JP2900019B2 - 液晶ディスプレイ用セルの検査方法 - Google Patents

液晶ディスプレイ用セルの検査方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレー用の
TFTを使用したアレイに対し、液晶を注入した後にお
けるディスプレー用セルの検査を行う為の方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】一般にTFT−LCDの検査は、アレイ
段階における検査、セル段階における検査だけでなく、
液晶の注入によって、ディスプレイ用セルとなった段階
後においても、各ピクセルにおける液晶のモジュールの
状態が正常であるか否かを判断する為に不可欠である。
【0003】出願人は既に平成5年特許願133796
号出願において、モジュールとなる前のアレイ又はセル
段階におけるTFT−LCDに関する検査方法に関する
技術を提唱している。
【0004】これは、図1の如き構成の各セルについ
て、図2に示すような等価回路において、TFTのドレ
イン側をアースを接続しているピクセル補助コンデンサ
ーCと接続したアクティブカラーLCDにおいて、図
3に示すように、TFTを所定時間ONとして、LCD
のセルコンデンサーにデータラインを通じて充電を行
い、次に、TFTを所定時間OFFの状態として当該充
電状態を保持した後、再度TFTをONとして、TFT
のソース及びドレインを通じて、アース側に接続してい
る抵抗を通して放電を行い、且つ放電電流検出用抵抗の
降下電圧出力によって、配線の接続状態が正常であるか
否か等の点を判断するTFT−LCDの検査方法を基本
構成としている。
【0005】ところで、各ピクセルの液晶の注入によっ
てディスプレイ用セルとなった段階の後では、既にTF
T−アレイ及びこれらの接続状態に関する検査が終了し
ており、結局液晶が注入された各セル毎におけるTFT
の画素電極と対向電極との間に介在するピクセルコンデ
ンサーCLCが正常な放電値を示すか否かによって液晶
が注入されている各セルの状態が正常であるか否か即
ち、液晶のセル化が正常であるか否かが判断される。
【0006】そして、ピクセルコンデンサーCLCが正
常な放電値を示すか否かについては、図4(a)に示す
ように、既存のピクセル補助コンデンサーCのアース
との接続を切断し、これによって、前記ピクセルコンデ
ンサーCLCのみの構成状況を検査することが試みられ
ていた。
【0007】しかしながら、このような検査方法では、
純然たるピクセルコンデンサーCLCの構成状況を検査
することができない。
【0008】その原因は、図4(b)に示すように、実
際にはピクセル補肋コンデンサーCと対向電極8及
び、隣接するゲート線Gi+1との間に、それぞれ浮遊
キャパシタンスが存在し、しかもその容量は極めて大き
い為、ピクセル補助コンデンサーCの一方端とアース
との接続を断線して、ピクセルコンデンサーCLCを測
定しても、何らピクセル補助コンデンサーCを除外し
た検査を行なったことにはならないことが原因となって
いる。
【0009】即ち、図4(b)において、ピクセル補助
コンデンサーCに接続され、かつアースからフロート
している接続線の端子Sと対向電極8との浮遊キャパ
シタンスをCF1とし、端子Sと隣接するゲート線G
i+1との浮遊キャパシタンスをCF2とした場合、ピ
クセル補助コンデンサーCは、浮遊キャパシタンスC
F1及びCF2を介してアースと接続し、しかもピクセ
ル補助コンデンサーCの容量値に比し、前記CF1
F2の容量値は、実際には100倍以上の大きな容量
を有している為、前記端子Sによって、ピクセル補助
コンデンサーCをアースから除外して、ピクセルコン
デンサーCLCのみを測定したつもりでも、実際にはピ
クセル補助コンデンサーCによる影響を切り放して除
外することができないことによる。
【0010】回路計算によって考えた場合、TFTのド
レイン側とアースとの間の全容量値は、 CLC+C(CF1+CF2)/(C+CF1+C
F2) であり、CF1、CF2≫Cであることから、前記前
キャパシタンスの値が、CLC+Cと概略等しくな
り、ピクセル補助コンデンサーCとアースとを切断し
たことによる効果が殆ど生じていないことに基づいてい
る(尚図4(b)において、隣接するゲート線と対向電
極との間にも、本来浮遊キャパシタンスが存在するが、
両者は共にアースと接続され電圧差が存在しないので、
当該浮遊キャパシタンスの影響は無視できる。)。
【0011】
【発明が解決を必要とする課題】本願発明は、図4
(a)に示すが如き従来技術による検査方法の欠点を克
服し、純然たるCLCによる充放電検査を実現する方法
を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決する為の手段】上記の如き課題を解決する
為、本願発明は、 (1).第一工程として、液晶を注入していない段階の
TFTを使用したアクティブカラー−LCDアレイにお
いて、TFTをONとして、各電極に対応するピクセル
補助コンデンサーの充電を行い、次に、TFTをOFF
の状態として当該充電状態を保持した後、再度TFTを
ONとして、TFTのソース及びドレインを通じて、ア
ース側に接続している抵抗を通して放電を行って当該放
電出力を測定し、第二工程として、液晶を注入すること
によって、ディスプレイ用セルとなった後のTFTを使
用したアクティブカラー−LCDにおいて、前記第一工
程と同一のTFTのON、OFF及びこれに基づく充放
電及び測定を行ない、第一工程の放電出力と第二工程の
放電出力の差の積分値を求め、又は両放電出力の積分値
の差を求めることによって、各種液晶ディスプレイ用セ
ルの状態が正常であるか否かを判別する液晶ディスプレ
イ用セルの検査方法 (2).第一工程として、液晶を注入していない段階の
TFTを使用したアクティブカラー−LCDアレイにお
いて、TFTをONとして、各電極に対応するピクセル
補助コンデンサーの充電を行い、次に、TFTをOFF
の状態として当該充電状態を保持した後、再度TFTを
ONとして、TFTのソース及びドレインを通じて、ア
ース側に接続している抵抗を通して放電を行って当該放
電出力を測定し、第二工程として、液晶を注入すること
によって、ディスプレイ用セルとなった後のTFTを使
用したアクティブカラー−LCDにおいて、前記第一工
程と同一のTFTのON、OFF及びこれに基づく充放
電及び測定を行ない、第二工程における放電出力の時定
数から第一工程における放電出力の時定数を差し引くこ
とによって液晶ディスプレイ用セルの状態が正常である
か否かを判別する液晶ディスプレイ用セルの検査方法か
らなる。
【0013】
【発明の作用】本願発明の作用原理を説明する。前記の
ように、本願発明では、液晶の注入によってモジュール
となる前における第一工程と、液晶の注入によって、デ
ィスプレイ用セルとなった後における第二工程とにおい
て、TFTについて同一の操作を行ない、かっ同様の放
電の検査を行ない、かつ前記(1)記載のように、両放
電出力の差の積分値を求めるか、又は両放電出力の時定
数の差を求めることになるが、最初に、第二工程のよう
に、ピクセル補助コンデンサーC及び液晶セル化によ
るピクセルコンデンサーCLCが存在する場合について
説明を行なう。
【0014】図5に示す基本回路図において、図3に示
すようなゲート電圧V、及びデータ電圧Vを印加
し、当初スイッチSをONの状態とした場合には、ピ
クセル補助コンデンサーC及び液晶の注入によってモ
ジュールとなった段階における各ピクセルコンデンサー
LCは、データ電圧Vによってゲート電圧Vのパ
ルス電圧が存在する期間中充電される。
【0015】尚、第1スイッチSをONとしている期
間では、第2スイッチSはOFFとしている。これ
は、データ電圧Vを検査装置11によって測定する必
要がないからである。
【0016】次に、ゲート電圧Vのパルスの導通期間
を過ぎて、TFTがOFFとなった段階では、TFTの
ソース及びドレイン間の抵抗は、TFTがゲート電圧V
によってONの場合に比し10ないし10倍の大
きさとなるので、ピクセル補助コンデンサーC及び前
記ピクセルコンデンサーCLCに充電された電荷はせい
ぜい漏洩によって順次減少する程度であって、充電され
た状態は維持される。
【0017】次に、再びゲート電圧Vのパルスの導通
によってTFTのソースとドレインとの間がONとなっ
たときに、第1スイッチSをOFFとし、該ドレイン
と波形検査器との間に介在するスイッチSをONとし
た場合には、ピクセルコンデンサーC及び前記コンデ
ンサーCLCに蓄電された電荷は、ドレイン及びソース
に接続された抵抗Rを通じて放電されることになる。
【0018】尚、図5においては、ピクセル補助コンデ
ンサーCの一方端側は、アースと接続されており、こ
の点で、図4(a)に示す場合と相違しているが、実際
には、前記のように、ピクセル補助コンデンサーC
アースとの間を断線したところで、浮遊インダクタンス
によって、全体の容量に変りはないので、第二工程の測
定では、ピクセル補助コンデンサーCの一方端とアー
スとの間は、接続又は切断の何れであってもよい。
【0019】また、第1スイッチSをOFFとするの
は、放電電流をデータ電源側に、流出させない為である
が、第1スイッチSは、本発明の製造の不可欠な構成
要素ではない。
【0020】但し、抵抗Rは、TFT−LCDが製造
途中の段階で、各端子にガードリングが接続されている
場合には、各TFTのドレインと、ガードリングを含め
たアース間の抵抗であり、またガードリングを外した場
合には、検出器11側における測定の便宜の為に、人為
的に接続された検出用抵抗であって、通常TFTがON
となっている場合のソースとドレインとの間の抵抗(R
on)の100分の1以下の程度に設計されている抵抗
である。
【0021】第2スイッチSをONとすることによっ
て、放電に基づく電流又は電圧は波形検査装置によって
キャッチされるが、第2スイッチSも又本発明の不可
欠な構成要素ではない。
【0022】放電による電圧又は電流の波形の一部は、
図3の上から3番目に示すような鋸歯状波を呈するが、
その波形の過度解は、 v=Vexp{−t/(C+CLC)(Ron
)} によって表現され、その時定数は、T=(C+C
LC)(Ron+R)である。但し、Vはt=0に
おける抵抗Rを端子電圧を示し、t=0の時間は、電
圧の立ち上がり時間を無視している。
【0023】そして、前記第二工程による放電出力を求
める前段階として、第2図に示す基本回路において、セ
ル化前のTFT−LCDの接続状態によって、図3に示
すような順序にしたがって、ピクセル補助コンデンサー
の充放電を行ない、その過度解は、 v=Vexp{−t/C(Ron+R)} によって表現され、そのその放電波形の一部は、同様に
図3の上から3番目に示すような鋸歯状波を呈し、その
時定数はT=C(Ron+R)である。
【0024】但し、Vはt=0における抵抗Rの端
子電圧を示し、t=0の時間は、電圧の立ち上がり時間
を無視している。
【0025】前記v−v=vを時間積分した場合に
は、 が得られる。
【0026】即ち、第一工程の放電出力と第二工程の放
電出力に対応する時間毎の差を積分するか、又は第二工
程の放電出力の時間積分と第一工程の放電出力の時間積
分との差によって、各ピクセルコンデンサーCLCに対
応した出力の時間積分を察知することができる。
【0027】従って、前記積分値をV(Ron
)によって割ることによって液晶モジュールによる
ピクセルコンデンサーCLCを得ることができる。
【0028】尚、前記積分値の差又は差の積分値は、実
際にはコンピュータによって行うことが多い。
【0029】そして両時定数の差T=T−T=C
LC(Ron+R)であり,双方の出力曲線の時定数
の差によって液晶モジュールによるコンデンサーCLC
に対応した量が求められ、CLC=T/(Ron
)によって、前記コンデンサーCLCの値が判明す
る。
【0030】尚、前記各時定数T及びTは、各鋸刃
波による放電出力の減衰の度合いを以って、実際の測定
又はコンピュータによる計算によって算出することがで
きる。
【0031】他方、液晶モジュールによる各ピクセルコ
ンデンサーCLCについては、液晶が正常に充満されて
いる場合の概略の値が事前に予測されている。
【0032】従って、前記2つの方法によって求められ
たCLCが当初設定されている予測値と一致している場
合には、液晶モジュールの状況が正常であることが判明
し、逆に当該予測値と一致していない場合には、液晶モ
ジュールの状況が異常であることが判明することにな
る。
【0033】かくして、本願発明の前記(1)、(2)
の如き方法によって、液晶の注入の後における各ピクセ
ルの電極の状態が正常か異常かを正確に判別することが
可能となる。
【0034】以上の基本原理を前提として、本願発明の
実施例にっいて説明する。
【0035】
【実施例】図6は、本願において実際に使用される実施
例を示す。
【0036】請求項2又は同4記載のように各画素に対
応して配列されたTFTの各行のゲート線G、G
…Gに対し、スイッチSg1,Sg2,…Sgmを設
け、同様に各TFTの列に対するデータ線D、D
、…Dに対し、スイッチSd1、Sd2、…S
dnを設け、かつ波形検査装置に対しても、各データ線
に対応して、スイッチSr1、Sr2、…Srnを設け
ている。
【0037】図6において、液晶セル化前の段階におい
て、リレーを使用して、スイッチSg1、Sg2、…S
gnを順次切替えることによって、第一工程即ち、各ピ
クセルのピクセル補助コンデンサーCによる放電出力
を検出することになる。
【0038】次に、各ピクセルに液晶の注入が行われた
後においても、同様のリレー操作を行ない、ピクセル補
助コンデンサーC及び液晶の注入後におけるピクセル
コンデンサーCLCの和であるC+CLCによる各ピ
クセルの放電出力を求め、前記(1)記載のように、各
放電出力における時定数の差を求めるか、又は前記
(2)記載のように各放電出力の積分値の差の積分値を
求め、これによって液晶の注入後におけるピクセルコン
デンサーCLCを算出して、各ピクセルにおける液晶の
状態が正常であるか否かを検査することが可能となる。
【0039】
【発明の効果】このように、本願発明においては、従来
提案されている方法に比し、正確に液晶の注入による各
ピクセルコンデンサーCLCに対応した量(前記(1)
のような時定数の差又は(2)記載の差の積分値又は積
分値の差)を算出し、これによって各ピクセルにおける
液晶が正常であるか否かを正確に判断することができ
る。
【0040】特に前記(2)記載のように、両出力の積
分値の差又は差の積分値を求めた場合には、TFTとデ
ータ線との浮遊キャパシタンス、データ線とゲート線と
の浮遊キャパシタンス等による影響は、双方の差を求め
ることによって消去されており、浮遊キャパシタンスに
よる測定誤差を免れることができる。
【0041】このように、本願発明は、従前の液晶セル
検査方法に比し、極めて重要な長所を有しており、その
価値は絶大である。
【0042】
【図面の簡単な説明】
【図1】:見取図 液晶を構成する各ピクセルの構成の概略を示す。
【図2】:基本回路図 液晶セル化前のTFT一LCD回路の基本構成を示す。
【図3】:入出力波形グラフ 本願発明において使用されるTFTを操作することによ
る各入力及び各放電出力を示す。
【図4】(a)、(b):従来技術による液晶セル検査
方法の原理図、及びこの場合実際に存在する浮遊キャパ
シタンスの状況を示す回路図
【図5】:基本回路図 液晶セル化前のTFT−LCD回路の基本構成を示す。
【図6】:全体回路図 本発明を具体的に実現する実施例の回路の構成を示す。
【符合の説明】
1:液晶を充満する空間(LCD) 2:画素電極 3:ゲート線 4:TFT 5:データ線 6:共通電極 7:カラーフィルター 8:偏光板 9:ガラス基板 11:検査器

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第一工程として、液晶を注入していない
    段階のTFTを使用したアクティブカラー−LCDアレ
    イにおいて、TFTをONとして、各電極に対応するピ
    クセル補助コンデンサーの充電を行い、次に、TFTを
    OFFの状態として当該充電状態を保持した後、再度T
    FTをONとして、TFTのソース及びドレインを通じ
    て、アース側に接続している抵抗を通して放電を行って
    当該放電出力を測定し、第二工程として、液晶を注入す
    ることによって、ディスプレイ用セルとなった後のTF
    Tを使用したアクティブカラー−LCDにおいて、前記
    第一工程と同一のTFTのON、OFF及びこれに基づ
    く充放電及び測定を行ない、第一工程の放電出力と第二
    工程の放電出力の差を積分するか又は、両放電出力の積
    分値の差を求めることによって、各種液晶ディスプレイ
    用セルの状態が正常であるか否かを判別する請求項1記
    載の液晶ディスプレイ用セルの検査方法。
  2. 【請求項2】 複数のTFTに接続されたゲート線、デ
    ータ線の配列に従って各データ線毎及び各ゲート線毎に
    順次検査を行うことによって、各液晶モジュールの電極
    の検査を行なうことを特徴とする請求項1記載の液晶デ
    ィスプレイ用セルの検査方法
  3. 【請求項3】 第一工程として、液晶を注入していない
    段階のTFTを使用したアクティブカラー−LCDアレ
    イにおいて、TFTをONとして、各電極に対応するピ
    クセル補助コンデンサーの充電を行い、次に、TFTを
    OFFの状態として当該充電状態を保持した後、再度T
    FTをONとして、TFTのソース及びドレインを通じ
    て、アース側に接続している抵抗を通して放電を行って
    当該放電出力を測定し、第二工程として、液晶を注入す
    ることによって、ディスプレイ用セルとなった後のTF
    Tを使用したアクテイブカラー−LCDにおいて、前記
    第一工程と同一のTFTのON、OFF及びこれに基づ
    く充放電及び測定を行ない、第二工程における放電出力
    の時定数から第一工程における放電出力の時定数を差し
    引くことによって液晶ディスプレイ用セルの状態が正常
    であるか否かを判別する液晶ディスプレイ用セルの検査
    方法。
  4. 【請求項4】 複数のTFTに接続されたゲート線、デ
    ータ線の配列に従って各データ線毎及び各ゲート線毎に
    順次検査を行うことによって、各液晶モジュールの電極
    の検査を行なうことを特徴とする請求項3記載の液晶デ
    ィスプレイ用セルの検査方法
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