JP2941952B2 - 回折格子光二重集束装置 - Google Patents

回折格子光二重集束装置

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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は光学装置の分野に関する。より詳細には本発
明は反射光弁装置から集束した有用な光の量を増加させ
る装置に関する。光は、転向ミラーの分離角度を光弁の
変更角度に合わせる転向ミラー装置を補助装置として、
多重球形ミラーと集光レンズ装置を通して集束される。
発明の背景 光弁装置においては、光源からの利用可能な光を最大
限に集束して装置の効率を高め、経費のかからない設計
を維持することが重要である。ディスプレー装置用のよ
うな精密な光源の経費はルーメン強度にしたがって劇的
に増加する。光弁装置は透過及び反射の装置に分類する
ことができる。
代表的な透過装置においては、集束ミラーが使用され
て光を集束し弁を通して透過させる。集束リフレクター
だけでは、光は光源の１側だけから集束される。集束レ
フレクターから集束した光は低度の視準を有する。しか
し代表的な透過光弁装置は集束レフレクターによって光
を集める。かかる透過装置は光源から放射された光の55
％以上を集束することができる。
反射光弁装置のためには、光視準の条件はより厳格で
あり、代表的な装置は集光レンズを使用して優れた視準
を与える光を集束する。代表的な反射光弁装置は球形ミ
ラー及び集光レンズの両者を使用して光源の二つの側か
ら光を集束する。しかしかかる装置の効率は低い。例え
ば後部レフレクターを有するF/.72集光装置は放射した
光の18％だけを集束する。
第１図は光源が転向ミラーの上に投影される代表的な
回折光弁の構成を示す。光はバルブのように光源100か
ら全方向に放射される。球形ミラー102に当った光は集
束され光源100に戻り、そのそばを通過する。同様に光
源100を離れコンデンサーレンズ系104に当る光も集束さ
れる。第１図に示す例ではコンデンサーレンズ系104は
複合レンズ装置である。当業者には他の形式のレンズ装
置でも集光の機能を行わせることができることは明らか
であろう。球形ミラー102により集光された光は光源100
を通過した後、コンデンサーレンズ系104に入る。球形
ミラー102にもコンデンサーレンズ系104にも当たらない
光は失われる。この浪費した照明は装置の効率の低下の
原因となる。
コンデンサーレンズ系104は光源100からの光を回転ミ
ラー106へ投影する。回転ミラー106はこの光を反射光弁
108へ反射する。第１図に示す例ではシュリーレンレン
ズ110を転向ミラー106と反射光弁108との間に設ける。
この例では反射光弁108は回折格子光弁である。この弁
は反射又は回折のいずれの構成でも選択することができ
る。そのような装置の例は1994年５月10日にブルームそ
の他に与えられた米国特許第5,311,360号、同時出願同
時係属の米国特許出願第08/482,188号（フラット回折格
子光弁）、及び同時出願同時係属の米国特許出願第08/4
80,459号（フラット回折格子光弁の製造方法及びその装
置）に見出すことができる。構成を反射的にすると、反
射光弁108に当たる光は鏡面反射をしてシュリーレンレ
ンズ110を通して転向ミラー106に戻り、その後コンデン
サーレンズ系104を通して光源に戻る。
弁が回折的である場合、回折角は既知であり回折格子
の周期の機能として計算可能である。構成を回折的にす
ると、回折した光は転向ミラーのそばを通って投影光学
系112に入る。光は第１の回折次数の角度Θ、及びその
倍角のΘによっても回折することは良く知られている。
反射光弁108から第２及び第３次数の回折角で出る光は
瞳孔マスク114で遮断される。このような方法で所望の
第１の回折次数の光が投影光学系112に与えられる。
光弁の回折角は、回折した光の全てを集束する転向ミ
ラー上への光源の投影像により範囲が決められる角度、
より大きいことが要求される。大きな光源のためには、
これは輝度と妥協することなしに常に可能であるとはい
えない。これは転向ミラーに対する光源の増幅を最大に
することを強いるか、或いは輝度を最大限にする代替え
的な技術が必要になる。これらの問題は小さな角度で光
を回折する光弁にあてはまることがはっきりとした。
エイダホア（Eidaphor）は最も古い高輝度反射光弁プ
ロジェクターである。これは電子ビームと共に整列した
球形ミラー上の変形可能な油膜を利用する。整列する
と、膜の局部的にフラットな表面は40ミクロンの周期を
有する正弦曲面になる。回転ミラーへの入射光源の大き
さは小さくなくてはならない。輝度を最大限にする一
方、転向ミラーの寸法を小さくするためには多重転向ミ
ラーを使用する。光は多重転向ミラーに向けるための単
一のジメンション及び方向で集束されるだけである。光
源からの光は集光レンズ装置により単一のジメンション
で集束される。集光レンズから単一の方向に出る光は多
重転向ミラーに衝突する。多重転向ミラーを使用するこ
とにより、回転ミラーの効率的な大きさは、ひとまとめ
にして光源から見たときに増大する。同様に小さな回転
ミラーはミラーのそばを通過する回折光の高度の回折次
数モードを可能にする。転向ミラーにより反射した光は
スプリッターを通って通過し、色で特定する変形可能な
油膜／レフレクターに衝突する。赤、緑、及び青を発色
するため三つの油膜／レフレクターが使用される。スプ
リッターと油膜／レフレクターの間にはレンズシステム
が使用される。若し光が反射すると、それは光源に戻
る。若し光が回折すると、それは転向ミラーのそばを通
過し投射光学素子へ進む。第１図の例では光源からの光
の重要な部分は消費されて装置には入らず弁に衝突しな
い。
少量の望ましくない光を第２の回折次数へ回折させる
回折光弁に対しては、本装置は第２の回折次数の光が暗
い状態へ回折されるだろうという不利益を有する。これ
はエイダホアにとっては利益となる。なぜならその暗い
状態は光を高度の回折次数に回折させないからである。
発明の要約 反射／回折光弁装置は単一光源の周りのマルチジメン
ションから光を集束させる。これらマルチ集束ジメンシ
ョンから光が弁に向けられ多重方向から衝突する。弁の
構成を反射的にすると、光は光源に戻る。一方、弁の構
成を回折的にすると、奇数の回折次数からの光は、装置
の効率を大きく向上させる集束ジメンションの各々のた
めに、弁から透過する。
図面の簡単な説明 第１図は先行技術の回折光弁装置のための第１光学装
置の略図を示す。
第２図は本発明の好ましい実施例による反射光弁装置
のための光学装置の略図を示す。
第３図は弁の構成を反射的にした場合の本発明の光学
装置の一部の略図を示す。
第４図は弁の構成を回折的にした場合の本発明の光学
装置の一部の略図を示す。
好ましい実施例の詳細な説明 本発明の好ましい実施例は回折に基づいた光変調器を
使用するディスプレー装置にある。この装置においては
光弁は基体上に懸垂した整列可能な反射性リボン構造体
の配列を含む。この配列の素子を整列させると、リボン
は基体に向かって選択的に運動する。この運動量は入射
光のスペクトルの中心波長の1/4である。リボンが作動
するとリボンは回折格子を形成し、通常の方法で機能す
る。リボンが作動しない場合、効率的にリボンは連続的
なレフレクターの平面上にあり、円滑な鏡面ミラーのよ
うに作動する。
第２図は本発明の光学装置の略図を示す。単一光源30
0は全方向に分散する光を発生する。光は光源300からバ
ルブのように全方向に放射される。第１球形ミラー302
に当たる光は集束され、光源300に戻り、そのそばを通
過する。同様に、光源300から出て第１コンデンサー装
置304に衝突する光も、集束され、視準され、転向ミラ
ーに投射される。第２図に示す実施例ではコンデンサー
レンズ系304は光を視準する第１レンズ306、光を向け直
す転向ミラー308、及び続く転向ミラー312に光源300を
投影する第２レンズ310を含む複合レンズ装置である。
他の形式のレンズ装置でも集光機能を果たすように使用
することができることは当業者には明らかであろう。ミ
ラー302で集束された光も光源300を通過した後、コンデ
ンサーレンズ系304に入る。
コンデンサーレンズ系304は光源300からの光の部分を
鏡面転向ミラー312に投影する。転向ミラー312は光を反
射光弁314に反射する。第２図に示す実施例ではシュリ
ーレンレンズ316は転向ミラー312と光弁314の間に位置
する。
第１図では、ミラーにもコンデンサーにも当たらない
光は消滅する。この浪費した照明は装置の効率低下の原
因となる。本発明による装置は装置の効率を改善するさ
らに二つの集束装置を提供する。これらの追加される集
束装置はさもなければ消費されるかもしれない光を集束
する。第２図の説明に戻ると、第２の集束光路は第１の
集束光路の鏡像である。これら二つの集束光路の各々は
二つのジメンションの各々で光を集束する。
第２の集束光路では第２の球形ミラー322によって集
束され光源300に戻りそのそばを通過する。同様に、光
源300を出て、第１コンデンサーレンズ系324に当たる光
も集束され、視準され、転向ミラーに投影される。コン
デンサーレンズ系324は光を視準する第１レンズ326、光
を向け直す転向ミラー328、及び続く転向ミラー332に光
源300を投影する第２レンズ330を含む複合レンズ装置で
ある。ミラー332で集束された光も光源300を通過した
後、コンデンサー324に入る。コンデンサーレンズ系324
は光源300からの光の部分を鏡面転向ミラー332に投射す
る。光は転向ミラー332によって反射されてシュリーレ
ンレンズ316を通過した後、反射光弁314に当たる。瞳孔
マスク334が望ましくない多重の回折次数の光を遮断す
る。
第３図は転向ミラー312、332、弁314、及び第２図の
瞳孔マスク334の略図を示す。シュリーレンレンズ316は
本発明の詳細が曖昧にされるのを避けるため図面から除
去されている。例えば第１の集束光路から転向ミラー31
2に当たる光は反射して弁314に当たる。反射状態では弁
314は鏡面ミラーとして機能する。したがって光は弁314
に入射する角度と同じ角度で弁314から出て、第２転向
ミラーに当たり、第２の集束光路を通って光源300に戻
る。これら二つの集束光路は同等であるので第２の集束
光路から第２の転向ミラー332に当たる光も弁314で反射
して第１転向ミラー312に当たり、その後光源に戻る。
装置から漏洩する光はない。
第４図は弁314が光を回折するよう構成されている点
を除き第３図におけるものと同じ要素を示す。良く知ら
れているように、弁314はΘの角度によって光を回折さ
せる。第１の回折次数の角度Θで回折する所望の第１の
回折次数の光は、図示するように転向ミラー312のいず
れの側をも通過する。この光は投射光学素子336（第２
図）によって集束される。
角度＋２Θで回折する望ましくない第２の回折次数の
光は第２転向ミラー332に当たり、光源に戻る。角度−
２Θの第２の回折次数の光は図示のように瞳孔マスク33
4に当たる。第３図の回折次数の光の半分は装置から出
てゆき、半分は瞳孔マスクで遮断される。角度＋／−４
Θ、＋／−５Θ...で回折する望ましくない第４の、さ
らには多重の、回折次数の光も瞳孔マスク334に当た
る。これら光路の鏡像は投影光学系に第２集束光路から
光を提供する。第２の光路では第１の回折次数の光だけ
が回折される。
転向ミラーを分割して二つ又はそれ以上のサブミラー
にすることは可能である。これら転向サブミラーはそれ
ぞれ第１及び第２コンデンサーから来る光への単一連続
反射面となるよう位置することができる。これら転向サ
ブミラーも弁314からの回折光に対する分割した構造と
なるよう異なる軸線に沿って離隔した位置をとることが
できる。実際、これら転向サブミラーは第１、第３、第
５、及び他の奇数の回折次数の回折光を可能とし、同時
に第２、第４、第６、及び他の偶数の回折次数の回折光
を遮断することができるよう位置することができる。
本装置の設計は以下のとおりである。光弁の回折角は
以下の方程式で与えられる。
sin（Θｄ）＝λ／Λ ここでΘｄは光弁の回折角、λは光の波長、Λは光弁
の格子周期である。転向ミラーはシュリーレンレンズか
ら水平距離がｆであり、かつ光弁に対し直角な線におい
てその上及び下それぞれ垂直距離ｈ＝fsin（Θｄ）のと
ころに置かれる。対称とすることで、各転向ミラーは他
の転向ミラーからの鏡面反射光のストップとして作動す
る。弁が“オン”状態にあり、光が０回折次数から高い
回折次数モードに回折すときは、第１及び第３の回折次
数の光が転向ミラー間及びその周りで回折するが、第２
の回折次数の光は転向ミラーで遮断されるか、或いは投
射レンズに当たらない。コントラスト比は転向ミラーを
小さくしその周りの光をとめることで改良される。色彩
による作動のためには、赤、緑、及び青の光を回折させ
る３個の光弁が使用される。最大輝度を得るために光弁
の各々はそれぞれの色彩に同調させる。もし３個の光弁
が一つの色だけに同調すると、転向ミラーの背後のスト
ップの大きさを大きくして第２の回折次数の光を遮断す
る必要がある。
好ましい実施例を参照しつつ本発明を説明した。本明
細書を読んだだけで当業者であれば明らかになる改良又
は修正は、本出願の精神と範囲内のものであると思われ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルックス、ブライアン・イー アメリカ合衆国、カリフォルニア州 94024、ロス・アルトス・ヒルズ、マグ ダレナ・ロード 10321 (56)参考文献 特開 平４−251215（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−100537（ＪＰ，Ａ) 特表 平６−503682（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 27/54

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】光学システムにして、 a.光を発生させるための光源（300）と、 b.前記光源（300）からの光を受けるための光弁（314）
    にして、該光弁（314）は反射モード及び回折モードの
    各々で作動するよう選択的に構成可能な前記光弁（31
    4）と、 c.第１集束光路（304）中の前記光の第１部分を集束す
    る装置（302）と、 d.前記光の前記第１部分を前記第１集束光路を通して前
    記光弁（314）に向ける装置（312）と、 e.第２集束光路（324）中の前記光の第２部分を集束す
    る装置（322）と、及び f.前記光の前記第２部分を前記第２集束光路を通して前
    記光弁（314）に向ける装置（332）とから成り、 前記光の前記第１部分は前記第２集束光路を通して前記
    光源（300）に戻り、前記光の前記第２部分は反射モー
    ドにある前記第１集束光路（304）を通して前記光源（3
    00）に戻り、前記光の前記第１部分と第２部分の第１の
    回折次数の回折は回折モードにある前記光学システムか
    ら出てゆくことを特徴とする前記光学システム。
  2. 【請求項２】前記光弁（314）が回折光弁である請求項
    １の光学システム。
  3. 【請求項３】前記光弁（314）が格子光弁である請求項
    ２の光学システム。
  4. 【請求項４】入射角が第１の回折次数の回折角に等しい
    請求項２の光学システム。
  5. 【請求項５】前記光の前記第１部分を方向ずける装置
    （312）と前記光の前記第２部分を方向ずける装置（33
    2）が転向ミラーを含む請求項２の光学システム。
  6. 【請求項６】第２の回折次数の回折が前記転向ミラー
    （312、332）の一つによって遮断される請求項５の光学
    システム。
  7. 【請求項７】前記光弁（314）が反射モードに構成され
    ているとき前記転向ミラー（312、332）が、前記光源
    （300）から前記光弁（314）への光進行の単一反射面と
    なりかつ前記光弁（314）からの光進行の単一反射面と
    なる複数のサブミラー、を含み、前記光弁（314）が回
    折モードに構成されているとき前記光の前記第１部分と
    第２部分の奇数の回折次数の回折が前記光学システムか
    ら出てゆく請求項５の光学システム。
  8. 【請求項８】偶数の回折次数の回折が前記転向ミラー
    （312、332）の所定の一つによって遮断される請求項７
    の光学システム。
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WO (1) WO1996041224A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6900915B2 (en) 2001-11-14 2005-05-31 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US6947195B2 (en) 2001-01-18 2005-09-20 Ricoh Company, Ltd. Optical modulator, optical modulator manufacturing method, light information processing apparatus including optical modulator, image formation apparatus including optical modulator, and image projection and display apparatus including optical modulator
US7050217B2 (en) 2003-06-27 2006-05-23 Ricoh Company, Ltd. Method for driving light deflector, light deflector, light deflection array, image forming device, and image projection display apparatus
US7113321B2 (en) 2003-04-15 2006-09-26 Ricoh Company, Ltd. Optical deflection apparatus and manufacturing method thereof, optical deflection array, imaging apparatus, and image projection display apparatus

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6969635B2 (en) * 2000-12-07 2005-11-29 Reflectivity, Inc. Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates
DE69826950T2 (de) * 1997-09-05 2006-02-23 Sharp K.K. Dunkelfeld-Projektionsanzeigegerät
GB2329036A (en) * 1997-09-05 1999-03-10 Sharp Kk Optical system for redistributing optical extent and illumination source
US6072545A (en) * 1998-01-07 2000-06-06 Gribschaw; Franklin C. Video image rotating apparatus
US6220730B1 (en) 1998-07-01 2001-04-24 Light & Sound Design, Ltd. Illumination obscurement device
US6303986B1 (en) 1998-07-29 2001-10-16 Silicon Light Machines Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die
US6962419B2 (en) 1998-09-24 2005-11-08 Reflectivity, Inc Micromirror elements, package for the micromirror elements, and projection system therefor
US6501600B1 (en) 1999-08-11 2002-12-31 Lightconnect, Inc. Polarization independent grating modulator
US6674563B2 (en) 2000-04-13 2004-01-06 Lightconnect, Inc. Method and apparatus for device linearization
US6826330B1 (en) 1999-08-11 2004-11-30 Lightconnect, Inc. Dynamic spectral shaping for fiber-optic application
CN1188728C (zh) * 1999-09-29 2005-02-09 皇家菲利浦电子有限公司 图象投影系统
US6888983B2 (en) 2000-04-14 2005-05-03 Lightconnect, Inc. Dynamic gain and channel equalizers
EP1172681A3 (en) 2000-07-13 2004-06-09 Creo IL. Ltd. Blazed micro-mechanical light modulator and array thereof
US7300162B2 (en) * 2000-08-30 2007-11-27 Texas Instruments Incorporated Projection display
US6567584B2 (en) 2001-02-12 2003-05-20 Silicon Light Machines Illumination system for one-dimensional spatial light modulators employing multiple light sources
US6609798B1 (en) * 2001-02-28 2003-08-26 Tomislav F. Milinusic Digital light projection system
US6707591B2 (en) 2001-04-10 2004-03-16 Silicon Light Machines Angled illumination for a single order light modulator based projection system
US6747781B2 (en) 2001-06-25 2004-06-08 Silicon Light Machines, Inc. Method, apparatus, and diffuser for reducing laser speckle
US6782205B2 (en) 2001-06-25 2004-08-24 Silicon Light Machines Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing
US7023606B2 (en) * 2001-08-03 2006-04-04 Reflectivity, Inc Micromirror array for projection TV
US6639722B2 (en) 2001-08-15 2003-10-28 Silicon Light Machines Stress tuned blazed grating light valve
US6785001B2 (en) 2001-08-21 2004-08-31 Silicon Light Machines, Inc. Method and apparatus for measuring wavelength jitter of light signal
US6532097B1 (en) 2001-10-11 2003-03-11 Applied Materials, Inc. Image registration apparatus having an adjustable reflective diffraction grating and method
US6768588B2 (en) * 2001-11-02 2004-07-27 Microvision, Inc. Apparatus and methods for generating multiple exit-pupil images in an expanded exit pupil
US6800238B1 (en) 2002-01-15 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics
US6728023B1 (en) 2002-05-28 2004-04-27 Silicon Light Machines Optical device arrays with optimized image resolution
US6767751B2 (en) 2002-05-28 2004-07-27 Silicon Light Machines, Inc. Integrated driver process flow
US6822797B1 (en) 2002-05-31 2004-11-23 Silicon Light Machines, Inc. Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light
US6829258B1 (en) 2002-06-26 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Rapidly tunable external cavity laser
US6714337B1 (en) 2002-06-28 2004-03-30 Silicon Light Machines Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US6801354B1 (en) 2002-08-20 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses
US6712480B1 (en) 2002-09-27 2004-03-30 Silicon Light Machines Controlled curvature of stressed micro-structures
US7042622B2 (en) * 2003-10-30 2006-05-09 Reflectivity, Inc Micromirror and post arrangements on substrates
US6806997B1 (en) 2003-02-28 2004-10-19 Silicon Light Machines, Inc. Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction
US6829077B1 (en) 2003-02-28 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane
JP4400865B2 (ja) 2004-01-06 2010-01-20 株式会社リコー 光偏向装置
US7227618B1 (en) 2004-03-24 2007-06-05 Baokang Bi Pattern generating systems
US7339737B2 (en) 2004-04-23 2008-03-04 Microvision, Inc. Beam multiplier that can be used as an exit-pupil expander and related system and method
US7073909B2 (en) * 2004-07-29 2006-07-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical systems and methods
JP4290095B2 (ja) * 2004-08-16 2009-07-01 キヤノン株式会社 表示光学系および画像表示システム
DE102004060577B4 (de) * 2004-12-16 2010-08-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Schaltung und Verfahren zum Erzeugen eines Strompulses in einem Wellenleiter
CN1325946C (zh) * 2005-11-30 2007-07-11 中国科学院上海光学精密机械研究所 利用达曼光栅对产生多脉冲的装置
WO2008073449A2 (en) 2006-12-12 2008-06-19 Evans & Sutherland Computer Corporation System and method for aligning rgb light in a single modulator projector
US8358317B2 (en) 2008-05-23 2013-01-22 Evans & Sutherland Computer Corporation System and method for displaying a planar image on a curved surface
US8702248B1 (en) 2008-06-11 2014-04-22 Evans & Sutherland Computer Corporation Projection method for reducing interpixel gaps on a viewing surface
US8077378B1 (en) 2008-11-12 2011-12-13 Evans & Sutherland Computer Corporation Calibration system and method for light modulation device
US9641826B1 (en) 2011-10-06 2017-05-02 Evans & Sutherland Computer Corporation System and method for displaying distant 3-D stereo on a dome surface
JP2018163307A (ja) * 2017-03-27 2018-10-18 ソニー株式会社 画像表示装置、及び画像表示素子

Family Cites Families (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4093346A (en) * 1973-07-13 1978-06-06 Minolta Camera Kabushiki Kaisha Optical low pass filter
US3947105A (en) * 1973-09-21 1976-03-30 Technical Operations, Incorporated Production of colored designs
JPS5742849B2 (ja) * 1974-06-05 1982-09-10
US4017158A (en) * 1975-03-17 1977-04-12 E. I. Du Pont De Nemours And Company Spatial frequency carrier and process of preparing same
US4184700A (en) * 1975-11-17 1980-01-22 Lgz Landis & Gyr Zug Ag Documents embossed with optical markings representing genuineness information
CH595664A5 (ja) * 1975-11-17 1978-02-15 Landis & Gyr Ag
CH594495A5 (ja) * 1976-05-04 1978-01-13 Landis & Gyr Ag
US4139257A (en) * 1976-09-28 1979-02-13 Canon Kabushiki Kaisha Synchronizing signal generator
US4067129A (en) * 1976-10-28 1978-01-10 Trans-World Manufacturing Corporation Display apparatus having means for creating a spectral color effect
CH604279A5 (ja) * 1976-12-21 1978-08-31 Landis & Gyr Ag
CH616253A5 (ja) * 1977-06-21 1980-03-14 Landis & Gyr Ag
CH622896A5 (ja) * 1978-03-20 1981-04-30 Landis & Gyr Ag
US4440839A (en) * 1981-03-18 1984-04-03 United Technologies Corporation Method of forming laser diffraction grating for beam sampling device
US4408884A (en) * 1981-06-29 1983-10-11 Rca Corporation Optical measurements of fine line parameters in integrated circuit processes
US4492435A (en) * 1982-07-02 1985-01-08 Xerox Corporation Multiple array full width electro mechanical modulator
US4655539A (en) * 1983-04-18 1987-04-07 Aerodyne Products Corporation Hologram writing apparatus and method
CH661683A5 (de) * 1983-09-19 1987-08-14 Landis & Gyr Ag Einrichtung zum praegen von reliefmustern hoher aufloesung.
CH664030A5 (de) * 1984-07-06 1988-01-29 Landis & Gyr Ag Verfahren zur erzeugung eines makroskopischen flaechenmusters mit einer mikroskopischen struktur, insbesondere einer beugungsoptisch wirksamen struktur.
US4596992A (en) * 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US4751509A (en) * 1985-06-04 1988-06-14 Nec Corporation Light valve for use in a color display unit with a diffraction grating assembly included in the valve
US4856869A (en) * 1986-04-08 1989-08-15 Canon Kabushiki Kaisha Display element and observation apparatus having the same
US5155604A (en) * 1987-10-26 1992-10-13 Van Leer Metallized Products (Usa) Limited Coated paper sheet embossed with a diffraction or holographic pattern
DE3866230D1 (de) * 1988-03-03 1991-12-19 Landis & Gyr Betriebs Ag Dokument.
JPH01296214A (ja) * 1988-05-25 1989-11-29 Canon Inc 表示装置
JP2585717B2 (ja) * 1988-06-03 1997-02-26 キヤノン株式会社 表示装置
JPH01306886A (ja) * 1988-06-03 1989-12-11 Canon Inc 体積位相型回折格子
US5058992A (en) * 1988-09-07 1991-10-22 Toppan Printing Co., Ltd. Method for producing a display with a diffraction grating pattern and a display produced by the method
DE58906429D1 (de) * 1988-09-30 1994-01-27 Landis & Gyr Business Support Beugungselement.
US4915463A (en) * 1988-10-18 1990-04-10 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Multilayer diffraction grating
DE59003860D1 (de) * 1989-09-04 1994-01-27 Gretag Ag Beleuchtungsvorrichtung für Projektionszwecke.
JP2508387B2 (ja) * 1989-10-16 1996-06-19 凸版印刷株式会社 回折格子パタ―ンを有するディスプレイの作製方法
US5291317A (en) * 1990-07-12 1994-03-01 Applied Holographics Corporation Holographic diffraction grating patterns and methods for creating the same
CA2060057C (en) * 1991-01-29 1997-12-16 Susumu Takahashi Display having diffraction grating pattern
WO1993009472A1 (de) * 1991-10-30 1993-05-13 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Belichtungsvorrichtung
US5231388A (en) * 1991-12-17 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Color display system using spatial light modulators
US5311360A (en) * 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
US5347433A (en) * 1992-06-11 1994-09-13 Sedlmayr Steven R Collimated beam of light and systems and methods for implementation thereof

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7166486B2 (en) 2001-01-18 2007-01-23 Ricoh Company, Ltd. Optical modulator, optical modulator manufacturing method, light information processing apparatus including optical modulator, image formation apparatus including optical modulator, and image projection and display apparatus including optical modulator
US6947195B2 (en) 2001-01-18 2005-09-20 Ricoh Company, Ltd. Optical modulator, optical modulator manufacturing method, light information processing apparatus including optical modulator, image formation apparatus including optical modulator, and image projection and display apparatus including optical modulator
US7064878B2 (en) 2001-11-14 2006-06-20 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US6900915B2 (en) 2001-11-14 2005-05-31 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US7099060B2 (en) 2001-11-14 2006-08-29 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US7215452B2 (en) 2001-11-14 2007-05-08 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US7333256B2 (en) 2001-11-14 2008-02-19 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US7342702B2 (en) 2001-11-14 2008-03-11 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US7457019B2 (en) 2001-11-14 2008-11-25 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US7538923B2 (en) 2001-11-14 2009-05-26 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US7697179B2 (en) 2001-11-14 2010-04-13 Ricoh Company, Ltd. Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror
US7113321B2 (en) 2003-04-15 2006-09-26 Ricoh Company, Ltd. Optical deflection apparatus and manufacturing method thereof, optical deflection array, imaging apparatus, and image projection display apparatus
US7050217B2 (en) 2003-06-27 2006-05-23 Ricoh Company, Ltd. Method for driving light deflector, light deflector, light deflection array, image forming device, and image projection display apparatus
US7391551B2 (en) 2003-06-27 2008-06-24 Ricoh Company, Ltd. Method for driving light deflector, light deflector, light deflection array, image forming device, and image projection display apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
CN1072363C (zh) 2001-10-03
US5629801A (en) 1997-05-13
DE69612554D1 (de) 2001-05-23
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ATE200712T1 (de) 2001-05-15
AU5981096A (en) 1996-12-30
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JPH10510373A (ja) 1998-10-06
WO1996041224A1 (en) 1996-12-19
EP0830628B1 (en) 2001-04-18
KR100285510B1 (ko) 2001-04-02
NO975694L (no) 1998-02-06
EP0830628A1 (en) 1998-03-25

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