JP2894867B2 - 電子部品の半田めっき装置 - Google Patents
電子部品の半田めっき装置Info
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
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Description
術、特に、パッケージ内に封止された半導体集積回路装
置(以下単にICと略称する)のリードフレームの外部
に延出するリード端子部に半田めっきを施すために適用
して効果のある半田めっき技術に関するものである。
きを施す場合、複数個のICをバレルの中に投入し、そ
のバレル内のICがバレル内で個々に自由に動くことが
できる状態でリード端子部への半田めっきを行ってい
る。
めっき技術では、バレル内の電子部品が処理過程で個々
に自由に動くので、電子部品のパッケージの外部に延出
したリード端子部に曲がりを発生し、歩留りが低下した
り、その後の電子部品実装工程などで自動実装に支障を
きたすなどの問題を引き起こす1つの原因となってい
る。
が他のICのパッケージに損傷を与えるなどの問題もあ
る。
バレルを用いているので、バッチ式の半田めっき処理と
なり、処理効率が悪い上に、装置が大形化し、まためっ
き厚にばらつきが生じ、そのめっき厚の調整が困難であ
るなどの不具合もあることが本発明者によって見い出さ
れた。
号により、電子部品のリード端子部に対して連続作業で
自動的に半田めっきを施す装置を提案している。
効率的な半田めっき処理が可能であるなどの多数の利点
を有するものである。
部および後処理部と、半田めっき部とが異なる高さに配
置され、これらの異なる高さの間での電子部品の昇降が
必要である。
傾向があり、異なる高さでの治具などの動作およびその
ための機構が必要であるので、この点に伴う課題の解決
が望まれる場合も考えられる。
程においては洗浄水の水切りなど、水や薬液を用いた処
理が数多く要求される反面、半田めっきの成否は水分や
薬液の液切りの良否によって大きな影響を受ける。
りはエアブローや振動などを利用して行っており、必ず
しも十分とは言えなかった。
面的構造を有する電子部品の半田めっき装置を提供する
ことにある。
液切りを確実に行うことのできる電子部品の半田めっき
装置を提供することにある。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
っき装置は、電子部品のリード端子部に半田めっきを施
す装置であって、半田めっきされる電子部品のリード端
子部に前処理を行う前処理部と、前処理された電子部品
のリード端子部に半田めっきを行う半田めっき部と、半
田めっきされた電子部品に対して後処理を行う後処理部
と、前記各処理部において電子部品に被着した洗浄液ま
たは薬液を除去する液切り部と、前記各処理部間で電子
部品を搬送する搬送機構とからなり、前記前処理部、半
田めっき部、後処理部、および液切り部が実質的に同一
の高さに設置されているものである。
は、電子部品を保持して回転することにより該電子部品
に被着した液体を除去する回転式液切り機構よりなるも
のである。
よれば、前処理部、半田めっき部、後処理部、および液
切り部が実質的に同一の高さに設置されていることによ
り、異なる高さ間での電子部品の昇降機構が不要とな
り、装置の構造を平面的とし、また簡単かつ小形にする
ことができる。
より、液切りを行う回転式液切り機構とすることによっ
て、洗浄液や薬液の液切りを回転遠心作用で確実に行う
ことができ、ひいては半田めっきを良好かつ確実に行う
ことができる。
田めっき装置の正面図、図2はその概略構成を示す平面
図、図3は純水による脱脂部の概略断面図、図4は回転
式液切り機構の断面図、図5は半田めっき部の断面図で
ある。
は、全体として全処理部が実質的に同一の高さに配置さ
れた平面的な構造を有している。
て、被処理物である電子部品は、図1および図2の左側
から右側に自動搬送されながら、大きく分けて、前処
理、半田めっき処理、後処理の各処理を施される。
は、図1および図2の最も左側に純水浸漬で電子部品の
外部に突出したリードフレームの外部リード端子などを
洗浄する純水洗浄部1を有し、この純水洗浄部1の右側
には、超音波振動とアルカリ液で脱脂を行う脱脂部2、
さらには脱脂液の除去を行う液切り部3が順次配置され
ている。
子部品の水洗を行うための水洗部4が設けられている。
子部品の酸洗を行う酸洗部5、その酸洗液を除去する液
切り部6が順次設けられている。
水洗部7、その水洗液を除去するための水切り部すなわ
ち液切り部8が配置されている。
各処理部は、いわゆる前処理部9を構成している。
て、3槽の半田めっき槽10,11,12よりなる半田
めっき部13が配置されている。
に付着した半田めっき液の除去のための液切り部14が
位置している。
洗を行う水洗部15が設けられている。
電子部品の表面部の中和を行うための中和部16、およ
びその中和液の除去を行うための液切り部17が順次位
置している。
作用を用いた湯洗を行う2段の湯洗部18,19が設置
されている。
20が設けられている。
電子部品を熱風、ヒータなどで乾燥させて水分を排除す
る乾燥部21が設置されている。
各処理部は、いわゆる後処理部22を構成している。
3、後処理部22の側方には、電子部品のクランプ、搬
送、移載を行うため、搬送ユニット23、クランプユニ
ット(昇降ユニット)24、搬送ユニット25、クラン
プユニット(昇降ユニット)26、搬送ユニット27、
クランプユニット(昇降ユニット)28が設けられてい
る。
についてさらに具体的に説明する。
行うもので、その基本的構造は、水洗部4,7,15、
湯洗部18,19と類似しており、これらの代表例とし
て脱脂部2について説明する。
波振動源30と、超音波振動源30により振動される超
音波振動板31と、該超音波振動板31の孔を閉塞する
ゴム栓32とを備えている。
7,20は図4に示される構造よりなるので、たとえ
ば、液切り部8における水の除去について代表的に説明
する。
は回転式液切り機構33として構成されている。
ブラケット35で保持されたモータ36と、このモータ
36の出力軸に設けたプーリ37に巻装された伝動ベル
ト38と、この伝動ベルト38が巻装されるプーリ39
を有し、かつ該ベルト38を介して前記モータ36で回
転される回転軸40と、この回転軸40の一端側を支承
する軸受ハウジング41と、軸受42,43と、カラー
44と、回転軸40の反対端を支承するブラケット45
と、ブッシュ46と、前記回転軸40に設けられ、かつ
液切りされる電子部品、すなわちリードフレームにIC
をモールドした状態の電子部品Wを保持するホルダ47
とからなる。
おいては、モータ36により回転軸40を回転させる
と、その時に発生する回転遠心力で、電子部品Wに付着
していた洗浄水や薬液などの液体は電子部品Wから吹き
飛ばされ、確実に除去されることになる。
6,14,17,20についても用いることができる。
部13のめっき槽10(11または12)の構造を示し
ている。
13は、電解めっき方式で、めっき槽10内の左側にノ
ズル48が設けられ、右側に槽壁49を利用した排出路
50が設けられ、この排出路50とノズル48との間
に、配管を介して循環ポンプPおよびめっき液サブタン
ク51が設けられ、めっき槽10内にめっき液を一定の
流速で循環供給させる構造となっている。
ニット52が設けられ、このめっき治具昇降ユニット5
2はめっき治具53やアノード電極54など全体をめっ
き時に一定の振幅、速度および振動数で揺動させ、受け
渡し時に昇降させる構造としたものである。
固定されるL字状のアーム55の端部下面には、めっき
治具53およびアノード電極昇降ユニット56が設けら
れている。
めっき槽10内を水平に延在し、めっき液中でICをモ
ールドしたリードフレームよりなる電子部品Wを2列状
態で保持する治具で、図示しないが、その底部には、め
っき液を通過させる孔部、電子部品Wを位置決め支持す
るノッチ部とが形成されている。
っき治具53内を水平に延びる3枚のアノード電極54
を昇降させるものである。
ソード電極旋回ユニット57が設けられ、このカソード
電極旋回ユニット57は、電子部品Wを受け渡すスペー
スを確保するために、90°の旋回ストロークを有し、
その旋回軸58に固定されたL字状のアーム59の端部
にカソード電極昇降ユニット60および支持プレート6
1が設けられ、この支持プレート61に4本のカソード
電極62がそれぞれ摺設され、適宜回転止めされてい
る。
極昇降ユニット60により昇降し、ストローク下端でそ
の電極部を電子部品Wのリードフレームの上端部に押接
させて電気的に導通させる構造となっている。
しロッド63が設けられ、この切り離しロッド63は、
カソード電極62を上昇させて電子部品Wのリードフレ
ームの上端部から強制的に切り離し、電子部品Wのリー
ドフレームの上昇および位置ずれを防止する機能を有す
る。
置は全体的に自動化されているので、電子部品Wは図示
しないローダ部から前処理部9の純水洗浄部1に自動搬
入される。
浄された電子部品Wは図3に示される脱脂部2に送られ
て、超音波振動源30により超音波振動作用によって脱
脂処理される。
た電子部品Wは脱脂液を除去される。
部5で酸洗処理を受け、液切り部6で酸洗液を除去され
る。
た後、液切り部8で液切りされる。
この前処理工程中で、液切り部6,8における液切りは
図4の回転式液切り機構33で行われる。
は、電子部品Wはホルダ47により保持される。
ルト38、プーリ39を介して回転軸40を高速回転さ
せると、電子部品Wは回転軸40と共に高速回転され
る。
は高速回転による遠心力で電子部品Wから周囲に飛散
し、電子部品Wは確実に液切りされる。
おける半田めっき処理のために液切り部8で液切りされ
る電子部品Wは、十分に液切りされた状態で半田めっき
部13に搬入されるので、水などの液体の付着による半
田めっき不良の発生は防止され、良好な半田めっき処理
が行われる。
り電子部品Wの外部リード端子部に半田めっきを施す場
合について図5を参照しながら説明する。
レームとアノード電極54との間隙に、循環ポンプPに
よりめっき液を一定の速度で常時流動させる。
めっき治具53など全体を上昇させ、カソード電極旋回
ユニット57によりカソード電極62を左旋回させて起
立状態にし、前工程から搬送されてきた電子部品Wをめ
っき治具53にセットする。
よりカソード電極62を右旋回させて電子部品Wのリー
ドフレームの上端部に対向させ、カソード電極昇降ユニ
ット60によりカソード電極62を下降させ、その電極
部を電子部品Wのリードフレームの上端部に押接し、電
気的に導通させる。
りめっき治具53など全体を下降させ、電子部品Wのリ
ードフレームをめっき治具53などと共にめっき槽1
0,11,12内のめっき液中に浸漬する。
りめっき治具53と共に電子部品Wのリードフレームお
よびアノード電極54を一定の振幅、速度および振動数
で揺動させる。
始し、電子部品Wのリードフレームに半田めっきを施
す。
品Wのセットの場合と逆のプロセスを経て半田めっき済
みの電子部品Wをめっき液中から引き上げて液切りを行
い、後工程に移行する。
に半田めっきを施すことができるので、半田めっきに要
する時間を減少させ、半田めっきの高速化を図ることが
できる。
ード電極54との間隙、流動するめっき液の速度、電子
部品Wのリードフレームやアノード電極54など全体に
与えられる揺動の振幅、速度および振動数を一定とし、
必要に応じて可変できるので、めっき皮膜のコントロー
ルを容易にし、めっき皮膜の厚みを均一化することがで
きる。
ユニット57、アノード電極昇降ユニット56、カソー
ド電極昇降ユニット60およびめっき治具昇降ユニット
52を備えた構造としたので、電子部品Wのリードフレ
ームの整列ピッチを減少させ、装置の小形化を図ること
ができる。
レームを整列状態でめっき液中から引き上げ、液切りを
行うことができるので、めっき液の持出し量を減少さ
せ、損失を減少させることができる。
リードフレームを整列状態で保持できるので、電子部品
Wのリードフレームを整列状態でめっきし、電子部品W
のリードフレームの傷や曲がりの発生を防止し、歩留り
を向上させることができる。
子部品Wは、後処理部22の液切り部14に送られ、め
っき液を除去される。
れ、さらに中和部16で中和処理を受け、続いて液切り
部17で中和液を除去される。
19で湯洗処理された後、液切り部20において液切り
され、さらに乾燥部21で乾燥される。
図示しないアンローダ部に自動搬送される。
めっき装置によれば、極めて効率的で高品質の半田めっ
き処理を自動的に行うことができる上に、全処理部1〜
21が実質的に同じ高さに位置しており、上下方向に小
形の装置となると共に、電子部品の昇降機構が簡素化か
つ小形化される。
液体の除去を回転式液切り機構33で行うので、確実な
液切りが可能であり、高品質の半田めっきを行うことが
できる。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
造を前記実施例における具体的構成以外の構成にするこ
となども可能である。
なされた発明をその利用分野であるリードフレームにレ
ジンモールドで半導体素子を封止した電子部品に適用し
た場合について説明したが、これに限定されるものでは
なく、たとえばリードフレームの形態以外の電子部品に
も適用される。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
半田めっき、後処理の一連の工程を連続的かつ全自動的
に行うことができ、極めて効率的な半田めっき処理を実
現できる。
理部に至る各処理部が実質的に同じ高さの位置に設けら
れているので、上下方向に小形のめっき装置を提供する
ことができる。
造で、電子部品を昇降するための特別な昇降機構が不要
となり、装置の構造が簡単かつ小形となる。
除去するために回転式液切り機構を用いることにより、
回転遠心作用を利用して確実な液切りを行うことがで
き、高品質の半田めっき処理が可能である。 (5).電子部品をめっき槽内でめっき治具昇降ユニッ
トで揺動させることができるため、電子部品のめっき皮
膜のコントロールを容易にすることができる。 (6).前記(5)の結果、電子部品のめっき皮膜の厚
みを均一化することができる。
装置の正面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 電子部品のリード端子部に半田めっきを
施す装置であって、 半田めっきされる電子部品のリード端子部に前処理を行
う前処理部と、 前処理された電子部品のリード端子部に半田メッキを行
う半田めっき部と、 半田めっきされた電子部品に対して後処理を行う後処理
部と、モータにより回転される回転軸に設けた保持部材で、電
子部品を前記回転軸の周囲に保持して回転することによ
り、 前記各処理部において電子部品に被着した洗浄液ま
たは薬液などの液体を除去する液切り部と、電子部品をクランプ、搬送、移載するために、搬送ユニ
ット、クランプユニットを有して、 前記各処理部間で電
子部品を搬送する搬送機構とからなり、 前記前処理部、半田めっき部、後処理部、および液切り
部が実質的に同一の高さに設置され、前記半田めっき部のめっき槽には、電子部品を保持する
めっき治具を揺動させ、受渡し時に昇降させるめっき治
具昇降ユニットが設けられている ことを特徴とする電子
部品の半田めっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14295891A JP2894867B2 (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 電子部品の半田めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14295891A JP2894867B2 (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 電子部品の半田めっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05206348A JPH05206348A (ja) | 1993-08-13 |
JP2894867B2 true JP2894867B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=15327617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14295891A Expired - Lifetime JP2894867B2 (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 電子部品の半田めっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2894867B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7022211B2 (en) | 2000-01-31 | 2006-04-04 | Ebara Corporation | Semiconductor wafer holder and electroplating system for plating a semiconductor wafer |
KR100804714B1 (ko) | 2000-03-17 | 2008-02-18 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 도금장치 및 방법 |
US9421617B2 (en) | 2011-06-22 | 2016-08-23 | Tel Nexx, Inc. | Substrate holder |
-
1991
- 1991-06-14 JP JP14295891A patent/JP2894867B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05206348A (ja) | 1993-08-13 |
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