JPH0582102A - 紫外線放射用放電灯 - Google Patents
紫外線放射用放電灯Info
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- JPH0582102A JPH0582102A JP24610291A JP24610291A JPH0582102A JP H0582102 A JPH0582102 A JP H0582102A JP 24610291 A JP24610291 A JP 24610291A JP 24610291 A JP24610291 A JP 24610291A JP H0582102 A JPH0582102 A JP H0582102A
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- Japan
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- bulb
- discharge lamp
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- ultraviolet
- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】発光効率に優れた紫外線放射用放電灯を提供す
るものである。 【構成】透光性のバルブ１に紫外線を発する物質を封入
するとともに、この紫外線発光物質に電磁エネルギーを
供給して発光させる手段を備えた紫外線放射用放電灯に
おいて、上記電磁エネルギーを供給する手段は、バルブ
の外部に設けられ、高周波電力が供給される外部電極２
であることを特徴とする。 【作用】放電を発生させるための高周波電磁エネルギー
は、バルブの外部に設けた外部電極により供給するよう
にしたので、有電極形放電灯における内部電極を備える
ことによる電極損失が低減され、紫外線放射効率が向上
する。
るものである。 【構成】透光性のバルブ１に紫外線を発する物質を封入
するとともに、この紫外線発光物質に電磁エネルギーを
供給して発光させる手段を備えた紫外線放射用放電灯に
おいて、上記電磁エネルギーを供給する手段は、バルブ
の外部に設けられ、高周波電力が供給される外部電極２
であることを特徴とする。 【作用】放電を発生させるための高周波電磁エネルギー
は、バルブの外部に設けた外部電極により供給するよう
にしたので、有電極形放電灯における内部電極を備える
ことによる電極損失が低減され、紫外線放射効率が向上
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バルブから紫外線を発
するようにした紫外線放射用放電灯に関する。
するようにした紫外線放射用放電灯に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、紫外線を利用した化学処理技術が
急速に進みつつある。例えば、電子デバイスプロセスの
分野では、半導体の光洗浄、フォトレジスト、光アッシ
ング、光ＣＶＤなどに紫外線照射技術が用いられてお
り、また紫外線硬化樹脂や紫外線硬化インクなどは紫外
線を照射することにより硬化処理を行っている。このよ
うな紫外線照射技術分野で使用される紫外線光源は、従
来、水銀放電灯や鉄メタルハライドランプが使用されて
いる。
急速に進みつつある。例えば、電子デバイスプロセスの
分野では、半導体の光洗浄、フォトレジスト、光アッシ
ング、光ＣＶＤなどに紫外線照射技術が用いられてお
り、また紫外線硬化樹脂や紫外線硬化インクなどは紫外
線を照射することにより硬化処理を行っている。このよ
うな紫外線照射技術分野で使用される紫外線光源は、従
来、水銀放電灯や鉄メタルハライドランプが使用されて
いる。
【０００３】しかしながら、従来の紫外線光源は、発光
管バルブの両端にそれぞれ電極を封装し、これら電極間
の放電によりバルブ内に封入した紫外線発光金属を電離
および励起させて発光させるものであった。
管バルブの両端にそれぞれ電極を封装し、これら電極間
の放電によりバルブ内に封入した紫外線発光金属を電離
および励起させて発光させるものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造のランプは、バルブ内に電極を配置したいわゆ
る有電極形放電灯であるため、電極の封止構造が複雑に
なり、電極封止部からのリークを防止するための格別な
工夫が必要となり、また電極が放電空間に露出している
ので電極が侵蝕される欠点があり、更には電極による損
失があるからランプ効率が低下するなど、種々の不具合
が生じる。また、上記従来の紫外線放射用放電灯は、発
光管内に発光金属または緩衝金属として水銀を封入して
ある。
うな構造のランプは、バルブ内に電極を配置したいわゆ
る有電極形放電灯であるため、電極の封止構造が複雑に
なり、電極封止部からのリークを防止するための格別な
工夫が必要となり、また電極が放電空間に露出している
ので電極が侵蝕される欠点があり、更には電極による損
失があるからランプ効率が低下するなど、種々の不具合
が生じる。また、上記従来の紫外線放射用放電灯は、発
光管内に発光金属または緩衝金属として水銀を封入して
ある。
【０００５】例えば、上記鉄メタルハライドランプの場
合、波長３５０nm付近の紫外線を得るため、発光管内に
水銀と鉄のハロゲン化物を封入してある。鉄のハロゲン
化物は点灯中に電極と反応するなどの原因で少しずつ消
失してゆくため、必要量よりも過剰に封入されており、
過剰分は点灯時に最冷部に凝集されている。したがっ
て、ハロゲン化物の飽和蒸気圧は最冷部の温度で決ま
る。
合、波長３５０nm付近の紫外線を得るため、発光管内に
水銀と鉄のハロゲン化物を封入してある。鉄のハロゲン
化物は点灯中に電極と反応するなどの原因で少しずつ消
失してゆくため、必要量よりも過剰に封入されており、
過剰分は点灯時に最冷部に凝集されている。したがっ
て、ハロゲン化物の飽和蒸気圧は最冷部の温度で決ま
る。
【０００６】一方、水銀の飽和蒸気圧はハロゲン化物に
比べてはるかに高いから、動作時の最冷部よりもはるか
に低い温度で全封入量の水銀が蒸発し尽くすように封入
量が決められる。このようなランプで、例えば調光した
い場合は、供給電力を下げて最冷部温度を引き下げ、蒸
気圧を低下させることにより発光量を下げる手段が採用
される。
比べてはるかに高いから、動作時の最冷部よりもはるか
に低い温度で全封入量の水銀が蒸発し尽くすように封入
量が決められる。このようなランプで、例えば調光した
い場合は、供給電力を下げて最冷部温度を引き下げ、蒸
気圧を低下させることにより発光量を下げる手段が採用
される。
【０００７】しかし、この場合、水銀の飽和蒸気圧は高
いので水銀の蒸気圧は低下せず、ハロゲン化物の圧力の
みが大幅に低下する。この結果、蒸発金属の分圧比が変
化し、ハロゲン化物の発光強度が低くなり、全体の発光
色が変化してしまう不具合がある。
いので水銀の蒸気圧は低下せず、ハロゲン化物の圧力の
みが大幅に低下する。この結果、蒸発金属の分圧比が変
化し、ハロゲン化物の発光強度が低くなり、全体の発光
色が変化してしまう不具合がある。
【０００８】特に、鉄の励起準位は水銀よりも低いか
ら、これら水銀と鉄のハロゲン化物が充分蒸発している
間は水銀の発光が抑止されているが、６０％程度まで調
光（減光）すると、ハロゲン化物はほとんど発光しなく
なり、水銀のみの発光となる。水銀の発光スペクトルは
主として１８５nmと２５４nmにピーク波長をもつので、
３５０nm付近の紫外線を得るための鉄メタルハライドラ
ンプとは、光色が異なってしまう欠点がある。本発明は
このような事情にもとづきなされたもので、その第１の
目的とするところは、発光効率に優れた紫外線放射用放
電灯を提供しようとするものである。また、本発明の第
２の目的は、調光しても光色が変化しない紫外線放射用
放電灯を提供しようとするものである。
ら、これら水銀と鉄のハロゲン化物が充分蒸発している
間は水銀の発光が抑止されているが、６０％程度まで調
光（減光）すると、ハロゲン化物はほとんど発光しなく
なり、水銀のみの発光となる。水銀の発光スペクトルは
主として１８５nmと２５４nmにピーク波長をもつので、
３５０nm付近の紫外線を得るための鉄メタルハライドラ
ンプとは、光色が異なってしまう欠点がある。本発明は
このような事情にもとづきなされたもので、その第１の
目的とするところは、発光効率に優れた紫外線放射用放
電灯を提供しようとするものである。また、本発明の第
２の目的は、調光しても光色が変化しない紫外線放射用
放電灯を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の１番目は、透光
性のバルブ内に紫外線を発する物質を封入するととも
に、この紫外線発光物質に電磁エネルギーを供給して発
光させる手段を備えた紫外線放射用放電灯において、上
記電磁エネルギーを供給する手段は、バルブの外部に設
けられ、高周波電力が供給される外部電極もしくは高周
波励起コイルであることを特徴とする。
性のバルブ内に紫外線を発する物質を封入するととも
に、この紫外線発光物質に電磁エネルギーを供給して発
光させる手段を備えた紫外線放射用放電灯において、上
記電磁エネルギーを供給する手段は、バルブの外部に設
けられ、高周波電力が供給される外部電極もしくは高周
波励起コイルであることを特徴とする。
【００１０】本発明の２番目は、調光手段を有する紫外
線放射用放電灯においては、電磁エネルギーを供給する
手段をバルブの外部に設けられ、高周波電力が供給され
る外部電極もしくは高周波励起コイルとし、かつバルブ
内に緩衝金属として水銀を封入しないようにしたことを
特徴とする。
線放射用放電灯においては、電磁エネルギーを供給する
手段をバルブの外部に設けられ、高周波電力が供給され
る外部電極もしくは高周波励起コイルとし、かつバルブ
内に緩衝金属として水銀を封入しないようにしたことを
特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明の１番目によれば、放電を発生させるた
めの高周波電磁エネルギーは、バルブの外部に設けた外
部電極もしくは励起コイルにより供給するようにしたの
で、有電極形放電灯における内部電極を備えることによ
る不具合が解消され、特に電極損失が低減されるので、
紫外線放射効率が向上する。
めの高周波電磁エネルギーは、バルブの外部に設けた外
部電極もしくは励起コイルにより供給するようにしたの
で、有電極形放電灯における内部電極を備えることによ
る不具合が解消され、特に電極損失が低減されるので、
紫外線放射効率が向上する。
【００１２】また、本発明の２番目によれば、放電を発
生させるための高周波電磁エネルギーをバルブの外部に
設けた外部電極もしくは励起コイルにより供給するよう
にしたので水銀がなくても発光するようになり、調光す
る場合に水銀がないので光色の変化を防止することがで
きる。
生させるための高周波電磁エネルギーをバルブの外部に
設けた外部電極もしくは励起コイルにより供給するよう
にしたので水銀がなくても発光するようになり、調光す
る場合に水銀がないので光色の変化を防止することがで
きる。
【００１３】
【実施例】以下本発明について、図１に示す紫外線放射
用外部電極放電灯に適用した第１の実施例にもとづき説
明する。
用外部電極放電灯に適用した第１の実施例にもとづき説
明する。
【００１４】図１において、１は発光管バルブであり、
例えば合成石英などのような高融点ガラスやアルミナな
どのような透明セラミック材料により構成されている。
この発光管バルブ１は直管形をなしており、例えば内径
２０mm、管長２５０mm程度に設定されている。
例えば合成石英などのような高融点ガラスやアルミナな
どのような透明セラミック材料により構成されている。
この発光管バルブ１は直管形をなしており、例えば内径
２０mm、管長２５０mm程度に設定されている。
【００１５】このバルブ１内には、高周波電力により放
電して紫外線を発する発光物質、例えば鉄のハロゲン化
物ＦｅＩ2 と、クリプトンなどの始動用希ガスが封入さ
れている。
電して紫外線を発する発光物質、例えば鉄のハロゲン化
物ＦｅＩ2 と、クリプトンなどの始動用希ガスが封入さ
れている。
【００１６】バルブ１の両端部には、チューブを取り巻
くようにして外部電極２、２が取着されている。これら
外部電極２、２は、厚さ１mm程度のニッケル板を円筒形
に成形し、この表面に銀メッキを施して形成され、バル
ブ１の端部に密着して被着してある。これら外部電極
２、２は、詳図しないが、調光機能を有する高周波発振
器１０に接続されている。
くようにして外部電極２、２が取着されている。これら
外部電極２、２は、厚さ１mm程度のニッケル板を円筒形
に成形し、この表面に銀メッキを施して形成され、バル
ブ１の端部に密着して被着してある。これら外部電極
２、２は、詳図しないが、調光機能を有する高周波発振
器１０に接続されている。
【００１７】また、バルブ１の両端部には始動用補助電
極３、３が設けられている。これら始動用補助電極３、
３は、ニッケル線に銀メッキを施して形成されており、
バルブ１の端部壁に外部から接触するように配置されて
いる。これら始動用補助電極３、３も高周波発振器１０
に接続されており、ランプの始動時に１０ｋＶの始動電
圧を印加するようになっている。
極３、３が設けられている。これら始動用補助電極３、
３は、ニッケル線に銀メッキを施して形成されており、
バルブ１の端部壁に外部から接触するように配置されて
いる。これら始動用補助電極３、３も高周波発振器１０
に接続されており、ランプの始動時に１０ｋＶの始動電
圧を印加するようになっている。
【００１８】バルブ１の両端部には、排気管４、４が突
出されており、これら排気管４、４はバルブ１内を排気
し、上記鉄ハロゲン化物およびクリプトンを封入したの
ち封止切りされる。本実施例の排気管４、４には、無機
接着剤を介してステアタイト製のランプホルダー５、５
が取り付けられており、ランプはこれらランプホルダー
５、５により機械的に支持されるようになっている。こ
のような構成の紫外線放射用外部電極形放電灯の作用を
説明する。
出されており、これら排気管４、４はバルブ１内を排気
し、上記鉄ハロゲン化物およびクリプトンを封入したの
ち封止切りされる。本実施例の排気管４、４には、無機
接着剤を介してステアタイト製のランプホルダー５、５
が取り付けられており、ランプはこれらランプホルダー
５、５により機械的に支持されるようになっている。こ
のような構成の紫外線放射用外部電極形放電灯の作用を
説明する。
【００１９】図示しいない電源スイッチを閉じると、外
部電極２、２間に、例えば１３．５６ＭＨｚ、３ｋＷの
高周波電力が供給されとともに、始動用補助電極３、３
に１０ｋＶの始動電圧が印加され、これにより発光管バ
ルブ１内に無電極グロー放電が発生する。このグロー放
電は、外部電極２、２間でアーク放電を誘起し、バルブ
１内でアーク放電を発生する。この放電によって発光管
バルブ１内の鉄ハロゲン化物が電離および励起されて紫
外線を発し、この紫外線はバルブ１を透過して外部に放
射される。そして、ランプが安定点灯に達すると、３５
０nm付近の紫外線を放出する。なお、ランプが始動し終
えると始動用補助電極３、３に始動電圧を印加しなくな
る。
部電極２、２間に、例えば１３．５６ＭＨｚ、３ｋＷの
高周波電力が供給されとともに、始動用補助電極３、３
に１０ｋＶの始動電圧が印加され、これにより発光管バ
ルブ１内に無電極グロー放電が発生する。このグロー放
電は、外部電極２、２間でアーク放電を誘起し、バルブ
１内でアーク放電を発生する。この放電によって発光管
バルブ１内の鉄ハロゲン化物が電離および励起されて紫
外線を発し、この紫外線はバルブ１を透過して外部に放
射される。そして、ランプが安定点灯に達すると、３５
０nm付近の紫外線を放出する。なお、ランプが始動し終
えると始動用補助電極３、３に始動電圧を印加しなくな
る。
【００２０】このような紫外線放射用外部電極形放電灯
は、バルブ１の外部に電極２、２を設置したので、電極
の封止構造が不要であり、封止対策が要らない。また、
電極２、２は直接アーク放電に晒されないから、浸蝕さ
れる心配がない。さらに、電極での電力損失も少なくな
り、電極効率が向上する。さらに、電極２、２がバルブ
１の外部に位置しているので、発光金属の鉄およびハロ
ゲンが電極と反応することがない。このようなことか
ら、紫外線放射効率が向上する。
は、バルブ１の外部に電極２、２を設置したので、電極
の封止構造が不要であり、封止対策が要らない。また、
電極２、２は直接アーク放電に晒されないから、浸蝕さ
れる心配がない。さらに、電極での電力損失も少なくな
り、電極効率が向上する。さらに、電極２、２がバルブ
１の外部に位置しているので、発光金属の鉄およびハロ
ゲンが電極と反応することがない。このようなことか
ら、紫外線放射効率が向上する。
【００２１】また、本実施例の場合、調光することによ
りバルブ１内の蒸気圧を下げても、水銀を封入していな
いから水銀の発光による影響を受けず、鉄ハロゲン化物
の蒸気圧が変化するのみであるから、発光色の変化を生
じなくなる。なお、本発明は上記実施例に制約されるも
のではない。
りバルブ１内の蒸気圧を下げても、水銀を封入していな
いから水銀の発光による影響を受けず、鉄ハロゲン化物
の蒸気圧が変化するのみであるから、発光色の変化を生
じなくなる。なお、本発明は上記実施例に制約されるも
のではない。
【００２２】つまり、上記実施例では、３５０nm付近の
紫外線を得るために鉄ハロゲン化物を用いたが、同じく
３５０nm付近の紫外線を得るには、ガリウムのハロゲン
化物を用いてもよい。
紫外線を得るために鉄ハロゲン化物を用いたが、同じく
３５０nm付近の紫外線を得るには、ガリウムのハロゲン
化物を用いてもよい。
【００２３】また、上記実施例では調光手段により紫外
線出力を制御するようにしたが、第１の発明はこれに限
らず、緩衝金属として水銀を用いたランプにも適用可能
である。
線出力を制御するようにしたが、第１の発明はこれに限
らず、緩衝金属として水銀を用いたランプにも適用可能
である。
【００２４】さらに、紫外線放射用放電灯は、要求され
る紫外線波長に応じて封入物質を選択する必要があり、
前記３５０nm付近の紫外線を得るためには鉄メタルハラ
イドランプやガリウムのハロゲン化物が好適するが、１
８５nmと２５４nmの波長を欲する場合は水銀のみを封入
してもよい。
る紫外線波長に応じて封入物質を選択する必要があり、
前記３５０nm付近の紫外線を得るためには鉄メタルハラ
イドランプやガリウムのハロゲン化物が好適するが、１
８５nmと２５４nmの波長を欲する場合は水銀のみを封入
してもよい。
【００２５】また、１７５nm、２２５nm、２８０nmの紫
外線領域に発光強度を欲する場合は、発光物質として、
キセノンが２％程度含まれるアルゴンとキセノンの混合
ガスを用いてもよい。そしてまた、上記実施例の場合、
発光管１に電力を供給する手段として、外部電極２、２
を用いたが、本発明は図２に示す高周波励起コイルを用
いてもよい。
外線領域に発光強度を欲する場合は、発光物質として、
キセノンが２％程度含まれるアルゴンとキセノンの混合
ガスを用いてもよい。そしてまた、上記実施例の場合、
発光管１に電力を供給する手段として、外部電極２、２
を用いたが、本発明は図２に示す高周波励起コイルを用
いてもよい。
【００２６】すなわち、図２は紫外線放射用ソレノイド
電界式放電灯を示し、図中３０はバルブであり、例えば
合成石英などのような高融点ガラスやアルミナなどのよ
うな透明セラミック材料により構成されている。
電界式放電灯を示し、図中３０はバルブであり、例えば
合成石英などのような高融点ガラスやアルミナなどのよ
うな透明セラミック材料により構成されている。
【００２７】このバルブ３０内には、プラズマによるア
−ク放電３２によって紫外線を発する発光物質、例えば
鉄ハロゲン化物、ガリウムのハロゲン化物、水銀、アル
ゴンとキセノンの混合ガスなどであってもよい。
−ク放電３２によって紫外線を発する発光物質、例えば
鉄ハロゲン化物、ガリウムのハロゲン化物、水銀、アル
ゴンとキセノンの混合ガスなどであってもよい。
【００２８】バルブ３０の周囲には励起コイル４０が配
置されている。励起コイル４０は、高純度アルミニウ
ム、銅、銀、ニッケル線などからなり、バルブ４０の周
囲に沿って複数タ−ン巻かれている。このような励起コ
イル４０は高周波発振回路５０に接続されており、この
高周波発振回路５０から供給される高周波電力により高
周波電流が流されるようになっている。
置されている。励起コイル４０は、高純度アルミニウ
ム、銅、銀、ニッケル線などからなり、バルブ４０の周
囲に沿って複数タ−ン巻かれている。このような励起コ
イル４０は高周波発振回路５０に接続されており、この
高周波発振回路５０から供給される高周波電力により高
周波電流が流されるようになっている。
【００２９】このような構成の紫外線放射用ソレノイド
電界式放電灯は、励起コイル４０に高周波発振回路５０
から高周波電圧を供給すると、コイル４０に高周波電流
が流れる。この高周波電流により、励起コイル４０内に
はコイル軸方向Ｏ−Ｏに沿って磁界が発生し、これによ
りバルブ３０内にプラズマによるドーナツ形のア−ク放
電３２が発生する。この放電３２によって紫外線放射物
質が電離および励起されて紫外線を発し、この紫外線は
バルブ３０を透過して外部に放射される。
電界式放電灯は、励起コイル４０に高周波発振回路５０
から高周波電圧を供給すると、コイル４０に高周波電流
が流れる。この高周波電流により、励起コイル４０内に
はコイル軸方向Ｏ−Ｏに沿って磁界が発生し、これによ
りバルブ３０内にプラズマによるドーナツ形のア−ク放
電３２が発生する。この放電３２によって紫外線放射物
質が電離および励起されて紫外線を発し、この紫外線は
バルブ３０を透過して外部に放射される。
【００３０】このような構成の紫外線放射用ソレノイド
電界式放電灯においても、従来の電極形放電灯に比べ
て、バルブ内部に電極を有しないことから、電極損失が
なくなるので紫外線出力を増すことができ、ランプ効率
が向上する。
電界式放電灯においても、従来の電極形放電灯に比べ
て、バルブ内部に電極を有しないことから、電極損失が
なくなるので紫外線出力を増すことができ、ランプ効率
が向上する。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明の１番目によ
ると、放電を発生させるための高周波電磁エネルギー
は、バルブの外部に設けた外部電極もしくは励起コイル
により供給するので、有電極形放電灯における内部電極
を備えることによる不具合が解消されて電極損失が低減
されるから、効率が良くなり、紫外線放射効率が向上す
る。
ると、放電を発生させるための高周波電磁エネルギー
は、バルブの外部に設けた外部電極もしくは励起コイル
により供給するので、有電極形放電灯における内部電極
を備えることによる不具合が解消されて電極損失が低減
されるから、効率が良くなり、紫外線放射効率が向上す
る。
【００３２】また、本発明の２番目によれば、放電を発
生させるための高周波電磁エネルギーをバルブの外部に
設けた外部電極もしくは励起コイルにより供給するよう
にしたので水銀がなくても発光するようになり、よって
調光する場合に水銀がないので光色の変化を防止するこ
とができる。
生させるための高周波電磁エネルギーをバルブの外部に
設けた外部電極もしくは励起コイルにより供給するよう
にしたので水銀がなくても発光するようになり、よって
調光する場合に水銀がないので光色の変化を防止するこ
とができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す紫外線放射用外部
電極形用放電灯の構成を示す断面。
電極形用放電灯の構成を示す断面。
【図２】本発明の第２の実施例を示す紫外線照射用ソレ
ノイド電界式放電灯の断面図。
ノイド電界式放電灯の断面図。
１、３０…バルブ、２…外部電極、３…始動用電極、１
０…高周波発振器、４０…励起コイル、５０…高周波発
振回路。
０…高周波発振器、４０…励起コイル、５０…高周波発
振回路。
Claims (4)
- 【請求項１】 透光性のバルブ内に紫外線を発する物質
を封入するとともに、この紫外線発光物質に電磁エネル
ギーを供給して発光させる手段を備えた紫外線放射用放
電灯において、 上記電磁エネルギーを供給する手段は、バルブの外部に
設けられて高周波電力を供給する外部電極であることを
特徴とする紫外線放射用放電灯。 - 【請求項２】 透光性のバルブ内に紫外線を発する物質
を封入するとともに、この紫外線発光物質に電磁エネル
ギーを供給して発光させる手段を備えた紫外線放射用放
電灯において、 上記電磁エネルギーを供給する手段は、バルブを取り巻
くようにして配置した高周波励起コイルであることを特
徴とする紫外線放射用放電灯。 - 【請求項３】 上記バルブに封入された紫外線を発する
物質は、アルゴンとキセノンの混合ガスであることを特
徴とする請求項１または請求項２に記載の紫外線放射用
放電灯 - 【請求項４】 上記バルブに封入された紫外線を発する
物質は、鉄またはガリウムのハロゲン化物であり、水銀
を封入しないことを特徴とする請求項１または請求項２
に記載の紫外線放射用放電灯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24610291A JPH0582102A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 紫外線放射用放電灯 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24610291A JPH0582102A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 紫外線放射用放電灯 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582102A true JPH0582102A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17143521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24610291A Pending JPH0582102A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 紫外線放射用放電灯 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0582102A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100392181B1 (ko) * | 2000-12-18 | 2003-07-22 | 주식회사 엘에스텍 | 방전램프와 이를 채용한 백라이트 유니트 |
| KR100392180B1 (ko) * | 2000-11-03 | 2003-07-22 | 주식회사 엘에스텍 | 형광램프와 이를 채용한 백라이트 유니트 |
| JP2006507626A (ja) * | 2002-03-22 | 2006-03-02 | サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド | ランプ、ランプの製造方法及びランプを備えた液晶表示装置 |
| US7321871B2 (en) | 1998-09-11 | 2008-01-22 | Financial Engines, Inc. | Enhancing utility and diversifying model risk in a portfolio optimization framework |
-
1991
- 1991-09-25 JP JP24610291A patent/JPH0582102A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7321871B2 (en) | 1998-09-11 | 2008-01-22 | Financial Engines, Inc. | Enhancing utility and diversifying model risk in a portfolio optimization framework |
| KR100392180B1 (ko) * | 2000-11-03 | 2003-07-22 | 주식회사 엘에스텍 | 형광램프와 이를 채용한 백라이트 유니트 |
| KR100392181B1 (ko) * | 2000-12-18 | 2003-07-22 | 주식회사 엘에스텍 | 방전램프와 이를 채용한 백라이트 유니트 |
| JP2006507626A (ja) * | 2002-03-22 | 2006-03-02 | サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド | ランプ、ランプの製造方法及びランプを備えた液晶表示装置 |
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