JP2903554B2 - マルチビーム光磁気ヘッド装置 - Google Patents
マルチビーム光磁気ヘッド装置Info
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- JP2903554B2 JP2903554B2 JP1222998A JP22299889A JP2903554B2 JP 2903554 B2 JP2903554 B2 JP 2903554B2 JP 1222998 A JP1222998 A JP 1222998A JP 22299889 A JP22299889 A JP 22299889A JP 2903554 B2 JP2903554 B2 JP 2903554B2
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- Japan
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- magneto
- light
- recording medium
- head device
- channel
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、複数の光ビームを利用して光磁気記録媒体
に情報の記録，再生，消去を行うマルチビーム光磁気ヘ
ッド装置に関するものである。
に情報の記録，再生，消去を行うマルチビーム光磁気ヘ
ッド装置に関するものである。
光磁気ディスク装置のデータ転送速度の向上を目的と
して、独立に制御が可能な複数の発光点を有する半導体
レーザアレイを光源に用いたマルチビーム光磁気ヘッド
装置が知られている。半導体レーザアレイから出射した
複数の光ビームを光磁気記録媒体に隣接するトラック上
に配置し、複数のチャンネルに対して並列に情報の記
録，再生，消去を行うことにより、データ転送速度の向
上が可能となる（例えばSPIE Vol.1078（1989）pp.98−
pp.104参照）。
して、独立に制御が可能な複数の発光点を有する半導体
レーザアレイを光源に用いたマルチビーム光磁気ヘッド
装置が知られている。半導体レーザアレイから出射した
複数の光ビームを光磁気記録媒体に隣接するトラック上
に配置し、複数のチャンネルに対して並列に情報の記
録，再生，消去を行うことにより、データ転送速度の向
上が可能となる（例えばSPIE Vol.1078（1989）pp.98−
pp.104参照）。
第３図に従来のマルチビーム光磁気ヘッド装置の構成
例を示す。独立に制御が可能な４個の発光点を有する半
導体レーザアレイ１からの４本の出射光は、コリメート
レンズ２で平行光化され、ビームスプリッタ3,4を透過
し、対物レンズ５で集光されて光磁気記録媒体６上に４
個の光スポットとして照射される。光磁気記録媒体６か
らの４本の反射光の一部はビームスプリッタ４で反射さ
れ、1/2波長板７を透過することにより偏光面が45度回
転し、偏光ビームスプリッタ８で直交する二つの偏光成
分である透過光と反射光に分離される。偏光ビームスプ
リッタ８の透過光および反射光は、それぞれ収束レンズ
9,10を透過したのち、光検出器アレイ11,12で各チャン
ネル毎に独立に受光される。光検出器アレイ11,12から
出力される二つの偏光成分に対する信号は、各チャンネ
ル毎に差動増幅器29〜32で差動増幅され、光磁気記録媒
体６に記録された４つのチャンネルの情報が同時に再生
される。
例を示す。独立に制御が可能な４個の発光点を有する半
導体レーザアレイ１からの４本の出射光は、コリメート
レンズ２で平行光化され、ビームスプリッタ3,4を透過
し、対物レンズ５で集光されて光磁気記録媒体６上に４
個の光スポットとして照射される。光磁気記録媒体６か
らの４本の反射光の一部はビームスプリッタ４で反射さ
れ、1/2波長板７を透過することにより偏光面が45度回
転し、偏光ビームスプリッタ８で直交する二つの偏光成
分である透過光と反射光に分離される。偏光ビームスプ
リッタ８の透過光および反射光は、それぞれ収束レンズ
9,10を透過したのち、光検出器アレイ11,12で各チャン
ネル毎に独立に受光される。光検出器アレイ11,12から
出力される二つの偏光成分に対する信号は、各チャンネ
ル毎に差動増幅器29〜32で差動増幅され、光磁気記録媒
体６に記録された４つのチャンネルの情報が同時に再生
される。
一方、光磁気記録媒体６からの４本の反射光の一部は
ビームスプリッタ４を透過してビームスプリッタ３で反
射され、収束レンズ13を透過したのちビームスプリッタ
14で二つに分割される。ビームスプリッタ14の反射光は
ナイフエッジ15を介して２分割光検出器アレイ16で受光
され、ナイフエッジ法の原理でフォーカスエラー信号が
検出される。また、ビームスプリッタ14の透過光は２分
割光検出器アレイ17で受光され、プッシュプル法の原理
でトラックエラー信号が検出される。
ビームスプリッタ４を透過してビームスプリッタ３で反
射され、収束レンズ13を透過したのちビームスプリッタ
14で二つに分割される。ビームスプリッタ14の反射光は
ナイフエッジ15を介して２分割光検出器アレイ16で受光
され、ナイフエッジ法の原理でフォーカスエラー信号が
検出される。また、ビームスプリッタ14の透過光は２分
割光検出器アレイ17で受光され、プッシュプル法の原理
でトラックエラー信号が検出される。
以上に述べた従来のマルチビーム光磁気ヘッド装置に
おいては、光磁気記録媒体に記録された情報を再生する
ために、光磁気記録媒体からの反射光を直交する二つの
偏光成分に分離して光検出器で受光したのち、光検出器
から出力される二つの偏光成分に対する信号を差動増幅
するという、いわゆる差動検出法を用いている。
おいては、光磁気記録媒体に記録された情報を再生する
ために、光磁気記録媒体からの反射光を直交する二つの
偏光成分に分離して光検出器で受光したのち、光検出器
から出力される二つの偏光成分に対する信号を差動増幅
するという、いわゆる差動検出法を用いている。
このような差動検出法は、光源である半導体レーザの
出力の変動や光磁気記録媒体の反射率の変動に伴って発
生する同相雑音を低減し、再生時のS/Nを向上させるの
に有効であり、通常の１ビームの光磁気ヘッド装置にお
いて一般に用いられている方法である。但し、差動検出
法において同相雑音の低減の効果を最大限に得るために
は、差動増幅器に入力される二つの信号のレベルを一致
させておく必要がある。
出力の変動や光磁気記録媒体の反射率の変動に伴って発
生する同相雑音を低減し、再生時のS/Nを向上させるの
に有効であり、通常の１ビームの光磁気ヘッド装置にお
いて一般に用いられている方法である。但し、差動検出
法において同相雑音の低減の効果を最大限に得るために
は、差動増幅器に入力される二つの信号のレベルを一致
させておく必要がある。
そこで第３図に示す従来例では、1/2波長板７を光軸
のまわりに回転させることにより光検出器アレイ11およ
び12で受光される直交する二つの偏光成分の光量の大小
関係が互いに変化することを利用して、光検出器アレイ
から出力される二つの偏光成分に対する信号のレベルが
一致するように1/2波長板７の回転調整を行っている。
のまわりに回転させることにより光検出器アレイ11およ
び12で受光される直交する二つの偏光成分の光量の大小
関係が互いに変化することを利用して、光検出器アレイ
から出力される二つの偏光成分に対する信号のレベルが
一致するように1/2波長板７の回転調整を行っている。
ところがこのような調整方法は、通常の１ビームの光
磁気ヘッド装置に対しては有効であるが、マルチビーム
光磁気ヘッド装置に適用する場合、光検出器アレイの受
光感度分布が各チャンネル毎に異なる、あるいは光学系
中で発生する迷光が光検出器アレイに入射することによ
る受光量の変化の様子が各チャンネル毎に異なる等の原
因により、差動増幅器に入力される二つの信号のレベル
があるチャンネルに対して等しくなるように調整を行う
と、他のチャンネルに対しては必ずしも等しくならない
という現象が起こる。
磁気ヘッド装置に対しては有効であるが、マルチビーム
光磁気ヘッド装置に適用する場合、光検出器アレイの受
光感度分布が各チャンネル毎に異なる、あるいは光学系
中で発生する迷光が光検出器アレイに入射することによ
る受光量の変化の様子が各チャンネル毎に異なる等の原
因により、差動増幅器に入力される二つの信号のレベル
があるチャンネルに対して等しくなるように調整を行う
と、他のチャンネルに対しては必ずしも等しくならない
という現象が起こる。
従って、差動検出法を用いることによる同相雑音の低
減の効果も、あるチャンネルに対しては最大限に得られ
るが他のチャンネルに対しては必ずしもそうではなくな
り、再生時のS/Nを全てのチャンネルに対して同時に確
保することができなくなるという課題がある。
減の効果も、あるチャンネルに対しては最大限に得られ
るが他のチャンネルに対しては必ずしもそうではなくな
り、再生時のS/Nを全てのチャンネルに対して同時に確
保することができなくなるという課題がある。
本発明の目的は、このような従来の課題を解決し、差
動検出法を用いることによる同相雑音の低減の効果が全
てのチャンネルに対して最大限に得られ、再生時のS/N
を全てのチャンネルに対して同時に確保することができ
るようなマルチビーム光磁気ヘッド装置を提供すること
にある。
動検出法を用いることによる同相雑音の低減の効果が全
てのチャンネルに対して最大限に得られ、再生時のS/N
を全てのチャンネルに対して同時に確保することができ
るようなマルチビーム光磁気ヘッド装置を提供すること
にある。
本発明は、独立に制御が可能な複数の発光点を有する
半導体レーザアレイと、この半導体レーザアレイからの
複数の出射光を光磁気記録媒体上に複数の光スポットと
して照射するための集光光学系と、前記光磁気記録媒体
からの複数の反射光のそれぞれを略直交する二つの偏光
成分に分離するための検出光学系と、前記複数の反射光
のそれぞれに対する二つの偏光成分を各チャンネル毎に
独立に受光するための光検出器アレイと、これら光検出
器アレイから出力される二つの偏光成分に対する信号を
各チャンネル毎に差動増幅するための複数の差動増幅器
を有し、前記光磁気記録媒体に記録された複数のチャン
ネルの情報を同時に再生することが可能なマルチビーム
光磁気ヘッド装置において、 前記光検出アレイと前記複数の差動増幅器の間に、該
差動増幅器に入力される二つの信号のレベルを全てのチ
ャンネルに対して同時に一致させるように、前記複数の
差動増幅器のそれぞれに入力される二つの信号の一方の
利得を他方の利得に対して相対的に変化させるための手
段を、各チャンネル毎に独立に設けたことを特徴とす
る。
半導体レーザアレイと、この半導体レーザアレイからの
複数の出射光を光磁気記録媒体上に複数の光スポットと
して照射するための集光光学系と、前記光磁気記録媒体
からの複数の反射光のそれぞれを略直交する二つの偏光
成分に分離するための検出光学系と、前記複数の反射光
のそれぞれに対する二つの偏光成分を各チャンネル毎に
独立に受光するための光検出器アレイと、これら光検出
器アレイから出力される二つの偏光成分に対する信号を
各チャンネル毎に差動増幅するための複数の差動増幅器
を有し、前記光磁気記録媒体に記録された複数のチャン
ネルの情報を同時に再生することが可能なマルチビーム
光磁気ヘッド装置において、 前記光検出アレイと前記複数の差動増幅器の間に、該
差動増幅器に入力される二つの信号のレベルを全てのチ
ャンネルに対して同時に一致させるように、前記複数の
差動増幅器のそれぞれに入力される二つの信号の一方の
利得を他方の利得に対して相対的に変化させるための手
段を、各チャンネル毎に独立に設けたことを特徴とす
る。
本発明のマルチビーム光磁気ヘッド装置においては、
光検出器アレイと複数の差動増幅器の間に、複数の差動
増幅器のそれぞれに入力される二つの信号の一方の利得
を他方の利得に対して相対的に変化させるための手段
が、各チャンネル毎に独立に設けられている。従って、
光学系のみの調整では差動増幅器に入力される二つの信
号のレベルを全てのチャンネルに対して同時に一致させ
ることができなくても、上記の手段を用いて各チャンネ
ル毎に独立に調整を行うことにより、差動増幅器に入力
される二つの信号のレベルを全てのチャンネルに対して
同時に一致させることができる。その結果、差動検出法
を用いることによる同相雑音の低減の効果が全てのチャ
ンネルに対して最大限に得られ、再生時のS/Nを全ての
チャンネルに対して同時に確保することができる。
光検出器アレイと複数の差動増幅器の間に、複数の差動
増幅器のそれぞれに入力される二つの信号の一方の利得
を他方の利得に対して相対的に変化させるための手段
が、各チャンネル毎に独立に設けられている。従って、
光学系のみの調整では差動増幅器に入力される二つの信
号のレベルを全てのチャンネルに対して同時に一致させ
ることができなくても、上記の手段を用いて各チャンネ
ル毎に独立に調整を行うことにより、差動増幅器に入力
される二つの信号のレベルを全てのチャンネルに対して
同時に一致させることができる。その結果、差動検出法
を用いることによる同相雑音の低減の効果が全てのチャ
ンネルに対して最大限に得られ、再生時のS/Nを全ての
チャンネルに対して同時に確保することができる。
以下に図面を参照して本発明の実施例につき詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明のマルチビーム光磁気ヘッド装置の第
一の実施例を示す図である。独立に制御が可能な４個の
発光点を有する半導体レーザアレイ１からの４本の出射
光は、コリメートレンズ２で平行光化され、ビームスプ
リッタ3,4を透過し、対物レンズ５で集光されて光磁気
記録媒体６上に４個の光スポットとして照射される。光
磁気記録媒体６からの４本の反射光の一部はビームスプ
リッタ４で反射され、1/2波長板７を透過することによ
り偏光面が45度回転し、偏光ビームスプリッタ８で直交
する二つの偏光成分である透過光と反射光に分離され
る。偏光ビームスプリッタ８の透過光および反射光は、
それぞれ収束レンズ9,10を透過したのち、光検出器アレ
イ11,12で各チャンネル毎に独立に受光される。
一の実施例を示す図である。独立に制御が可能な４個の
発光点を有する半導体レーザアレイ１からの４本の出射
光は、コリメートレンズ２で平行光化され、ビームスプ
リッタ3,4を透過し、対物レンズ５で集光されて光磁気
記録媒体６上に４個の光スポットとして照射される。光
磁気記録媒体６からの４本の反射光の一部はビームスプ
リッタ４で反射され、1/2波長板７を透過することによ
り偏光面が45度回転し、偏光ビームスプリッタ８で直交
する二つの偏光成分である透過光と反射光に分離され
る。偏光ビームスプリッタ８の透過光および反射光は、
それぞれ収束レンズ9,10を透過したのち、光検出器アレ
イ11,12で各チャンネル毎に独立に受光される。
光検出器アレイ11および12から出力される二つの偏光
成分に対する信号は、それぞれが各チャンネル毎に利得
を変化させることが可能な可変利得増幅器21〜24および
可変利得増幅器25〜28で増幅されたのち、差動増幅器29
〜32に入力される。可変利得増幅器21〜28の利得は、差
動増幅器29〜32のそれぞれに入力される二つの信号のレ
ベルが全てのチャンネルに対して同時に等しくなるよう
に、各チャンネル毎に独立に調整されている。差動増幅
29〜32のそれぞれに入力された二つの信号は各チャンネ
ル毎に差動増幅され、光磁気記録媒体６に記録された４
つのチャンネルの情報が同時に再生される。
成分に対する信号は、それぞれが各チャンネル毎に利得
を変化させることが可能な可変利得増幅器21〜24および
可変利得増幅器25〜28で増幅されたのち、差動増幅器29
〜32に入力される。可変利得増幅器21〜28の利得は、差
動増幅器29〜32のそれぞれに入力される二つの信号のレ
ベルが全てのチャンネルに対して同時に等しくなるよう
に、各チャンネル毎に独立に調整されている。差動増幅
29〜32のそれぞれに入力された二つの信号は各チャンネ
ル毎に差動増幅され、光磁気記録媒体６に記録された４
つのチャンネルの情報が同時に再生される。
一方、光磁気記録媒体６からの４本の反射光の一部は
ビームスプリッタ４を透過してビームスプリッタ３で反
射され、収束レンズ13を透過したのちビームスプリッタ
14で二つに分割される。ビームスプリッタ14の反射光は
ナイフエッジ15を介して２分割光検出器アレイ16で受光
され、ナイフエッジ法の原理でフォーカスエラー信号が
検出される。また、ビームスプリッタ14の透過光は２分
割光検出器アレイ17で受光され、プッシュプル法の原理
でトラックエラー信号が検出される。
ビームスプリッタ４を透過してビームスプリッタ３で反
射され、収束レンズ13を透過したのちビームスプリッタ
14で二つに分割される。ビームスプリッタ14の反射光は
ナイフエッジ15を介して２分割光検出器アレイ16で受光
され、ナイフエッジ法の原理でフォーカスエラー信号が
検出される。また、ビームスプリッタ14の透過光は２分
割光検出器アレイ17で受光され、プッシュプル法の原理
でトラックエラー信号が検出される。
第２図は本発明のマルチビーム光磁気ヘッド装置の第
二の実施例を示す図である。往路の光学系は第１図に示
す実施例と同じであるので説明は省略する。光磁気記録
媒体６からの４本の反射光の一部はビームスプリッタ４
で反射され、収束レンズ18を透過したのち、光学軸が入
射光の偏光面に対して45度の方向に設定されたウォラス
トンプリズム19を透過することにより直交する二つの偏
光成分に分離される。二つの偏光成分はそれぞれ異なる
方向に屈折したのち、光検出器アレイ11,12で各チャン
ネル毎に独立に受光される。
二の実施例を示す図である。往路の光学系は第１図に示
す実施例と同じであるので説明は省略する。光磁気記録
媒体６からの４本の反射光の一部はビームスプリッタ４
で反射され、収束レンズ18を透過したのち、光学軸が入
射光の偏光面に対して45度の方向に設定されたウォラス
トンプリズム19を透過することにより直交する二つの偏
光成分に分離される。二つの偏光成分はそれぞれ異なる
方向に屈折したのち、光検出器アレイ11,12で各チャン
ネル毎に独立に受光される。
光検出器アレイ11および12から出力される二つの偏光
成分に対する信号は、第１図に示す実施例と同様に、そ
れぞれが可変利得増幅器21〜24および可変利得増幅器25
〜28で増幅されたのち、差動増幅器29〜32に入力され
る。差動増幅器29〜32のそれぞれに入力された二つの信
号は各チャンネル毎に差動増幅され、光磁気記録媒体６
に記録された４つのチャンネルの情報が同時に再生され
る。
成分に対する信号は、第１図に示す実施例と同様に、そ
れぞれが可変利得増幅器21〜24および可変利得増幅器25
〜28で増幅されたのち、差動増幅器29〜32に入力され
る。差動増幅器29〜32のそれぞれに入力された二つの信
号は各チャンネル毎に差動増幅され、光磁気記録媒体６
に記録された４つのチャンネルの情報が同時に再生され
る。
一方、光磁気記録媒体６からの４本の反射光の一部は
ビームスプリッタ４を透過してビームスプリッタ３で反
射され、第１図に示す実施例と同様に、フォーカスエラ
ー信号およびトラックエラー信号の検出に用いられる。
ビームスプリッタ４を透過してビームスプリッタ３で反
射され、第１図に示す実施例と同様に、フォーカスエラ
ー信号およびトラックエラー信号の検出に用いられる。
以上に述べた各実施例においては、光検出器アレイ11
および12から出力される二つの偏光成分に対する信号の
それぞれに対して可変利得増幅器21〜24および可変利得
増幅器25〜28が設けられているが、差動増幅器29〜32の
それぞれに入力される二つの信号の一方の利得を他方の
利得に対して相対的に変化させることができればよいの
で、可変利得増幅器は二つの信号の少なくとも一方に対
して設けておけばよく、他方に対しては利得が一定の固
定利得増幅器を設けておくか、あるいは増幅器がなくて
も構わない。すなわち、図の21〜24のみを可変利得増幅
器とし、25〜28を固定利得増幅器とするかあるいは省略
してもよく、その逆の構成も可能である。
および12から出力される二つの偏光成分に対する信号の
それぞれに対して可変利得増幅器21〜24および可変利得
増幅器25〜28が設けられているが、差動増幅器29〜32の
それぞれに入力される二つの信号の一方の利得を他方の
利得に対して相対的に変化させることができればよいの
で、可変利得増幅器は二つの信号の少なくとも一方に対
して設けておけばよく、他方に対しては利得が一定の固
定利得増幅器を設けておくか、あるいは増幅器がなくて
も構わない。すなわち、図の21〜24のみを可変利得増幅
器とし、25〜28を固定利得増幅器とするかあるいは省略
してもよく、その逆の構成も可能である。
また、以上に述べた各実施例においては、光源の半導
体レーザアレイの発光点の数は４個であったが、これは
２個以上であれば何個でも構わない。さらに、半導体レ
ーザアレイとしては、同一の基板上に複数個の発光点を
モノリシックに集積したもの、もしくは単一の発光点を
有する半導体レーザを複数個ハイブリッドに集積したも
ののいずれを用いてもよい。
体レーザアレイの発光点の数は４個であったが、これは
２個以上であれば何個でも構わない。さらに、半導体レ
ーザアレイとしては、同一の基板上に複数個の発光点を
モノリシックに集積したもの、もしくは単一の発光点を
有する半導体レーザを複数個ハイブリッドに集積したも
ののいずれを用いてもよい。
以上に述べたように、本発明によれば、差動増幅器に
入力される二つの信号のレベルを全てのチャンネルに対
して同時に一致させることができるため、差動検出法を
用いることによる同相雑音の低減の効果が全てのチャン
ネルに対して最大限に得られ、再生時のS/Nを全てのチ
ャンネルに対して同時に確保することが可能なマルチビ
ーム光磁気ヘッド装置が実現できる。
入力される二つの信号のレベルを全てのチャンネルに対
して同時に一致させることができるため、差動検出法を
用いることによる同相雑音の低減の効果が全てのチャン
ネルに対して最大限に得られ、再生時のS/Nを全てのチ
ャンネルに対して同時に確保することが可能なマルチビ
ーム光磁気ヘッド装置が実現できる。
第１図は本発明のマルチビーム光磁気ヘッド装置の第一
の実施例を示す図、 第２図は本発明のマルチビーム光磁気ヘッド装置の第二
の実施例を示す図、 第３図は従来のマルチビーム光磁気ヘッド装置の構成例
を示す図である。 １……半導体レーザアレイ ２……コリメートレンズ 3,4……ビームスプリッタ ５……対物レンズ ６……光磁気記録媒体 ７……1/2波長板 ８……偏光ビームスプリッタ 9,10……収束レンズ 11,12……光検出器アレイ 13……収束レンズ 14……ビームスプリッタ 15……ナイフエッジ 16,17……２分割光検出器アレイ 18……収束レンズ 19……ウォラストンプリズム 21〜28……可変利得増幅器 29〜32……差動増幅器
の実施例を示す図、 第２図は本発明のマルチビーム光磁気ヘッド装置の第二
の実施例を示す図、 第３図は従来のマルチビーム光磁気ヘッド装置の構成例
を示す図である。 １……半導体レーザアレイ ２……コリメートレンズ 3,4……ビームスプリッタ ５……対物レンズ ６……光磁気記録媒体 ７……1/2波長板 ８……偏光ビームスプリッタ 9,10……収束レンズ 11,12……光検出器アレイ 13……収束レンズ 14……ビームスプリッタ 15……ナイフエッジ 16,17……２分割光検出器アレイ 18……収束レンズ 19……ウォラストンプリズム 21〜28……可変利得増幅器 29〜32……差動増幅器
Claims (1)
- 【請求項１】独立に制御が可能な複数の発光点を有する
半導体レーザアレイと、この半導体レーザアレイからの
複数の出射光を光磁気記録媒体上に複数の光スポットと
して照射するための集光光学系と、前記光磁気記録媒体
からの複数の反射光のそれぞれを略直交する二つの偏光
成分に分離するための検出光学系と、前記複数の反射光
のそれぞれに対する二つの偏光成分を各チャンネル毎に
独立に受光するための光検出器アレイと、これら光検出
器アレイから出力される二つの偏光成分に対する信号を
各チャンネル毎に差動増幅するための複数の差動増幅器
を有し、前記光磁気記録媒体に記録された複数のチャン
ネルの情報を同時に再生することが可能なマルチビーム
光磁気ヘッド装置において、 前記光検出器アレイと前記複数の差動増幅器の間に、該
差動増幅器に入力される二つの信号のレベルを全てのチ
ャンネルに対して同時に一致させるように、前記複数の
差動増幅器のそれぞれに入力される二つの信号の一方の
利得を他方の利得に対して相対的に変化させるための手
段を、各チャンネル毎に独立に設けたことを特徴とする
マルチビーム光磁気ヘッド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222998A JP2903554B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | マルチビーム光磁気ヘッド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222998A JP2903554B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | マルチビーム光磁気ヘッド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388153A JPH0388153A (ja) | 1991-04-12 |
| JP2903554B2 true JP2903554B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=16791215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1222998A Expired - Lifetime JP2903554B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | マルチビーム光磁気ヘッド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2903554B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005046154B4 (de) * | 2005-09-27 | 2008-07-03 | Siemens Ag | Messvorrichtung und Messsystem zum Inspizieren einer Oberfläche eines Substrates |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP1222998A patent/JP2903554B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0388153A (ja) | 1991-04-12 |
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