DE69612554T2 - Beugungsgittersystem mit verdoppelter lichtsammlung - Google Patents

Beugungsgittersystem mit verdoppelter lichtsammlung

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Description

    Gebiet der Erfindung
  • Diese Erfindung betrifft das Gebiet optischer Systeme. Insbesondere betrifft diese Erfindung ein System, das die Menge verwendbaren Lichts, das von einem reflektierenden Lichtventilsystem gesammelt wird, erhöht. Das Licht wird mittels Systemen von mehreren sphärischen Spiegeln und Kondensorlinsen unter Zuhilfenahme eines Drehspiegelsystems, das den Winkelabstand der Drehspiegel an den Ablenkwinkel des Lichtventils anpaßt, gesammelt.
    • Hintergrund der Erfindung
  • In einem Lichtventilsystem ist es von besonderer Wichtigkeit, einen maximalen Anteil des von der Quelle verfügbaren Lichts zu sammeln, um die Effizienz des Systems zu maximieren und ein im Hinblick auf die Kosten effizientes Design zu erhalten. Die Kosten von Präzisionslichtquellen, beispielsweise für Anzeigesysteme, steigen dramatisch mit der Lichtstromintensität. Lichtventilsysteme können in durchlässige und reflektierende Systeme eingeteilt werden.
  • In einem typischen durchlässigen System wird ein Sammelspiegel verwendet, um Licht zu sammeln und es durch das Ventil zu senden. Gibt es nur einen Sammelreflektor, wird nur von einer Seite der Quelle Licht gesammelt. Von Sammelreflektoren gesammeltes Licht hat einen niedrigen Kollimationsgrad. Trotzdem sammelt ein typisches durchlässiges Lichtventilsystem Licht mit Sammelreflektoren. Derartige durchlässige Systeme können über 55% des von der Quelle abgestrahlten Lichts sammeln.
  • Bei reflektierenden Lichtventilsystemen sind die Anforderungen, was die Lichtkollimation betrifft, strenger, und typische Systeme verwenden zum Sammeln von Licht Kondensorlinsen, die für eine wesentlich bessere Kollimation sorgen. Ein typisches reflektierendes Lichtventilsystem verwendet sowohl einen sphärischen Spiegel, als auch eine Kondensorlinse oder ein Kondensorlinsensystera, so daß von zwei Seiten der Quelle Licht gesammelt wird. Die Effizienz derartiger Systeme ist jedoch niedrig. Beispielsweise sammelt ein F/.72-Kondensorlinsensystem mit einem rückseitigen Reflektor nur 18% des abgestrahlten Lichts.
  • Fig. 1 stellt eine typische lichtbeugende Lichtventilanordnung dar, bei der die Quelle auf einen Drehspiegel abgebildet wird. Von einer Lichtquelle 100, wie etwa einer Glühlampe, wird Licht in alle Richtungen abgestrahlt. Licht, welches auf einen sphärischen Spiegel 102 trifft, wird gesammelt, zur Quelle 100 zurückgelenkt und passiert diese. In ähnlicher Weise wird auch Licht, das die Quelle 100 verläßt und auf ein Kondensorsystem 104 auftrifft, gesammelt und fokussiert. Bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform ist der Kondensor 104 ein aus Linsen zusammengesetztes System. Es ist für einen Fachmann ersichtlich, daß andere Arten von Linsensystemen verwendet werden können, um die Funktion der Lichtbündelung zu erfüllen. Das durch den Spiegel 102 gesammelte Licht tritt ebenfalls, nachdem es die Quelle 100 passiert hat, in den Kondensor 104 ein. Licht, welches weder auf den Spiegel 102, noch auf den Kondensor 104 auftrifft, geht verloren. Diese verschwendete Strahlung begründet den Effizienzverlust des Systems.
  • Der Kondensor 104 bildet das Licht der Quelle 100 auf einen reflektierenden Drehspiegel 106 ab. Der Drehspiegel 106 reflektiert das Licht auf ein reflektierendes Lichtventil 108. Bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform ist zwischen dem Drehspiegel 106 und dem Ventil 108 eine Schlierenlinse 110 angeordnet.
  • Bei dieser Ausführungsform ist das Ventil 108 ein Beugungsgitterlichtventil. Das Ventil ist wahlweise so einstellbar, daß es entweder reflektierend oder lichtbeugend ist. Beispiele einer derartigen Vorrichtung finden sich im US-Patent 5,311,360, das am 10. Mai 1994 für Bloom et al. erteilt wurde, sowie in den gleichzeitig mit dieser Anmeldung eingereichten und gleichzeitig anhängigen US-Patentanmeldungen mit der Anmeldenummer 08/482,188 und dem Titel "FLAT DIFFRACTION GRÄTING LIGHT VALVE", welches hiermit eingereicht wird, und in der gleichzeitig mit dieser Anmeldung eingereichten und gleichzeitig anhängigen US-Patentanmeldung mit der Anmeldenummer 08/480,459 und dem Titel "A METHOD OF MAKING AND AN APPARATUS FOR A FLAT DIFFRACTION GRÄTING LIGHT VALVE", welches hiermit eingereicht wird. Bei der reflektierenden Einstellung wird das Licht, das auf das Ventil 108 auftrifft, spiegelnd durch die Linse 110 zu dem Drehspiegel 106 zurückreflektiert, und von diesem durch den Kondensor 104 zur Quelle.
  • Wenn das Ventil lichtbeugend ist, ist der Beugungswinkel als Funktion der Periode des Beugungsgitters bekannt und berechenbar. Bei der beugenden Einstellung ist das System so eingestellt, daß das abgelenkte Licht am Drehspiegel vorbeiläuft und in die Projektionsoptik 112 eintritt. Es ist wohlbekannt, daß Licht in einen Winkel θ der ersten Ordnung und auch in Vielfache von θ gebeugt wird. Licht, welches das Ventil 108 in den Winkeln der zweiten und dritten Ordnung verläßt, wird durch die Pupillenmaske (Blende) 114 abgeblockt. Auf diese Weise wird in der Projektionsoptik 112 das gewünschte Licht der ersten Ordnung bereitgestellt.
  • Es ist notwendig, daß der Ablenkwinkel des Lichtventils größer als der auf dem Drehspiegel von dem Bild der Quelle eingenommene Winkel ist, um sämtliches abgelenktes Licht zu sammeln. Bei großen Quellen ist dies nicht immer möglich, ohne daß die Helligkeit beeinträchtigt wird. Dies schränkt die maximale Vergrößerung der Quelle auf dem Drehspiegel ein oder macht alternative Techniken zum Maximieren der Helligkeit erforderlich. Diese Probleme treten verstärkt bei Lichtventilen auf, die Licht in kleinen Winkeln ablenken.
  • Das Eidaphor ist der älteste reflektierende Lichtventilprojektor mit hoher Helligkeit. Das Eidaphor verwendet einen verformbaren Ölfilm auf einem sphärischen Spiegel, der mittels eines Elektronenstrahls beeinflußt wird. Bei dieser Beeinflussung wird die lokal ebene Oberfläche des Films sinusförmig, und zwar mit einer Periode von 40 um. Die Größe der auf den Drehspiegel auftreffenden Quelle muß gering sein. Um kleine Drehspiegelabmessungen zu erhalten und dennoch die Helligkeit weiter zu maximieren, werden mehrere Drehspiegel verwendet. Das Licht wird nur in einer Dimension und Richtung zum Lenken auf die mehreren Drehspiegel gesammelt. Licht von einer Quelle wird in einer Dimension mittels eines Kondensorlinsensystems gesammelt. Das das Linsensystem in einer Richtung verlassende Licht trifft auf mehrere Drehspiegel auf. Durch die Verwendung mehrerer Drehspiegel wird die effektive Größe der Drehspiegel, betrachtet man sie aus Sicht der Quelle zusammen, erhöht. Entsprechend erlauben es die kleineren Drehspiegel, daß Moden höherer Ordnung des gebeugten Lichts an den Spiegeln vorbeigehen. Das von den Drehspiegeln reflektierte Licht läuft durch einen Teiler, um auf den farbspezifischen verfortnbaren Ölfilmen/Reflektoren aufzutreffen. Drei Ölfilme/Reflektoren werden verwendet, um die rote, grüne und blaue Farbe zu entwickeln. Zwischen dem Teiler und den Ölfilmen/Reflektoren wird ein Linsensystem verwendet. Wenn das Licht reflektiert wird, kehrt es zur Quelle zurück. Wenn das Licht gebeugt wird, läuft es an den Drehspiegeln vorbei und dann weiter zur Projektionsoptik. Wie bei der Ausführungsform aus Fig. 1 wird ein bedeutender Teil des von der Quelle erzeugten Lichts verschwendet und tritt niemals in das System ein oder trifft auf das Ventil auf.
  • Dieses System hat bei einem Beugungslichtventil, das einen kleinen Teil von unerwünschtem Licht in die zweite Ordnung beugt, den Nachteil, daß Licht der zweiten Ordnung in den Dunkelzustand gebeugt wird. Dies stellt einen Vorteil für das Eidaphor dar, weil dessen Dunkelzustand kein Licht in höhere Ordnungen beugt.
  • Die WO 93/09472 A1 offenbart eine Belichtungsvorrichtung für einen Projektor zum Aufdrucken von Oberflächenstrukturen auf eine ebene Oberfläche wie etwa einen Halbleiterwafer. Die Vorrichtung hat eine Lichtquelle, von der Licht auf einen halbdurchlässigen Spiegel fokussiert wird, welcher das Licht auf einen Oberflächenlichtmodulator lenkt, der aus Matrixelementen gebildet ist. Die Oberflächenlichtmodulatorelemente reflektieren das Licht, wenn sie nicht angesteuert (nicht adressiert) werden, und sie beugen das Licht, wenn sie angesteuert werden. Eine Filtervorrichtung (z. B. der Spiegel) filtert gebeugtes Licht heraus und läßt von dem Oberflächenlichtmodulator reflektiertes Licht zu einem Projektionsobjektiv hin durch. Somit trifft Licht von den angesteuerten Elementen des Oberflächenlichtmodulators auf der zu belichtenden Struktur auf.
  • Die EP 0 417 039 A1 lehrt es, Licht aus der Umgebung einer Quelle in vier verschiedenen Bereichen zu sammeln, um für eine im wesentlichen gleichmäßige Beleuchtung einer Ausgangsblende zu sorgen. Jedes der vier Sammelsysteme hat einen Lichtkondensor, der Licht zu einem von vier ersten ebenen Drehspiegeln leitet. Die vier Sammelsysteme sind symmetrisch um die Lichtquelle um eine Hauptachse des Systems herum angeordnet. Jeder der vier ersten Drehspiegel ist um zwei Achsen justierbar. Licht von den vier ersten Drehspiegeln wird zu vier zweiten Drehspiegelsegmenten gesandt, welche ebenfalls um zwei Achsen justierbar sind. Das Licht von jedem der vier zweiten Drehspiegel wird zu einem einzelnen ebenen dritten Drehspiegel gelenkt und von diesem zu einer Ausgangsblende, von der aus das Licht auf ein beliebiges Projektionssystem aus einer Vielzahl derselben, unter anderem auf ein Eidaphorsystem, auftreffen kann.
    • Zusammenfassung der Erfindung
  • Ein reflektierendes/beugendes Lichtventilsystem sammelt Licht von mehreren Richtungen um eine einzelne Lichtquelle herum. Aus dieser Mehrzahl von Sammelrichtungen wird das Licht so gelenkt, daß es auf das Ventil von verschiedenen Richtungen her auftrifft. Wenn das Ventil so eingestellt ist, daß es reflektierend ist, kehrt das Licht zur Quelle zurück. Wenn das Ventil andererseits so eingestellt ist, daß es lichtbeugend ist, wird Licht ungeradzahliger Beugungsordnung für jede der Sammelrichtungen von dem Ventil ausgesandt, wodurch die Effizienz des Systems stark erhöht wird.
    • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1 zeigt ein schematisches Schaubild eines ersten optischen Systems für ein Beugungslichtventilsystem des Standes der Technik.
  • Fig. 2 zeigt ein schematisches Schaubild des optischen Systems für ein reflektierendes Lichtventilsystem gemäß der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung eines Teils des optischen Systems der vorliegenden Erfindung, wenn das Ventil so eingestellt ist, daß es reflektierend ist.
  • Fig. 4 zeigt eine schematische Darstellung eines Teils des optischen Systems der vorliegenden Erfindung, wenn das Ventil so eingestellt ist, daß es lichtbeugend ist.
    • Ausführliche Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform
  • Die bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung findet sich in einem Anzeigesystem, welches einen auf Beugung basierenden Lichtmodulator verwendet. In diesem System umfaßt das Lichtventil eine ansteuerbare Reihe von reflektierenden Bandstrukturen, die oberhalb eines Substrats hängen. Der Vorgang des Ansteuerns der Elemente der Reihe bewirkt, daß sich die Bänder wahlweise zu dem Substrat hin bewegen. Die Größe der Auslenkung beträgt ¹/&sub4; der mittleren Wellenlänge des Spektrums des einfallenden Lichts. Wenn die Bänder aktiviert sind, bilden sie ein Beugungsgitter und verhalten sich in üblicher Weise. Wenn sie nicht aktiviert sind, befinden sie sich praktisch in der Ebene des durchgehenden Reflektors und wirken wie ein glatter reflektierender Spiegel.
  • Fig. 2 zeigt ein schematisches Schaubild des optischen Systems der vorliegenden Erfindung. Eine einzelne Lichtquelle 300 erzeugt Licht, das sich in alle Richtungen ausbreitet. Von einer Lichtquelle 300, wie etwa einer Glühlampe, wird Licht in alle Richtungen abgestrahlt. Licht, das auf einen ersten sphärischen Spiegel 302 auftrifft, wird gesammelt, zur Quelle 300 zurückgelenkt, und es passiert diese (läuft an dieser vorbei). In ähnlicher Weise wird auch Licht, das die Quelle 300 verläßt und auf ein erstes Kondensorsystem 304 auftrifft, gesammelt, kollimiert und auf einen Drehspiegel abgebildet. Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform ist der Kondensor 304 ein aus Linsen zusammengesetztes System mit einer ersten Linse 306 zum Kollimieren des Lichts, einem Drehspiegel 308 zum Umlenken des Lichts und einer zweiten Linse 310 zum Abbilden der Quelle 300 auf einen nachfolgenden Drehspiegel 312. Es ist einem Fachmann ersichtlich, daß andere Arten von Linsensystemen verwendet werden können, um die Funktion der Lichtbündelung auszuüben. Das von dem Spiegel 302 gesammelte Licht tritt nach dem Passieren der Quelle 300 ebenfalls in den Kondensor 304 ein.
  • Der Kondensor 304 bildet seinen Teil des von der Quelle 300 herrührenden Lichts auf einen reflektierenden Drehspiegel 312 ab. Der Drehspiegel 312 reflektiert das Licht auf ein reflektierendes Lichtventil 314. Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform ist zwischen dem Drehspiegel 312 und dem Ventil 314 eine Schlierenlinse 316 angeordnet.
  • Bei Fig. 1 geht Licht, das weder auf den Spiegel, noch auf den Kondensor auftrifft, verloren. Diese verschwendete Strahlung begründet den Effizienzverlust des Systems. Das System gemäß der vorliegenden Erfindung stellt zwei weitere Sammelvorrichtungen bereit, um die Effizienz des Systems zu erhöhen. Diese zusätzlichen Sammelvorrichtungen sammeln Licht, das sonst verschwendet werden würde. Nun wieder zur Beschreibung von Fig. 2: Es ist leicht ersichtlich, daß der zweite Sammelpfad ein Spiegelbild des ersten Sammelpfades ist. Jeder dieser beiden Sammelpfade sammelt Licht in jeweils zwei Richtungen.
  • In dem zweiten Sammelpfad wird von einem zweiten spährischen Spiegel 322 Licht gesammelt, zur Quelle 300 zurückgelenkt, und es passiert diese. In ähnlicher Weise wird auch Licht, das die Quelle 300 verläßt und auf ein erstes Kondensorsystem 324 auftrifft, gesammelt, kollimiert und auf einen Drehspiegel abgebildet. Der Kondensor 324 ist ein aus Linsen zusammengesetztes System mit einer ersten Linse 326 zum Kollimieren des Lichts, einem Drehspiegel 328 zum Umlenken des Lichts und einer zweiten Linse 330 zum Abbilden der Quelle 300 auf einen nachfolgenden Drehspiegel 332. Das von dem Spiegel 322 gesammelte Licht tritt nach dem Passieren der Quelle 300 ebenfalls in den Kondensor 324 ein. Der Kondensor 324 bildet seinen Teil des von der Quelle 300 herrührenden Lichts auf einen reflektierenden Drehspiegel 332 ab. Der Drehspiegel 332 reflektiert das Licht, nachdem es die Schlierenlinse 316 durchlaufen hat, auf das reflektierende Lichtventil 314. Eine Pupillenmaske (Blende) 334 ist vorgesehen, um unerwünschtes Licht höherer Ordnung abzublocken.
  • Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung der Drehspiegel 312, 332, des Ventils 314 und der Pupillenmaske 334 aus Fig. 2. Die Schlierenlinse 316 wurde aus der Zeichnung entfernt, um die Erfindung nicht durch zusätzliche Details zu verdecken. In Fig. 3 ist das Ventil so eingestellt, daß es reflektierend ist. Licht, das beispielsweise von dem ersten Sammelpfad her auf den ersten Drehspiegel 312 auftrifft, wird reflektiert, so daß es auf das Ventil 314 auftrifft. Im reflektierenden Zustand arbeitet das Ventil 314 als reflektierender Spiegel. Entsprechend verläßt das Licht das Ventil 314 im selben Winkel, in dem es ankommt, trifft auf den zweiten Drehspiegel auf und kehrt über den zweiten Sammelpfad zur Quelle zurück. Da die beiden Sammelpfade identisch sind, wird das Licht, das von dem zweiten Sammelpfad her auf dem zweiten Drehspiegel 332 auftrifft, ebenfalls an dem Ventil 314 zum ersten Drehspiegel 312 hin reflektiert, und von diesem zur Quelle zurück. Kein Licht verläßt das System.
  • Fig. 4 zeigt dieselben Bauteile wie Fig. 3, nur daß das Ventil 314 so eingestellt ist, daß es das Licht beugt. In wohlbekannter Weise beugt das Ventil 314 das Licht in Winkeln von θ. Das gewünschte Licht der ersten Ordnung, das in einen Winkel der ersten Ordnung von +/- θ gebeugt wird, läuft an beiden Seiten des Drehspiegels 312 vorbei. Dieses Licht wird durch die Projektionsoptik 336 (Fig. 2) gesammelt.
  • Das unerwünschte Licht zweiter Ordnung, das in einen Winkel von +2θ gebeugt wird, trifft auf den zweiten Drehspiegel 332 auf und kehrt zur Quelle zurück. Das Licht zweiter Ordnung im Winkel -2θ trifft wie gezeigt auf die Pupillenmaske 334 auf. Die Hälfte des Lichts dritter Ordnung verläßt das System, und die Hälfte davon wird durch die Pupillenmaske abgeblockt. Auch das unerwünschte Licht der vierten Ordnung und höherer Ordnungen im Winkel +/-4θ, +/-5θ ... trifft auf die Pupillenmaske 334 auf. Spiegelbilder dieser Lichtpfade stellen Licht aus dem zweiten Sammelpfad für die Projektionsoptik bereit. Im zweiten Pfad wird nur Licht der ersten Ordnung gesammelt.
  • Es ist möglich, die Drehspiegel in zwei oder mehr Unterspiegel aufzuteilen. Diese Unter-Drehspiegel können so angeordnet werden, daß sie gegenüber vom ersten bzw. zweiten Kondensor herkommenden Licht als einzige durchgängige reflektierende Oberfläche erscheinen. Diese Unterspiegel können auch längs einer anderen Achse voneinander beabstandet sein, um gegenüber vom Ventil 314 gebeugten Licht als durchbrochene Struktur zu erscheinen. Die Unterspiegel können praktisch so angeordnet werden, daß sie gebeugtes Licht der ersten, dritten, fünften und weiterer ungeradzahliger Ordnungen durchlassen und gleichzeitig die zweite, vierte, sechste und weitere geradzahlige Ordnungen abblocken.
  • Der Aufbau des Systems ergibt sich wie folgt: Der Beugungswinkel des Lichtventils ist durch die Gleichung
  • sin (θd) = λ/Δ,
  • wobei θd der Winkel des gebeugten Lichts, λ die Wellenlänge des Lichts und Λ die Gitterperiode des Lichtventils ist. In einem horizontalen Abstand f von der Schlierenlinse und in vertikalen Abständen von h = f sin (θd) oberhalb und unterhalb einer senkrecht zum Lichtventil verlaufenden Linie sind Drehspiegel angeordnet. Aus Symmetriegründen wirkt jeder Drehspiegel als Blockade für das von dem anderen Drehspiegel reflektierte Licht. Wenn das Ventil im "Ein"-Zustand ist, wird Licht von der 0-ten Ordnung in Moden höherer Ordnung gebeugt, Licht der ersten und dritten Ordnung wird zwischen die Drehspiegel und um diese herum gebeugt, Licht zweiter Ordnung wird aber durch die Drehspiegel abgeblockt oder trifft nicht auf die Projektionslinsen auf. Die Kontrastverhältnisse werden dadurch verbessert, daß die Drehspiegel kleiner gestaltet werden und Licht um sie herum abgeblockt wird. Beim Farbbetrieb können drei Lichtventile verwendet werden, um rotes, grünes und blaues Licht zu beugen. Um eine maximale Helligkeit zu erzielen, kann jedes der Lichtventile auf eine jeweilige Farbe abgestimmt sein. Wenn die drei Lichtventile nur auf eine Farbe abgestimmt sind, muß die Größe der Abfangeinrichtungen hinter den Drehspiegeln erhöht werden, um das Licht zweiter Ordnung abzublocken.
  • Die vorliegende Erfindung wurde unter Bezug auf eine bevorzugte Ausführungsform beschrieben. Verbesserungen und Abwandlungen, die einem Fachmann nur nach dem Lesen dieser Offenbarung ersichtlich werden, werden als unter den Grundgedanken und in den Bereich der Anmeldung fallend angesehen.

Claims (7)

1. Optisches System, mit:
a. einer Lichtquelle (300) zum Erzeugen von Licht;
b. einem Lichtventil (314) zum Empfangen von Licht von der Lichtquelle (300), wobei das Lichtventil (314) wahlweise so einstellbar ist, daß es sowohl in einer Reflexionsbetriebsart als auch einer Beugungsbetriebsart arbeitet;
c. einer Einrichtung (302) zum Sammeln eines ersten Teils des Lichts in einem ersten Sammelpfad (304);
d. einer Einrichtung (312) zum Lenken des ersten Teils des Lichts über den ersten Sammelpfad zu dem Lichtventil (314);
gekennzeichnet durch
e. eine Einrichtung (322) zum Sammeln eines zweiten Teils des Lichts in einem zweiten Sammelpfad (324); und
f. eine Einrichtung (332) zum Lenken des zweiten Teils des Lichts über den zweiten Sammelpfad zu dem Lichtventil (314);
wobei die Einrichtungen (312, 332) zum Lenken der ersten und zweiten Teile des Lichts zu dem Lichtventil in dem System derart angeordnet sind, daß in der Reflexionsbetriebsart der erste Teil des Lichts über den zweiten Pfad (324) zur Lichtquelle (300) zurückkehrt und der zweite Teil des Lichts über den ersten Pfad (304) zur Lichtquelle zurückkehrt, und daß in der Beugungsbetriebsart erste Beugungsordnungen des ersten Teils und des zweiten Teils des Lichts das System verlassen.
2. Optisches System nach Anspruch 1, bei dem das Lichtventil (314) ein Gitterlichtventil ist.
3. Optisches System nach Anspruch 1, bei dem ein Einfallswinkel von mindestens einer der Einrichtungen (312, 332) zum Lenken des ersten und zweiten Teils des Lichts zum Lichtventil gleich einem Winkel der ersten Beugungsordnung ist.
4. Optisches System nach Anspruch 1, bei dem die Einrichtung (312) zum Lenken des ersten Teils des Lichts und die Einrichtung (332) zum Lenken des zweiten Teils des Lichts Drehspiegel umfassen.
5. Optisches System nach Anspruch 4, bei dem durch einen der Drehspiegel (312, 332) eine zweite Beugungsordnung abgeblockt wird.
6. Optisches System nach Anspruch 4, bei dem die Drehspiegel (312, 332) eine Mehrzahl von Unterspiegeln umfassen, die, wenn das Lichtventil (314) in der Reflexionsbetriebsart eingestellt ist, gegenüber von der Quelle (300) zu dem Lichtventil (314) laufendem Licht als einzelne reflektierende Oberfläche erscheinen und gegenüber von der Lichtquelle (314) herkommendem Licht als einzelne reflektierende Oberfläche erscheinen, und bei dem, wenn das Lichtventil (314) in der Beugungsbetriebsart eingestellt ist, ungeradzahlige Beugungsordnungen des ersten Teils und des zweiten Teils des Lichts das System verlassen.
7. Optisches System nach Anspruch 6, bei dem eine geradzahlige Beugungsordnung durch einen vorbestimmten Drehspiegel der Drehspiegel (312, 332) abgeblockt wird.
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