JP2942364B2 - 部品装着装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、吸着手段である吸着ノ
ズルに吸着した電子部品を装着する装着パターンを検出
し、検出結果に基づいて電子部品の位置や姿勢を修正し
て基板上に装着する電子部品装着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の電子部品装着装置の装置ヘッドに
おいては、例えば特開平２−１２４４０４号公報に記載
のように、装着ヘッドに搭載された装着パターン検出用
カメラの光軸と吸着ノズルの軸との間に一定の距離（以
下この一定距離をオフセツト距離と称す。）を置いた構
成のものがあった。この構成の装置では、電子部品と装
着パターンの位置をそれぞれ検出したのちに、電子部品
を吸着ノズルに吸着したまま装着ヘッドが移動して、検
出値に基づいて補正された装着指令位置の真上まで電子
部品を搬送し、電子部品をプリント基板上に装着すると
いう動作を行っていた。

【０００３】一方、オフセット距離を持たない構造の例
としては、特開昭５９−２２８７８７号公報に記載のも
のや特開昭６１−６３０９９号公報に記載のものがあっ
た。これは吸着ノズルにより電子部品を装着指令位置の
真上に保持し、電子部品と装着パターンとの間に光学系
を介して撮像装置を差し入れ、電子部品と装着パターン
の両画像を撮影して各位置偏差の値または相対変位を検
出してから補正距離(基板に平行な平面内でのベクトル
量)を演算し、装着ヘッドまたは基板の位置を補正する
とともに光学部品を退避させて吸着ノズルを下降させ、
上記電子部品をプリント基板上に装着するという動作を
行っていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記第１の従来例で
は、装着パターン位置を検出したのち装着ヘッドがロボ
ットによりオフセット距離だけ移動してから、電子部品
をプリント基板上の補正を加えられた指令位置に装着す
るという運転方法が必要とされる。即ち、たとえ位置偏
差の値が正確に測定され補正距離が正確に演算されたと
しても、そののち装着ヘッドがおよそ数十ｍｍの距離を
移動するので、装着パターンに対する最終的な電子部品
の変位は知り得ず、いわゆるオープンループ制御を実行
することになる。このため、装着位置誤差には装着ヘッ
ド搬送機構の位置誤差成分が含まれ、装着位置精度が粗
くなっていた。

【０００５】上記第２の従来例では、位置検出後の機械
的動作は、プリント基板に平行な面内での微小な位置の
補正と、部品の回転角度の補正と、吸着ノズルの下降だ
けであって、装着ヘッド搬送機構はほぼ停止したままで
あるから、上記第１の従来例と比較して装着位置の誤差
が小さく抑えられるという効果があった。しかし、特に
高速な装置が要求されている比較的小型の電子部品の装
着作業に装着パターン位置を検出する上記装置を用いる
と、動作速度が非実用的な低速となる。また、ＩＣ、Ｌ
ＳＩ等の比較的大型の電子部品を含む汎用的装着作業に
上記装置を用いるときは、広い検出視野を要するので光
学系が大型となる。また大型化に起因して、光学系とこ
れに固定された撮像装置の差し入れ動作及び退避動作
に、より長時間を要し、装置の高速動作を妨げることに
なる。各種電子部品の形状に応じて適宜分割指定された
複数の検出視野を順次撮影することによって光学系の大
型化を防止することは可能であろうが、この場合には差
し入れの動作と、複数回の手順を要する視野変更のため
の移動、退避動作、及び複数回の撮像に更に一層の長時
間を要することになり、やはり動作の高速化即ち電子部
品装着時間の短縮を妨げることになる。

【０００６】本発明の目的は、電子部品装着時間を短縮
でき、さらに装着位置精度を向上させるような部品装着
装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、電子部品を吸着し基板上に装着する吸着手
段と、該吸着手段を支持する装着ヘッドを移動させるヘ
ッド移動手段と、前記吸着手段を前記基板の面に対して
垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、前記吸着手段
をその軸心を中心に回転させる回転手段を備えた部品装
着装置において、前記装着ヘッドに支持され、前記吸着
手段に吸着された電子部品の画像をとらえる部品撮像手
段と、前記装着ヘッドに支持され、前記電子部品を装着
する基板の装着パターンの画像をとらえる基板撮像手段
と、前記吸着手段の軸線の延長上に配置された第1の反
射面を含み前記電子部品から前記部品撮像手段に至る光
路を形成するとともに、前記第１の反射面の裏面側に配
置された第２の反射面を含み前記装着パターンから前記
基板撮像手段に至る光路を形成する前記装着ヘッドに支
持された光学部品と、前記装着ヘッドに支持され、前記
光学部品を前記吸着手段の軸線の延長上と前記吸着手段
に干渉しない位置との間で移動させる前記光学部品の駆
動手段と、前記装着パターンと前記電子部品の画像を比
較し、前記垂直移動手段及び前記回転手段を制御して前
記吸着手段に保持された前記電子部品の前記基板に対す
る位置や姿勢を補正する制御手段、を設けたことを特徴
とする。

【０００８】さらに、本発明の部品装着装置は、前記光
学部品の駆動手段と前記吸着手段の 垂直移動手段を機械
的に連結して連動させる連結手段を設けたことを特徴と
する

【０００９】。

【０００９】さらに、本発明の部品装着装置は、電子部
品の吸着時及び装着時には、光学部品を吸着手段と干渉
しない位置に退避せしめ、装着ヘッドが部品装着位置へ
電子部品の搬送を開始すると前記光学部品を吸着手段の
軸線の延長上に移動せしめる光学部品の駆動手段と、前
記電子部品の搬送開始とともに撮像を行うように制御す
る手段を設けたことを特徴とする。

【００１０】さらに、本発明は、電子部品を吸着し基板
上に装着する吸着手段と、吸着手段を支持する装着ヘッ
ドを移動する手段と、吸着手段を基板の面に対して垂直
な方向に移動させる手段と、吸着手段をその軸心を中心
に回転させる手段とを備えた部品装着装置において、装
着ヘッドに支持されて電子部品を装着する基板の装着パ
ターンの画像をとらえる基板撮像手段と、反射面を有し
て装着ヘッドに支持された光学部品と、電子部品の吸着
と装着を行う際は、軸線が基板面に対し略垂直となるよ
うに吸着手段を支持し、前記基板撮像手段で装着パター
ンを撮像するときは、吸着手段の軸線を基板面と略平行
な軸を中心に回転移動させるとともに、回転移動前の基
板面に対し略垂直な前記吸着手段の軸線の延長上に光学
部品の反射面を移動させ、装着パターンから基板撮像手
段に至る光路を形成するように光学部品を駆動する手段
と、 回転移動後の吸着手段の軸線の延長上に配置され、
電子部品の画像を撮像する部品撮像手段を設けたことを
特徴とする。

【００１１】

【作用】吸着ノズルで吸着した電子部品を、基板上の部
品装着位置の装着パターンの直上に向けて搬送する。搬
送を開始すると、吸着された電子部品から装着ヘッドに
支持された部品撮像手段に至る光路を吸着ノズルの軸線
延長上の所定位置に第１の反射面を配置して形成する。
第１の反射面の裏面に第２の反射面があるので、第１の
反射面の移動に伴い、第２の反射面も吸着ノズルに対し
て吸着ノズルの軸 線延長上の所定位置に位置決めされ
る。吸着ノズルが装着パターンの直上まで移動すると、
第２の反射面により基板上の装着パターンから基板撮像
装置に至る光路が形成される。

【００１２】以上のように、吸着された電子部品から装
着ヘッドに支持された部品撮像手段に至る光路を、装着
ヘッド内に支持した反射面と部品撮像手段により形成し
ているので、装着ヘッドが移動中であっても、吸着ノズ
ルの所望の撮像位置に保持された電子部品と部品撮像手
段の位置関係は一定となり高精度に撮像できる。即ち、
電子部品を吸着して基板上の搭載位置に搬送する間に電
子部品を撮像することも可能となる。吸着ノズルが電子
部品を装着する装着パターンの上方に停止すると、基板
撮像手段により直ちに装着パターンを撮像できるので、
停止後は待機時間を生じること無く直ちに装着パターン
を撮像でき、搭載までの時間を短縮することができる。

【００１３】このように、電子部品を搬送中に第１の反
射面を介して撮像し、装着パターンの真上の位置に吸着
した電子部品を搬送し停止せしめてから装着パターンを
第２の反射面を介して撮像して、第１の反射面を介して
撮像した電子部品の画像と比較するので、電子部品が装
着パターンの真上にある状態で電子部品の位置と姿勢を
装着パターンに合わせて補正することとなり、撮像後に
オフセット距離を移動する必要がなく、精度のよい搭載
を可能としている。

【００１４】さらに、電子部品の吸着と装着を行う際は
軸線が基板面に対し略垂直となるように吸着手段を支持
し、基板撮像手段で装着パターンを撮像するときは吸着
手段の軸線を基板面と略平行な軸を中心に回転移動させ
るようにした場合には、回転移動前の基板面に対し略垂
直な吸着手段の軸線の延長上に反射面を移動させ装着パ
ターンから基板撮像手段に至る光路を形成し、前記回転
移動後の吸着手段の軸線の延長上で電子部品の画像を撮
像することにより、基板上の装着パターンに対する電子
部品の位置ずれと姿勢を修正し、搭載することができ
る。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳述
する。

【００１６】図１、図２、図３は、本発明の第１の実施
例を示している。図１において、電子部品装着装置のロ
ボット１に搭載された装着ヘッド２には、吸着ノズル３
が設けられている。吸着ノズル３は、電子部品供給装置
４の上に置かれた電子部品５を真空吸着して、ロボット
１の動作により電子部品５を搬送し、基板６の面上の装
着パターン７の上に位置決めされて電子部品５を装着す
る。図１では、基板６の面と略平行に移動する装着ヘッ
ド２に固定されて電子部品５を真空吸着した吸着ノズル
３が、装着パターン７の真上の位置に停止した状態を示
している。装着ヘツド２には、吸着ノズル３をノズル軸
線方向に移動させる第２の駆動装置８と、吸着ノズル３
の軸を中心に回転させることにより吸着された電子部品
５の姿勢を変更させる第３の駆動装置９が設けられてい
る。さらに装着ヘッド２には、電子部品５の画像を取り
込む部品撮像装置１０と、基板面上の装着パターン７の
画像を取り込む基板撮像装置１１とが固定されている。

【００１７】吸着ノズル３と装着パターン７との間に
は、第１の反射面１２と第２の反射面１３を有する光学
部品（両面鏡）１４が、駆動装置１５によって位置決め
されている。上記の状態で両面鏡１４の第１の反射面１
２は、吸着ノズル３のノズル軸線方向から見る電子部品
５の画像の光路を部品撮像装置１０へ向かうように変換
している。また第２の反射面１３は、基板面上の装着パ
ターン７の画像の光路を基板撮像装置１１へ向かうよう
に変換している。

【００１８】部品装着装置には、ロボット１や各駆動装
置８、９、１５、及び基板搬送装置等の図示しないその
他の構成部品を含めて制御する制御装置１６が備わって
いる。また、両撮像装置１０、１１を制御するととも
に、撮影された画像から被写体の位置偏差と角度偏差の
検出、補正距離の演算、並びに吸着異常の有無判定等を
実行する画像処理装置１７が備わっている。

【００１９】次に、本実施例の装置の動作を説明する。
まず、ロボット１の動作により装着ヘッド２が電子部品
供給装置４の上方に移動し、吸着ノズル３が第２の駆動
装置８の動作により下降して、電子部品供給装置４の上
に置かれた電子部品５を真空吸着する。この際、両面鏡
１４は第１の駆動装置１５により吸着ノズル３の軸線の
延長上から離れた位置に退避して置かれている。次に、
吸着ノズル３が電子部品５を吸着したまま第２の駆動装
置８の動作により、両面鏡１４の動作経路より上方の位
置まで上昇するとともに、再びロボット１の動作により
装着ヘッド２が移動を開始する。装着ヘッド２が移動し
ている間に、第１の駆動装置１５により吸着ノズル３の
軸線の延長位置、即ち電子部品５の真下の位置に両面鏡
１４が位置決めされる。部品の撮像位置１０が両面鏡１
４の第１の反射面１２ともう一つの固定平面鏡１８によ
って反射された電子部品５の画像を撮影する。

【００２０】電子部品５が基板面上の装着パターン７の
中心位置のほぼ上方にある、当初の装着指令位置まで搬
送された時、図１に示すように、両面鏡１４は吸着ノズ
ル３の軸線の延長上、即ち電子部品５と装着パターン７
との中間位置に置かれている。第２の撮像装置１１が両
面鏡１４の第２の反射面１３及び別の固定平面鏡１９に
よって反射された装着パターン７の画像を撮影する。

【００２１】画像処理装置１７は、撮影された電子部品
５の画像から吸着異常の有無判定をし、撮影された２つ
の画像から電子部品５の装着パターン７に対する相対位
置偏差と角度偏差を検出し、補正ベクトルを演算する。
制御装置１６は当初の装着指令位置座標に補正ベクトル
を加算して補正装着指令位置座標を求める。両面鏡１４
が吸着ノズル３の軸線の延長上から離れた位置に再び退
避し、吸着ノズル３が下降するとともに、ロボット１が
上記補正装着指令位置まで位置修正動作をして電子部品
５を装着パターン７上に装着する。

【００２２】図２により、本発明を組み込んだ部品装着
装置の一連の動作を説明する。

【００２３】まず、吸着ノズル３を付けた装着ヘッド２
が電子部品供給装置４の上方に停止し、吸着ノズル３が
下降して電子部品５を真空吸着する。次に上記吸着ノズ
ル３が上昇するとともに、電子部品装着装置のヘッド移
動装置（ロボット）によって装着ヘッド２がプリント基
板６上の装着指令位置、即ち装着パターン７の中心位置
に向けて移動して電子部品５を搬送する。電子部品５の
搬送中に電子部品５の画像を装着ヘッド２に搭載された
部品撮像装置１０により撮影する。装着ヘッド２が装着
パターン７の中心位置上空まで移動を完了した後、装着
ヘッド２に搭載された基板撮像装置１１により装着パタ
ーン７の画像を撮影する。

【００２４】装着パターン７を撮影する際には、吸着ノ
ズル３及び吸着されている電子部品５は第２の駆動装置
８により装着パターン７の真上の位置で光学部品１４を
避けて上方に退避させられる。

【００２５】上記光学部品１４は両面に金属蒸着処理を
施した両面平面鏡（両面鏡）１４とし、一面を電子部品
５の撮影に使用し、その裏面を装着パターン７の撮影に
使用する。

【００２６】撮影された装着パターン７と電子部品５の
両画像から、画像処理装置が電子部品５の装着パターン
７に対する位置偏差と角度偏差を検出し、電子部品装着
装置の制御装置１６が偏差値に基づいて装着ヘッド２の
位置及び吸着ノズル３の姿勢角を補正することにより、
吸着ノズル３が下降して電子部品５を装着パターン７上
に搭載する。

【００２７】本実施例において、図３に示すように、図
１に示した第１の駆動装置１５と第２の駆動装置８とを
共用化した単一の駆動装置２０を用いて、カム２１とり
ンク機構２２によって吸着ノズル３の上方への退避動作
と両面鏡１４の吸着ノズル軸上位置への位置決め動作と
を同期させることもできる。

【００２８】なお、本実施例で用いた両面平面鏡１４に
代えて、図示しないが、２枚の平面鏡を裏面同士貼り合
わせた光学部品を用いても同様な機能が達成されること
は言うまでもない。また、上記両面平面鏡１４に代え
て、図４に示すように、２個の直角プリズム２３ａ、２
３ｂの各三角柱の斜面２４ａ、２４ｂ同士を向かい合わ
せて設置してもほぼ同様な機能が達成される。

【００２９】本実施例によれば、電子部品５の画像を搬
送中に撮像し、電子部品５が装着パターン７の真上にあ
る状態で装着パターン７の画像を撮影し、電子部品５の
画像と比較して、電子部品５を装着パターン７に合わせ
て補正するので撮像後にオフセット距離を移動する必要
がないので、ロボット１の機構精度などの絶対精度に起
因する誤差成分が電子部品５の装着精度に含まれず、装
着精度が向上するという効果がある。

【００３０】また本実施例を、従来例を示す図５のよう
に１個の直角プリズム２５の直角を挾む２平面２６ａ、
２６ｂを各々電子部品５の画像と装着パターン７の画像
とに使用する構造や、図６のように２個の直角プリズム
２７ａ、２７ｂを上下に並べる構造と比較すると、同一
の必要視野に対して装置の中で直角プリズムの占める上
下方向の長さが半減でき、装置の小型化が可能となる。
特に吸着ノズル３の上下ストロークを大幅に（概ね直角
プリズム１個分だけ）短縮できるので、吸着ノズル３の
上下移動に伴って生じ、装着精度の低下要因ともなる機
構誤差をその分だけ減少させることができる。さらに上
記上下ストロークの短縮により、図５や図６の従来構造
よりも装着時間を短縮できるという効果がある。

【００３１】また本実施例によれば、装着ヘッド２の移
動中に両面平面鏡１４を位置決めし、第１の反射面１２
で電子部品５の撮影を行うので、装着パターン７の撮影
前に第２の反射面１３も位置決めされており、このた
め、装着ヘッド２が装着パターン７の上に停止した後
に、第２の反射面を移動することもなく基板撮像装置１
１に対する両面平面鏡１４の相対振動も起きないので待
ち時間を置くことなしに装着パターン７を撮影できる。
したがって、装着時間を短縮できる効果がある。

【００３２】次に、本発明の第２の実施例を図７、図８
により説明する。まづ、吸着ノズル３を基板６と平行な
軸を中心に回転させる構造について説明する。図７に示
すように、反射面２８を有する光学部品２９と吸着ノズ
ル３を所定の角度をなすＶレバー状に固定し、Ｖレバー
の交差する中心の軸を基板面と平行に、吸着ノズル３の
近くに固定して設ける。吸着ノズル３及び光学部品２９
は、第１の駆動装置３０によって基板面とほぼ平行な軸
の周りに一体に回転する。吸着ノズル３が装着パターン
７の真上から回転して停止し、光学部品２９の反射面２
８が装着パターン７の真上の位置に位置決めされている
とき、反射面２８による装着パターン７の反射画像が基
板撮像装置３１に達するように配置されている。

【００３３】第１の駆動装置３０及び吸着ノズル３と光
学部品２９は第２の駆動装置３２によって一体に上下動
可能である。これにより、吸着ノズル３が電子部品供給
装置４上から電子部品５を吸着するときと、装着パター
ン７上に装着するときに、それぞれ吸着ノズル３の下
降、上昇動作を行う。第２の駆動装置３２、吸着ノズル
３及び光学部品２９は第３の駆動装置３３によって基板
６と垂直な軸を中心として一体に旋回可能である。電子
部品５を吸着するときと装着するときの吸着ノズル３と
光学部品２９の位置を破線で示す。

【００３４】第７図の構成では、ロボット１の動作手順
は前述の第１の実施例と全く同様である。電子部品５を
真空吸着するときと装着パターン７上に装着するとき
は、第１の駆動装置３０、及び第２の駆動装置３２は、
吸着ノズル３を基板６に対してほぼ垂直な姿勢に保って
降下させる。ロボット１が装着ヘッド２を移動させてい
る間に、第１の駆動装置３０は吸着ノズル３を垂直でな
い所定の姿勢角まで回転退避させるとともに、光学部品
２９の反射面２８を、吸着及び装着動作時に吸着ノズル
３があった位置に位置決めし、装着ヘッド２が当初の装
着指令位置まで搬送された時点で、反射面２８による装
着パターン７の反射画像を基板撮像装置３１で撮影する
ことを可能としている。

【００３５】さらに、図８に示すように装着ヘッド２内
の、退避した吸着ノズル３の軸線の延長上に撮像装置３
４を併設することにより、吸着中の電子部品５と装着パ
ターン７との両画像が撮影可能となる。これにより、電
子部品５の画像を装着ヘッド２の移動中に撮影すること
も、上記両画像をほぼ同時に撮影することもでき、装着
時間の短縮に効果がある。

【００３６】なお、図７、及び図８では光学部品２９の
反射面２８の法線３５が吸着ノズル３が回転する平面と
同一平面に置かれているが、必ずしもこのような配置を
とる必要はなく、例えば反射光線の方向が上記回転面と
直交するように構成されていても差し支えない。この場
合は、回転による光学部品２９と基板撮像装置３１の機
械的干渉回避を考慮せずに、光学部品２９に近接して基
板撮像装置３１を設置できる。

【００３７】また、装着ヘッド２の構造は、第１の駆動
装置３０、第２の駆動装置３２、及び第３の駆動装置３
３が、必ずしも上述の順序に連結されている必要はな
く、例えば吸着ノズル３の自転動作を司る第３の駆動装
置３３が第１の駆動装置３０の最先端部に設置されてい
てもほぼ同等の機能が得られる。本実施例によれば、単
一の回転駆動装置３０を吸着ノズル３の退避動作と光学
部品２９の位置決め動作に兼用できるので、簡略な構造
で吸着ノズル３と光学部品２９との機械的干渉を完全に
防止できるという効果がある。また、吸着ノズル３の上
下ストロークを第１の実施例よりさらに短縮できるので
装着時間をなお一層短縮できるという効果がある。

【００３８】次に、本発明の第３の実施例を図９により
説明する。本実施例の装置は、前述の第２の実施例の装
置において、光学部品２９を吸着ノズル３と切り離し、
装着ヘッド２に固定された第４の駆動装置３６によっ
て、切り離された光学部品３７の退避動作を行うもので
ある。第１の駆動装置３０、第２の駆動装置３２、及び
第３の駆動装置３３は第２実施例と同様の構成及び機能
を有する。

【００３９】本実施例によれば、さらに上記第２の実施
例と比較して、吸着ノズル３の退避動作の駆動装置３０
と光学部品３７の退避動作を行う第４の駆動装置３６は
独立しているので容易に装着基板撮像装置３１を調整及
び校正できるという効果がある。

【００４０】次に、本発明の第４の実施例を図１０によ
り説明する。これは、上記第２の実施例で使用した反射
面を有する光学部品２９に代えて基板撮像装置３８を第
１の駆動装置３０の回転部に直接搭載して吸着ノズル３
と一体で回転させる構成である。回転負荷の慣性モーメ
ントを低減させるために上記基板撮像装置３８として超
小型ＴＶカメラを使用することが望ましい。本実施例に
おいても、回転退避した吸着ノズル３の軸線の延長上に
部品撮像装置３４を設置することにより、電子部品５と
装着パターン７との両画像が撮影可能となる。必要に応
じて、電子部品５の画像を装着ヘッド２の移動中に撮影
することも、上記両画像をほぼ同時に撮影することもで
きる。

【００４１】本実施例によれば、反射面を有する光学部
品を使用せずに上記の実施例と同様の効果が得られる。

【００４２】

【発明の効果】本発明によれば、光学部品における第１
の反射面の裏面側に第２の反射面が配置されているた
め、光学部品が吸着手段とー緒に装着パターン上に移動
させると、そのまま光学部品における第１の反射面の裏
面側に位置する第２の反射面が装着パターンから基板撮
像手段に至る光路を形成するので、光学部品の回転など
は不要であり、タクトが短縮されるという効果がある。
また、この光学部品は第１の反射面とその裏面側の第２
の反射面で構成されるので、小型軽量化が可能であると
いう効果がある。

【００４３】また両面鏡を使用することにより、従来例
よりも上下方向に小さな装着寸法で電子部品及び装着パ
ターンの位置を検出できる上に、吸着ノズルの上下スト
ロークが大幅に短縮されるので、吸着ノズルの上下移動
に伴って生じ、装着精度の低下要因となる機構誤差をも
減少させることができるという効果がある。

【００４４】また吸着ノズルを回転退避させる方法によ
れば、簡略な構造で吸着ノズルと光学部品との機械的干
渉を完全に防止しつつ、同上の装置精度向上の効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の構成及び動作を示す外観
図である。

【図２】本発明の電子部品装着装置全体の構成を示す外
観図である。

【図３】本発明の第１実施例の構成例を示す模式図であ
る。

【図４】本発明の第１実施例の両面鏡を直角プリズムに
置き換えた実施例の模式図である。

【図５】従来技術の要部の構造を抜粋して示す模式図で
ある。

【図６】従来技術の要部の構造を抜粋して示す模式図で
ある。

【図７】本発明の第２実施例の吸着ノズルを基板と平行
な軸を中心に回転させる構成及び動作を示す模式図であ
る。

【図８】本発明の第２実施例の構成および動作を示す模
式図である。

【図９】本発明の第３実施例の構成及び動作を示す模式
図である。

【図１０】本発明の第４実施例の構成及び動作を示す模
式図である。

【符号の説明】

１……ロボット、２……装着ヘッド、３……吸着ノズ
ル、４……電子部品供給装置、５……電子部品、６……
基板、７……装着パターン、８……第２の駆動装置、９
……第３の駆動装置、１０……部品撮像装置、１１……
基板撮像装置、１２……第１の反射面、１３……第２の
反射面、１４……両面鏡、１５……第１の駆動装置、１
６……制御装置、１７……画像処理装置、１８……固定
平面鏡、１９……固定平面鏡、２０……駆動装置、２１
……カム、２２……リンク機構、２３ａ、２３ｂ……直
角プリズム、２４ａ、２４ｂ……斜面、２５……直角プ
リズム、２６ａ、２６ｂ……平面、２７ａ、２７ｂ……
直角プリズム、２８……反射面、２９……光学部品、３
０……第１の駆動装置、３１……基板撮像装置、３２…
…第２の駆動装置、３３……第３の駆動装置、３４……
部品撮像装置、３５……法線、３６……第４の駆動装
置、３７……光学部品、３８……基板撮像装置、

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B23P 19/02 B23P 21/00 305 H05K 13/04

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品を吸着し基板上に装着する吸着
   手段と、該吸着手段を支持する装着ヘッドを移動させる
   ヘッド移動手段と、前記吸着手段を前記基板の面に対し
   て垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、前記吸着手
   段をその軸心を中心に回転させる回転手段を備えた部品
   装着装置において、 前記装着ヘッドに支持され、前記吸着手段に吸着された
   電子部品の画像をとらえる部品撮像手段と、 前記装着ヘッドに支持され、前記電子部品を装着する基
   板の装着パターンの画像をとらえる基板撮像手段と、 前記吸着手段の軸線の延長上に配置された第１の反射面
   を含み前記電子部品から前記部品撮像手段に至る光路を
   形成するとともに、前記第１の反射面の裏面側に配置さ
   れた第２の反射面を含み前記装着パターンから前記基板
   撮像手段に至る光路を形成する前記装着ヘッドに支持さ
   れた光学部品と、 前記装着ヘッドに支持され、前記光学部品を前記吸着手
   段の軸線の延長上と前記吸着手段に干渉しない位置との
   間で移動させる前記光学部品の駆動手段と、 前記装着パターンと前記電子部品の画像を比較し、前記
   垂直移動手段及び前記回転手段を制御して前記吸着手段
   に保持された前記電子部品の前記基板に対する位置や姿
   勢を補正する制御手段、 とを設けたことを特徴とする部品装着装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の部品装着装置において、
   前記光学部品の駆動手段と前記吸着手段の垂直移動手段
   を機械的に連結して連動させる連結手段を設けたことを
   特徴とする部品装着装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の部品装着装置において、
   前記光学部品の移動手段は、前記電子部品の吸着時及び
   装着時には、前記光学部品を前記吸着手段と干渉しない
   位置に退避せしめ、前記装着ヘッドが前記部品装着位置
   へ電子部品の搬送を開始すると前記光学部品を前記吸着
   手段の軸線の延長上に移動せしめるものであり、さら
   に、前記電子部品の搬送開始とともに撮像を行うように
   制御する手段を設けたことを特徴とする部品装着装置。
4. 【請求項４】 電子部品を吸着し基板上に装着する吸着
   手段と、該吸着手段を支持する装着ヘッドを移動する手
   段と、前記吸着手段を前記基板の面に対して垂直な方向
   に移動させる手段と、前記吸着手段をその軸心を中心に
   回転させる手段を備えた部品装着装置において、 前記装着ヘッドに支持され、前記電子部品を装着する基
   板の装着パターンの画像をとらえる基板撮像手段と、 反射面を有し、前記装着ヘッドに支持された光学部品
   と、 前記電子部品の吸着と装着を行う際は、軸線が前記基板
   面に対し略垂直となるように前記吸着手段を支持し、前
   記基板撮像手段で前記装着パターンを撮像するときは、
   前記吸着手段の軸線を前記基板面と略平行な軸を中心に
   回転移動させ、 前記回転移動前の基板面に対し略垂直な前記吸着手段の
   軸線の延長上に前記光学部品の前記反射面を移動させ、
   前記装着パターンから前記基板撮像手段に至る光路を形
   成するように前記光学部品を駆動する手段と、 前記回転移動後の前記吸着手段の軸線の延長上に配置さ
   れ、前記電子部品の画像を撮像する部品撮像手段を設け
   たことを特徴とする部品装着装置。