JP2943063B2 - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、蛍光Ｘ線分析装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液体または粉体のような流動試料につい
て蛍光Ｘ線分析を行う場合、底面がＸ線を透過させるＸ
線透過性の薄いシートからなる試料セルを、蛍光Ｘ線分
析装置の測定部位にセットし、この測定部位の下方から
試料セルに対して一次Ｘ線を照射し、そのとき生ずる蛍
光Ｘ線をＸ線検出器によって検出するようにしている。

【０００３】図５は、従来の蛍光Ｘ線分析装置の構成を
概略的に示すもので、この図において、１はベンチで、
その上方の測定部位２には試料セル３を載置するための
ターンテーブル４が設けられている。５は測定部位２の
下方から試料セル３に対して一次Ｘ線を照射するＸ線
管、６は一次Ｘ線の照射によって生ずる蛍光Ｘ線を検出
するＸ線検出器で、７は蛍光Ｘ線の入射面である。

【０００４】ところで、前記試料セル３としては、流動
試料を収容するとともに、一次Ｘ線を透過させる必要が
あるところから、従来より、図４に示すようなものが用
いられている。すなわち、この図において、８はポリエ
チレンなどのプラスチックまたは金属よりなる円筒状の
セル内枠で、その外部には環状の突出部９，１０，１１
が形成されている。

【０００５】また、１２は軟質のプラスチックフィルム
を折り曲げて成形した内枠カバーで、円形の底部１３、
この底部１３を取り巻くようにして立ち上がる環状の立
ち上がり部１４、この立ち上がり部１４の上端から連設
される折り返し部１５およびこの折り返し部１５に連な
るフランジ部１６から構成され、立ち上がり部１４と折
り返し部１５との間には、セル内枠８をすっぽりと挿入
できる空間１７が形成されている。なお、底部１３の裏
面およびフランジ部１６の裏面には補強用の台紙１８が
貼着されている。

【０００６】１９はマイラー（商品名）などのＸ線透過
性シートである。そして、２０はポリエチレンなどのプ
ラスチックまたは金属よりなる円筒状のセル外枠で、そ
の外部にはフランジ部２１が形成されるとともに、内部
には突出部２２が形成されている。

【０００７】このような部材からなる試料セル３に試料
を充填するには、先ず、セル内枠８を内枠カバー１２の
空間１７に嵌め込んで、内枠カバー１２の立ち上がり部
１４および折り返し部１５をセル内枠８にすっぽりと被
せる。次いで、内枠カバー１２の底部１３と立ち上がり
部１４とで形成される空間内に試料を入れて、その上方
からＸ線透過性シート１９を被覆し、さらに、その上方
からセル外枠２０を外嵌するのである。これによって、
Ｘ線透過性シート１９は、セル外枠２０に引っ張られて
しわが生ずることなく展張し、セル内枠８の一端側を閉
塞する。

【０００８】そして、分析は次のようにして行われる。
すなわち、前記試料セル３を、図５に示すように、その
上下を逆にした状態で測定部位２にセットし、その状態
でＸ線管４から一次Ｘ線を、試料セル３のＸ線透過性シ
ート１９を介して、試料セル３内の試料２３に照射し、
試料２３中に含まれる分析元素によって励起される蛍光
Ｘ線をＸ線検出器６で検出し、そのエネルギー強度を測
定するのである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
蛍光Ｘ線分析装置においては、試料セル３の組立が不完
全であったり、内部に試料２３を入れた状態で試料セル
３を測定部位２にセットする際など、Ｘ線透過性シート
１９を測定部位２の他の部分にぶつけるなどして破損さ
せた場合、試料セル３内の試料２３が漏れ出し、これに
よって、測定部位２の下方に位置するＸ線検出器６やＸ
線管４の機能に支障を来したり、これらが汚損されると
いったことがあった。

【００１０】なお、このような問題は、前記図４に示し
た試料セル３を用いた場合のみならず、セル外枠２０
と、このセル外枠２０の内側に装着されるセル内枠８
と、これらセル外枠２０とセル内枠８との間に挟み込ま
れかつセル内枠８の一端側を閉塞するＸ線透過性シート
１９からなる試料セル３を、図５に示すように、測定部
位２にセットした場合にも生じている。

【００１１】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、試料セルの組立が不完全であっ
たり、不測の事故などで試料セルのＸ線透過性シートが
破損して、試料セル内の試料が漏れ出すことがあって
も、測定部位の下方に位置するＸ線検出器やＸ線管など
に悪影響が及ぼされないようにした蛍光Ｘ線分析装置を
提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、セル外枠と、このセル外枠の内側に
装着されるセル内枠と、これらセル外枠とセル内枠との
間に挟み込まれかつセル内枠の一端側を閉塞するＸ線透
過性シートとからなり、セル内枠内に試料を収容するよ
うに構成された試料セルを測定部位にセットし、この測
定部位の下方から前記試料セルに向かって一次Ｘ線を照
射するようにした蛍光Ｘ線分析装置において、前記測定
部位に、台外枠と、この台外枠の内側に着脱自在に装着
される台内枠と、これら台外枠と台内枠との間に挟み込
まれかつ台内枠の一端側を閉塞するＸ線透過性シートと
からなる試料セル台を着脱自在に設け、この試料セル台
に前記試料セルを保持させるようにしている。

【００１３】上記構成の蛍光Ｘ線分析装置によれば、試
料が試料セル内から漏れ出るようなことがあっても、こ
の漏れ出た試料によって、測定部位の下方に位置するＸ
線検出器やＸ線管などに危害が及ぼされたり、汚損され
るというようなことが防止され、確実に分析を行うこと
ができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細について図
を参照しながら説明する。

【００１５】先ず、図１は、この発明に係る蛍光Ｘ線分
析装置の一例の要部を概略的に示すものであり、この図
において、図４および図５に示した符号と同一のものは
同一物を示している。図１において、２４はベンチ１上
の測定部位２に対して着脱自在に設けられる試料セル台
で、その構成の一例を図２に示す。

【００１６】前記試料セル台２４は、図２に示すよう
に、台外枠２５と、この台外枠２５の内側に装着される
台内枠２６と、これら台外枠２５と台内枠２６との間に
挟み込まれ、かつ台内枠２６の一端側を閉塞するＸ線透
過性シート２７とからなる。そして、台外枠２５および
台内枠２６は、互いに同径の空間部２８, ２９を有する
環状体（円形）に形成され、例えばアルミニウムなどよ
りなる。

【００１７】そして、前記台外枠２５の外縁部には、適
宜の高さを有する環状の立ち上がり部３０が立設されて
いる。また、台内枠２６は、台外枠２５よりやや小径
で、その外縁部には、Ｘ線透過性シート２７を挟み込ん
だ状態で装着したとき、立ち上がり部３０の内面に密着
し、試料セル３をガイドできるように、上方にいくほど
末広がりに形成されたテーパ内周面３１（図１参照）を
有する環状のガイド部３２が形成されるとともに、この
ガイド部３２の内側に、図示例においては、内縁部に、
環状突出部３３がガイド部３２と同心円状に形成されて
いる。

【００１８】前記台外枠２５、台内枠２６の各部の寸法
は、図１に示すように、環状突出部３３の上端に試料セ
ル３の底面、特に、セル内枠８の下端が対応するように
試料セル３をセットでき、しかも、このセット状態にお
いて、試料セル３のセル外枠２０が立ち上がり部３１と
環状突出部３３との間に位置することができるように設
定され、より具体的には、環状突出部３３の外径は、セ
ル外枠２０の内径よりも若干小さく、より好ましくは、
試料セル３を環状突出部３３の上端に載置した状態にお
いて、試料セル３を水平方向にずらしてもセル内枠８の
下端が環状突出部３３の上端から外れないように規制で
きるようにしてあればよい。また、ガイド部３２は環状
突出部３３よりも高くなるようにするのが好ましい。

【００１９】そして、前記Ｘ線透過性シート２７は、試
料セル３において用いられるＸ線透過性シート１９と同
様の材料よりなり、このＸ線透過性シート２７を台外枠
２５の立ち上がり部３０側の面に置き、その上から台内
枠２６を台外枠２５に嵌め込み装着することにより、Ｘ
線透過性シート２７は、台内枠２６に引っ張られてしわ
が生ずることなく展張し、空間２８, ２９を仕切るよう
に台内枠２６と台外枠２５との間に張設されるのであ
る。

【００２０】次に、上記構成の蛍光Ｘ線分析装置の作用
について説明すると、分析に際しては、前述のようにし
て組み立てられた試料セル台２４をベンチ１上の測定部
位２に載置する。そして、内部に試料２３を収容するよ
うにして別途組み立てられた試料セル３を、そのセル内
枠８の下端が環状突出部３３の上端に対応するように測
定部位２にセットし、その状態でＸ線管４から一次Ｘ線
を、試料セル台２４のＸ線透過性シート２７および試料
セル３のＸ線透過性シート１９を介して、試料セル３内
の試料２３に照射し、試料２３中に含まれる分析元素に
よって励起される蛍光Ｘ線をＸ線検出器６で検出し、そ
のエネルギー強度を測定するのである。

【００２１】上述の実施例においては、試料セル台２４
には、Ｘ線透過性シート２７が張設してあるので、試料
セル３の組立が不完全であったり、Ｘ線透過性シート１
９が破損するなどして試料セル３内の試料２３が漏れ出
るようなことがあっても、試料セル台２４が受皿とな
り、漏れ出た試料によって、下方に位置するＸ線検出器
６やＸ線管４などに危害が及ぼされたり、汚損されると
いったことが防止され、確実に分析を行うことができ
る。

【００２２】そして、試料セル台２４は、ベンチ１の測
定部位２に対して着脱自在であるとともに、それ自体が
組立・分解が容易であるから、Ｘ線透過性シート２７の
交換や台外枠２５、台内枠２６の洗浄などのメンテナン
スを容易に行なえる。

【００２３】また、試料セル台２４にはガイド部３２が
立設してあるので、セル内枠８に比べてセル外枠２０が
下方に突出しているような試料セル３を所定の状態にセ
ットする場合、セル外枠２０の下部がガイド部３２に当
接するなどして、試料セル３の傾きを規制でき、従来に
おいて生じていた試料セル３のＸ線透過性シート１９の
突出部分などとの当接による破損が効果的に防止される
とともに、試料セル３を所定の位置に、容易・確実にセ
ットできる。

【００２４】さらに、試料セル３は、そのセル内枠８の
下端が試料セル台２４の環状突出部３３の上端に対応す
るようにセットされるから、従来と異なり、試料測定面
ＡとＸ線検出器６との距離が常に一定になり、したがっ
て、蛍光Ｘ線が空気に触れる度合いが試料セル３のセッ
ティングの度に変動することがないので、分析誤差が生
ずることもなくなる。

【００２５】図３は、この発明の他の実施例を示すもの
で、この図において、３４はベンチ１の上方の測定部位
２に着脱自在に設けられる試料セル台で、この試料セル
台３４には、前記実施例における試料セル台２４と異な
り、環状突出部３３がなく、試料セル３は、そのセル内
枠８が試料セル台３４の台内枠２６の平面上に直に接触
した状態に載置される。なお、他の構成については前記
試料セル台２４と同様である。

【００２６】この実施例においても、試料セル台３４
に、Ｘ線透過性シート２７が張設してあるので、試料セ
ル３の組立が不完全であったり、Ｘ線透過性シート１９
が破損するなどして試料セル３内の試料２３が漏れ出る
ようなことがあっても、試料セル台３４が受皿となり、
漏れ出た試料によって、下方に位置するＸ線検出器６や
Ｘ線管４などに危害が及ぼされたり、汚損されるといっ
たことが防止され、確実に分析を行うことができる。

【００２７】そして、前記試料セル台３４は、ベンチ１
の測定部位２に対して着脱自在であるとともに、それ自
体が組立・分解が容易であるから、Ｘ線透過性シート２
７の交換や台外枠２５や台内枠２６の洗浄などのメンテ
ナンスを容易に行なえる。

【００２８】なお、上記試料セル台３４には、試料セル
３をガイドする機能はないものの、試料測定面Ａを規定
する試料セル３の内枠８が試料セル台３４の台内枠２６
の上面に必ず当接するので、試料測定面とＸ線検出器６
との距離が常に一定になり、したがって、蛍光Ｘ線が空
気に触れる度合いが試料セル３のセッティングの度に変
動することがないので、分析誤差が生ずることがなくな
る。

【００２９】なお、この実施例においては、セル外枠２
０の下端がセル内枠８の下端より下方に突出しないよう
してあるが、両者８，２０の下端が同時に試料セル台３
４の台内枠２６の平面に当接するように構成してあって
もよい。

【００３０】この発明は、上述した各実施例に限られる
ものではなく、例えば試料セル３としては、セル外枠２
０と、このセル外枠２０の内側に装着されるセル内枠８
と、これらセル外枠２０とセル内枠８との間に挟み込ま
れかつセル内枠８の一端側を閉塞するＸ線透過性シート
１９からなるものであればよい。そして、試料セル台２
４，３４はターンテーブルなどに組み込んであってもよ
い。また、図１に示した実施例において、セル内枠８の
下端が外枠２０の下端より下方に突出させてあってもよ
く、さらに、両者８，２０の下端が同時に台内枠２６の
環状突出部３３に当接するように構成してあってもよ
い。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、試料が試料セル内から漏れ出るようなことがあって
も、この漏れ出た試料によって、測定部位の下方に位置
するＸ線検出器やＸ線管などに危害が及ぼされたり、汚
損されるというようなことが防止される。そして、この
発明によれば、確実に分析を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の
要部を概略的に示す図である。

【図２】前記装置において用いる試料セル台の一例を示
す分解斜視図である。

【図３】この発明の他の実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置
の要部を概略的に示す図である。

【図４】蛍光Ｘ線分析に用いる試料セルの一例を示す分
解斜視図である。

【図５】従来の蛍光Ｘ線分析装置の要部を概略的に示す
図である。

【符号の説明】

２…測定部位、３…試料セル、８…セル内枠、１９…Ｘ
線透過性シート、２０…セル外枠、２４…試料セル台、
２５…台外枠、２６…台内枠、２７…Ｘ線透過性シー
ト、３４…試料セル台。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 セル外枠と、このセル外枠の内側に装着
   されるセル内枠と、これらセル外枠とセル内枠との間に
   挟み込まれかつセル内枠の一端側を閉塞するＸ線透過性
   シートとからなり、セル内枠内に試料を収容するように
   構成された試料セルを測定部位にセットし、この測定部
   位の下方から前記試料セルに向かって一次Ｘ線を照射す
   るようにした蛍光Ｘ線分析装置において、前記測定部位
   に、台外枠と、この台外枠の内側に着脱自在に装着され
   る台内枠と、これら台外枠と台内枠との間に挟み込まれ
   かつ台内枠の一端側を閉塞するＸ線透過性シートとから
   なる試料セル台を着脱自在に設け、この試料セル台に前
   記試料セルを保持させるようにしたことを特徴とする蛍
   光Ｘ線分析装置。