JPH05102587A - 狭帯域エキシマレーザ装置 - Google Patents
狭帯域エキシマレーザ装置Info
- Publication number
- JPH05102587A JPH05102587A JP25898591A JP25898591A JPH05102587A JP H05102587 A JPH05102587 A JP H05102587A JP 25898591 A JP25898591 A JP 25898591A JP 25898591 A JP25898591 A JP 25898591A JP H05102587 A JPH05102587 A JP H05102587A
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- Japan
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- etalon
- laser
- laser light
- total reflection
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】レーザ光のスペクトルの狭帯域幅を変えること
なく、分散素子の個数を低減する。 【構成】レーザ光が、エタロン１８を通過し、全反射鏡
６で折り返され再びエタロン１８を通過し、全反射鏡１
７で折り返され、再度エタロン１８を通過する過程を繰
り返し、多数回エタロン８を通過した後に全反射鏡１２
にて折り返し、再びエタロン１８で多数回通過し、レー
ザ媒質１３を通過し出射鏡１１により出射する。ここ
で、エタロン１８，全反射鏡１６，１７における入射角
はすべて等しく、零ではない値である。この結果、全反
射鏡１６，１７によりレーザ光が折り返されレーザ光が
多数回エタロン１８を通過するので、エタロン１８と同
性能のエタロンを、エタロン１８におけるレーザ光の通
過回数の半数と等しい個数で用いた従来方法と同じスペ
クトル幅のレーザ光を得ることができる。
なく、分散素子の個数を低減する。 【構成】レーザ光が、エタロン１８を通過し、全反射鏡
６で折り返され再びエタロン１８を通過し、全反射鏡１
７で折り返され、再度エタロン１８を通過する過程を繰
り返し、多数回エタロン８を通過した後に全反射鏡１２
にて折り返し、再びエタロン１８で多数回通過し、レー
ザ媒質１３を通過し出射鏡１１により出射する。ここ
で、エタロン１８，全反射鏡１６，１７における入射角
はすべて等しく、零ではない値である。この結果、全反
射鏡１６，１７によりレーザ光が折り返されレーザ光が
多数回エタロン１８を通過するので、エタロン１８と同
性能のエタロンを、エタロン１８におけるレーザ光の通
過回数の半数と等しい個数で用いた従来方法と同じスペ
クトル幅のレーザ光を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、狭帯域エキシマレーザ
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の狭帯域エキシマレーザ装置につい
ては、１９８４年、７月発行の「カナディアン・ジャー
ナル・オブ・フィジックス（ＣＡＮＡＤＩＡＮ ＪＯＵ
ＲＮＡＬ ＯＦ ＰＨＹＳＩＣＳ）」第６３巻、２１４
頁から２１９頁に掲載されている文献に詳細に記述され
ている。この文献に記載されている従来の狭帯域エキシ
マレーザ装置を図３に示す。
ては、１９８４年、７月発行の「カナディアン・ジャー
ナル・オブ・フィジックス（ＣＡＮＡＤＩＡＮ ＪＯＵ
ＲＮＡＬ ＯＦ ＰＨＹＳＩＣＳ）」第６３巻、２１４
頁から２１９頁に掲載されている文献に詳細に記述され
ている。この文献に記載されている従来の狭帯域エキシ
マレーザ装置を図３に示す。
【０００３】この狭帯域エキシマレーザ装置は、レーザ
光が励起されるレーザ媒質１３、レーザ光を狭帯域化す
るための分散素子１４、レーザ光を発振させるための出
射鏡１１と全反射鏡１２からなる共振器、２枚のアパー
チャ１５を有しており、図示の如く配置している。
光が励起されるレーザ媒質１３、レーザ光を狭帯域化す
るための分散素子１４、レーザ光を発振させるための出
射鏡１１と全反射鏡１２からなる共振器、２枚のアパー
チャ１５を有しており、図示の如く配置している。
【０００４】この狭帯域エキシマレーザにおいては、レ
ーザ媒質１３中で励起されレーザ光が、分散素子１４に
入射することにより分散され、全反射鏡１２により折り
返され再び分散素子１４、レーザ媒質１３を通過し、出
射鏡１１よりレーザ光が出射する。ここで共振器内に、
アパーチャ１５が挿入されているので、分散素子１４に
より分散されたレーザ光の不要な成分が取り除かれ、ス
ペクトル幅の狭いレーザ光を得ることができる。
ーザ媒質１３中で励起されレーザ光が、分散素子１４に
入射することにより分散され、全反射鏡１２により折り
返され再び分散素子１４、レーザ媒質１３を通過し、出
射鏡１１よりレーザ光が出射する。ここで共振器内に、
アパーチャ１５が挿入されているので、分散素子１４に
より分散されたレーザ光の不要な成分が取り除かれ、ス
ペクトル幅の狭いレーザ光を得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の狭帯
域エキシマレーザ装置では、スペクトル幅の狭いレーザ
光を取り出すために、分散素子を多数配置する必要があ
り、分散素子の個数に従って装置が大きくなる問題があ
った。
域エキシマレーザ装置では、スペクトル幅の狭いレーザ
光を取り出すために、分散素子を多数配置する必要があ
り、分散素子の個数に従って装置が大きくなる問題があ
った。
【０００６】本発明の目的は、レーザ光のスペクトルの
狭帯域幅を変えることなく、分散素子の個数を低減でき
る狭帯域エキシマレーザ装置を提供することにある。
狭帯域幅を変えることなく、分散素子の個数を低減でき
る狭帯域エキシマレーザ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による狭帯域エキ
シマレーザ装置は、レーザ光を発振させるための共振
器、前記共振器内にあってレーザ光が励起されるレーザ
媒質、及び前記共振器内にレーザ光を狭帯域化するため
の分散素子と、前記分散素子を挟む２枚の全反射鏡を有
し、前記レーザ媒質からのレーザ光が前記分散素子を多
数回通過して再び前記レーザ媒質へもどるようにするこ
とを特徴とする。
シマレーザ装置は、レーザ光を発振させるための共振
器、前記共振器内にあってレーザ光が励起されるレーザ
媒質、及び前記共振器内にレーザ光を狭帯域化するため
の分散素子と、前記分散素子を挟む２枚の全反射鏡を有
し、前記レーザ媒質からのレーザ光が前記分散素子を多
数回通過して再び前記レーザ媒質へもどるようにするこ
とを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明による狭帯域エキシマレーザにおいて
は、レーザ媒質中で励起されたレーザ光が、分散素子に
入射し、全反射鏡で折り返され、再び分散素子に入射
し、更に別の全反射鏡で折り返され分散素子に再入射す
る過程を繰り返し、同一の分散素子を多数回通過した
後、再びレーザ媒質を通過し出射鏡より出射する。ここ
で、分散素子を挟む２つの全反射鏡によりレーザ光が分
散素子を多数回通過するため、分散素子におけるレーザ
光の通過回数の半数と等しい個数の分散素子を用いた従
来方法と同じスペクトル幅のレーザ光を得ることができ
る。
は、レーザ媒質中で励起されたレーザ光が、分散素子に
入射し、全反射鏡で折り返され、再び分散素子に入射
し、更に別の全反射鏡で折り返され分散素子に再入射す
る過程を繰り返し、同一の分散素子を多数回通過した
後、再びレーザ媒質を通過し出射鏡より出射する。ここ
で、分散素子を挟む２つの全反射鏡によりレーザ光が分
散素子を多数回通過するため、分散素子におけるレーザ
光の通過回数の半数と等しい個数の分散素子を用いた従
来方法と同じスペクトル幅のレーザ光を得ることができ
る。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。
【００１０】図１，２は、本発明の狭帯域エキシマレー
ザ装置の一実施例を説明するための図である。
ザ装置の一実施例を説明するための図である。
【００１１】図１に示した本発明を用いた狭帯域エキシ
マレーザ装置は、レーザ光が励起されるレーザ媒質１
３、レーザ光を発振させるための出射鏡１１と全反射１
２からなる共振器、及び前記共振器内にレーザ光を狭帯
域化するための分散素子のエタロン１８とレーザ光が分
散素子を多数回通過するようにエタロン１８の反射面に
平行でエタロン１８を挟んで配置した全反射鏡対１６，
１７から構成される。配置は図示の如くである。
マレーザ装置は、レーザ光が励起されるレーザ媒質１
３、レーザ光を発振させるための出射鏡１１と全反射１
２からなる共振器、及び前記共振器内にレーザ光を狭帯
域化するための分散素子のエタロン１８とレーザ光が分
散素子を多数回通過するようにエタロン１８の反射面に
平行でエタロン１８を挟んで配置した全反射鏡対１６，
１７から構成される。配置は図示の如くである。
【００１２】この発明による狭帯域エキシマレーザにお
いては、レーザ媒質１３中で励起されたレーザ光が、エ
タロン１８に入射し、全反射鏡１６にて折り返されるこ
とにより、再びエタロン１８に入射し、全反射鏡１７に
て折り返され、再度エタロン１８に入射する過程を繰り
返し、多数回エタロン１８を通過した後に全反射鏡１２
にて折り返し、再びエタロン１８を多数回通過し、レー
ザ媒質１３を通過し出射鏡１１により出射する。ここ
で、エタロン１８，全反射鏡１６，１７における入射角
はすべて等しく、零ではない値である。この結果、全反
射鏡１６，１７によりレーザ光が折り返されレーザ光が
多数回エタロン１８を通過するので、エタロン１８と同
性能のエタロンを、エタロン１８におけるレーザ光の通
過回数の半数と等しい個数で用いた従来方法と同じスペ
クトル幅のレーザ光を得ることができる。
いては、レーザ媒質１３中で励起されたレーザ光が、エ
タロン１８に入射し、全反射鏡１６にて折り返されるこ
とにより、再びエタロン１８に入射し、全反射鏡１７に
て折り返され、再度エタロン１８に入射する過程を繰り
返し、多数回エタロン１８を通過した後に全反射鏡１２
にて折り返し、再びエタロン１８を多数回通過し、レー
ザ媒質１３を通過し出射鏡１１により出射する。ここ
で、エタロン１８，全反射鏡１６，１７における入射角
はすべて等しく、零ではない値である。この結果、全反
射鏡１６，１７によりレーザ光が折り返されレーザ光が
多数回エタロン１８を通過するので、エタロン１８と同
性能のエタロンを、エタロン１８におけるレーザ光の通
過回数の半数と等しい個数で用いた従来方法と同じスペ
クトル幅のレーザ光を得ることができる。
【００１３】図２に示した本発明を用いた狭帯域エキシ
マレーザ装置は、レーザ光が励起されるレーザ媒質１
３、レーザ光を発振させるための出射鏡１１と全反射鏡
１２からなる共振器、及び前記共振器内にレーザ光を狭
帯域化するための分散素子のプリズム１９とレーザ光が
分散素子を多数回通過するようにプリズム１９の反射面
に平行でプリズム１９を挟んで配置した全反射鏡対１
６，１７，及び１対のアパーチャ１５から構成される。
配置は図示の如くである。
マレーザ装置は、レーザ光が励起されるレーザ媒質１
３、レーザ光を発振させるための出射鏡１１と全反射鏡
１２からなる共振器、及び前記共振器内にレーザ光を狭
帯域化するための分散素子のプリズム１９とレーザ光が
分散素子を多数回通過するようにプリズム１９の反射面
に平行でプリズム１９を挟んで配置した全反射鏡対１
６，１７，及び１対のアパーチャ１５から構成される。
配置は図示の如くである。
【００１４】この発明による狭帯域エキシマレーザにお
いては、レーザ媒質１３中で励起されたレーザ光が、ア
パーチャ１５を通しプリズム１９に入射し、全反射鏡１
６にて折り返されることにより、再びプリズム１９に入
射し、全反射鏡１７にて折り返され、再度プリズム１９
に入射する過程を繰り返し、多数回プリズム１９を通過
した後に全反射鏡１２にて折り返し、再びプリズム１９
を多数回通過し、アパーチャ１５，レーザ媒質１３を通
過し出射鏡１１により出射する。ここで、レーザ光のプ
リズムにおける入射角をθ3 とすると、次の関係が成り
立つように配置する。
いては、レーザ媒質１３中で励起されたレーザ光が、ア
パーチャ１５を通しプリズム１９に入射し、全反射鏡１
６にて折り返されることにより、再びプリズム１９に入
射し、全反射鏡１７にて折り返され、再度プリズム１９
に入射する過程を繰り返し、多数回プリズム１９を通過
した後に全反射鏡１２にて折り返し、再びプリズム１９
を多数回通過し、アパーチャ１５，レーザ媒質１３を通
過し出射鏡１１により出射する。ここで、レーザ光のプ
リズムにおける入射角をθ3 とすると、次の関係が成り
立つように配置する。
【００１５】 ０〈θ1 〈θ2 θ3 ＝（θ2 −θ1 ）／２ この結果、全反射鏡対１６，１７によりレーザ光が折り
返されレーザ光が多数回プリズム１９を通過するので、
プリズム１９と同性能のプリズムを、プリズム１９にお
けるレーザ光の通過回数の半数と等しい個数で用いた従
来方法と同じスペクトル幅のレーザ光を得ることができ
る。
返されレーザ光が多数回プリズム１９を通過するので、
プリズム１９と同性能のプリズムを、プリズム１９にお
けるレーザ光の通過回数の半数と等しい個数で用いた従
来方法と同じスペクトル幅のレーザ光を得ることができ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、１
つの分散素子で複数個の分散素子を用いた場合と同等の
性能を達成できるため、レーザ光のスペクトルの狭帯域
幅を変えることなく、分散素子の個数を低減できる狭帯
域エキシマレーザ装置を提供できる。
つの分散素子で複数個の分散素子を用いた場合と同等の
性能を達成できるため、レーザ光のスペクトルの狭帯域
幅を変えることなく、分散素子の個数を低減できる狭帯
域エキシマレーザ装置を提供できる。
【図１】本発明の狭帯域エキシマレーザ装置の一実施例
を示す図。
を示す図。
【図２】本発明の狭帯域エキシマレーザ装置の一実施例
を示す図。
を示す図。
【図３】従来の狭帯域エキシマレーザ装置を示す図。
１１ 出射鏡 １２ 全反射鏡 １３ レーザ媒質 １４ 分散素子 １５ アパーチャ １６ 全反射鏡 １７ 全反射鏡 １８ エタロン １９ プリズム
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光を発振させるための共振器、前
記共振器内にあってレーザ光が励起されるレーザ媒質、
及び前記共振器内にレーザ光を狭帯域化するための分散
素子と、前記分散素子を挟む２枚の全反射鏡を有し、前
記レーザ媒質からのレーザ光が前記分散素子を多数回通
過して再び前記レーザ媒質へもどるように分散素子及び
全反射鏡を配置したことを特徴とする狭帯域エキシマレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25898591A JPH05102587A (ja) | 1991-10-07 | 1991-10-07 | 狭帯域エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25898591A JPH05102587A (ja) | 1991-10-07 | 1991-10-07 | 狭帯域エキシマレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05102587A true JPH05102587A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17327754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25898591A Pending JPH05102587A (ja) | 1991-10-07 | 1991-10-07 | 狭帯域エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05102587A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1237308A2 (en) * | 2001-03-02 | 2002-09-04 | Fujitsu Limited | Apparatus for variable wavelength dispersion and wavelength dispersion slope |
| US6807335B2 (en) | 2001-07-25 | 2004-10-19 | Fujitsu Limited | Wavelength characteristic variable apparatus |
| EP1615066A1 (en) * | 2003-03-24 | 2006-01-11 | Japan Science and Technology Corporation | Optical frequency linear chirp variable unit |
-
1991
- 1991-10-07 JP JP25898591A patent/JPH05102587A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1237308A2 (en) * | 2001-03-02 | 2002-09-04 | Fujitsu Limited | Apparatus for variable wavelength dispersion and wavelength dispersion slope |
| EP1237308A3 (en) * | 2001-03-02 | 2004-09-08 | Fujitsu Limited | Apparatus for variable wavelength dispersion and wavelength dispersion slope |
| US6807335B2 (en) | 2001-07-25 | 2004-10-19 | Fujitsu Limited | Wavelength characteristic variable apparatus |
| EP1615066A1 (en) * | 2003-03-24 | 2006-01-11 | Japan Science and Technology Corporation | Optical frequency linear chirp variable unit |
| EP1615066A4 (en) * | 2003-03-24 | 2009-11-04 | Japan Science & Tech Corp | VARIABLE UNIT WITH LICH FREQUENCY LINEAR CHIRP |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980630 |