て、該電極間に電界を印加してもよいし、或いはマイク
ロ波電界等の放電管内に電極を設ける必要のない高周波
電界を印加してもよく、印加する電界に限定はない。
び/又は一酸化炭素を含む気体を封入したことにより、
一酸化炭素分子及び一酸化炭素イオンから多数の紫外線
が放射されるが、この一酸化炭素は常温で気体であるか
ら水銀を封入した場合に較べて放電灯の安定時間が短
く、周囲温度による放電特性の変化は生じない。更にエ
キシマ発光のように高価な高周波電界システムを用いず
とも点灯可能で、安価な商用周波数で点灯可能である。
れば放電管内に一酸化炭素及び/又は一酸化炭素を含む
気体を封入して、該一酸化炭素及び/又は一酸化炭素を
含む気体を放電させた際に放射される放電発光、特に紫
外領域の放電発光を利用した放電灯が得られる。初回の
放電中に一酸化炭素が放電分解されて内壁とか電極に炭
素皮膜が堆積しても同時に分解される酸素によって該炭
素皮膜がエッチングされて30分程度で放電特性が安定
し、2回目以降は短時間で放電が安定し、点灯時に商用
周波数又は高周波の電界如何を問わず幅広い波長領域で
の紫外線放射を可能として安定した点灯特性が得られ
る。
を封入したことにより、周囲温度による放電特性の変化
が生じることがなくなり、点灯後の安定時間も短縮され
るので省エネルギー効果も高く、紫外線光源として高度
な精度が要求される工業用途にも広く適用することがで
きるとともに人体に有害な水銀を用いていないので、地
球環境保護の観点からも有益な放電灯が得られる。
界を印加した場合の放電発光スペクトル図。
加した場合の放電発光スペクトル図。 整理番号 P3286
Claims (3)
- 【請求項1】 放電管内に一酸化炭素を封入して、該一
酸化炭素を放電させた際に放射される放電発光を利用す
ることを特徴とする放電灯。 - 【請求項2】 放電管内に一酸化炭素を含む気体を封入
して、該一酸化炭素を含む気体を放電させた際に放射さ
れる放電発光を利用することを特徴とする放電灯。 - 【請求項3】 放電管内に一酸化炭素及び/又は一酸化
炭素を含む気体を封入して、該一酸化炭素及び/又は一
酸化炭素を含む気体を放電させた際に放射される紫外領
域の放電発光を利用することを特徴とする放電灯。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010135162A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Orc Mfg Co Ltd | 放電ランプ |
JP2010135171A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Orc Mfg Co Ltd | マイクロ波放電ランプ |
NL2007588A (en) * | 2010-11-26 | 2012-05-30 | Ushio Electric Inc | Discharge lamp device. |
JP2013125677A (ja) * | 2011-12-15 | 2013-06-24 | Ushio Inc | 放電ランプ装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4982185A (ja) * | 1972-12-11 | 1974-08-07 | ||
JPS49100871A (ja) * | 1973-01-30 | 1974-09-24 | ||
JPS50133673A (ja) * | 1974-04-10 | 1975-10-23 | ||
JPS553109A (en) * | 1978-06-22 | 1980-01-10 | Toshiba Corp | Metallic vapor discharge lamp |
JPH08106880A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-23 | Toshiba Lighting & Technol Corp | ネオングロー放電ランプおよび表示装置 |
US6133694A (en) * | 1999-05-07 | 2000-10-17 | Fusion Uv Systems, Inc. | High-pressure lamp bulb having fill containing multiple excimer combinations |
-
2001
- 2001-06-01 JP JP2001167251A patent/JP4873394B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4982185A (ja) * | 1972-12-11 | 1974-08-07 | ||
JPS49100871A (ja) * | 1973-01-30 | 1974-09-24 | ||
JPS50133673A (ja) * | 1974-04-10 | 1975-10-23 | ||
JPS553109A (en) * | 1978-06-22 | 1980-01-10 | Toshiba Corp | Metallic vapor discharge lamp |
JPH08106880A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-23 | Toshiba Lighting & Technol Corp | ネオングロー放電ランプおよび表示装置 |
US6133694A (en) * | 1999-05-07 | 2000-10-17 | Fusion Uv Systems, Inc. | High-pressure lamp bulb having fill containing multiple excimer combinations |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010135162A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Orc Mfg Co Ltd | 放電ランプ |
JP2010135171A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Orc Mfg Co Ltd | マイクロ波放電ランプ |
NL2007588A (en) * | 2010-11-26 | 2012-05-30 | Ushio Electric Inc | Discharge lamp device. |
CN102479666A (zh) * | 2010-11-26 | 2012-05-30 | 优志旺电机株式会社 | 放电灯装置 |
JP2012114007A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Ushio Inc | 放電ランプ装置 |
JP2013125677A (ja) * | 2011-12-15 | 2013-06-24 | Ushio Inc | 放電ランプ装置 |
CN103258713A (zh) * | 2011-12-15 | 2013-08-21 | 优志旺电机株式会社 | 放电灯装置 |
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