JP2940219B2 - 磁気シールドルーム - Google Patents
磁気シールドルームInfo
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- JP2940219B2 JP2940219B2 JP3115654A JP11565491A JP2940219B2 JP 2940219 B2 JP2940219 B2 JP 2940219B2 JP 3115654 A JP3115654 A JP 3115654A JP 11565491 A JP11565491 A JP 11565491A JP 2940219 B2 JP2940219 B2 JP 2940219B2
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- JP
- Japan
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- magnetic
- magnetic shield
- shield
- shielding material
- shield room
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- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は外部から磁束の侵入を防
止するための磁気シールドルームに係わり、特にその磁
気遮蔽材を多層構造にした磁気シールドルームに関す
る。
止するための磁気シールドルームに係わり、特にその磁
気遮蔽材を多層構造にした磁気シールドルームに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体の製造や検査に使用され
る装置のなかで、電子ビームを用いる装置は、該装置の
周囲に磁束があると、それにより電子ビームが曲げられ
加工に歪が生じたり、あるいは検査画像が変形したりす
る。
る装置のなかで、電子ビームを用いる装置は、該装置の
周囲に磁束があると、それにより電子ビームが曲げられ
加工に歪が生じたり、あるいは検査画像が変形したりす
る。
【０００３】これを防止するため、装置を許容磁束密度
以上の環境で使用しなければならない場合、透磁率の高
い磁気遮蔽材で周囲を囲った磁気シールドルームの中に
設置する必要がある。
以上の環境で使用しなければならない場合、透磁率の高
い磁気遮蔽材で周囲を囲った磁気シールドルームの中に
設置する必要がある。
【０００４】この磁気シールドルームの遮蔽効果は、磁
気遮蔽材の透磁率が高い程良くなると考えられるが、一
方その中を通過する磁束の数も増加するので、磁気飽和
を起こし易くなる。磁気遮蔽材が磁気飽和を起こすと急
速に透磁率が減少するので、磁気遮蔽効果もそれに応じ
て低下する現象が起きる。
気遮蔽材の透磁率が高い程良くなると考えられるが、一
方その中を通過する磁束の数も増加するので、磁気飽和
を起こし易くなる。磁気遮蔽材が磁気飽和を起こすと急
速に透磁率が減少するので、磁気遮蔽効果もそれに応じ
て低下する現象が起きる。
【０００５】これは磁束遮蔽材のＢ−Ｈ特性の非線型性
によるものであるが、一般にパーマロイ等高透磁率の材
料程、飽和磁束密度のレベルが低く、磁気飽和によるシ
ールド効果低下を生じ易かった。
によるものであるが、一般にパーマロイ等高透磁率の材
料程、飽和磁束密度のレベルが低く、磁気飽和によるシ
ールド効果低下を生じ易かった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】これを防止するため、
従来にあっては、使用される磁場環境に応じて、磁気遮
蔽材の厚さを一体的に大きくすることで磁束の通過する
断面積を拡げ、磁束密度を下げて対処しているが、これ
では材料費の高騰を招くという問題があった。しかも、
シールドルームの角の部分では磁束の分布が均一になら
ず、内側に密集するので、シールド効果の低下し易いと
ころが生じていた。
従来にあっては、使用される磁場環境に応じて、磁気遮
蔽材の厚さを一体的に大きくすることで磁束の通過する
断面積を拡げ、磁束密度を下げて対処しているが、これ
では材料費の高騰を招くという問題があった。しかも、
シールドルームの角の部分では磁束の分布が均一になら
ず、内側に密集するので、シールド効果の低下し易いと
ころが生じていた。
【０００７】本発明の目的は上述した問題に鑑みなされ
たもので、安価な構造で、しかも磁気飽和によるシール
ド効果の低下が起きにくい磁気シールドルームを提供す
るにある。
たもので、安価な構造で、しかも磁気飽和によるシール
ド効果の低下が起きにくい磁気シールドルームを提供す
るにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明は、外部からの磁束の侵入を防止するために透
磁率が大きい外側磁気遮蔽材から成る面で囲まれた磁気
シールドルームにおいて、この磁気シールドルームの内
側の角の部分だけに前記外側磁気遮蔽材よりも透磁率が
小さい内側角磁気遮蔽材を配設したものである。
に本発明は、外部からの磁束の侵入を防止するために透
磁率が大きい外側磁気遮蔽材から成る面で囲まれた磁気
シールドルームにおいて、この磁気シールドルームの内
側の角の部分だけに前記外側磁気遮蔽材よりも透磁率が
小さい内側角磁気遮蔽材を配設したものである。
【０００９】
【作用】このような本発明によれば、シールド効果の多
くは高透磁率の外側磁気遮蔽材にて実現されるが、内側
の特に角の部分に集中してくる磁束は内側磁気遮蔽材に
も分担されるので、外側磁気遮蔽材における磁束密度の
値を低減でき、磁気飽和を起こしにくくできる。したが
って、シールド効果の低下を極力防止できる。また、従
来の一種類の磁気遮蔽材を用いてその厚さを一体的に大
きくした場合に比べて、安価な構造にできる。
くは高透磁率の外側磁気遮蔽材にて実現されるが、内側
の特に角の部分に集中してくる磁束は内側磁気遮蔽材に
も分担されるので、外側磁気遮蔽材における磁束密度の
値を低減でき、磁気飽和を起こしにくくできる。したが
って、シールド効果の低下を極力防止できる。また、従
来の一種類の磁気遮蔽材を用いてその厚さを一体的に大
きくした場合に比べて、安価な構造にできる。
【００１０】
【実施例】以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細
を説明する。
を説明する。
【００１１】図１は本発明に係わる磁気シールドルーム
の実施例を示す断面図である。本磁気シールドルームの
周囲の面は、外側磁気遮蔽材６で構成されており、その
内側の角の部分だけに前記外側磁気遮蔽材よりも透磁率
が小さい内側角磁気遮蔽材７を配設してある。外側磁気
遮蔽材６として例えば飽和磁気密度が数千ガウスと低い
が、高透磁率の磁気遮蔽材であるパーマロイを採用し、
かつ内側角磁気遮蔽材７として例えば飽和磁気密度が１
万ガウス以上であるＦｅ系電磁鋼板を採用した構造とし
ている。
の実施例を示す断面図である。本磁気シールドルームの
周囲の面は、外側磁気遮蔽材６で構成されており、その
内側の角の部分だけに前記外側磁気遮蔽材よりも透磁率
が小さい内側角磁気遮蔽材７を配設してある。外側磁気
遮蔽材６として例えば飽和磁気密度が数千ガウスと低い
が、高透磁率の磁気遮蔽材であるパーマロイを採用し、
かつ内側角磁気遮蔽材７として例えば飽和磁気密度が１
万ガウス以上であるＦｅ系電磁鋼板を採用した構造とし
ている。
【００１２】以上のような構成においてシールド効果の
多くは高透磁率の外側磁気遮蔽材６によって分担されて
いるが、角の部分において内側に集中してくる磁束は内
側角磁気遮蔽材７にも分担される。したがって、外側磁
気遮蔽材６における磁束密度の値を低減でき、磁気飽和
を起こしにくくできる。また、磁気遮蔽材を同質のもの
で一体的に厚く形成した構造に比べて、材料費を安価に
できる。
多くは高透磁率の外側磁気遮蔽材６によって分担されて
いるが、角の部分において内側に集中してくる磁束は内
側角磁気遮蔽材７にも分担される。したがって、外側磁
気遮蔽材６における磁束密度の値を低減でき、磁気飽和
を起こしにくくできる。また、磁気遮蔽材を同質のもの
で一体的に厚く形成した構造に比べて、材料費を安価に
できる。
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、内
側の特に角の部分に集中してくる磁束は内側磁気遮蔽材
にも分担されるので、外側磁気遮蔽材における磁束密度
の値を低減でき、磁気飽和を起こしにくくできる。した
がって、従来のものに比べて安価な構造で、シールド効
果の低下がない磁気シールドルームを提供することがで
きる。
側の特に角の部分に集中してくる磁束は内側磁気遮蔽材
にも分担されるので、外側磁気遮蔽材における磁束密度
の値を低減でき、磁気飽和を起こしにくくできる。した
がって、従来のものに比べて安価な構造で、シールド効
果の低下がない磁気シールドルームを提供することがで
きる。
【図１】本発明に係わる磁気シールドルームの実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
６ 外側磁気遮蔽材 ７ 内側角磁気遮蔽材
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H05K 9/00
Claims (1)
- 【請求項１】 外部からの磁束の侵入を防止するために
透磁率が大きい外側磁気遮蔽材から成る面で囲まれた磁
気シールドルームにおいて、この磁気シールドルームの
内側の角の部分だけに前記外側磁気遮蔽材よりも透磁率
が小さい内側角磁気遮蔽材を配設したことを特徴とする
磁気シールドルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3115654A JP2940219B2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 磁気シールドルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3115654A JP2940219B2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 磁気シールドルーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05327263A JPH05327263A (ja) | 1993-12-10 |
| JP2940219B2 true JP2940219B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=14667998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3115654A Expired - Fee Related JP2940219B2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 磁気シールドルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2940219B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5104024B2 (ja) * | 2007-05-16 | 2012-12-19 | 横河電機株式会社 | 磁気シールド装置 |
| JP6056153B2 (ja) | 2011-04-04 | 2017-01-11 | セイコーエプソン株式会社 | 磁気シールド、プログラムおよび選定方法 |
| JP6536544B2 (ja) * | 2016-06-15 | 2019-07-03 | 株式会社デンソー | 電流センサ |
| US10746821B2 (en) | 2016-06-15 | 2020-08-18 | Denso Corporation | Current sensor |
| WO2017217267A1 (ja) * | 2016-06-15 | 2017-12-21 | 株式会社デンソー | 電流センサ |
| JP6536553B2 (ja) * | 2016-12-12 | 2019-07-03 | 株式会社デンソー | 電流センサ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62203399A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-08 | 富士電機株式会社 | 均一磁場マグネット設置室の磁気シ−ルド装置 |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP3115654A patent/JP2940219B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05327263A (ja) | 1993-12-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |