JP2957708B2 - 半導体装置の出力ドット検査方法及び検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体装置において、複
数のマクロの出力端子を接続した種々の出力ドットネッ
トの状況が、設計規約に則っているか否かの検査方法及
び検査装置に関するものである。近年の半導体装置の複
雑化に伴い、配線線分、及びマクロの種類も多様になっ
てきているため、電気的特性等を含めた回路状況の正確
な把握が重要である。そこで、回路の特性を左右する要
素の一つである出力ドットネットについて検査する必要
がある。

【０００２】

【従来の技術】従来、出力ドット検査処理は、出力ドッ
トネットの配線幅を考慮しないで、単に論理結線レベル
のみ、即ち、出力ドットネットにおける出力ドット数が
予め設定した上限値以下であるか否かを判定することの
みにより行われている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、論理回
路において出力ドット箇所は、大電流が流れて電気的負
荷が大きく、単に出力ドットネットの出力ドット数の把
握だけでは不充分であるとともに、半導体装置上の領域
によっても電気的負荷の度合いが異なるため、正確な出
力ドット検査とは言いがたい。

【０００４】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、多機能化する半導体装置に対応する
ために、出力ドットネットにおける使用配線線分の種類
を考慮したより正確な出力ドット検査処理を行えること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】第１図は本発明の原理説
明図である。第１の記憶手段１は、各出力ドットネット
の回路データを記憶しており、第２の記憶手段２は出力
ドットネットにおける出力ドット数の上限値データを記
憶している。又、第３の記憶手段３は半導体装置を複数
に分割して各領域についてその領域で使用可能な最小配
線幅データを記憶している。

【０００６】第１の判定手段４は、第１の記憶手段１か
ら読出した各出力ドットネットの回路データと第２の記
憶手段２から読出した前記出力ドット数上限値データと
に基づいて当該出力ドットネットの出力ドット数が出力
ドット数上限値以下か否かを判定する。第２の判定手段
５は第１の記憶手段１から読出した各出力ドットネット
の回路データと第３の記憶手段３から読出した各領域で
使用可能な最小配線幅データとに基づいて当該出力ドッ
トネットの配線幅が各領域に設定された最小配線幅以上
か否かを判定する。

【０００７】そして、第３の判定手段６は、第１の判定
手段４により出力ドットネットの出力ドット数が出力ド
ット数上限値以下であると判定されるとともに、第２の
判定手段５により当該出力ドットネットの配線幅が各領
域に設定された最小配線幅以上であると判定されたとき
にのみ、当該出力ドットネットが適正であると判定す
る。

【０００８】

【作用】従って、本発明によれば、出力ドットネットに
おける出力ドット数による論理結線に加えて、出力ドッ
トネットの配線幅を考慮した出力ドット検査が可能とな
り、出力ドット検査処理がより正確になる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を第２〜
６図に従って説明する。第２図は一実施例における出力
ドット検査装置１０を示している。この出力ドット検査
装置１０は第１の記憶手段としてのライブラリデータフ
ァイル１１、第２及び第３の記憶手段としての半導体メ
モリ１２、チップ分割部１３、データ認識部１４、出力
ドット数判定部１５、マクロ種類判定部１６及び配線幅
判定部１７を備えて構成されている。

【００１０】ライブラリデータファイル１１には第５図
に示すように半導体チップ２１の原点Ｏを基準として同
チップ２１を複数の領域２２〜２４に分割するための各
頂点２３Ａ〜２３Ｄ、２４Ａ〜２４Ｄの座標データが記
憶されている。又、ライブラリデータファイル１１には
各ネットを構成する使用マクロ種類データ、前記原点Ｏ
を基準とした使用マクロの配置データ、配線線分コード
で表示された配線幅と配線線分の両端点で表示される区
間とからなる配線データ、ネットデータ等の回路データ
が記憶されている。

【００１１】例えば第６図はライブラリデータファイル
１１に記憶された出力ドットネット２５のレイアウトを
示し、同出力ドットネット２５は論理ブロックで構成さ
れたマクロＭ１ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａ，Ｍ２ｂからなり、
マクロＭ１ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａは前記領域２４に配置さ
れ、マクロＭ２ｂは前記領域２２に配置されている。そ
して、マクロＭ１ａの出力端子ｔ３、マクロＭ１ｂの出
力端子ｔ３及びマクロＭ２ａの出力端子ｔ６がマクロＭ
２ｂの入力端子ｔ５に接続されている。出力ドットネッ
ト２５の配線データとしては区間ａ−ｄ、ｂ−ｅ、ｃ−
ｆ、ｅ−ｆ及びｄ−ｇにコードＣ１４が設定され、区間
ｄ−ｅにコードＣ１２が設定されている。尚、本実施例
において線分コードＣ１２は１μｍに、線分コードＣ１
４は1.５μｍに、線分コードＣ１６は２μｍに対応づけ
られている。

【００１２】半導体メモリ１２には以下の表１に示すよ
うに半導体装置上に形成されるマクロ種類、及びマクロ
端子の出力ドットについての重みづけが設定されてい
る。即ち、論理ブロックで構成されているマクロは、マ
クロ内でドットしている場合があり、それを考慮してネ
ット内の出力ドット数を算出するために、マクロの出力
端子に重みづけを設定している。

【００１３】

【表１】

【００１４】表１に示すように、前記マクロＭ１ａ，Ｍ
１ｂを含むマクロＭ１の出力端子ｔ３及び前記マクロＭ
２ａ，Ｍ２ｂを含むマクロＭ２の出力端子ｔ６は出力ド
ット可能であり、各マクロＭ１，Ｍ２の出力端子ｔ３，
ｔ６を含むネットの出力ドット数の上限値は「８」に設
定されている。又、出力端子ｔ３，ｔ６に設定されたマ
クロ内出力ドット数はマクロＭ１，Ｍ２における出力端
子ｔ３，ｔ６を含めた出力ドット数、即ち出力端子数を
示し、出力端子ｔ３には「１」が、出力端子ｔ６には
「２」が設定されている。従って、出力端子ｔ３ではマ
クロ内出力ドットはなく、出力端子ｔ６では１つのマク
ロ内出力ドットがあることを示す。

【００１５】又、半導体メモリ１２には以下の表２に示
すように半導体装置上に形成されるマクロ種類毎に出力
ドットネットを構成可能なマクロ組合せが設定されてい
る。

【００１６】

【表２】

【００１７】表２に示すように、マクロＭ１に対しては
マクロＭ１，マクロＭ２が出力ドットネットを構成可能
なマクロとして設定され、マクロＭ２に対してはマクロ
Ｍ１のみが出力ドットネットを構成可能なマクロとして
設定されている。更に、半導体メモリ１２には以下の表
３に示すように半導体装置上の領域毎に使用可能な最小
配線幅が線分コードにて設定されている。即ち、出力ド
ット箇所は大電流が流れて電気的負荷が大きく、又、半
導体装置は集積度が大きくなると回路が複雑になって、
その領域によっても電気的負荷が異なると予想されるた
め、分割した領域毎に線分コードが設定されている。

【００１８】

【表３】

【００１９】表３に示すように、領域２２に対しては線
分コードＣ１２が、領域２３に対しては線分コードＣ１
４が、更に領域２４に対しては線分コードＣ１６が設定
されている。チップ分割部１３はライブラリデータファ
イル１１から各頂点２３Ａ〜２３Ｄ，２４Ａ〜２４Ｄの
座標を読出し、第５図に示すように半導体チップ２１を
領域２２〜２４に分割する。

【００２０】データ認識部１４はライブラリデータファ
イル１１から読出した回路データのうち、ネットデータ
に基づいてネット単位のデータ、例えば第６図に示す出
力ドットネット２５を認識する。出力ドット数判定部１
５はライブラリデータファイル１１から順次読出したネ
ット単位のデータにおける全ての使用マクロ種類データ
と半導体メモリ１２から読出した使用マクロに対応する
出力ドット数上限値（表１参照）とに基づいて、当該出
力ドットネットが適正であるか否かを検査する。即ち、
当該出力ドットネットの出力ドット数が出力ドット数上
限値以下であると判定すると、当該出力ドットネットは
適正であると判定し、当該出力ドットネットの出力ドッ
ト数が出力ドット数上限値より大きいと判定すると、当
該出力ドットネットは不適正であると判定してエラーを
報知する。

【００２１】マクロ種類判定部１６はライブラリデータ
ファイル１１から順次読出したネット単位のデータにお
ける全ての使用マクロ種類データと半導体メモリ１２か
ら読出したマクロ種類毎に出力ドットネットを構成可能
なマクロ組合せ（表２参照）とに基づいて、当該出力ド
ットネットが適正であるか否かを検査する。即ち、当該
出力ドットネットのマクロ種類がマクロ組合せに含まれ
ると判定すると、当該出力ドットネットが適正であると
判定し、当該出力ドットネットのマクロ種類がマクロ組
合せに含まれないと判定すると、当該出力ドットネット
は不適正であると判定してエラーを報知する。

【００２２】配線幅判定部１７はライブラリデータファ
イル１１から順次読出したネット単位のデータにおける
配線幅（線分コード）と半導体メモリ１２から読出した
半導体装置上の領域毎に使用可能な最小配線幅データ
（表３参照）とに基づいて、当該出力ドットネットが適
正であるか否かを検査する。即ち、当該出力ドットネッ
トの配線幅が各領域に設定された最小配線幅以上である
と判定すると、当該出力ドットネットは適正であると判
定し、当該出力ドットネットの配線幅が最小配線幅未満
であると判定すると、当該出力ドットネットは不適正で
あると判定してエラーを報知する。

【００２３】従って、例えば第６図に示す出力ドットネ
ット２５ではマクロＭ１ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａの出力端子
が出力ドットしており、マクロＭ１ａ，Ｍ１ｂのマクロ
内出力ドット数はそれぞれ「１」で、マクロＭ２ａのマ
クロ内出力ドット数は「２」であり、マクロ内出力ドッ
ト数の合計は「４」となる。又、マクロＭ１，Ｍ２に対
する出力ドット数上限値は「８」であり、出力ドットネ
ット２５の出力ドット数は出力ドット数上限値未満とな
るため、出力ドットネット２５は出力ドット数判定部１
５により適正であると判定される。

【００２４】又、出力ドットネット２５ではマクロＭ１
ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａ，Ｍ２ｂが使用され、マクロＭ１
ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａの出力端子が出力ドットしており、
表２に示すマクロ組合せに含まれているため、出力ドッ
トネット２５はマクロ種類判定部１６により適正である
と判定される。一方、出力ドットネット２５のネット配
線は第５図に示す半導体装置２１の領域２３に形成され
るため、表３より線分コードはＣ１４以上である必要が
ある。ところが、配線区間ｄ−ｅの線分コードはＣ１２
に設定されて領域２３における最小配線幅Ｃ１４未満と
なり、出力ドットネット２５は配線幅判定部１７により
不適正であると判定され、エラーが報知される。

【００２５】このように、本実施例では出力ドット数判
定部１５の出力ドット数判定による出力ドット検査に加
えて、配線幅判定部１７の配線幅判定による出力ドット
検査を行うようにしたので、電気的特性を考慮したこと
になり、より正確な出力ドット検査処理を行うことがで
きる。又、本実施例ではマクロ種類判定部１６のマクロ
種類判定による出力ドット検査をも行うようにしたの
で、マクロ種類による電気的特性をも考慮したことにな
り、より詳細な出力ドット検査処理を実行できるため、
さらに高集積化、複雑化が予想される半導体装置に対し
ても対処することができる。

【００２６】尚、本実施例では出力ドット数判定部１５
の出力ドット数判定による出力ドット検査、マクロ種類
判定部１６のマクロ種類判定による出力ドット検査、及
び配線幅判定部１７の配線幅判定による出力ドット検査
を行うようにしたが、更にネットに使用されるマクロの
出力端子種類毎に適正な出力ドットネットを構成可能な
出力端子組合せを設定し、出力端子種類の組合せ判定に
よる出力ドット検査を加えて行うようにしてもよい。

【００２７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば出
力ドットネットにおける使用配線線分の種類を考慮した
ので、多機能化する半導体装置に対してもより正確な出
力ドット検査処理を行うことができる優れた効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理説明図である。

【図２】一実施例の出力ドット検査装置を示すブロック
図である。

【図３】一実施例の作用を示すフローチャート図であ
る。

【図４】出力ドット検査処理の詳細を示すフローチャー
ト図である。

【図５】半導体装置の領域分割を示す図である。

【図６】出力ドットネットの一例を示すレイアウト図で
ある。

【符号の説明】

１ 第１の記憶手段 ２ 第２の記憶手段 ３ 第３の記憶手段 ４ 第１の判定手段 ５ 第２の判定手段 ６ 第３の判定手段

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のマクロの出力端子を接続した種々
   の出力ドットネットを備えた半導体装置において、各出
   力ドットネットが適正であるか否かを検査するに際し、
   予め出力ドットネットにおける出力ドット数の上限値を
   設定するとともに、半導体装置を複数の領域に分割して
   各領域で使用可能な最小配線幅を設定しておき、各出力
   ドットネットについてその出力ドット数が前記出力ドッ
   ト数上限値以下で、かつ、前記半導体装置の各領域で使
   用されている各出力ドットネットの配線の配線幅が各領
   域に設定された最小配線幅以上のとき、当該出力ドット
   ネットを適正であると判定するようにしたことを特徴と
   する半導体装置の出力ドット検査方法。
2. 【請求項２】 複数のマクロの出力端子を接続した種々
   の出力ドットネットを備えた半導体装置について、各出
   力ドットネットが適正であるか否かを検査する出力ドッ
   ト検査装置において、 各出力ドットネットの回路データを記憶した第１の記憶
   手段（１）と、 出力ドットネットにおける出力ドット数の上限値データ
   を記憶した第２の記憶手段（２）と、 半導体装置を複数に分割して各領域についてその領域で
   使用可能な最小配線幅データを記憶した第３の記憶手段
   （３）と、 第１の記憶手段（１）から読出した各出力ドットネット
   の回路データと第２の記憶手段（２）から読出した前記
   出力ドット数上限値データとに基づいて当該出力ドット
   ネットの出力ドット数が出力ドット数上限値以下か否か
   を判定する第１の判定手段（４）と、 第１の記憶手段（１）から読出した各出力ドットネット
   の回路データと第３の記憶手段（３）から読出した各領
   域で使用可能な最小配線幅データとに基づいて当該出力
   ドットネットの配線幅が各領域に設定された最小配線幅
   以上か否かを判定する第２の判定手段（５）と、 第１の判定手段（４）により出力ドットネットの出力ド
   ット数が出力ドット数上限値以下であると判定されると
   ともに、第２の判定手段（５）により当該出力ドットネ
   ットの配線幅が各領域に設定された最小配線幅以上であ
   ると判定されたときにのみ、当該出力ドットネットが適
   正であると判定する第３の判定手段（６）とを備えたこ
   とを特徴とする半導体装置の出力ドット検査装置。