JP2942528B2 - スクロールポンプ - Google Patents
スクロールポンプInfo
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- JP2942528B2 JP2942528B2 JP9349776A JP34977697A JP2942528B2 JP 2942528 B2 JP2942528 B2 JP 2942528B2 JP 9349776 A JP9349776 A JP 9349776A JP 34977697 A JP34977697 A JP 34977697A JP 2942528 B2 JP2942528 B2 JP 2942528B2
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- scroll
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- pump
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- fixed
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C15/00—Component parts, details or accessories of machines, pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C2/00 - F04C14/00
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
- F04C2/02—Rotary-piston machines or pumps of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C2/025—Rotary-piston machines or pumps of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents the moving and the stationary member having co-operating elements in spiral form
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はスクロールポンプに
関するもので、特に非圧縮性作動流体が内から外ヘポン
ピングされるように吸入口及び送出口を備えたスクロー
ルポンプに関するものである。
関するもので、特に非圧縮性作動流体が内から外ヘポン
ピングされるように吸入口及び送出口を備えたスクロー
ルポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来のスクロールポンプの平面図
である、前記図面に示したように、従来のスクロールポ
ンプは、固定スクロール（１）と、電動機（図１に示さ
ない）の駆動力によって旋回しつつ固定スクロ一ル
（１）と線接触する旋回スクロール（３）と、前記スク
ロールポンプの側面に形成され非圧縮性作動流体を内部
へ流入する吸入口（５）と、前記スクロールポンプの上
面中央に形成され非圧縮作動流体を外部ヘポンピングす
る送出口（７）で構成される。
である、前記図面に示したように、従来のスクロールポ
ンプは、固定スクロール（１）と、電動機（図１に示さ
ない）の駆動力によって旋回しつつ固定スクロ一ル
（１）と線接触する旋回スクロール（３）と、前記スク
ロールポンプの側面に形成され非圧縮性作動流体を内部
へ流入する吸入口（５）と、前記スクロールポンプの上
面中央に形成され非圧縮作動流体を外部ヘポンピングす
る送出口（７）で構成される。
【０００３】前記のように構成される従来スクロールポ
ンプの作動は、電動機駆動力によって旋回スクロール
（３）が、向かい合って挟まれている固定スクロール
（１）と線接触しつつ旋回する。この際、吸入口（５）
を通って固定スクロール（１）と旋回スクロール（３）
の間の空間に非圧縮性作動流体が流入される。前記非圧
縮性作動流体は、旋回スクロール（３）の旋回により固
定スクロール（１）の中心側へ移送された後、送出口
（７）を通って外部ヘポンピングされる。
ンプの作動は、電動機駆動力によって旋回スクロール
（３）が、向かい合って挟まれている固定スクロール
（１）と線接触しつつ旋回する。この際、吸入口（５）
を通って固定スクロール（１）と旋回スクロール（３）
の間の空間に非圧縮性作動流体が流入される。前記非圧
縮性作動流体は、旋回スクロール（３）の旋回により固
定スクロール（１）の中心側へ移送された後、送出口
（７）を通って外部ヘポンピングされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のスクロールポン
プは、旋回スクロール（３）と固定スクロール（１）の
接する部分で非圧縮性作動流体を移送させるため、前記
非圧縮性作動流体の流出を防止するために固定スクロー
ル（１）と旋回スクロール（３）の接触面を精密に加工
する必要があり、これによる製造コストの上昇という間
題点が発生する。また、前記非圧縮性作動流体が外から
内へ移送されることによって非圧縮性作動流体の遠心力
のため電動機が破損される恐れがあるし、従って送出口
（７）を通じて外部ヘポンピングされる非圧縮性作動流
体の圧力が大きく低下する問題点がある。
プは、旋回スクロール（３）と固定スクロール（１）の
接する部分で非圧縮性作動流体を移送させるため、前記
非圧縮性作動流体の流出を防止するために固定スクロー
ル（１）と旋回スクロール（３）の接触面を精密に加工
する必要があり、これによる製造コストの上昇という間
題点が発生する。また、前記非圧縮性作動流体が外から
内へ移送されることによって非圧縮性作動流体の遠心力
のため電動機が破損される恐れがあるし、従って送出口
（７）を通じて外部ヘポンピングされる非圧縮性作動流
体の圧力が大きく低下する問題点がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前記問題点を解
決するためのものであって、非圧縮性作動流体が内から
外ヘポンピングされるよう吸入口及び送出口を形成した
スクロールポンプを提供することを目的とする。前記目
的を達成するため、本発明によるスクロールポンプは、
固定スクロールと、その固定スクロールと線接触する旋
回スクロールと、固定スクロールの上段中央に形成され
非圧縮性作動流体をスクロールポンプの内部へ流入する
吸入口と、旋回スクロールの外側に形成され非圧縮性作
動流体の圧力を上昇させる圧力上昇室と、固定スクロー
ルの側面に形成され、非圧縮性作動流体をスクロールポ
ンプの外部ヘポンピングする送出口で構成される。この
旋回スクロールは、固定スクロールの中心に対する偏心
軸の偏心距離を半径として旋回すると、固定スクロール
と一定な上下左右間隙を維持する。
決するためのものであって、非圧縮性作動流体が内から
外ヘポンピングされるよう吸入口及び送出口を形成した
スクロールポンプを提供することを目的とする。前記目
的を達成するため、本発明によるスクロールポンプは、
固定スクロールと、その固定スクロールと線接触する旋
回スクロールと、固定スクロールの上段中央に形成され
非圧縮性作動流体をスクロールポンプの内部へ流入する
吸入口と、旋回スクロールの外側に形成され非圧縮性作
動流体の圧力を上昇させる圧力上昇室と、固定スクロー
ルの側面に形成され、非圧縮性作動流体をスクロールポ
ンプの外部ヘポンピングする送出口で構成される。この
旋回スクロールは、固定スクロールの中心に対する偏心
軸の偏心距離を半径として旋回すると、固定スクロール
と一定な上下左右間隙を維持する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明のスクロールポンプ
を添付した図面を参考にして詳しく説明する。図２は本
発明のスクロールポンプの平面図であり、図３は本発明
のスクロールポンプの側断面図を示す、前記図面に示し
たように、本発明のスクロールポンプは、固定スクロー
ル（１０）と、電動機（１００）の駆動力によって旋回
しつつ固定スクロール（１０）と線接触する旋回スクロ
ール（３０）と、前記固定スクロール（１０）の上段中
央に形成され、非圧縮性作動流体をスクロールポンプ内
部へ流入する吸入口（５０）と、旋回スクロール（３
０）の外側に形成され、前記非圧縮性作動流体の圧力を
上昇させる圧力上昇室（３３）と、前記固定スクロール
（１０）の側面に形成され、前記非圧縮性作動流体をス
クロールポンプ外部ヘポンピングする送出口（７０）で
構成される。
を添付した図面を参考にして詳しく説明する。図２は本
発明のスクロールポンプの平面図であり、図３は本発明
のスクロールポンプの側断面図を示す、前記図面に示し
たように、本発明のスクロールポンプは、固定スクロー
ル（１０）と、電動機（１００）の駆動力によって旋回
しつつ固定スクロール（１０）と線接触する旋回スクロ
ール（３０）と、前記固定スクロール（１０）の上段中
央に形成され、非圧縮性作動流体をスクロールポンプ内
部へ流入する吸入口（５０）と、旋回スクロール（３
０）の外側に形成され、前記非圧縮性作動流体の圧力を
上昇させる圧力上昇室（３３）と、前記固定スクロール
（１０）の側面に形成され、前記非圧縮性作動流体をス
クロールポンプ外部ヘポンピングする送出口（７０）で
構成される。
【０００７】前記のように構成される本発明のスクロー
ルポンプの作動は、まず、電動機（１００）から駆動軸
（１９０）に沿って伝わる駆動力は偏心軸（９０）を通
じて旋回スクロール（３０）に伝わる。そうすると、旋
回スクロール（３０）は、向かい合って挟まれている固
定スクロール（１０）と線接触しつつ固定スクロール
（１０）の中心に対する偏心軸（９０）の偏心距離を半
径として旋回する。この際、旋回スクロール（３０）及
びケイシング（ｃａｓｉｎｇ）（６０）の間に旋回スク
ロール（３０）の自転を防ぐための自転防止機具（８
０）がつながっていて旋回スクロール（３０）は旋回の
みする。従って、非圧縮性作動流体が吸入口（５０）を
通じて固定スクロール（１０）及び旋回スクロール（３
０）の内へ流入されると、旋回スクロール（３０）が旋
回しつつ固定スクロール（１０）との線接触位置を旋回
方向へ一緒に移動させ、前記線接触位置の移動によって
内へ流入された非圧縮性作動流体は固定スクロール（１
０）と旋回スクロール（３０）の間の空間へ流れ込んで
くる。
ルポンプの作動は、まず、電動機（１００）から駆動軸
（１９０）に沿って伝わる駆動力は偏心軸（９０）を通
じて旋回スクロール（３０）に伝わる。そうすると、旋
回スクロール（３０）は、向かい合って挟まれている固
定スクロール（１０）と線接触しつつ固定スクロール
（１０）の中心に対する偏心軸（９０）の偏心距離を半
径として旋回する。この際、旋回スクロール（３０）及
びケイシング（ｃａｓｉｎｇ）（６０）の間に旋回スク
ロール（３０）の自転を防ぐための自転防止機具（８
０）がつながっていて旋回スクロール（３０）は旋回の
みする。従って、非圧縮性作動流体が吸入口（５０）を
通じて固定スクロール（１０）及び旋回スクロール（３
０）の内へ流入されると、旋回スクロール（３０）が旋
回しつつ固定スクロール（１０）との線接触位置を旋回
方向へ一緒に移動させ、前記線接触位置の移動によって
内へ流入された非圧縮性作動流体は固定スクロール（１
０）と旋回スクロール（３０）の間の空間へ流れ込んで
くる。
【０００８】即ち、旋回スクロール（３０）が一回転す
ると、線接触位置は前記固定スクロール（１０）及び旋
回スクロール（３０）の両端に位置する。そうすると、
流入された非圧縮性作動流体を一定の容量、即ち、ポン
ピング空間（ｐ）に閉じ込めることになり、旋回スクロ
ール（３０）が引続き、旋回すると両スクロール端の線
接触位置がなくなると同時に、内端の線接触位置が外へ
移動して、非圧縮性作動流体は外へ移送されるものであ
る、そして、外へ移送された非圧縮性作動流体は直ちに
ポンピングされなく、圧力上昇室（３３）に止まりなが
ら圧力が上昇された後、送出口（７０）を通じてポンピ
ングされる。
ると、線接触位置は前記固定スクロール（１０）及び旋
回スクロール（３０）の両端に位置する。そうすると、
流入された非圧縮性作動流体を一定の容量、即ち、ポン
ピング空間（ｐ）に閉じ込めることになり、旋回スクロ
ール（３０）が引続き、旋回すると両スクロール端の線
接触位置がなくなると同時に、内端の線接触位置が外へ
移動して、非圧縮性作動流体は外へ移送されるものであ
る、そして、外へ移送された非圧縮性作動流体は直ちに
ポンピングされなく、圧力上昇室（３３）に止まりなが
ら圧力が上昇された後、送出口（７０）を通じてポンピ
ングされる。
【０００９】この際、前記非圧縮性作動流体の遠心力に
よりポンピング効果が促進されることはもとより、両ス
クロール（１０）（３０）間に間隙（Ａ）、（Ｂ）があ
るため前記線接触位置に抵抗を与えない。そして、上記
ポンピング空間（ｐ）と圧力上昇室（３３）間には圧力
差があるため漏洩が少なくなり圧力上昇に役に立つ。ま
た、図４及び図５に示したように、固定スクロール（１
０）と旋回スクロール（３０）間に上下左右へ一定な間
隙（Ａ）、（Ｂ）を維持するようにして、非圧縮性作動
流体の漏洩を防止できる。
よりポンピング効果が促進されることはもとより、両ス
クロール（１０）（３０）間に間隙（Ａ）、（Ｂ）があ
るため前記線接触位置に抵抗を与えない。そして、上記
ポンピング空間（ｐ）と圧力上昇室（３３）間には圧力
差があるため漏洩が少なくなり圧力上昇に役に立つ。ま
た、図４及び図５に示したように、固定スクロール（１
０）と旋回スクロール（３０）間に上下左右へ一定な間
隙（Ａ）、（Ｂ）を維持するようにして、非圧縮性作動
流体の漏洩を防止できる。
【００１０】
【発明の効果】本発明は前記のように、スクロールポン
プのポンピングの時非圧縮性作動流体が内から外ヘポン
ピングされるよう吸入口（５０）及び送出口（７０）を
形成することにより非圧縮性作動流体の遠心力を用いて
両スクロールの密封効果を向上させ、潤滑作用を上昇さ
せることによって両スクロール接触による摩耗を解決で
きる。また、非圧縮性作動流体の圧力上昇のための空間
を確保して、スクロールポンプのポンピング圧力を上昇
させる効果がある。
プのポンピングの時非圧縮性作動流体が内から外ヘポン
ピングされるよう吸入口（５０）及び送出口（７０）を
形成することにより非圧縮性作動流体の遠心力を用いて
両スクロールの密封効果を向上させ、潤滑作用を上昇さ
せることによって両スクロール接触による摩耗を解決で
きる。また、非圧縮性作動流体の圧力上昇のための空間
を確保して、スクロールポンプのポンピング圧力を上昇
させる効果がある。
【図１】従来のスクロールポンプの平面図。
【図２】本発明のスクロールポンプの平面図。
【図３】本発明のスクロールポンプの側断面図。
【図４】本発明のスクロールポンプにおいて、両スクロ
ール間の左右間隙を示す図面。
ール間の左右間隙を示す図面。
【図５】本発明のスクロールポンプにおいて、両スクロ
ール間の上下間隙を示す図面。
ール間の上下間隙を示す図面。
１ 固定スクロール ３ 旋回スクロール ５ 吸入口 ７ 送出口 １０ 固定スクロール ３０ 旋回スクロール ３３ 圧力上昇室 ５０ 吸入口 ７０ 送出口 ９０ 偏心軸 １００ 電動機 １９０ 駆動軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F04C 2/02
Claims (3)
- 【請求項１】固定スクロールと、該固定スクロールの中
心に対する偏心軸の偏心距離を半径として旋回し、該固
定スクロールと線接触する旋回スクロールと、該固定ス
クロールの上段中央に形成され、非圧縮性作動流体をス
クロールポンプ内部へ流入する吸入口と、該旋回スクロ
ールの外側に形成され、該非圧縮性作動流体の圧力を上
昇させる圧力上昇室と、該固定スクロールの側面に形成
され、該非圧縮性作動流体を該スクロールポンプの外部
ヘポンピングする送出口とで構成される、スクロールポ
ンプ。 - 【請求項２】前記旋回スクロールが、前記固定スクロー
ルと一定な左右間隙を維持することを特徴とする、請求
項１に記載のスクロールポンプ。 - 【請求項３】前記旋回スクロールが、前記固定スクロー
ルと一定な上下間隙を維持することを特徴とする、請求
項１に記載のスクロールポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960067391A KR100191728B1 (ko) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 스크롤 펌프의 펌핑구조 |
| KR1996-67391 | 1996-12-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10184559A JPH10184559A (ja) | 1998-07-14 |
| JP2942528B2 true JP2942528B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=19488821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9349776A Expired - Fee Related JP2942528B2 (ja) | 1996-12-18 | 1997-12-18 | スクロールポンプ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6164939A (ja) |
| JP (1) | JP2942528B2 (ja) |
| KR (1) | KR100191728B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102007043324A1 (de) * | 2007-09-12 | 2009-03-19 | Fischer, Francesco Peter, Dipl.-Ing. | Verfahren zum Pumpen eines Mediums und dessen Vorrichtung |
| US20150014176A1 (en) * | 2013-07-09 | 2015-01-15 | Raymon F. Thompson | Wafer processing apparatus having scroll pump |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4846640A (en) * | 1986-09-24 | 1989-07-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Scroll-type vacuum apparatus with rotating scrolls and discharge valve |
| US5200872A (en) * | 1989-12-08 | 1993-04-06 | Texas Instruments Incorporated | Internal protection circuit for electrically driven device |
| US5338159A (en) * | 1991-11-25 | 1994-08-16 | American Standard Inc. | Co-rotational scroll compressor supercharger device |
| US5616015A (en) * | 1995-06-07 | 1997-04-01 | Varian Associates, Inc. | High displacement rate, scroll-type, fluid handling apparatus |
-
1996
- 1996-12-18 KR KR1019960067391A patent/KR100191728B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-12-18 JP JP9349776A patent/JP2942528B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-18 US US08/993,524 patent/US6164939A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6164939A (en) | 2000-12-26 |
| KR100191728B1 (ko) | 1999-06-15 |
| KR19980048749A (ko) | 1998-09-15 |
| JPH10184559A (ja) | 1998-07-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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