JP2893013B1 - 光磁界センサ - Google Patents
光磁界センサInfo
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Abstract
【要約】
【課題】ファラデー効果を利用した光磁界センサの温度
特性を向上させる。 【解決手段】ファラデー素子を基板、偏光子、検光子に
接着固定するための接着剤として、光磁界センサの使用
温度領域におけるデュロメータＡ硬度が５０以下の樹脂
系接着剤を採用する。これにより、ファラデー素子と被
固着部品とが熱膨張係数を異にしている場合に接着界面
に発生する熱応力を接着剤層にて緩和し、熱応力に起因
する温度特性に及ぼす影響を解消する。
特性を向上させる。 【解決手段】ファラデー素子を基板、偏光子、検光子に
接着固定するための接着剤として、光磁界センサの使用
温度領域におけるデュロメータＡ硬度が５０以下の樹脂
系接着剤を採用する。これにより、ファラデー素子と被
固着部品とが熱膨張係数を異にしている場合に接着界面
に発生する熱応力を接着剤層にて緩和し、熱応力に起因
する温度特性に及ぼす影響を解消する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光磁界センサに関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】光磁界センサの一形式として、特開平９
−２１１０９３号公報に示されているように、基板に接
着剤を介して固着した偏光子、ファラデー素子、および
検光子を備え、直線偏光をファラデー素子に通過して直
線偏光の偏波面を外部磁界に応じて回転させることによ
り光強度変換して磁界を検出する光磁界センサがある。
当該光磁界センサにおいては、直線偏光の偏波面の回転
角度が大きくて磁界の検出感度の高い希土類鉄ガーネッ
ト系（以下ＲＩＧという）の結晶等、自然旋光能のない
強磁性体の結晶が採用されている。
−２１１０９３号公報に示されているように、基板に接
着剤を介して固着した偏光子、ファラデー素子、および
検光子を備え、直線偏光をファラデー素子に通過して直
線偏光の偏波面を外部磁界に応じて回転させることによ
り光強度変換して磁界を検出する光磁界センサがある。
当該光磁界センサにおいては、直線偏光の偏波面の回転
角度が大きくて磁界の検出感度の高い希土類鉄ガーネッ
ト系（以下ＲＩＧという）の結晶等、自然旋光能のない
強磁性体の結晶が採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、本発明者
は、当該光磁界センサにおいては、ファラデー素子を固
着するために使用する接着剤の種類によっては温度特性
（比誤差特性）が低下する現象を知得した。かかる現象
が発生する理由は定かではないが、ファラデー素子と被
固着部材との熱膨張係数の相違により、温度変化の際
に、ファラデー素子と被固着部品との接着界面に発生す
る熱応力が介在する接着剤層で緩和されず、ファラデー
素子の回転能に何らかの影響を及ぼし、特に、直線偏光
の偏波面の回転角度が大きい自然旋光能のない強磁性体
の結晶であるファラデー素子においては、その影響が顕
著に発現するものと推測される。
は、当該光磁界センサにおいては、ファラデー素子を固
着するために使用する接着剤の種類によっては温度特性
（比誤差特性）が低下する現象を知得した。かかる現象
が発生する理由は定かではないが、ファラデー素子と被
固着部材との熱膨張係数の相違により、温度変化の際
に、ファラデー素子と被固着部品との接着界面に発生す
る熱応力が介在する接着剤層で緩和されず、ファラデー
素子の回転能に何らかの影響を及ぼし、特に、直線偏光
の偏波面の回転角度が大きい自然旋光能のない強磁性体
の結晶であるファラデー素子においては、その影響が顕
著に発現するものと推測される。
【０００４】従って、本発明の目的は、当該光磁界セン
サにおけるファラデー素子の温度特性の低下を防止する
ことにある。
サにおけるファラデー素子の温度特性の低下を防止する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板に接着剤
を介して固着した偏光子、ファラデー素子、および検光
子を備え、前記ファラデー素子として自然旋光能の無い
強磁性体を採用してなり、直線偏光を前記ファラデー素
子に通過して直線偏光の偏波面を外部磁界に応じて回転
させることにより光強度変換して磁界を検出する形式の
光磁界センサに関する。
を介して固着した偏光子、ファラデー素子、および検光
子を備え、前記ファラデー素子として自然旋光能の無い
強磁性体を採用してなり、直線偏光を前記ファラデー素
子に通過して直線偏光の偏波面を外部磁界に応じて回転
させることにより光強度変換して磁界を検出する形式の
光磁界センサに関する。
【０００６】しかして、本発明は上記した形式の光磁界
センサにおいて、前記ファラデー素子が前記偏光子およ
び検光子とは独立的に前記基板に接着剤を介して固着さ
れていて、同接着剤として、当該光磁界センサの使用温
度領域におけるデュロメータＡ硬度が５０以下の樹脂系
接着剤が採用されていることを特徴とするものである。
センサにおいて、前記ファラデー素子が前記偏光子およ
び検光子とは独立的に前記基板に接着剤を介して固着さ
れていて、同接着剤として、当該光磁界センサの使用温
度領域におけるデュロメータＡ硬度が５０以下の樹脂系
接着剤が採用されていることを特徴とするものである。
【０００７】また、本発明は上記した形式の光磁界セン
サにおいて、前記ファラデー素子が前記偏光子および検
光子のいずれか一方に接着剤を介して固着された状態で
前記基板に接着剤を介して固着されていて、これら接着
剤として、当該光磁界センサの使用温度領域におけるデ
ュロメータＡ硬度が５０以下の樹脂系接着剤が採用され
ていることを特徴とするものである。
サにおいて、前記ファラデー素子が前記偏光子および検
光子のいずれか一方に接着剤を介して固着された状態で
前記基板に接着剤を介して固着されていて、これら接着
剤として、当該光磁界センサの使用温度領域におけるデ
ュロメータＡ硬度が５０以下の樹脂系接着剤が採用され
ていることを特徴とするものである。
【０００８】また、本発明は上記した形式の光磁界セン
サにおいて、前記ファラデー素子が前記偏光子および検
光子に接着剤を介して挟持されて固着された状態で前記
基板に接着剤を介して固着されていて、これら接着剤と
して、当該光磁界センサの使用温度領域におけるデュロ
メータＡ硬度が５０以下の樹脂系接着剤が採用されてい
ることを特徴とするものである。
サにおいて、前記ファラデー素子が前記偏光子および検
光子に接着剤を介して挟持されて固着された状態で前記
基板に接着剤を介して固着されていて、これら接着剤と
して、当該光磁界センサの使用温度領域におけるデュロ
メータＡ硬度が５０以下の樹脂系接着剤が採用されてい
ることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の作用・効果】本発明に係る光磁界センサにおい
ては、ファラデー素子の被固着部品に対する接着剤とし
て、デュロメータＡ硬度が５０以下という硬度の低い樹
脂系接着剤が採用されているため、ファラデー素子と被
固着部品とが熱膨張係数を異にしている場合にも、接着
剤層が接着界面で発生する熱応力を緩和する。
ては、ファラデー素子の被固着部品に対する接着剤とし
て、デュロメータＡ硬度が５０以下という硬度の低い樹
脂系接着剤が採用されているため、ファラデー素子と被
固着部品とが熱膨張係数を異にしている場合にも、接着
剤層が接着界面で発生する熱応力を緩和する。
【００１０】このため、熱応力に起因する温度特性に及
ぼす影響を解消し得て、良好な温度特性が保持されると
ともに、ファラデー素子と被固着部品に作用する熱応力
が低減して、各部品の亀裂、その他の損傷の発生が防止
され、光磁界センサの耐久性を向上させることができ
る。
ぼす影響を解消し得て、良好な温度特性が保持されると
ともに、ファラデー素子と被固着部品に作用する熱応力
が低減して、各部品の亀裂、その他の損傷の発生が防止
され、光磁界センサの耐久性を向上させることができ
る。
【００１１】この場合、接着剤としては、当該光磁界セ
ンサの使用温度領域におけるデュロメータＡ硬度が５０
以下、好ましくは、デュロメータＡ硬度が２０以下の樹
脂系接着剤が好ましい。
ンサの使用温度領域におけるデュロメータＡ硬度が５０
以下、好ましくは、デュロメータＡ硬度が２０以下の樹
脂系接着剤が好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明するに、図１〜図４には、本発明に係る光磁界センサ
の一例が示されている。当該光磁界センサは、光学部品
１０、一対のボールレンズ２１、一対の光ファイバー２
２、これらの構成部品１０，２１，２２が配設されたベ
ース２３、およびこれらの構成部品１０，２１，２２を
覆蓋してベース２３とともに挟持して収容する蓋体２４
により構成されている。
明するに、図１〜図４には、本発明に係る光磁界センサ
の一例が示されている。当該光磁界センサは、光学部品
１０、一対のボールレンズ２１、一対の光ファイバー２
２、これらの構成部品１０，２１，２２が配設されたベ
ース２３、およびこれらの構成部品１０，２１，２２を
覆蓋してベース２３とともに挟持して収容する蓋体２４
により構成されている。
【００１３】光磁界センサにおいて、ベース２３および
蓋体２４はガラス素材をプレス成形して形成されている
もので、所定の厚みを有する平板状を呈している。ベー
ス２３においては、ベース本体２３ａの表面に光学部品
１０、各ボールレンズ２１および各光ファイバー２２を
収容する溝部２３ｂ，２３ｃ，２３ｄが形成されてい
る。また、蓋体２４においてはその下面に、ベース２３
の各溝部２３ｂ〜２３ｄに略下半分を収容されている光
学部品１０、各ボールレンズ２１および各光ファイバー
２２を収容する溝部２４ｂ，２４ｃ，２４ｄが形成され
ている。
蓋体２４はガラス素材をプレス成形して形成されている
もので、所定の厚みを有する平板状を呈している。ベー
ス２３においては、ベース本体２３ａの表面に光学部品
１０、各ボールレンズ２１および各光ファイバー２２を
収容する溝部２３ｂ，２３ｃ，２３ｄが形成されてい
る。また、蓋体２４においてはその下面に、ベース２３
の各溝部２３ｂ〜２３ｄに略下半分を収容されている光
学部品１０、各ボールレンズ２１および各光ファイバー
２２を収容する溝部２４ｂ，２４ｃ，２４ｄが形成され
ている。
【００１４】ベース本体２３ａの表面には、図２および
図３に示すように、中央部の第１溝部２３ｂを挟んで一
対の位置決め用の係合凹所２３ｅが形成されており、ま
た蓋本体２４ａの下面には、図３に示すように、各係合
凹所２３ｅに対向する一対の位置決め用の係合突起部２
４ｅが形成されている。蓋体２４は、その各係合突起部
２４ｅをベース２３の各係合凹所２３ｅに嵌合させてベ
ース２３に対して位置決めされた状態で接着されて、ベ
ース２３の表面を覆蓋している。この状態で、蓋体２４
は、ベース２３とともに、光学部品１０、各ボールレン
ズ２１、および各光ファイバー２２を挟持して収容して
いる。
図３に示すように、中央部の第１溝部２３ｂを挟んで一
対の位置決め用の係合凹所２３ｅが形成されており、ま
た蓋本体２４ａの下面には、図３に示すように、各係合
凹所２３ｅに対向する一対の位置決め用の係合突起部２
４ｅが形成されている。蓋体２４は、その各係合突起部
２４ｅをベース２３の各係合凹所２３ｅに嵌合させてベ
ース２３に対して位置決めされた状態で接着されて、ベ
ース２３の表面を覆蓋している。この状態で、蓋体２４
は、ベース２３とともに、光学部品１０、各ボールレン
ズ２１、および各光ファイバー２２を挟持して収容して
いる。
【００１５】光磁界センサを構成する光学部品１０は、
ファラデー素子１１と、偏光子１２と、検光子１３とか
らなり、これら３者１１〜１３はファラデー素子１１を
挟んだ状態で接着剤を介して互いに接着されている。フ
ァラデー素子１１は、固相反応法にて生成されたＲＩＧ
単結晶であり、また偏光子１２および検光子１３はガラ
ス偏光板であって、光学部品１０は、図５に示す製造方
法により形成される。
ファラデー素子１１と、偏光子１２と、検光子１３とか
らなり、これら３者１１〜１３はファラデー素子１１を
挟んだ状態で接着剤を介して互いに接着されている。フ
ァラデー素子１１は、固相反応法にて生成されたＲＩＧ
単結晶であり、また偏光子１２および検光子１３はガラ
ス偏光板であって、光学部品１０は、図５に示す製造方
法により形成される。
【００１６】光学部品１０においては、先づ板状に生成
されたＲＩＧ単結晶１１ａを第１ガラス偏光板１２ａの
一側面に接着剤を介して接着し、ＲＩＧ単結晶１１ａの
表面を光学研磨して、ＲＩＧ単結晶１１ａの厚みを２０
μｍ〜２００μｍの範囲の所定の厚みに調整する。次い
で、このＲＩＧ単結晶１１ａの研磨面である表面に第２
ガラス偏光板１３ａを接着剤を介して接着して、３層構
造体１０ａを形成する。第２ガラス偏光板１３ａは、そ
の偏光角を、第１ガラス偏光板１２ａの偏光角に対して
４５度偏倚して接着する。その後、この３層構造体１０
ａを所定の大きさに切断して、多数の光学部品１０を形
成する。
されたＲＩＧ単結晶１１ａを第１ガラス偏光板１２ａの
一側面に接着剤を介して接着し、ＲＩＧ単結晶１１ａの
表面を光学研磨して、ＲＩＧ単結晶１１ａの厚みを２０
μｍ〜２００μｍの範囲の所定の厚みに調整する。次い
で、このＲＩＧ単結晶１１ａの研磨面である表面に第２
ガラス偏光板１３ａを接着剤を介して接着して、３層構
造体１０ａを形成する。第２ガラス偏光板１３ａは、そ
の偏光角を、第１ガラス偏光板１２ａの偏光角に対して
４５度偏倚して接着する。その後、この３層構造体１０
ａを所定の大きさに切断して、多数の光学部品１０を形
成する。
【００１７】光学部品１０においては、中間部のＲＩＧ
単結晶１１ａがファラデー素子１１を構成し、第１ガラ
ス偏光板１２ａが偏光子１２を構成し、かつ第２ガラス
偏光板１３ａが検光子１３を構成し、これら３者１１〜
１３が一体の状態でベース２３と蓋体２４の間に配設さ
れている。
単結晶１１ａがファラデー素子１１を構成し、第１ガラ
ス偏光板１２ａが偏光子１２を構成し、かつ第２ガラス
偏光板１３ａが検光子１３を構成し、これら３者１１〜
１３が一体の状態でベース２３と蓋体２４の間に配設さ
れている。
【００１８】このように構成した光磁界センサにおいて
は、光源から出射した光が一方の光ファイバー２２を経
てボールレンズ２１に入射され、ボールレンズ２１にて
平行光とされて光学部品１０に入射される。光学部品１
０に入射された平行光は、先づ偏光子１２にて直線偏光
とされてファラデー素子１１を通過して検光子１３を経
て他方のボールレンズ２１に入射され、ボールレンズ２
１にて集光されて他方の光ファイバー２２から出射され
る。
は、光源から出射した光が一方の光ファイバー２２を経
てボールレンズ２１に入射され、ボールレンズ２１にて
平行光とされて光学部品１０に入射される。光学部品１
０に入射された平行光は、先づ偏光子１２にて直線偏光
とされてファラデー素子１１を通過して検光子１３を経
て他方のボールレンズ２１に入射され、ボールレンズ２
１にて集光されて他方の光ファイバー２２から出射され
る。
【００１９】この場合、直線偏光はファラデー素子１１
を通過する間に、ファラデー素子１１に印加された外部
磁界に応じて偏波面が回転され検光子１３に入射され、
検光子１３において印加磁界に応じた強度の変調光とさ
れ、外部磁界の検出信号として出力される。
を通過する間に、ファラデー素子１１に印加された外部
磁界に応じて偏波面が回転され検光子１３に入射され、
検光子１３において印加磁界に応じた強度の変調光とさ
れ、外部磁界の検出信号として出力される。
【００２０】しかして、当該光磁界センサにおいては、
光学部品１０を構成するファラデー素子１１と偏光子１
２および検光子１３とを接着するための接着剤として、
また、光学部品１０をベース２３に接着するための接着
剤として、光磁界センサの使用温度領域におけるデュロ
メータＡ硬度が５０以下の樹脂系接着剤が採用されてい
る。かかる接着剤は、変性アクリル系樹脂または変成ウ
レタン系樹脂に可塑剤を混合して生成され、可塑剤の混
合量に基づいて硬度が調整される。
光学部品１０を構成するファラデー素子１１と偏光子１
２および検光子１３とを接着するための接着剤として、
また、光学部品１０をベース２３に接着するための接着
剤として、光磁界センサの使用温度領域におけるデュロ
メータＡ硬度が５０以下の樹脂系接着剤が採用されてい
る。かかる接着剤は、変性アクリル系樹脂または変成ウ
レタン系樹脂に可塑剤を混合して生成され、可塑剤の混
合量に基づいて硬度が調整される。
【００２１】なお、デュロメータＡ硬度とは、日本工業
規格「ＪＩＳ Ｋ７２１５：プラスチックのデュローメ
ータ硬さ試験法」に基づく樹脂硬度を意味し、合成樹脂
の分野ではショアー硬度とも称呼されている。
規格「ＪＩＳ Ｋ７２１５：プラスチックのデュローメ
ータ硬さ試験法」に基づく樹脂硬度を意味し、合成樹脂
の分野ではショアー硬度とも称呼されている。
【００２２】このように、当該光磁界センサにおいて
は、光学部品１０を構成するファラデー素子１１と偏光
子１２および検光子１３とを接着するための接着剤、お
よび、光学部品１０をベース２３に接着するための接着
剤として、デュロメータＡ硬度が５０以下という硬度の
低い樹脂系接着剤を採用している。このため、ファラデ
ー素子１１と偏光子１２および検光子１３、ファラデー
素子１１とベース２３が熱膨張係数を異にしていても、
接着剤層が接着界面で発生する熱応力を緩和し、熱応力
に起因する温度特性に及ぼす影響を解消し得て、良好な
温度特性を保持する。
は、光学部品１０を構成するファラデー素子１１と偏光
子１２および検光子１３とを接着するための接着剤、お
よび、光学部品１０をベース２３に接着するための接着
剤として、デュロメータＡ硬度が５０以下という硬度の
低い樹脂系接着剤を採用している。このため、ファラデ
ー素子１１と偏光子１２および検光子１３、ファラデー
素子１１とベース２３が熱膨張係数を異にしていても、
接着剤層が接着界面で発生する熱応力を緩和し、熱応力
に起因する温度特性に及ぼす影響を解消し得て、良好な
温度特性を保持する。
【００２３】また、ファラデー素子１１、偏光子１２、
および検光子１３にて構成されている光学部品１０内で
発生する熱応力、光学部品１０とベース２３間で発生す
る熱応力が低減するため、光学部品１０を構成するファ
ラデー素子１１、偏光子１２、および検光子１３におけ
る亀裂、その他の損傷の発生が防止され、光磁界センサ
の耐久性が向上する。
および検光子１３にて構成されている光学部品１０内で
発生する熱応力、光学部品１０とベース２３間で発生す
る熱応力が低減するため、光学部品１０を構成するファ
ラデー素子１１、偏光子１２、および検光子１３におけ
る亀裂、その他の損傷の発生が防止され、光磁界センサ
の耐久性が向上する。
【００２４】なお、上記した光磁界センサにおいては、
ファラデー素子１１が偏光子１２と検光子１３に接着固
定されて１個の光学部品に構成されている例であるが、
ファラデー素子１１が偏光子１２および検光子１３のい
づれか一方に接着固定して使用される場合、ファラデー
素子１１が偏光子１２および検光子１３とは独立してベ
ース２３等基板に接着固定して使用される場合において
も、これらの接着固定に使用する接着剤として、デュロ
メータＡ硬度が５０以下の樹脂系接着剤を使用すれば、
光磁界センサの温度特性を向上させることができる。
ファラデー素子１１が偏光子１２と検光子１３に接着固
定されて１個の光学部品に構成されている例であるが、
ファラデー素子１１が偏光子１２および検光子１３のい
づれか一方に接着固定して使用される場合、ファラデー
素子１１が偏光子１２および検光子１３とは独立してベ
ース２３等基板に接着固定して使用される場合において
も、これらの接着固定に使用する接着剤として、デュロ
メータＡ硬度が５０以下の樹脂系接着剤を使用すれば、
光磁界センサの温度特性を向上させることができる。
【００２５】
【実施例】当該光磁界センサの温度特性を確認するた
め、樹脂硬度の異なる各種の変性アクリル系接着剤を使
用して図１に示す各光磁界センサを作製し、各光学磁界
センサの高磁場と低磁場におけるセンサ出力値を測定し
て、基準温度（２５℃）のセンサ出力値に対する低温
時、高温時のセンサ出力値の誤差を算出した。得られた
結果の一例（接着剤の樹脂硬度：デュロメータＡ硬度１
０とデュロメータＤ硬度６０）を、下記の表１，２に示
すとともに、接着剤の樹脂硬度とセンサ出力値の誤差の
との関係を図６のグラフに示す。
め、樹脂硬度の異なる各種の変性アクリル系接着剤を使
用して図１に示す各光磁界センサを作製し、各光学磁界
センサの高磁場と低磁場におけるセンサ出力値を測定し
て、基準温度（２５℃）のセンサ出力値に対する低温
時、高温時のセンサ出力値の誤差を算出した。得られた
結果の一例（接着剤の樹脂硬度：デュロメータＡ硬度１
０とデュロメータＤ硬度６０）を、下記の表１，２に示
すとともに、接着剤の樹脂硬度とセンサ出力値の誤差の
との関係を図６のグラフに示す。
【００２６】なお、上記したデュロメータＤ硬度とは、
デュロメータＡ硬度と同様、日本工業規格「ＪＩＳ Ｋ
７２１５：プラスチックのデュローメータ硬さ試験法」
に基づく樹脂硬度を意味する。
デュロメータＡ硬度と同様、日本工業規格「ＪＩＳ Ｋ
７２１５：プラスチックのデュローメータ硬さ試験法」
に基づく樹脂硬度を意味する。
【００２７】
【表１】
【００２８】但し、表１の結果は、室温（２５℃）で高
磁場（１００ Ｏｅ）でのセンサ出力値を基準として、
−２０℃の低温環境下で低磁場（１０ Ｏｅ）でのセン
サ出力値を測定して、このセンサ出力値の誤差を算出し
たものである。
磁場（１００ Ｏｅ）でのセンサ出力値を基準として、
−２０℃の低温環境下で低磁場（１０ Ｏｅ）でのセン
サ出力値を測定して、このセンサ出力値の誤差を算出し
たものである。
【００２９】
【表２】
【００３０】但し、表２の結果は、室温（２５℃）で高
磁場（１００ Ｏｅ）でのセンサ出力値を基準として、
８０℃の高温環境下で低磁場（１０ Ｏｅ）でのセンサ
出力値を測定して、このセンサ出力値の誤差を算出した
ものである。
磁場（１００ Ｏｅ）でのセンサ出力値を基準として、
８０℃の高温環境下で低磁場（１０ Ｏｅ）でのセンサ
出力値を測定して、このセンサ出力値の誤差を算出した
ものである。
【００３１】図６に示すグラフにおいては、実線のグラ
フＡは測定環境を−２０℃の低温に変化させた場合の結
果、破線のグラフＢは測定環境を８０℃の高温に変化さ
せた場合の結果である。但し、採用した接着剤の樹脂硬
度はデュロメータＡ，Ｄの両硬度でグラフの横軸に表示
しており、接着剤の樹脂硬度はグラフの横軸の右方にい
くほど増大する。
フＡは測定環境を−２０℃の低温に変化させた場合の結
果、破線のグラフＢは測定環境を８０℃の高温に変化さ
せた場合の結果である。但し、採用した接着剤の樹脂硬
度はデュロメータＡ，Ｄの両硬度でグラフの横軸に表示
しており、接着剤の樹脂硬度はグラフの横軸の右方にい
くほど増大する。
【図１】本発明の一例に係る光磁界センサの縦断側面図
である。
である。
【図２】同光磁界センサの蓋体を取外した状態の平面図
である。
である。
【図３】同光磁界センサにおける図２の矢印３−３線方
向の縦断面図である。
向の縦断面図である。
【図４】同光磁界センサにおける図２の矢印４−４線方
向の縦断面図である。である。
向の縦断面図である。である。
【図５】同光磁界センサを構成する光学部品の製造の手
順を示す説明図である。
順を示す説明図である。
【図６】接着剤の樹脂硬度とセンサ出力値の誤差との関
係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
１０…光学部品、１０ａ…３層構造体、１１…ファラデ
ー素子、１１ａ…ＲＩＧ単結晶、１２…偏光子、１２ａ
…第１ガラス偏光板、１３…検光子、１３ａ…第２ガラ
ス偏光板、２１…ボールレンズ、２２…光ファイバー、
２３…ベース、２４…蓋体。
ー素子、１１ａ…ＲＩＧ単結晶、１２…偏光子、１２ａ
…第１ガラス偏光板、１３…検光子、１３ａ…第２ガラ
ス偏光板、２１…ボールレンズ、２２…光ファイバー、
２３…ベース、２４…蓋体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−198775（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−96513（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−98512（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−248368（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−211093（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−219825（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−191111（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−248369（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 33/032
Claims (3)
- 【請求項１】基板に接着剤を介して固着した偏光子、フ
ァラデー素子、および検光子を備え、前記ファラデー素
子として自然旋光能の無い強磁性体を採用してなり、直
線偏光を前記ファラデー素子に通過して直線偏光の偏波
面を外部磁界に応じて回転させることにより光強度変換
して磁界を検出する光磁界センサにおいて、前記ファラ
デー素子が前記偏光子および検光子とは独立的に前記基
板に接着剤を介して固着されていて、同接着剤として、
当該光磁界センサの使用温度領域におけるデュロメータ
Ａ硬度が５０以下の樹脂系接着剤が採用されていること
を特徴とする光磁界センサ。 - 【請求項２】基板上に接着剤を介して固着した偏光子、
ファラデー素子、および検光子を備え、前記ファラデー
素子として自然旋光能の無い強磁性体を採用してなり、
直線偏光を前記ファラデー素子に通過して直線偏光の偏
波面を外部磁界に応じて回転させることにより光強度変
換して磁界を検出する光磁界センサにおいて、前記ファ
ラデー素子が前記偏光子および検光子のいずれか一方に
接着剤を介して固着された状態で前記基板に接着剤を介
して固着されていて、これら接着剤として、当該光磁界
センサの使用温度領域におけるデュロメータＡ硬度が５
０以下の樹脂系接着剤が採用されていることを特徴とす
る光磁界センサ。 - 【請求項３】基板に接着剤を介して固着した偏光子、フ
ァラデー素子、および検光子を備え、前記ファラデー素
子として自然旋光能の無い強磁性体を採用してなり、直
線偏光を前記ファラデー素子に通過して直線偏光の偏波
面を外部磁界に応じて回転させることにより光強度変換
して磁界を検出する光磁界センサにおいて、前記ファラ
デー素子が前記偏光子および検光子に接着剤を介して挟
持されて固着された状態で前記基板に接着剤を介して固
着されていて、これら接着剤として、当該光磁界センサ
の使用温度領域におけるデュロメータＡ硬度が５０以下
の樹脂系接着剤が採用されていることを特徴とする光磁
界センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7464198A JP2893013B1 (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 光磁界センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7464198A JP2893013B1 (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 光磁界センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2893013B1 true JP2893013B1 (ja) | 1999-05-17 |
| JPH11271410A JPH11271410A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13553056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7464198A Expired - Fee Related JP2893013B1 (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 光磁界センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2893013B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007288701A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Hitachi Metals Ltd | 非可逆回路素子 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP7464198A patent/JP2893013B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11271410A (ja) | 1999-10-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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