JP2924261B2 - 狭帯域エキシマレーザ装置 - Google Patents
狭帯域エキシマレーザ装置Info
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- JP2924261B2 JP2924261B2 JP3082155A JP8215591A JP2924261B2 JP 2924261 B2 JP2924261 B2 JP 2924261B2 JP 3082155 A JP3082155 A JP 3082155A JP 8215591 A JP8215591 A JP 8215591A JP 2924261 B2 JP2924261 B2 JP 2924261B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、狭帯域エキシマレーザ
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の狭帯域エキシマレーザ装置につい
ては、１９８４年、７月発行の「カナディアン・ジャー
ナル・オブ・フィジックス（ＣＡＮＡＤＩＡＮ ＪＯＵ
ＲＮＡＬ ＯＦ ＰＨＹＳＩＣＳ）」第６３巻、２１４
頁から２１９頁に掲載されている文献に詳細に記述され
ている。この文献に記載されている従来の狭帯域エキシ
マレーザ装置を図３に示す。
ては、１９８４年、７月発行の「カナディアン・ジャー
ナル・オブ・フィジックス（ＣＡＮＡＤＩＡＮ ＪＯＵ
ＲＮＡＬ ＯＦ ＰＨＹＳＩＣＳ）」第６３巻、２１４
頁から２１９頁に掲載されている文献に詳細に記述され
ている。この文献に記載されている従来の狭帯域エキシ
マレーザ装置を図３に示す。
【０００３】この狭帯域エキシマレーザ装置は、レーザ
光が励起されるレーザ媒質１３、レーザ光を狭帯域化す
るための分散素子１４、レーザ光を発振させるための出
射鏡１１と全反射鏡１２からなる共振器、第１のアパー
チャ２１、第２のアパーチャ２２を有しており、図示の
如く配置している。
光が励起されるレーザ媒質１３、レーザ光を狭帯域化す
るための分散素子１４、レーザ光を発振させるための出
射鏡１１と全反射鏡１２からなる共振器、第１のアパー
チャ２１、第２のアパーチャ２２を有しており、図示の
如く配置している。
【０００４】この狭帯域エキシマレーザにおいては、レ
ーザ媒質１３中で励起されたレーザ光が、分散素子１４
に入射することにより分散され、全反射鏡１２により折
り返され再び分散素子１４、レーザ媒質１３を通過し、
出射鏡１１よりレーザ光が出射する。ここで共振器内
に、第１のアパーチャ２１と第２のアパーチャ２２が挿
入されているので、分散素子１４により分散されたレー
ザ光の不要な成分が取り除かれ、スペクトル幅の狭いレ
ーザ光を得ることができる。
ーザ媒質１３中で励起されたレーザ光が、分散素子１４
に入射することにより分散され、全反射鏡１２により折
り返され再び分散素子１４、レーザ媒質１３を通過し、
出射鏡１１よりレーザ光が出射する。ここで共振器内
に、第１のアパーチャ２１と第２のアパーチャ２２が挿
入されているので、分散素子１４により分散されたレー
ザ光の不要な成分が取り除かれ、スペクトル幅の狭いレ
ーザ光を得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の狭帯
域エキシマレーザ装置では、スペクトル幅の狭いレーザ
光を取り出すために、レーザ光が励起されるレーザ媒質
に対し、より小さな開口を持つアパーチャを挿入してあ
るために、アパーチャにより隠れた部分に注入されたエ
ネルギが無駄になってしまい、効率よくレーザ光を取り
出すことが難しいという欠点があった。
域エキシマレーザ装置では、スペクトル幅の狭いレーザ
光を取り出すために、レーザ光が励起されるレーザ媒質
に対し、より小さな開口を持つアパーチャを挿入してあ
るために、アパーチャにより隠れた部分に注入されたエ
ネルギが無駄になってしまい、効率よくレーザ光を取り
出すことが難しいという欠点があった。
【０００６】本発明の目的は、注入されたエネルギを無
駄にすることなく、レーザ光のスペクトルを狭帯域化で
き、効率よくレーザ光を取り出すことができる狭帯域エ
キシマレーザ装置を提供することにある。
駄にすることなく、レーザ光のスペクトルを狭帯域化で
き、効率よくレーザ光を取り出すことができる狭帯域エ
キシマレーザ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による狭帯域エキ
シマレーザ装置は、その一つは、レーザ光が励起される
レーザ媒質、レーザ光を発振させるための出射鏡と全反
射鏡からなる共振器、及び前記共振器内にレーザ光を複
数本に分割するためのビーム分割器とレーザ光を狭帯域
化するための分散素子を有し、前記ビーム分割器と前記
分散素子間に分割されたレーザ光と同数個の開口を有す
るアパーチャ対とを配置したことを特徴とする。
シマレーザ装置は、その一つは、レーザ光が励起される
レーザ媒質、レーザ光を発振させるための出射鏡と全反
射鏡からなる共振器、及び前記共振器内にレーザ光を複
数本に分割するためのビーム分割器とレーザ光を狭帯域
化するための分散素子を有し、前記ビーム分割器と前記
分散素子間に分割されたレーザ光と同数個の開口を有す
るアパーチャ対とを配置したことを特徴とする。
【０００８】もう一つの狭帯域エキシマレーザ装置は、
上記の構成において、前記全反射鏡に複数個の全反射鏡
を用いたことを特徴とする。
上記の構成において、前記全反射鏡に複数個の全反射鏡
を用いたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明による狭帯域エキシマレーザにおいて
は、レーザ媒質中で励起されたレーザ光が、ビーム分割
器により複数本に分割された後、分割されたレーザ光と
同数個の開口を有するアパーチャ対を通し、分散素子に
入射し、全反射鏡で折り返されることにより、再び分散
素子、アパーチャ対、レーザ媒質を通過し出射鏡より出
射する。ここで、ビーム分割器によりレーザ光が分割さ
れ、それぞれのレーザ光がアパーチャを通過するので、
レーザ媒質中に注入されたエネルギを無駄にすることな
く、分散素子により分散されたそれぞれのレーザ光の不
要な成分が取り除かれ、スペクトル幅の狭いレーザ光を
得ることができる。
は、レーザ媒質中で励起されたレーザ光が、ビーム分割
器により複数本に分割された後、分割されたレーザ光と
同数個の開口を有するアパーチャ対を通し、分散素子に
入射し、全反射鏡で折り返されることにより、再び分散
素子、アパーチャ対、レーザ媒質を通過し出射鏡より出
射する。ここで、ビーム分割器によりレーザ光が分割さ
れ、それぞれのレーザ光がアパーチャを通過するので、
レーザ媒質中に注入されたエネルギを無駄にすることな
く、分散素子により分散されたそれぞれのレーザ光の不
要な成分が取り除かれ、スペクトル幅の狭いレーザ光を
得ることができる。
【００１０】また、全反射鏡として、複数個の全反射鏡
を用いた本発明の狭帯域エキシマレーザ装置において
は、複数個の全反射鏡の角度を変化させることにより、
複数の波長を持つスペクトル幅の狭いレーザ光を得るこ
とができる。
を用いた本発明の狭帯域エキシマレーザ装置において
は、複数個の全反射鏡の角度を変化させることにより、
複数の波長を持つスペクトル幅の狭いレーザ光を得るこ
とができる。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。
【００１２】図１は、請求項１に記載の発明（以下第１
の発明）の狭帯域エキシマレーザ装置の一実施例であ
る。
の発明）の狭帯域エキシマレーザ装置の一実施例であ
る。
【００１３】図２は、請求項２に記載の発明（以下第２
の発明）の狭帯域エキシマレーザ装置の一実施例であ
る。
の発明）の狭帯域エキシマレーザ装置の一実施例であ
る。
【００１４】図１に示した第１の発明を用いた狭帯域エ
キシマレーザ装置は、レーザ光が励起されるレーザ媒質
１３、レーザ光を発振させるための出射鏡１１と全反射
鏡１２からなる共振器、及び前記共振器内にレーザ光を
複数本に分割するためのビーム分割器１６とレーザ光を
狭帯域化するための分散素子１４、分割されたレーザ光
と同数個の開口を有するアバーチャ対１５から構成され
る。配置は図示の如くである。
キシマレーザ装置は、レーザ光が励起されるレーザ媒質
１３、レーザ光を発振させるための出射鏡１１と全反射
鏡１２からなる共振器、及び前記共振器内にレーザ光を
複数本に分割するためのビーム分割器１６とレーザ光を
狭帯域化するための分散素子１４、分割されたレーザ光
と同数個の開口を有するアバーチャ対１５から構成され
る。配置は図示の如くである。
【００１５】この第１の発明による狭帯域エキシマレー
ザにおいては、レーザ媒質１３中で励起されたレーザ光
が、ビーム分割器１６により複数本に分割された後、分
割されたレーザ光と同数個の開口を有するアパーチャ対
１５を通し、分散素子１４に入射し、全反射鏡１２で折
り返されることにより、再び分散素子１４、アパーチャ
対１５、ビーム分散器１６、レーザ媒質１３を通過し出
射鏡１１により出射する。ここで、ビーム分割器１６に
よりレーザ光が分割され、それぞれのレーザ光がアパー
チャ対１５を通過するので、レーザ媒質１３中に注入さ
れたエネルギを無駄にすることなく、分散素子１４によ
り分散されたそれぞれのレーザ光の不要な成分が取り除
かれ、スペクトル幅の狭いレーザ光を得ることができ
る。
ザにおいては、レーザ媒質１３中で励起されたレーザ光
が、ビーム分割器１６により複数本に分割された後、分
割されたレーザ光と同数個の開口を有するアパーチャ対
１５を通し、分散素子１４に入射し、全反射鏡１２で折
り返されることにより、再び分散素子１４、アパーチャ
対１５、ビーム分散器１６、レーザ媒質１３を通過し出
射鏡１１により出射する。ここで、ビーム分割器１６に
よりレーザ光が分割され、それぞれのレーザ光がアパー
チャ対１５を通過するので、レーザ媒質１３中に注入さ
れたエネルギを無駄にすることなく、分散素子１４によ
り分散されたそれぞれのレーザ光の不要な成分が取り除
かれ、スペクトル幅の狭いレーザ光を得ることができ
る。
【００１６】図２に示した第２の発明を用いた狭帯域エ
キシマレーザ装置では、レーザ光が励起されるレーザ媒
質１３、レーザ光を発振させるための出射鏡１１と複数
個の全反射鏡１７からなる共振器、及び前記共振器内に
レーザ光を複数本に分割するためのビーム分割器１６と
レーザ光を狭帯域化するための分散素子１４、分割され
たレーザ光と同数個の開口を有するアパーチャ対１５を
図示の如く配置して構成される。
キシマレーザ装置では、レーザ光が励起されるレーザ媒
質１３、レーザ光を発振させるための出射鏡１１と複数
個の全反射鏡１７からなる共振器、及び前記共振器内に
レーザ光を複数本に分割するためのビーム分割器１６と
レーザ光を狭帯域化するための分散素子１４、分割され
たレーザ光と同数個の開口を有するアパーチャ対１５を
図示の如く配置して構成される。
【００１７】この第２の発明による狭帯域エキシマレー
ザ装置においては、レーザ媒質１３中で励起されたレー
ザ光が、ビーム分割器１６により複数本に分割された
後、分割されたレーザ光と同数個の開口を有するアパー
チャ対１５を通し、分散素子１４に入射し、複数個の全
反射鏡１７で折り返されることにより、再び分散素子１
４、アパーチャ対１５、ビーム分割器１６、レーザ媒質
１３を通過し出射鏡１１により出射する。ここで、複数
個の全反射鏡１７を用いているので、各々の全反射鏡の
角度を変化させることにより、複数の波長を持つスペク
トル幅の狭いレーザ光を得ることができる。
ザ装置においては、レーザ媒質１３中で励起されたレー
ザ光が、ビーム分割器１６により複数本に分割された
後、分割されたレーザ光と同数個の開口を有するアパー
チャ対１５を通し、分散素子１４に入射し、複数個の全
反射鏡１７で折り返されることにより、再び分散素子１
４、アパーチャ対１５、ビーム分割器１６、レーザ媒質
１３を通過し出射鏡１１により出射する。ここで、複数
個の全反射鏡１７を用いているので、各々の全反射鏡の
角度を変化させることにより、複数の波長を持つスペク
トル幅の狭いレーザ光を得ることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ア
パーチャを挿入したことによるエネルギの無駄がなくス
ペクトル幅の狭いレーザ光を取り出すことができるの
で、効率よい狭帯域レーザ光が得られる狭帯域エキシマ
レーザ装置を提供できる。
パーチャを挿入したことによるエネルギの無駄がなくス
ペクトル幅の狭いレーザ光を取り出すことができるの
で、効率よい狭帯域レーザ光が得られる狭帯域エキシマ
レーザ装置を提供できる。
【図１】第１の発明の狭帯域エキシマレーザ装置の一実
施例を示す図。
施例を示す図。
【図２】第２の発明の狭帯域エキシマレーザ装置の一実
施例を示す図。
施例を示す図。
【図３】従来の狭帯域エキシマレーザ装置を示す図。
１１ 出射鏡 １２ 全反射鏡 １３ レーザ媒質 １４ 分散素子 １５ アパーチャ対 １６ ビーム分割器 １７ 複数個の全反射鏡
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ光を発振させるための出射鏡と全
反射鏡からなる共振器、前記共振器内にあってレーザ光
が励起されるレーザ媒質、及び前記共振器内にレーザ光
を複数本に分割するためのビーム分割器とレーザ光を狭
帯域化するための分散素子を有し、前記ビーム分割器と
前記分散素子間に分割されたレーザ光と同数個の開口を
有するアパーチャ対を配置したことを特徴とする狭帯域
エキシマレーザ装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の狭帯域エキシマレーザ装
置において、前記全反射鏡に複数個の全反射鏡を用いた
ことを特徴とする狭帯域エキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3082155A JP2924261B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 狭帯域エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3082155A JP2924261B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 狭帯域エキシマレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04315485A JPH04315485A (ja) | 1992-11-06 |
| JP2924261B2 true JP2924261B2 (ja) | 1999-07-26 |
Family
ID=13766549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3082155A Expired - Fee Related JP2924261B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 狭帯域エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2924261B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7154928B2 (en) * | 2004-06-23 | 2006-12-26 | Cymer Inc. | Laser output beam wavefront splitter for bandwidth spectrum control |
-
1991
- 1991-04-15 JP JP3082155A patent/JP2924261B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04315485A (ja) | 1992-11-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990406 |
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