JP2958840B2 - 圧電体の分極装置 - Google Patents
圧電体の分極装置Info
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/22—Measuring piezoelectric properties
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
- H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電セラミクスなどの
圧電体を分極するための装置に関し、特に、分極度を測
定しつつ圧電体を分極し得る圧電体の分極装置に関す
る。
圧電体を分極するための装置に関し、特に、分極度を測
定しつつ圧電体を分極し得る圧電体の分極装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】圧電共振子や圧電フィルタなどの圧電部
品の製造に際しては、圧電セラミクス等の圧電体を分極
しなければならない。従来、圧電セラミクスの分極は、
以下の工程により行われていた。
品の製造に際しては、圧電セラミクス等の圧電体を分極
しなければならない。従来、圧電セラミクスの分極は、
以下の工程により行われていた。
【０００３】まず、圧電体の両面に分極用電極を形成
し、例えば数ｋＶの直流電圧を圧電体に印加し、分極す
る。次に、高周波電圧を圧電体に印加し、例えばインピ
ーダンス−周波数特性を測定し、共振点と反共振点との
間の周波数差などから分極度を評価し、所望の分極度に
到達しているか否かを確認する。所望の分極度に達して
いない場合には、直流電圧を再度印加して分極度を調整
する。例えば、到達した分極度が所望の分極度よりも低
い場合には、最初の分極の際と同方向に直流電圧を印加
し分極度を高める。あるいは、到達した分極度が所望の
分極度よりも高い場合には、最初の分極工程において印
加した直流電圧と逆方向に直流電圧を印加し、分極度を
低下させる。しかる後、再度圧電体のインピーダンス−
周波数特性などを測定することにより、分極度が所望の
分極度に到達したか否かを確認する。上記のような分極
度の測定及び分極度をコントロールする工程を繰り返す
ことにより、所望の分極度の圧電体を得る。
し、例えば数ｋＶの直流電圧を圧電体に印加し、分極す
る。次に、高周波電圧を圧電体に印加し、例えばインピ
ーダンス−周波数特性を測定し、共振点と反共振点との
間の周波数差などから分極度を評価し、所望の分極度に
到達しているか否かを確認する。所望の分極度に達して
いない場合には、直流電圧を再度印加して分極度を調整
する。例えば、到達した分極度が所望の分極度よりも低
い場合には、最初の分極の際と同方向に直流電圧を印加
し分極度を高める。あるいは、到達した分極度が所望の
分極度よりも高い場合には、最初の分極工程において印
加した直流電圧と逆方向に直流電圧を印加し、分極度を
低下させる。しかる後、再度圧電体のインピーダンス−
周波数特性などを測定することにより、分極度が所望の
分極度に到達したか否かを確認する。上記のような分極
度の測定及び分極度をコントロールする工程を繰り返す
ことにより、所望の分極度の圧電体を得る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】圧電体では、その製造
ロット間のばらつきなどにより、同じ直流電圧を印加し
ても到達した分極度にかなりのばらつきが生じざるを得
なかった。従って、従来の分極方法では、上記のような
分極及び分極コントロール工程と、分極度を確認する工
程とをかなりの回数繰り返さなければならず、作業が非
常に煩雑であった。
ロット間のばらつきなどにより、同じ直流電圧を印加し
ても到達した分極度にかなりのばらつきが生じざるを得
なかった。従って、従来の分極方法では、上記のような
分極及び分極コントロール工程と、分極度を確認する工
程とをかなりの回数繰り返さなければならず、作業が非
常に煩雑であった。
【０００５】分極と、分極度の測定とを同時に行えば、
上記のような煩雑な工程を経ることなく所望の分極度の
圧電体を容易に得ることができると考えられる。しかし
ながら、分極に際しては、数ｋＶと非常に高い直流電圧
が印加されるため、分極度を測定するための高周波回路
を圧電体に接続した場合、高い直流電圧の高周波回路に
対する影響を避けることができないと考えられていた。
従って、従来、分極のための直流電圧を印加しつつ、同
時に圧電体の分極度を測定することは試みられていなか
った。
上記のような煩雑な工程を経ることなく所望の分極度の
圧電体を容易に得ることができると考えられる。しかし
ながら、分極に際しては、数ｋＶと非常に高い直流電圧
が印加されるため、分極度を測定するための高周波回路
を圧電体に接続した場合、高い直流電圧の高周波回路に
対する影響を避けることができないと考えられていた。
従って、従来、分極のための直流電圧を印加しつつ、同
時に圧電体の分極度を測定することは試みられていなか
った。
【０００６】本発明の目的は、直流電圧を印加すること
により圧電体を分極しつつ、同時に圧電体の分極度を測
定することができ、従って煩雑な工程を繰り返すことな
く所望の分極度の圧電体を得ることを可能とする圧電体
の分極装置を提供することにある。
により圧電体を分極しつつ、同時に圧電体の分極度を測
定することができ、従って煩雑な工程を繰り返すことな
く所望の分極度の圧電体を得ることを可能とする圧電体
の分極装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電体を分極
するために圧電体に直流電圧を印加するための直流電圧
印加手段と、前記圧電体の分極度を測定するために、圧
電体に高周波電圧を印加するための高周波電源と、前記
高周波電圧を印加された圧電体のインピーダンス変化を
測定し、分極度を評価するためのインピーダンス測定手
段と、前記高周波電源及びインピーダンス測定手段で構
成される高周波部と前記圧電体との間に接続された直流
阻止用コンデンサと、前記直流阻止用コンデンサと高周
波部との間の接続点とアース電位との間に接続された過
渡電流バイパス用コンデンサとを少なくとも有する直流
阻止フィルタ手段とを備えることを特徴とする、圧電体
の分極装置である。
するために圧電体に直流電圧を印加するための直流電圧
印加手段と、前記圧電体の分極度を測定するために、圧
電体に高周波電圧を印加するための高周波電源と、前記
高周波電圧を印加された圧電体のインピーダンス変化を
測定し、分極度を評価するためのインピーダンス測定手
段と、前記高周波電源及びインピーダンス測定手段で構
成される高周波部と前記圧電体との間に接続された直流
阻止用コンデンサと、前記直流阻止用コンデンサと高周
波部との間の接続点とアース電位との間に接続された過
渡電流バイパス用コンデンサとを少なくとも有する直流
阻止フィルタ手段とを備えることを特徴とする、圧電体
の分極装置である。
【０００８】
【作用】本発明の分極装置では、直流電圧印加手段によ
り圧電体に直流電圧が印加されて分極が行われる。ま
た、圧電体には、高周波電源及びインピーダンス測定手
段が接続されており、分極と同時に、インピーダンス変
化から分極度を評価することが可能とされている。
り圧電体に直流電圧が印加されて分極が行われる。ま
た、圧電体には、高周波電源及びインピーダンス測定手
段が接続されており、分極と同時に、インピーダンス変
化から分極度を評価することが可能とされている。
【０００９】しかも、高周波電源及びインピーダンス測
定手段で構成される高周波部と、圧電体との間に、上記
直流阻止用コンデンサが接続されているため、分極に用
いられる直流の高周波部への漏洩がカットされる。ま
た、直流電圧印加手段をＯＮ状態とした際に流れる過渡
電流は、上記過渡電流バイパス用コンデンサを介してア
ース電位に流されることになるため、分極に用いられる
直流の高周波部への影響を防止することができる。
定手段で構成される高周波部と、圧電体との間に、上記
直流阻止用コンデンサが接続されているため、分極に用
いられる直流の高周波部への漏洩がカットされる。ま
た、直流電圧印加手段をＯＮ状態とした際に流れる過渡
電流は、上記過渡電流バイパス用コンデンサを介してア
ース電位に流されることになるため、分極に用いられる
直流の高周波部への影響を防止することができる。
【００１０】
【実施例の説明】以下、本発明の実施例を説明すること
により、本発明を明らかにする。図１は、本発明の一実
施例の分極装置を説明するための回路図である。本実施
例の分極装置では、圧電体１を分極すると同時にリアル
タイムでその分極度が測定される。
により、本発明を明らかにする。図１は、本発明の一実
施例の分極装置を説明するための回路図である。本実施
例の分極装置では、圧電体１を分極すると同時にリアル
タイムでその分極度が測定される。
【００１１】圧電体１には、抵抗Ｒ1 と直流電源２とを
直列に接続することにより構成された直流電圧印加手段
が接続されている。抵抗Ｒ1 は、短絡過電流を防止する
保護抵抗として機能させるために、直流電源２に直列に
接続されている。圧電体１は、この直流電圧印加手段か
ら矢印Ａで示す方向に流れる直流によって分極される。
分極に際しての直流電圧は、通常、数ｋＶ程度と非常に
高い電圧である。
直列に接続することにより構成された直流電圧印加手段
が接続されている。抵抗Ｒ1 は、短絡過電流を防止する
保護抵抗として機能させるために、直流電源２に直列に
接続されている。圧電体１は、この直流電圧印加手段か
ら矢印Ａで示す方向に流れる直流によって分極される。
分極に際しての直流電圧は、通常、数ｋＶ程度と非常に
高い電圧である。
【００１２】他方、圧電体１には、直流阻止フィルタ手
段３を介してインピーダンス測定回路４及び高周波電源
５が接続されており、高周波電源５により圧電体１に高
周波電圧を印加し、圧電体１のインピーダンス変化がイ
ンピーダンス測定回路４により測定される。このインピ
ーダンス測定回路４により、例えば図２に示す圧電体１
を例にとると、短辺振動（矢印に示す方向の振動）のイ
ンピーダンス特性を測定することができ、図３に示すイ
ンピーダンス−周波数特性が得られる。なお、図２にお
いて、１ａは分極用電極を示し、圧電体１の両主面に形
成されている。
段３を介してインピーダンス測定回路４及び高周波電源
５が接続されており、高周波電源５により圧電体１に高
周波電圧を印加し、圧電体１のインピーダンス変化がイ
ンピーダンス測定回路４により測定される。このインピ
ーダンス測定回路４により、例えば図２に示す圧電体１
を例にとると、短辺振動（矢印に示す方向の振動）のイ
ンピーダンス特性を測定することができ、図３に示すイ
ンピーダンス−周波数特性が得られる。なお、図２にお
いて、１ａは分極用電極を示し、圧電体１の両主面に形
成されている。
【００１３】他方、高周波電源５及びインピーダンス測
定回路４により構成される高周波部と、圧電体１との間
には、上記のように直流阻止フィルタ手段３が接続され
ている。直流阻止フィルタ手段３は、本実施例では、直
流阻止用コンデンサＣ1 及び電圧を降下させるための抵
抗Ｒ2 とを、圧電体１とインピーダンス変換回路４との
間に接続した構成を有する。また、抵抗Ｒ2 とインピー
ダンス測定回路４との間の接続点Ａとアース電位との間
に過渡電流バイパス用コンデンサＣ2 が接続されてい
る。さらに、抵抗Ｒ2 とインピーダンス変換回路４との
間の接続点Ｂ，Ｃと、アース電位との間に、それぞれ、
ダイオードＤ1 及びダイオードＤ2 が接続されている。
ダイオードＤ1 は、接続点Ｂ側がカソード側となるよう
に接続されており、コンデンサＣ1 の放電電流がアース
電位にバイパスされるように設けられている。他方、ダ
イオードＤ2 は、直流電圧印加手段側から流れてきた過
渡電流をバイパスさせるために設けられている。
定回路４により構成される高周波部と、圧電体１との間
には、上記のように直流阻止フィルタ手段３が接続され
ている。直流阻止フィルタ手段３は、本実施例では、直
流阻止用コンデンサＣ1 及び電圧を降下させるための抵
抗Ｒ2 とを、圧電体１とインピーダンス変換回路４との
間に接続した構成を有する。また、抵抗Ｒ2 とインピー
ダンス測定回路４との間の接続点Ａとアース電位との間
に過渡電流バイパス用コンデンサＣ2 が接続されてい
る。さらに、抵抗Ｒ2 とインピーダンス変換回路４との
間の接続点Ｂ，Ｃと、アース電位との間に、それぞれ、
ダイオードＤ1 及びダイオードＤ2 が接続されている。
ダイオードＤ1 は、接続点Ｂ側がカソード側となるよう
に接続されており、コンデンサＣ1 の放電電流がアース
電位にバイパスされるように設けられている。他方、ダ
イオードＤ2 は、直流電圧印加手段側から流れてきた過
渡電流をバイパスさせるために設けられている。
【００１４】本実施例の分極装置では、圧電体１に直流
電圧印加手段から与えられる直流電圧を印加し、圧電体
１を分極する。この場合、直流の流れは、図示の矢印Ａ
で示す方向となる。分極と同時に高周波電源５により高
周波電圧を圧電体１に印加し、圧電体１のインピーダン
ス−周波数特性をインピーダンス測定回路４によって測
定する。例えば、図２に示す圧電体１を例にとると、こ
の短辺振動（図示の矢印で示す方向の振動）のインピー
ダンス−周波数特性が、図３に示すように得られる。図
３において、インピーダンス−周波数特性曲線状におけ
る共振点ｆr と反共振点ｆa との間の周波数差Δｆは、
分極度に相関を有する。従って、このインピーダンス−
周波数特性の波形を見ることにより、所望の分極度に到
達したか否かを測定することができる。よって、所望の
分極度に到達した段階で、直流電源２をＯＦＦ状態とす
れば、所望の分極度の圧電体を確実に得ることができ
る。
電圧印加手段から与えられる直流電圧を印加し、圧電体
１を分極する。この場合、直流の流れは、図示の矢印Ａ
で示す方向となる。分極と同時に高周波電源５により高
周波電圧を圧電体１に印加し、圧電体１のインピーダン
ス−周波数特性をインピーダンス測定回路４によって測
定する。例えば、図２に示す圧電体１を例にとると、こ
の短辺振動（図示の矢印で示す方向の振動）のインピー
ダンス−周波数特性が、図３に示すように得られる。図
３において、インピーダンス−周波数特性曲線状におけ
る共振点ｆr と反共振点ｆa との間の周波数差Δｆは、
分極度に相関を有する。従って、このインピーダンス−
周波数特性の波形を見ることにより、所望の分極度に到
達したか否かを測定することができる。よって、所望の
分極度に到達した段階で、直流電源２をＯＦＦ状態とす
れば、所望の分極度の圧電体を確実に得ることができ
る。
【００１５】前述したように分極に用いる直流電圧が数
ｋＶと非常に高い電圧であるため、本実施例のように高
周波電圧を印加して分極度を測定した場合、従来は直流
電圧印加手段から漏洩する直流の高周波部に対する影響
を避けることができないと考えられていた。これに対し
て、本実施例では、直流阻止フィルタ手段３により、直
流の影響が高周波部へ及ぶことが確実に阻止される。
ｋＶと非常に高い電圧であるため、本実施例のように高
周波電圧を印加して分極度を測定した場合、従来は直流
電圧印加手段から漏洩する直流の高周波部に対する影響
を避けることができないと考えられていた。これに対し
て、本実施例では、直流阻止フィルタ手段３により、直
流の影響が高周波部へ及ぶことが確実に阻止される。
【００１６】すなわち、直流電源２をＯＮ状態とした直
後に、過渡電流がコンデンサＣ1 を通り流れていくが、
この過渡電流は過渡電流バイパス用コンデンサＣ2 によ
り、並びに過渡電流バイパス用ダイオードＤ2 により、
アース電位に流される。従って、過渡電流による高周波
部への影響が確実に防止される。
後に、過渡電流がコンデンサＣ1 を通り流れていくが、
この過渡電流は過渡電流バイパス用コンデンサＣ2 によ
り、並びに過渡電流バイパス用ダイオードＤ2 により、
アース電位に流される。従って、過渡電流による高周波
部への影響が確実に防止される。
【００１７】他方、圧電体１が短絡した場合には、コン
デンサＣ1 に充電されていた直流分が逆方向の電流とし
て流れるが、この電流はコンデンサ放電電流バイパス用
ダイオードＤ1 によりアース電位に流される。よって、
同様に高周波部への影響を阻止することができる。
デンサＣ1 に充電されていた直流分が逆方向の電流とし
て流れるが、この電流はコンデンサ放電電流バイパス用
ダイオードＤ1 によりアース電位に流される。よって、
同様に高周波部への影響を阻止することができる。
【００１８】なお、ダイオードＤ1 ，Ｄ2 については、
高周波電源５の電圧が小さい順方向非動作電圧範囲であ
るため、高周波に対しては高インピーダンスとなる。ま
た、コンデンサＣ1 については、高周波に対して低いイ
ンピーダンスとなる定数を選ぶことにより、高周波部へ
の影響を少なくすることができる。さらに、過渡電流バ
イパス用コンデンサＣ2 については、過渡電流の大きさ
が比較的大きいため、高インピーダンスとなる定数を選
ぶことが必要である。何れにしても、上述したダイオー
ドＤ1 ，Ｄ2 及びコンデンサＣ1 ，Ｃ2 の定数について
は、圧電体の種類、分極度、分極に必要な直流電圧等に
応じて適宜選択される。
高周波電源５の電圧が小さい順方向非動作電圧範囲であ
るため、高周波に対しては高インピーダンスとなる。ま
た、コンデンサＣ1 については、高周波に対して低いイ
ンピーダンスとなる定数を選ぶことにより、高周波部へ
の影響を少なくすることができる。さらに、過渡電流バ
イパス用コンデンサＣ2 については、過渡電流の大きさ
が比較的大きいため、高インピーダンスとなる定数を選
ぶことが必要である。何れにしても、上述したダイオー
ドＤ1 ，Ｄ2 及びコンデンサＣ1 ，Ｃ2 の定数について
は、圧電体の種類、分極度、分極に必要な直流電圧等に
応じて適宜選択される。
【００１９】図１に示した実施例では、フィルタ阻止手
段３は、上述した各素子を接続することにより構成され
ていたが、本発明は、分極に必要な直流電圧印加手段か
ら流れてくる直流分及び過渡電流の高周波部への影響を
阻止し得る限り、図１とは異なる回路で構成することも
可能である。図４〜図５は、フィルタ阻止手段の他の例
を説明するための各回路図である。
段３は、上述した各素子を接続することにより構成され
ていたが、本発明は、分極に必要な直流電圧印加手段か
ら流れてくる直流分及び過渡電流の高周波部への影響を
阻止し得る限り、図１とは異なる回路で構成することも
可能である。図４〜図５は、フィルタ阻止手段の他の例
を説明するための各回路図である。
【００２０】図４を参照して、第２の実施例の分極装置
では、フィルタ阻止手段１３が、直流阻止用コンデンサ
Ｃ1 と、過渡電流バイパス用コンデンサＣ2 のみを用い
て構成されている。他の点については、第１の実施例と
同様であるため、相当の参照番号を付することによりそ
の説明を省略する。
では、フィルタ阻止手段１３が、直流阻止用コンデンサ
Ｃ1 と、過渡電流バイパス用コンデンサＣ2 のみを用い
て構成されている。他の点については、第１の実施例と
同様であるため、相当の参照番号を付することによりそ
の説明を省略する。
【００２１】第２の実施例の分極装置では、第１の実施
例と同様に直流電圧印加手段により与えられる直流電圧
により圧電体１が分極され、その分極度がリアルタイム
でインピーダンス測定回路４により得られるインピーダ
ンス特性に基づいて評価される。しかも、直流電源２を
ＯＮ状態としたときに流れる大きな過渡電流は過渡電流
バイパス用コンデンサＣ2 によりアース電位に流され
る。また、通常の直流分は直流阻止用コンデンサＣ1 で
カットされる。従って、高周波部への直流の影響を防止
しつつ、リアルタイムで分極度を測定し得る。
例と同様に直流電圧印加手段により与えられる直流電圧
により圧電体１が分極され、その分極度がリアルタイム
でインピーダンス測定回路４により得られるインピーダ
ンス特性に基づいて評価される。しかも、直流電源２を
ＯＮ状態としたときに流れる大きな過渡電流は過渡電流
バイパス用コンデンサＣ2 によりアース電位に流され
る。また、通常の直流分は直流阻止用コンデンサＣ1 で
カットされる。従って、高周波部への直流の影響を防止
しつつ、リアルタイムで分極度を測定し得る。
【００２２】図５（ａ）は、フィルタ阻止手段の他の例
を示し、ここでは、直流阻止用コンデンサＣ1 及び過渡
電流バイパス用コンデンサＣ2 に加えて、第１の実施例
で用いられていた電圧降下用抵抗Ｒ2 がコンデンサＣ1
に直列に接続されている。従って、コンデンサＣ1 で除
去しきれなかった直流分が、抵抗Ｒ2 においてさらに低
減される。
を示し、ここでは、直流阻止用コンデンサＣ1 及び過渡
電流バイパス用コンデンサＣ2 に加えて、第１の実施例
で用いられていた電圧降下用抵抗Ｒ2 がコンデンサＣ1
に直列に接続されている。従って、コンデンサＣ1 で除
去しきれなかった直流分が、抵抗Ｒ2 においてさらに低
減される。
【００２３】図５（ｂ）は、図５（ａ）に示した直流阻
止フィルタ手段の変形例を示し、ここでは、電圧降下用
抵抗Ｒ2 が、コンデンサＣ1 の一端と、過渡電流バイパ
ス用コンデンサＣ2 が接続される接続点Ａとの間に接続
されている。従って、過渡電流が流れた際に、電圧降下
用Ｒ2 で過渡電流の電圧を降下させることができるた
め、過渡電流の高周波部への影響を図５（ａ）に示した
フィルタ阻止手段よりも確実に防止することができる。
止フィルタ手段の変形例を示し、ここでは、電圧降下用
抵抗Ｒ2 が、コンデンサＣ1 の一端と、過渡電流バイパ
ス用コンデンサＣ2 が接続される接続点Ａとの間に接続
されている。従って、過渡電流が流れた際に、電圧降下
用Ｒ2 で過渡電流の電圧を降下させることができるた
め、過渡電流の高周波部への影響を図５（ａ）に示した
フィルタ阻止手段よりも確実に防止することができる。
【００２４】上述してきた各実施例及び変形例の直流阻
止フィルタ手段から明らかなように、少なくとも直流阻
止用コンデンサＣ1 を圧電体と高周波部との間に、並び
に直流阻止用コンデンサと高周波部との間の接続点Ａと
アース電位との間に過渡電流バイパス用コンデンサＣ2
を接続した構成を備えれば、高周波部への直流の影響を
確実に防止することができ、従って、分極度をリアルタ
イムでかつ高精度に高周波部において測定し得ることが
わかる。
止フィルタ手段から明らかなように、少なくとも直流阻
止用コンデンサＣ1 を圧電体と高周波部との間に、並び
に直流阻止用コンデンサと高周波部との間の接続点Ａと
アース電位との間に過渡電流バイパス用コンデンサＣ2
を接続した構成を備えれば、高周波部への直流の影響を
確実に防止することができ、従って、分極度をリアルタ
イムでかつ高精度に高周波部において測定し得ることが
わかる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、直流電圧を印加して圧
電体を分極するに際し、インピーダンス測定手段におい
て圧電体のインピーダンスをリアルタイムで測定するこ
とができるため、インピーダンス−周波数特性に基づく
圧電体の分極度をリアルタイムで評価することができ
る。従って、圧電材料の分極の容易性等の特性の評価や
比較を極めて容易に行うことができる。
電体を分極するに際し、インピーダンス測定手段におい
て圧電体のインピーダンスをリアルタイムで測定するこ
とができるため、インピーダンス−周波数特性に基づく
圧電体の分極度をリアルタイムで評価することができ
る。従って、圧電材料の分極の容易性等の特性の評価や
比較を極めて容易に行うことができる。
【００２６】しかも、従来法では、分極に際し、直流電
圧を印可する工程と、分極度をチェックする工程とを頻
繁に繰り返せねばならなかったが、本発明では、分極し
つつリアルタイムで分極度を測定し得るため、分極用の
直流電圧の印加を停止するだけで直ちに所望の分極度の
圧電体を得ることができる。よって、所望の分極度の圧
電体を確実にかつ容易に得ることができる。
圧を印可する工程と、分極度をチェックする工程とを頻
繁に繰り返せねばならなかったが、本発明では、分極し
つつリアルタイムで分極度を測定し得るため、分極用の
直流電圧の印加を停止するだけで直ちに所望の分極度の
圧電体を得ることができる。よって、所望の分極度の圧
電体を確実にかつ容易に得ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例の分極装置を説明するた
めの回路図。
めの回路図。
【図２】圧電体を示す斜視図。
【図３】圧電体のインピーダンス−周波数特性を示す
図。
図。
【図４】第２の実施例の分極装置を説明するための回路
図。
図。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、直流阻止フィルタ手段の
変形例を示す各回路図。
変形例を示す各回路図。
１…圧電体 ２…直流電源 ３…直流阻止フィルタ手段 ４…インピーダンス測定回路 ５…高周波電源 Ｃ1 …直流阻止用コンデンサ Ｃ2 …過渡電流バイパス用コンデンサ
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電体を分極するために圧電体に直流電
圧を印加するための直流電圧印加手段と、 前記圧電体の分極度を測定するために、圧電体に高周波
電圧を印加するための高周波電源と、 前記高周波電圧を印加された圧電体のインピーダンス変
化を測定し、分極度を評価するためのインピーダンス測
定手段と、 前記高周波電源及びインピーダンス測定手段で構成され
る高周波部と、前記圧電体との間に接続された直流阻止
用コンデンサと、前記直流阻止用コンデンサと高周波部
との間の接続点とアース電位との間に接続された過渡電
流バイパス用コンデンサとを少なくとも有する直流阻止
フィルタ手段とを備えることを特徴とする、圧電体の分
極装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1840693A JP2958840B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 圧電体の分極装置 |
| US08/190,665 US5426374A (en) | 1993-02-05 | 1994-02-02 | Piezoelectric body polarizing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1840693A JP2958840B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 圧電体の分極装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06232471A JPH06232471A (ja) | 1994-08-19 |
| JP2958840B2 true JP2958840B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=11970794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1840693A Expired - Fee Related JP2958840B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 圧電体の分極装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5426374A (ja) |
| JP (1) | JP2958840B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| JP3419356B2 (ja) * | 1999-08-13 | 2003-06-23 | 株式会社村田製作所 | 圧電体の分極処理方法 |
| JP3846186B2 (ja) * | 2000-12-05 | 2006-11-15 | 株式会社村田製作所 | 分極装置および分極方法 |
| JP2004230033A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Toshiba Corp | 超音波探触子再分極装置、超音波プローブ及び超音波診断装置 |
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| JP4700456B2 (ja) * | 2005-09-26 | 2011-06-15 | 太平洋セメント株式会社 | 保護機構付き圧電アクチュエータおよび保護機構ユニット |
| EP2282404A1 (en) * | 2009-08-03 | 2011-02-09 | Nxp B.V. | Frequency selection and amplifying device |
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| CN110244112A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-09-17 | 佛山科学技术学院 | 一种时域中介电材料极化瞬态的测量装置及测量方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| SU1522126A1 (ru) * | 1986-04-23 | 1989-11-15 | Ростовский государственный университет им.М.А.Суслова | Способ измерени пьезомодул |
| US5146174A (en) * | 1990-02-16 | 1992-09-08 | Ericsson Ge Mobile Communications Inc. | Switching arrangement method and apparatus for making parameter measurement and adjustment of coupled dual resonator crystals using both resonator ports |
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1993
- 1993-02-05 JP JP1840693A patent/JP2958840B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-02-02 US US08/190,665 patent/US5426374A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5426374A (en) | 1995-06-20 |
| JPH06232471A (ja) | 1994-08-19 |
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